JP2009151149A - 周期分極反転構造の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電極構造が、強誘電体単結晶基板1の主面1a上に設けられた複数の隙間のある絶縁膜と、この絶縁膜の隙間および絶縁膜を被覆するように設けられている導電膜20とを備えている。導電膜20が、絶縁膜を被覆する絶縁膜被覆部と、隙間に設けられた電極片部22とを備えている。電極片部が、分極反転方向xに向かって互いに離間された状態で配列されている。電極片部の長手方向yの導電膜20の縁部20aにおける電極片部22の幅Tが、電極片部22から見て内側にある電極片部5の幅tよりも大きい。
【選択図】 図5
Description
電子情報通信学会論文誌 C-I, Vol. J78-C-1, No.5 pp.238-245、「電圧印加によるLiNbO3 SHGデバイス用分極反転グレーティングの作製」 金高 健二, 藤村 昌寿, 栖原 敏明, 西原 浩
電極構造が、強誘電体単結晶基板の主面上に設けられた複数の隙間のある絶縁膜と、絶縁膜の隙間および絶縁膜を被覆するように設けられている導電膜とを備えており、導電膜が、絶縁膜を被覆する絶縁膜被覆部と、隙間に設けられた電極片部とを備えており、電極片部が、分極反転方向に向かって互いに離間された状態で配列されており、電極片部の長手方向の導電膜の縁部における電極片部の幅が、導電膜の縁部にある電極片部から見て内側にある電極片部の幅よりも大きいことを特徴とする。
電極構造が、強誘電体単結晶基板の主面上に設けられた複数の隙間のある絶縁膜と、この絶縁膜の隙間および絶縁膜を被覆するように設けられている導電膜とを備えており、この導電膜が、絶縁膜を被覆する絶縁膜被覆部と、隙間に設けられた電極片部とを備えており、電極片部が、分極反転方向に向かって互いに離間された状態で配列されており、複数の電極片部と電極片部の長手方向の導電膜の縁部との間に、分極反転方向へと連続的に延びる基部が設けられていることを特徴とする。
まず、図1(a)に示すように、強誘電体結晶基板1の一方の主面1aに絶縁膜を形成する。1bは他方の主面である。次いで、絶縁膜に細長い隙間8を形成し、パターニングされた絶縁膜7を残す。絶縁膜7には、多数の隙間8が形成されており、各隙間8には基板1の主面1aを露出させる。次いで、図1(b)に示すように、基板1上に導電膜20を形成する。この導電膜20は、基板主面1aを被覆しており、絶縁膜7を被覆する絶縁膜被覆部6と、主面1aを直接被覆する電極片部5を備えている。基板1の他方の主面1bには一様電極2を形成する。
図1〜4および図7を参照しつつ説明した第一の発明に従い、周期分極反転構造を形成した。ただし、基板1としては、MgO添加のLiNbO3(MgOLN)のZカット基板を使用した。基板1の+z面1aに、絶縁膜としてSiO2膜を成膜した。絶縁膜の膜厚は約2000オングストロームとした。次いで、絶縁膜上にフォトレジストをスピンコーティングし、マスク露光、現像を経て、レジストパターンを形成した。このレジストパターンをマスクにして、ウェットエッチング処理を行うことで、図1(a)に示すような絶縁膜パターン7を形成した。周期Γxは約7μmとし、Gyは1.2μmとし、Γyは10μmとした。電極片部の幅tは0.8μmとした。
対照例において、導電膜の縁部近傍の電極形状を、第一の発明に従って、図5に示すように変更した。ただし、縁部20aの電極片部から内側に隣接する電極片部5の幅tは0.8μmとし、導電膜の縁部10aにおける電極片部22の幅Tは3.2μmとした。
対照例において、導電膜の縁部近傍の電極形状を、第一の発明に従って、図6に示すように変更した。ただし、縁部20aから20um離れた場所での電極片部5の幅tは0.8μmとした。基部23のy方向の寸法は7.2μmとした。
Claims (6)
- 単分域化している強誘電体単結晶基板の主面上に設けられた電極構造を用いて、電圧印加法により周期分極反転構造を製造する方法であって、
前記電極構造が、前記強誘電体単結晶基板の前記主面上に設けられた複数の隙間のある絶縁膜と、この絶縁膜の前記隙間および前記絶縁膜を被覆するように設けられている導電膜とを備えており、この導電膜が、前記絶縁膜を被覆する絶縁膜被覆部と、前記隙間に設けられた電極片部とを備えており、前記電極片部が、分極反転方向に向かって互いに離間された状態で配列されており、前記電極片部の長手方向の前記導電膜の縁部における前記電極片部の幅が、前記縁部にある前記電極片部から見て内側にある電極片部の幅よりも大きいことを特徴とする、周期分極反転構造の製造方法。 - 複数の前記電極片部が、前記電極片部の長手方向に向かって互いに離間された状態で配列されていることを特徴とする、請求項1記載の方法。
- 前記縁部から連続する前記電極片部が、前記電極片部の長手方向へと向かって延びる一定幅の拡幅部と、この拡幅部から幅が狭くなるテーパ部とを備えていることを特徴とする、請求項1または2記載の方法。
- 単分域化している強誘電体単結晶基板の主面上に設けられた電極構造を用いて、電圧印加法により周期分極反転構造を製造する方法であって、
前記電極構造が、前記強誘電体単結晶基板の前記主面上に設けられた複数の隙間のある絶縁膜と、この絶縁膜の前記隙間および前記絶縁膜を被覆するように設けられている導電膜とを備えており、この導電膜が、前記絶縁膜を被覆する絶縁膜被覆部と、前記隙間に設けられた電極片部とを備えており、前記電極片部が、分極反転方向に向かって互いに離間された状態で配列されており、複数の前記電極片部と前記電極片部の長手方向の前記導電膜の縁部との間に、前記分極反転方向へと連続的に延びる基部が設けられていることを特徴とする、周期分極反転構造の製造方法。 - 複数の前記電極片部が、前記電極片部の長手方向に向かって互いに離間された状態で配列されていることを特徴とする、請求項4記載の方法。
- 前記基部から前記電極片部へと向かって幅が狭くなるテーパ部を備えていることを特徴とする、請求項4または5記載の方法。
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