JP2005258348A - 周期分極反転構造の製造方法および周期分極反転構造 - Google Patents
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Abstract
【課題】分極反転部の長さを増大させること。
【解決手段】強誘電体単結晶基板の一表面上に設けられた第一の電極40Aと、電極40Aと対向するように基板に設けられた第二の電極との間に電圧を印加することにより、基板内に周期分極反転構造を形成する。第一の電極40Aが、周期的に配列された複数の電極片からなる電極片配列体2、電極片に対して給電するための給電電極1、および給電電極1に対して接続されているプロービングパッド7を備えている。電極片配列体2と一表面上で対向するように設けられた浮動導電膜13を備えており、浮動導電膜13の幅が100μm以上である。
【選択図】 図1
【解決手段】強誘電体単結晶基板の一表面上に設けられた第一の電極40Aと、電極40Aと対向するように基板に設けられた第二の電極との間に電圧を印加することにより、基板内に周期分極反転構造を形成する。第一の電極40Aが、周期的に配列された複数の電極片からなる電極片配列体2、電極片に対して給電するための給電電極1、および給電電極1に対して接続されているプロービングパッド7を備えている。電極片配列体2と一表面上で対向するように設けられた浮動導電膜13を備えており、浮動導電膜13の幅が100μm以上である。
【選択図】 図1
Description
本発明は、例えば擬似位相整合方式の第二高調波発生デバイスに適した光導波路素子の製造に利用できる、周期分極反転構造の形成に関するものである。
強誘電体の分極を強制的に反転させる分極反転構造を周期的に形成することで、表面弾性波を利用した光周波数変調器や、非線型分極の分極反転を利用した光波長変換素子などを実現することができる。特に、非線型光学材料の非線型分極を周期的に反転することが可能となれば、高効率な波長変換素子を作製することができ、これを用いて固体レーザーなどの光を変換すれば、印刷、光情報処理、光応用計測制御などの分野に応用できる小型軽量の短波長光源を構成することができる。
このような素子を製造するためには、所定の周期を有する周期分極反転構造を素子内に形成することが必要である。この方法としては、いわゆる電圧印加法が知られている。図7は、電圧印加法によって、強誘電体単結晶基板4内に周期分極反転構造を形成するプロセスを模式的に示す斜視図である。
この方法においては、強誘電体単結晶からなるオフカット基板4を使用する。基板4の表面4aに第一の電極30および第三の電極31を形成し、底面4bに第二の電極(一様電極)8Aを形成する。第一の電極30は、複数の周期的に配列された細長い電極片2と、多数の電極片を接続する細長い給電電極1とからなる。第三の電極31は細長い対向電極片5からなっており、対向電極片5は、電極片2の先端に対向するように設けられている。
この基板を構成する強誘電体単結晶の分極方向Bは、主面4a、4bに対して所定角度、例えば5°傾斜しているので、オフカット基板と呼ばれている。最初に基板4の全体を15Bの方向に分極させておく。そして、例えば電極30と31との間にV1の電圧を印加し、電極30と電極8Aとの間にV2の電圧を印加すると、各電極片2の先端から分極反転部33が矢印Bと平行に徐々に進展する。分極反転部33における分極方向15Aは、15Bとは正反対になる。このような分極反転方法は特許文献1に開示された。
特開2001−66652号公報
本発明者は、電圧印加法によって、例えばニオブ酸リチウムやタンタル酸リチウム単結晶基板に周期分極反転構造を形成しようと試みてきた。この場合に重要なことは、可能な限り深い分極反転部を生成させることである。このためには、分極反転部の長さを、可能な限り大きくすることが必須である。しかし、分極反転部の長さを大きくするという目的で大きな電圧を印加すると、強誘電体単結晶に絶縁破壊によるクラックが発生し易く、電圧には上限がある。この条件下では、分極反転部の長さを、ある程度以上大きくすることは困難であった。
