JP2005148125A - マスク露光方法およびマスクリピータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ステージ台5aは、ステップステージガイド6aに搭載されて、Y方向に往復移動できる。ステップステージガイド6aは、スキャンステージガイド7aに搭載されて、ステップステージガイド6a自体がX方向にスキャン移動できる。一方、ステージ台5bは、スキャンステージガイド7bに搭載されて、露光中スキャンステージガイド7aと同期して、X方向に沿った反対方向にスキャン移動する。また、スキャンステージガイド7bは、ステップステージガイド6bに搭載されて、Y方向にステップ移動できる。マザーマスク4をX方向のスキャンとY方向のステップによって移動させて露光することにより、マスク基板10における露光領域11の全面に、マザーマスク4のパターン領域9が転写できる。
【選択図】図1
Description
Proceedings of the SPIE, Vol.4186, p.34-45、 Proceedings of the SPIE, Vol.4562, p.522-529
2 縮小投影光学系
3 マスクステージ
4 マザーマスク
5a、5b ステージ台
6a、6b ステップステージガイド
7a、7b スキャンステージガイド
8a、8b レーザ光照射領域
9 パターン領域
10 マスク基板
11 露光領域
Claims (5)
- 半導体デバイス製造に用いるマスクを作成するために前記マスクよりも大きいマザーマスクから縮小投影光学系を用いた縮小投影露光によって該マスクの基板に所定のパターンを露光するマスク露光方法において、前記マザーマスクを複数枚用いて1枚のマスクを作成し、かつ前記複数枚のマザーマスクの各々と前記マスクとを互いに反対方向にスキャンさせながらパターン露光を行うとともに前記マザーマスクの各々を前記スキャンの方向に直交する方向にも移動させて前記スキャンの方向に平行かつ逆向きにもスキャンさせながらパターン露光を行うことを特徴とするマスク露光方法。
- 前記マザーマスクの各々を1往復スキャンさせることで、前記マスク上にパターン露光させることを特徴とする請求項1のマスク露光方法。
- 請求項1のマスク露光方法で用いられるマザーマスク。
- 半導体デバイス製造に用いるマスクを作成するために前記マスクよりも大きいマザーマスクから縮小投影光学系を用いた縮小投影露光によって該マスクの基板に所定のパターンを露光するマスクリピータにおいて、前記マザーマスクを複数枚用いて1枚のマスクを作成し、かつ、前記複数枚のマザーマスクの各々と前記マスクとを互いに反対方向にスキャンさせながらパターン露光を行うとともに前記マザーマスクの各々を前記スキャンの方向に直交する方向にも移動させて前記スキャンの方向に平行かつ逆向きにもスキャンさせながらパターン露光を行う機構を有することを特徴とするマスクリピータ。
- 前記マザーマスクの各々を1往復スキャンさせることで、前記マスク上にパターン露光させることを特徴とする請求項1のマスクリピータ。
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Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
KR100858407B1 (ko) * | 2006-08-11 | 2008-09-12 | 엘피다 메모리, 아이엔씨. | 포토마스크, 포토마스크를 사용하는 방법 및 장치,포토마스크 패턴 생성 방법, 패턴 형성 방법 및 반도체소자 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000003856A (ja) * | 1999-03-16 | 2000-01-07 | Nikon Corp | 走査露光方法、走査型露光装置、及び前記方法を用いるデバイス製造方法 |
JP2002353108A (ja) * | 2001-05-24 | 2002-12-06 | Nikon Corp | 露光方法、露光装置、フォトマスク、デバイス製造方法、及びフォトマスク製造方法 |
-
2003
- 2003-11-11 JP JP2003381130A patent/JP2005148125A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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