JP2000235108A - 光学素子 - Google Patents

光学素子

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JP2000235108A JP11036148A JP3614899A JP2000235108A JP 2000235108 A JP2000235108 A JP 2000235108A JP 11036148 A JP11036148 A JP 11036148A JP 3614899 A JP3614899 A JP 3614899A JP 2000235108 A JP2000235108 A JP 2000235108A
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孝枝 林
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 歪みや剥離がなく、かつコストの低い異種材
料のフィルタの組み合わせによる光学素子を提供する。 【解決手段】 フォトディテクタ1と、互いに波長の異
なる光をカットする2枚のカットフィルタ2、3とによ
り構成された光学素子において、フォトディテクタ1に
第1のカットフィルタ2が、未硬化時の粘度が4000
mPa・s以下で、かつ硬化時の硬度がショアA30以
下の透明または半透明の弾性を有する接着剤9を介して
固定され、さらに、第1のカットフィルタ2に第2のカ
ットフィルタ3が、接着剤9を介して固定されて構成さ
れている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光を照射物
に照射し、その反射光を受けて照射物の信号の読み取り
を行う光学的読み出し可能な符号コードなど、例えば白
黒パターンの読み取り装置に用いられる光学素子に関す
る。
【0002】
【従来の技術】レーザ光を発光し、照射物に当たって反
射した光を効率良く受光するためのフィルタとして、バ
ンドパスフィルタが使用されている。このようなフィル
タの殆どは、必要な波長域のレーザ光のみを確実に受光
できるように特定の多層膜が蒸着されている干渉型フィ
ルタである。図3は、この干渉型フィルタ58を用いた
白黒パターン読み取り装置に組み込まれる光学素子50
の例(従来技術1)を示す。この光学素子50は、ガラ
ス入りエポキシ樹脂の内部にフォトディテクタ本体51
aを配設して成るエポキシ樹脂製フォトディテクタ51
に、アクリル系の接着剤(硬化収縮率が4〜5%程度、
硬化後の硬度がショアA50程度)54を介して干渉型
フィルタ58を取付けて構成されている。このような光
学素子50を備えた白黒パターン読み取り装置では、例
えば、赤外線の一部をカットする特性の膜と可視光の一
部をカットする特性の膜とをガラス基板に蒸着したもの
を干渉型フィルタ58として光学素子50に用いること
により、白黒パターンの読み取りに必要な波長域630
nm〜670nmのレーザ光のみを受光している。
【0003】しかしながら、上記のガラス基板への蒸着
による赤外線の一部および可視光の一部をカットする両
方の特性を有する多層膜コーティングはコスト高とな
り、干渉型フィルタは高価となる。また、前記多層膜は
ガラス基板の一方の面に形成されていることが多いが、
高精度の機能を持つ干渉型フィルタであるほど膜の層数
が増え、フィルタの製造が難しくなり、また傷が付きや
すくなるなど、フィルタの表面状態が悪くなるという欠
点がある。
【0004】この欠点を解消するために、「内視鏡光学
系」として、実開平6−63009号公報所載の技術
(従来技術2)が開示されている。図4において、レー
ザ光カットフィルタ63は、透明ガラス基板である赤外
吸収フィルタ64をフィルタ基板として、互いに異なる
波長のレーザ光をカットする干渉膜65、66を赤外吸
収フィルタ64の両面に設けている。このレーザ光カッ
トフィルタ63を、観察光学系の光路内に配設して、レ
ーザ光の照射物からの有害な反射光をカットし、平常状
態の観察画像を得るというものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従来技術2において、
フィルタ基板の両面にそれぞれ異なる波長のレーザ光を
カットする特性の干渉膜を設けることは、一方の面に設
けるのに比べて、干渉型フィルタの製造上において有利
である。しかし、従来技術2においても、依然として蒸
着により得られる膜を干渉膜としているので、コスト上
および製造上の問題がある。このため、蒸着によって得
られる干渉型フィルタに替えて、コストの低い樹脂製フ
ィルタを2枚、前記アクリル系接着剤を介して接着して
一体化し、これをさらに、前記アクリル系接着剤を介し
て図3に示したエポキシ樹脂製フォトディテクタ51に
接着固定した構成にすると、温湿度の影響でこの光学素
子の精度は大幅に低下した。また、コストの低い樹脂製
フィルタと温湿度の影響を受け難いガラス製フィルタと
を、前記アクリル系接着剤を介して接着して一体化し、
これをさらに、前記アクリル系接着剤を介して図3に示
したエポキシ樹脂製フォトディテクタ51に接着固定し
た構成にすると、2枚のフィルタが異種材料であるため
に起因する熱膨張係数の差により、接合面に歪みや剥離
が発生した。
【0006】本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなさ
れたもので、請求項1、2、3、4または5に係る発明
の課題は、歪みや剥離がなく、かつコストの低い異種材
料のフィルタの組み合わせによる光学素子を提供するこ
