JP2010107731A - 強誘電体バルク素子 - Google Patents
強誘電体バルク素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010107731A JP2010107731A JP2008279641A JP2008279641A JP2010107731A JP 2010107731 A JP2010107731 A JP 2010107731A JP 2008279641 A JP2008279641 A JP 2008279641A JP 2008279641 A JP2008279641 A JP 2008279641A JP 2010107731 A JP2010107731 A JP 2010107731A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polarization inversion
- substrate
- electrode
- domain
- ferroelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】強誘電体バルク素子11Bは、強誘電体バルクに設けられた単分域化処理部10Bと、この単分域化処理部に隣接する広域分極反転部19Bとを備えている。
【選択図】 図2
Description
電子情報通信学会論文誌 C-I, Vol. J78-C-1, No.5 pp.238-245、「電圧印加によるLiNbO3 SHGデバイス用分極反転グレーティングの作製」 金高 健二, 藤村 昌寿, 栖原 敏明, 西原 浩
本発明では、強誘電体バルクに、単分域化処理部と、この単分域化処理部に隣接する広域分極反転部とを設ける。
図1(a)の素子11Aは、単分極化処理部分10Aと分極反転部分19Aとからなり、各分極反転方向は反対である。分極反転部分19Aは直方体形状である。分極反転方向に垂直な二方向の寸法a、b、分極反転方向に見た寸法cともに、例えば30μm以上である。
図4(a),(b)は比較形態に係るものである。図1(a)は、強誘電性材料の基板1に、分極反転部を形成するための電極を形成した状態を示す模式図であり、図1(b)は、同じく平面図である。
パルス電圧:1.0kV〜5.0kV(/mm)
パルス幅:0.1ms〜10ms
直流バイアス電圧:1.0kV〜5.0kV(/mm)
図4を参照しつつ説明した方法に従い、分極反転部分を形成した。ただし、基板1としては、MgO添加のLiNbO3(MgLN)のZカット基板を使用した。基板1の+Z面1a、−Z面1bに、スパッタリング法によって、導電膜2および3を成膜した。これらの膜厚は1000オングストロームとし、材質はタンタルとした。電極2の寸法は、縦5mm、横5mmとした。このように作製した基板1を、絶縁オイル中に浸漬し、170℃でパルス電圧を印加した。電圧印加条件としては、ウェハの抗電界となる電界強度の約3kV/mmに設定し、約1msec幅の矩形パルスを印加した。パルスの印加回数は、パターン面積に依存するが、例えば20mm2のとき、20000パルスが好適であった。
図5を参照しつつ説明した方法に従い、分極反転部分を形成した。ただし、基板1としては、MgO添加のLiNbO3(MgLN)のZカット基板を使用した。基板1の+z面1aおよび−z面1bに、絶縁膜6、7としてSiO2膜を成膜した。絶縁膜6、7の膜厚は約2000オングストロームとした。次いで、絶縁膜6上にフォトレジストをスピンコーティングし、マスク露光、現像を経て、レジストパターンを形成した。このレジストパターンをマスクにして、ウェットエッチング処理を行うことで、図2に示すような絶縁膜パターンを形成した。Iは3.2μmとし、Eは1.0μmとした。
Claims (4)
- 強誘電体バルクに設けられた単分域化処理部と、この単分域化処理部に隣接する広域分極反転部とを備えていることを特徴とする、強誘電体バルク素子。
- 前記広域分極反転部を分極反転方向に垂直な二方向および水平な方向に見たときの寸法がいずれも30μm以上であることを特徴とする、請求項1記載の素子。
- 前記強誘電体バルク素子に前記広域分極反転部が一つ設けられていることを特徴とする、請求項1または2記載の素子。
- 前記強誘電体パルク素子に前記広域分極反転部が複数設けられており、複数の広域分極反転部が30μm以上離れていることを特徴とする、請求項1または2記載の素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008279641A JP2010107731A (ja) | 2008-10-30 | 2008-10-30 | 強誘電体バルク素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008279641A JP2010107731A (ja) | 2008-10-30 | 2008-10-30 | 強誘電体バルク素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010107731A true JP2010107731A (ja) | 2010-05-13 |
Family
ID=42297235
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008279641A Pending JP2010107731A (ja) | 2008-10-30 | 2008-10-30 | 強誘電体バルク素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010107731A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010134425A (ja) * | 2008-10-30 | 2010-06-17 | Ngk Insulators Ltd | 分極反転部分の製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09146128A (ja) * | 1995-11-24 | 1997-06-06 | Sony Corp | 電気光学素子 |
WO2004081647A1 (ja) * | 2003-03-14 | 2004-09-23 | Mitsubishi Cable Industries Ltd. | 分極反転結晶の製造方法 |
WO2005083492A1 (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 照明光源及びそれを用いた2次元画像表示装置 |
JP2005266363A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 分極反転形成方法 |
-
2008
- 2008-10-30 JP JP2008279641A patent/JP2010107731A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09146128A (ja) * | 1995-11-24 | 1997-06-06 | Sony Corp | 電気光学素子 |
WO2004081647A1 (ja) * | 2003-03-14 | 2004-09-23 | Mitsubishi Cable Industries Ltd. | 分極反転結晶の製造方法 |
WO2005083492A1 (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 照明光源及びそれを用いた2次元画像表示装置 |
JP2005266363A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 分極反転形成方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010134425A (ja) * | 2008-10-30 | 2010-06-17 | Ngk Insulators Ltd | 分極反転部分の製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH10503602A (ja) | パターン付分極化誘電構造体と装置の製造 | |
US6353495B1 (en) | Method for forming a ferroelectric domain-inverted structure | |
US8064129B2 (en) | Process for poling a ferroelectric material doped with a metal | |
US5734772A (en) | Inverted domain structure in ferroelectric crystals with polarization in the crystal plane | |
JP5300664B2 (ja) | 分極反転部分の製造方法 | |
JP4721455B2 (ja) | 周期分極反転構造の製造方法 | |
TWI297802B (en) | Method of fabricating two-dimensional ferroelectric nonlinear crystals with periodically inverted domains | |
JP4646333B2 (ja) | 高調波発生装置 | |
JP5297197B2 (ja) | 光導波路基板の製造方法 | |
JP2010107731A (ja) | 強誘電体バルク素子 | |
JP4756706B2 (ja) | 分極反転構造の製造方法 | |
JP4646150B2 (ja) | 周期分極反転構造の製造方法 | |
JP4400816B2 (ja) | 周期分極反転構造の製造方法および光デバイス | |
JP4974872B2 (ja) | 周期分極反転構造の製造方法 | |
JPH10246900A (ja) | 強誘電体単結晶基板の微小構造の製造方法 | |
JPH07281224A (ja) | 強誘電体のドメイン反転構造形成方法 | |
JP4642065B2 (ja) | 周期分極反転部の製造方法 | |
JP2009092843A (ja) | 周期分極反転構造の製造方法 | |
JP4100937B2 (ja) | 波長変換素子および周期分極反転構造の形成方法 | |
JP3885939B2 (ja) | 光導波路デバイスの製造方法 | |
JP2005070194A (ja) | 周期分極反転構造の製造方法および光デバイス | |
JP4764964B2 (ja) | 微小周期分極反転構造形成方法及び微小周期分極反転構造 | |
JP2016024423A (ja) | 波長変換素子の製造方法および波長変換素子 | |
JP2004029348A (ja) | 光部品用基材への低抵抗部の形成方法、光部品用基材および光部品 | |
JP4194736B2 (ja) | 光波長変換素子と光波長変換装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100818 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110201 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110201 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20110401 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20110627 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20111019 |