JP2009092843A - 周期分極反転構造の製造方法 - Google Patents
周期分極反転構造の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】単分域化している強誘電体単結晶基板の主面上に設けられた電極構造を用いて、電圧印加法により周期分極反転構造を製造する。電極構造が、基板の主面1a上に設けられた複数の隙間のある絶縁膜と、絶縁膜の隙間および絶縁膜を被覆するように設けられている導電膜20とを備えている。導電膜20が、絶縁膜を被覆する絶縁膜被覆部6と、隙間を被覆する電極片部5とを備えている。電極片部5が、光の進行方向xと直交する方向yに向かって互いに離間された状態で配列されている。
【選択図】 図3
Description
電子情報通信学会論文誌 C-I, Vol. J78-C-1, No.5 pp.238-245、「電圧印加によるLiNbO3 SHGデバイス用分極反転グレーティングの作製」 金高 健二, 藤村 昌寿, 栖原 敏明, 西原 浩
電極構造が、強誘電体単結晶基板の前記主面上に設けられた複数の隙間のある絶縁膜と、この絶縁膜の隙間および絶縁膜を被覆するように設けられている導電膜とを備えており、この導電膜が、絶縁膜を被覆する絶縁膜被覆部と、隙間を被覆する電極片部とを備えており、電極片部が、光の進行方向と直交する方向に向かって互いに離間された状態で配列されていることを特徴とする。
まず、図1(a)に示すように、強誘電体結晶基板1の一方の主面1aに絶縁膜2を形成する。1bは他方の主面である。次いで、図1(b)に示すように、絶縁膜2に所定の隙間4を形成し、パターニングされた絶縁膜3を残す。絶縁膜3には、多数の隙間4が形成されており、各隙間4には基板1の主面1aが露出している。次いで、図1(c)に示すように、基板1上に導電膜20を形成する。この導電膜20は、基板主面1aの全体を被覆しており、絶縁膜3を被覆する絶縁膜被覆部6と、主面1aを直接被覆する電極片部5を備えている。基板1の他方の主面1bには一様電極7を形成する。
図1〜3を参照しつつ説明した本発明方法に従い、図2および図3に示す形状の電極を基板に形成した。ただし、基板1としては、MgO添加のLiNbO3(MgOLN)のZカット基板を使用した。基板1の+z面1aに、絶縁膜2としてSiO2膜を成膜した。絶縁膜の膜厚は約2000オングストロームとした。次いで、絶縁膜2上にフォトレジストをスピンコーティングし、マスク露光、現像を経て、レジストパターンを形成した。このレジストパターンをマスクにして、ウェットエッチング処理を行うことで、図1(b)に示すような絶縁膜パターン3を形成した。周期Γxは約7μmとし、Gyは1.2μmとした。Γyは10μmとした。
実施例1と同様にして周期分極反転構造を形成した。ただし、実施例1において、Gyを、1.2μmから2.0μmに変更した。得られた基板の表面について、実施例1と同様にしてふっ硝酸でウェットエッチングし、次いで顕微鏡で観察した。図9は、こうして得られた表面の拡大写真である。
次に、図1(a)の絶縁膜2を成膜しないで電極を形成し、周期分極反転構造を作製した。具体的には、基板1としては、MgO添加のLiNbO3(MgOLN)のZカット基板を使用した。基板1の+z面1aに、図6に示すように、蒸着法によって、タンタル膜15、17a、17b、17cおよび7を成膜した。これらの膜厚は1000オングストロームとした。周期は5μmとし、隙間tは1μmとし、電極片の線幅は0.8μmとした。
Claims (2)
- 単分域化している強誘電体単結晶基板の主面上に設けられた電極構造を用いて、電圧印加法により周期分極反転構造を製造する方法であって、
前記電極構造が、前記強誘電体単結晶基板の前記主面上に設けられた複数の隙間のある絶縁膜と、この絶縁膜の前記隙間および前記絶縁膜を被覆するように設けられている導電膜とを備えており、この導電膜が、前記絶縁膜を被覆する絶縁膜被覆部と、前記隙間を被覆する電極片部とを備えており、前記電極片部が、光の進行方向と直交する方向に向かって互いに離間された状態で配列されていることを特徴とする、周期分極反転構造の製造方法。 - 前記光の進行方向と直交する方向において隣接する前記電極片部間に間隙が設けられており、前記光の進行方向に向かって隣接する前記間隙が、前記光の進行方向と直交する方向に見て異なる位置に設けられていることを特徴とする、請求項1記載の方法。
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