JP2005189317A - 多層薄膜部品及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 膜厚が大きく、表面の平坦度が高い多層薄膜部品を提供する。
【解決手段】 複数組の薄膜フィルタ１，２をオプティカルコンタクトによって多層に接合する。薄膜フィルタ１，２同士を接合する前に、その薄膜フィルタ１，２間にアルコール８を付与してもよい。
【選択図】 図１
【解決手段】 複数組の薄膜フィルタ１，２をオプティカルコンタクトによって多層に接合する。薄膜フィルタ１，２同士を接合する前に、その薄膜フィルタ１，２間にアルコール８を付与してもよい。
【選択図】 図１
Description
この発明は例えば光通信用の多層薄膜部品及びその製造方法に関する。
従来、ポリイミド基板上に薄膜を形成し、その後基板から膜だけを剥離し、この薄膜だけで構成された光通信用薄膜フィルタがある（下記特許文献参照）。
このフィルタは光導波路中に挿入したり、フェルールに入れたりして使用される。
今後、光通信用薄膜フィルタに要求されるアイソレーション性能を得るには５０キャビティ以上の薄膜フィルタが必要になると予想される。
特開昭５７−１４８１９号公報
しかし、１０キャビティ以上の薄膜フィルタを１度に作成するのは困難であり、仮に成膜できたとしても、ポリイミド基板表面の凹凸（表面粗さ）が最上位の薄膜フィルタに多層化された分だけ増幅されて転写され、光学特性が大きく損なわれることになるという問題がある。例えば透光性が失われることがある。
この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題は、膜厚が大きく、表面の平坦度が高い多層薄膜部品及びその製造方法を提供することである。
上述の課題を解決するため請求項１記載の発明の多層薄膜部品は、複数組の薄膜フィルタを多層に接合してなることを特徴とする。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明の多層薄膜部品において、前記薄膜フィルタ同士はオプティカルコンタクトによって接合されていることを特徴とする。
請求項３記載の発明の多層薄膜部品の製造方法は、複数組の薄膜フィルタを多層に接合することを特徴とする。
請求項４記載の発明は、請求項３記載の発明の多層薄膜部品の製造方法において、前記薄膜フィルタ同士をオプティカルコンタクトによって接合することを特徴とする。
請求項５記載の発明は、請求項３又は４記載の発明の多層薄膜部品の製造方法において、前記薄膜フィルタ同士を接合する前に、その薄膜フィルタ間に所定の液体を付与する液体付与工程を含むことを特徴とする。
以上に説明したようにこの発明によれば、膜厚が大きく、表面の平坦度が高い多層薄膜部品を提供することができる。
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１はこの発明の一実施形態に係る多層薄膜部品の断面構造を示す図である。
この多層薄膜部品は、複数組の薄膜フィルタ１，２，３，４，５を多層に接合してなる。
各フィルタ１，２，３，４，５はそれぞれ例えば１０キャビティで構成される。この実施形態では、各フィルタ１，２，３，４，５の分光特性は異なる。
図２は多層薄膜部品の製造方法を説明するための図である。
まず、５枚の薄膜フィルタ１，２，３，４，５を同じ方向へ揃える。
薄膜フィルタ１，２，３，４，５には内部応力による反りがあるので、その反りの方向を合わせる必要がある。方向を揃えるときは、薄膜フィルタ１，２，３，４，５を立てて並べると扱いやすい。
次に、弱い粘着力をもつシート６上に樹脂製フィルム７を貼り付ける。
このときシート６とフィルム７との間になるべく空気が入らないようにする。
その後、１枚目の薄膜フィルタ１を樹脂製フィルム７の上に置き、ずれ防止のために軽く押す。
次に、綿棒にアルコールをつけ、薄膜フィルタ１の表面を拭く。このとき２枚目以降の薄膜フィルタ２，３，４，５の接合面を拭いておいてもよい。
その後、１枚目の薄膜フィルタ１上に極少量のアルコール（所定の液体）８を滴下する。アルコール８の代わりに純水等を用いてもよい。
次に、２枚目の薄膜フィルタ２を１枚目の薄膜フィルタ１上に載せる。
その後、２枚目の薄膜フィルタ２を押してオプティカルコンタクト（接着剤を用いずに接合する方法）させる。その結果、両フィルタ間から空気が押し出される。オプティカルコンタクト前に、予め薄膜フィルタ１，２，３，４，５を光洗浄（ＵＶ光を用いて表面の有機物を除去）しておいてもよい。これにより薄膜フィルタ１，２，３，４，５とアルコール８との濡れ性が向上するとともに、フィルタ表面の清浄度も向上する。
最後に、図示しないピンセットの先端で軽く薄膜フィルタ１，２の側面に触れ、接合具合を確認する。
以上の工程を繰り返すことにより５枚の薄膜フィルタ１，２，３，４，５を多層に接合することができる。
この実施形態によれば、膜厚が大きく、表面の平坦度が高い多層薄膜部品を提供することができる。
また、分光特性の異なる複数の薄膜フィルタ１，２，３，４，５をオプティカルコンタクトによって接合させたので、多層薄膜部品の光学特性が変化しない。
また、１０キャビティの薄膜フィルタ１，２，３，４，５を作成し、これらを多層に接合することによって５０キャビティの多層薄膜部品を作成するようにしたので、切断加工時に薄膜の応力によって破損しない。
なお、上述の実施形態では、分光特性の異なる複数の薄膜フィルタ１，２，３，４，５をオプティカルコンタクトによって接合させたが、分光特性の異ならない複数の薄膜フィルタをオプティカルコンタクトによって接合させるようにしてもよい。
１，２，３，４，５ 薄膜フィルタ
８ アルコール
８ アルコール
Claims (5)
- 複数組の薄膜フィルタを多層に接合してなることを特徴とする多層薄膜部品。
- 前記薄膜フィルタ同士はオプティカルコンタクトによって接合されていることを特徴とする請求項１記載の多層薄膜部品。
- 複数組の薄膜フィルタを多層に接合することを特徴とする多層薄膜部品の製造方法。
- 前記薄膜フィルタ同士をオプティカルコンタクトによって接合することを特徴とする請求項３記載の多層薄膜部品の製造方法。
- 前記薄膜フィルタ同士を接合する前に、その薄膜フィルタ間に所定の液体を付与する液体付与工程を含むことを特徴とする請求項３又は４記載の多層薄膜部品の製造方法。
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2003
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