本発明の課題は、強誘電体単結晶基板の一表面上に設けられた第一の電極と、この第一の電極と対向するように基板に設けられた第二の電極との間に電圧を印加することにより、基板内に周期分極反転構造を形成するのに際して、分極反転部の長さを大きくできるようにすることである。
本発明は、強誘電体単結晶基板の一表面上に設けられた第一の電極と、第一の電極と対向するように基板に設けられた第二の電極との間に電圧を印加することにより、基板内に周期分極反転構造を形成する方法であって、
第一の電極が、周期的に配列された複数の電極片からなる電極片配列体、電極片に対して給電するための給電電極、および給電電極に対して接続されているプロービングパッドを備えており、電極片配列体と一表面上で対向するように設けられた浮動導電膜を備えており、浮動導電膜の幅が100μm以上であることを特徴とする。
第一の電極が、周期的に配列された複数の電極片からなる電極片配列体、電極片に対して給電するための給電電極、および給電電極に対して接続されているプロービングパッドを備えており、電極片配列体と一表面上で対向するように設けられた浮動導電膜を備えており、浮動導電膜の幅が100μm以上であることを特徴とする。
本発明者は、上述のような第一の電極および第二の電極を用いた電圧印加法による周期分極反転構造の形成時に、電極片と対向する位置に浮動導電膜を設け、かつ浮動導電膜の幅を100μm以上とすることによって、分極反転部を長くできることを見いだした。
以下、図面を参照しつつ、本発明を更に詳細に説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係る基板の一表面上の第一の電極および浮動導電膜パターンを示す平面図であり、図3は、図1のパターンの部分拡大図である。図2は、比較例に係るパターンの部分拡大図である。
図1は、本発明の一実施形態に係る基板の一表面上の第一の電極および浮動導電膜パターンを示す平面図であり、図3は、図1のパターンの部分拡大図である。図2は、比較例に係るパターンの部分拡大図である。
強誘電体単結晶基板の底面側の第二の電極は、底面全体に設けられた一様電極8Aである(図7参照)。第一の電極40Aおよび浮動導電膜13の平面的パターンを図1に示す。第一の電極40Aにおいては、複数列、例えば4列の細長い給電電極1の各終端部1aが、共通のプロービングパッド7に対して接続されている。各給電電極1の他方の終端部1bは開放されている。各給電電極1には、それぞれ多数の細長い電極片2が形成されている。電極片2は、目的とする周期分極反転構造の周期に合わせて一定周期で形成されており、給電電極1の長手方向へと向かって多数配列されており、これによって電極片配列体2を構成している。
また、複数列の浮動導電膜13が設けられており、各浮動導電膜13は、それぞれ、各電極片配列体2と所定間隔をおいて対向している。そして、各浮動導電膜13は接続パッド12によって電気的に接続されている。電極40Aと電極8Aとの間に電圧を印加すると、浮動導電膜13と電極片2との間隙6に周期分極反転構造が生成する。
ここで、本発明においては、図3に示すように、各浮動導電膜13の幅Tを100μm以上と大きくする。これによって、図2のように各浮動導電膜9の幅Tが100μm未満の場合と比べて、電極片配列体2の先端領域から形成される分極反転部の長さが大きくなる。そして、図7に示すように分極軸Bが基板表面に対して傾斜している場合には、分極反転部の深さを大きくすることができる。このような作用効果が得られた理由は明らかではない。
本発明の観点からは、浮動導電膜13の幅Tは100μm以上であるが、150μm以上であることが更に好ましい。この上限値は特にないが、浮動導電膜13の幅Tが大きくなりすぎると無駄になるので、500μm以下が好ましい。
また、電極片2の先端と浮動導電膜13との間隔Aは、本発明の観点からは、100μm以上とすることが好ましく、あるいは、500μm以下とすることが好ましい。
好適な実施形態においては、複数の浮動導電膜13を電気的に接続する接続パッド12を備えている。この場合には、分極反転部の長さを増大させるという本発明の作用効果が一層顕著となる。
図4は、本発明の他の実施形態に係る基板の一表面上の第一の電極および浮動導電膜パターンを示す平面図であり、図6は、図4のパターンの部分拡大図である。図5は、比較例に係るパターンの部分拡大図である。図4〜図6において、図1〜図3に示した構成部分については、同じ符号をつけ、説明を省略する。
第一の電極40Bおよび浮動導電膜13の平面的パターンを図4に示す。第一の電極40Bにおいては、複数列、例えば4列の細長い給電電極1の各終端部1aが、共通のプロービングパッド7Aに対して接続されており、各給電電極1の他方の終端部1bが、共通のプロービングパッド7Bに接続されている。各給電電極1には、それぞれ多数の細長い電極片2が形成されている。電極片2は、目的とする周期分極反転構造の周期に合わせて一定周期で形成されており、給電電極1の長手方向へと向かって多数配列されており、これによって電極片配列体2を構成している。
複数列の浮動導電膜13が設けられており、各浮動導電膜13は、それぞれ、各電極片配列体2と所定間隔をおいて対向している。各浮動導電膜13は、2列の給電電極1、共通プロービングパッド7A、7Bによって包囲されており、互いに電気的に接続されていない。
本発明の周期分極反転構造の用途は限定されないが、擬似位相整合方式の波長変換素子として利用可能である。このような素子は、波長変換の際の変換効率が高いものである。以下、好適な波長変換素子の概略を述べる。
例えば図7に示すようにして、電圧印加法によって、強誘電体単結晶基板4内に分極反転部33を形成する。この際、強誘電体単結晶の種類は限定されない。しかし、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)、タンタル酸リチウム(LiTaO3)、ニオブ酸リチウム−タンタル酸リチウム固溶体、ニオブ酸リチウムカリウム(K3Li2Nb5O15)の各単結晶が特に好ましい。
強誘電体単結晶中には、三次元光導波路の耐光損傷性を更に向上させるために、マグネシウム(Mg)、亜鉛(Zn)、スカンジウム(Sc)及びインジウム(In)からなる群より選ばれる1種以上の金属元素を含有させることができ、マグネシウムが特に好ましい。
分極反転特性(条件)が明確であるとの観点からは、ニオブ酸リチウム単結晶、ニオブ酸リチウムータンタル酸リチウム固溶体単結晶、又はこれらにマグネシウムを添加したものが特に好ましい。
強誘電体単結晶中には、ドープ成分として、希土類元素を含有させることができる。この希土類元素は、レーザー発振用の添加元素として作用する。この希土類元素としては、特にNd、Er、Tm、Ho、Dy、Prが好ましい。
周期分極反転構造を形成するためのマスクパターンを形成する材質としては、レジスト、SiO2、Ta等を例示できる。マスクパターンを形成する方法としては、フォトリソグラフィー法を例示できる。
電圧印加法において使用する電極、浮動導電膜の材質としては、Al、Au、Ag、Cr、Cu、Ni、Ni-Cr 、Pd、Taが好ましい。
上記の各例においては、強誘電体単結晶基板を、例えば5°オフカット基板としたが、このオフカット角度は特に限定されない。特に好ましくは、オフカット角度は1 °以上であり、あるいは、20°以下である。
また、いわゆるXカット基板、Yカット基板、Zカット基板を使用可能である。Xカット基板やYカット基板を使用する場合には、第二の電極を底面4bに設けず、一表面4a上に設け、第一の電極と第二の電極との間に電圧を印加することができる。
(実施例1)
5mol%MgOをドープした厚さ0.5mmのニオブ酸リチウム単結晶からなる基板4の表面に、図1〜図3に示す平面的パターンの電極40A、浮動導電膜13、接続パッド12を形成し、底面4bに一様電極8Aを形成した。各電極および浮動導電膜は、EB蒸着装置やスパッタ装置によって形成し、フォトリソグラフィー法によってパターン形成した。浮動導電膜13と電極片2との間隔Aを150μmとし、電極片2の長さBを100μmとした。浮動導電膜13の幅Tを、表1に示すように変更した。
5mol%MgOをドープした厚さ0.5mmのニオブ酸リチウム単結晶からなる基板4の表面に、図1〜図3に示す平面的パターンの電極40A、浮動導電膜13、接続パッド12を形成し、底面4bに一様電極8Aを形成した。各電極および浮動導電膜は、EB蒸着装置やスパッタ装置によって形成し、フォトリソグラフィー法によってパターン形成した。浮動導電膜13と電極片2との間隔Aを150μmとし、電極片2の長さBを100μmとした。浮動導電膜13の幅Tを、表1に示すように変更した。
第一の電極40Aと一様電極8Aとの間に電圧を印加した。電圧の大きさは、3kVから5kVとした。次いで、フッ硝酸を用いて10分間エッチングし、分極反転形状を測定した。分極反転部の長さの測定結果を表1に示す。
(実施例2)
5mol%MgOをドープした厚さ0.5mmのニオブ酸リチウム単結晶からなる基板4の表面4aに、図4〜図6に示す平面的パターンの電極40Bおよび浮動導電膜13を形成し、底面に一様電極8Aを形成した。各電極40Bおよび浮動導電膜13は、EB蒸着装置やスパッタ装置によって形成し、フェトリソグラフィー法によってパターン形成した。浮動導電膜13と電極片2との間隔Aを150μmとし、電極片2の長さBを100μmとした。浮動導電膜13の幅Tを、表2に示すように変更した。
5mol%MgOをドープした厚さ0.5mmのニオブ酸リチウム単結晶からなる基板4の表面4aに、図4〜図6に示す平面的パターンの電極40Bおよび浮動導電膜13を形成し、底面に一様電極8Aを形成した。各電極40Bおよび浮動導電膜13は、EB蒸着装置やスパッタ装置によって形成し、フェトリソグラフィー法によってパターン形成した。浮動導電膜13と電極片2との間隔Aを150μmとし、電極片2の長さBを100μmとした。浮動導電膜13の幅Tを、表2に示すように変更した。
第一の電極40Bと一様電極8Aとの間に電圧を印加した。電圧の大きさは、実施例1と同じとした。実施例1と同様フッ硝酸でエッチングし、分極反転部の長さの測定した結果を表2に示す。
上記の結果からわかるように浮動導電膜の幅Tを大きくすることによって、分極反転部の長さを著しく増大させることができる。また、特に実施例1に示すように,複数の浮動導電膜を共通の接続パッドを通して電気的に接続することによって、分極反転部の長さが一層増大することが判明した。これは、多数の浮動導電膜を互いに電気的に接続すると、浮動導電膜の全体の面積が増大し、これによって分極反転部の生成を促進するためである。
以上述べたように、本発明によれば、分極反転部の長さを増大させることができる。
1 給電電極 1a、1b 給電電極の終端部 2 電極片配列体 4 強誘電体単結晶基板 4a 一表面 4b 底面 7、7A、7B プロービングパッド 8A 第二の電極 9 比較例の浮動導電膜 12 接続パッド 13 浮動導電膜 33 周期分極反転構造 40A、40B 第一の電極
Claims (4)
- 強誘電体単結晶基板の一表面上に設けられた第一の電極と、この第一の電極と対向するように前記強誘電体単結晶基板に設けられた第二の電極との間に電圧を印加することにより、前記強誘電体単結晶基板内に周期分極反転構造を形成する方法であって、
前記第一の電極が、周期的に配列された複数の電極片からなる電極片配列体、前記電極片に対して給電するための給電電極、および前記給電電極に対して接続されているプロービングパッドを備えており、前記電極片配列体と前記一表面上で対向するように設けられた浮動導電膜を備えており、前記浮動導電膜の幅が100μm以上であることを特徴とする、周期分極反転構造の製造方法。 - 複数の前記浮動導電膜を備えており、複数の前記浮動導電膜を電気的に接続する接続パッドを備えていることを特徴とする、請求項1記載の方法。
- 前記第二の電極が、前記強誘電体単結晶基板の前記一表面とは反対側の底面に設けられていることを特徴とする、請求項1または2記載の方法。
- 請求項1〜3のいずれか一つの請求項に記載の方法によって製造されたことを特徴とする、周期分極反転構造。
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