とである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項1、2、3、4または5に係る発明は、フォ
トディテクタと、互いに波長の異なる光をカットする2
枚のカットフィルタとにより構成された光学素子におい
て、前記フォトディテクタに第1のカットフィルタが、
未硬化時の粘度が4000mPa・s以下で、かつ硬化
時の硬度がショアA30以下の透明または半透明の弾性
を有する接着剤を介して固定され、さらに、前記第1の
カットフィルタに第2のカットフィルタが、前記接着剤
を介して固定されて構成されている。
【0008】請求項1、2、3、4または5に係る発明
の光学素子では、2枚のカットフィルタが互いに波長の
異なる光をそれぞれカットするとともに、未硬化時の粘
度が4000mPa・s以下で、かつ硬化時の硬度がシ
ョアA30以下の透明または半透明の弾性を有する接着
剤が被着体である2枚のカットフィルタおよびフォトデ
ィテクタの温度変化により発生する応力を緩和する。
【0009】請求項2または5に係る発明の光学素子で
は、上記作用に加え、第1のカットフィルタは樹脂から
なり、第2のカットフィルタはガラスからなることによ
り、第2のカットフィルタが、樹脂製の第1のカットフ
ィルタおよび接着剤層への湿気の侵入を抑制する。
【0010】請求項3または5に係る発明の光学素子で
は、上記作用に加え、2枚のカットフィルタの内、一方
のカットフィルタは赤外線をカットし、他方のカットフ
ィルタは可視光をカットするものであることにより、発
生頻度の高い照射物からの有害な反射光をカットする。
【0011】請求項4に係る発明の光学素子では、上記
作用に加え、弾性を有する接着剤が、常温で硬化するシ
リコーン接着剤または紫外線硬化性を付与した湿気硬化
型シリコーン接着剤であることにより、これらの接着剤
の硬化収縮率は1%以下であるため、カットフィルタな
どの被着体の熱膨張係数の差が大きく、伸縮量に違いが
ある場合でも、自らが変形して各被着体の変形を緩和す
る。
【0012】請求項5に係る発明の光学素子では、上記
作用に加え、2枚のカットフィルタを介した場合のレー
ザ光の透過波長域が630〜670nmであり、該透過
波長域の透過率が82%以上であることにより、受光感
度を損なうことがない。
【0013】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態では、光学素
子の最上面になるカットフィルタを吸湿性のないガラス
製フィルタにすることにより、下方に構成された接着剤
層や樹脂製フィルタへの湿気の侵入を抑制できる。ま
た、接着剤の被着体であるフォトディテクタと樹脂製フ
ィルタ、樹脂製フィルタとガラス製フィルタを、弾性を
有する接着剤などで接着することにより、各被着体の温
度変化により発生する応力を緩和することができる。
【0014】フォトディテクタと樹脂製フィルタ、樹脂
製フィルタとガラス製フィルタを接着する接着剤は、未
硬化時の粘度が4000mPa・s以下、望ましくは2
000mPa・s以下で、且つ、完全硬化後の硬度がシ
ョアA30以下、望ましくはショアA25以下である。
粘度が4000mPa・sより高いと接着剤層の膜厚が
厚くなり、均一な膜厚が得られ難く、透過率の低下につ
ながる。硬度がショアA30より大きい場合は、熱膨張
係数の差が大きい被着体同士の接着剤層では、温度変化
で接着剤層が柔軟に変形し難く、被着体の歪みを緩和し
難くなるため、光学素子の光学性能が低下する。
【0015】光学素子の接合フィルタは、レーザ光の透
過波長域が630〜670nmであり、同波長域の透過
率が82%以上、望ましくは90%以上である。82%
より少ないと、受光感度が悪くなり、符号コードなどの
読み取りができなくなる。以下、具体的な実施の形態に
ついて説明する。
【0016】(実施の形態1)図1は実施の形態1を示
し、光学素子の構成図である。図1において、光学素子
6は、主に、ガラス入りエポキシ樹脂の内部にフォトデ
ィテクタ本体1aを配設してなるエポキシ樹脂製のフォ
トディテクタ1と、厚さが0.2mmで630nm未満
の波長をカットする機能を有する塩化ビニル製の可視光
カットフィルタ2と、厚さが0.5mmで730nmを
超える波長をカットする機能を有するガラス製の赤外線
カットフィルタ3とにより構成されている。接着剤の各
被着体であるフォトディテクタ1、可視光カットフィル
タ2および赤外線カットフィルタ3は、互いに室温硬化
タイプのシリコーン接着剤9により接着されている。ま
た、シリコーン接着剤9で接着された可視光カットフィ
ルタ2および赤外線カットフィルタ3は、接合フィルタ
5を構成している。上記構成の光学素子6は、接合フィ
ルタ5の波長域630〜670nmにおける透過率が8
2%となった。
【0017】つぎに、光学素子6の製造方法を説明す
る。透過率90%の可視光カットフィルタ2と、透過率
95%の赤外線カットフィルタ3とを、未硬化時の粘度
が1500mPa・sで、完全硬化時の硬度がショアA
19で透明な室温硬化タイプの弾性を有するシリコーン
接着剤9を介して貼り合わせ、この接着剤層の厚さを約
6μmとして室温下で1時間以上放置し仮硬化させ、接
合フィルタ5を作製する。なお、可視光カットフィルタ
2へのシリコーン接着剤9の接着性を向上させるため
に、シランカップリング剤のエタノール3wt%希釈液
7を可視光カットフィルタ2の接合面に予め塗布して乾
燥させている。さらに、フォトディテクタ1上に、シリ
コーン接着剤9を介して、接合フィルタ5の可視光カッ
トフィルタ2側の面を貼り合わせ、この接着剤層の厚さ
を約6μmとして室温で24時間以上放置して完全硬化
させ、光学素子6を得る。
【0018】硬化したシリコーン接着剤9は、硬化収縮
率が1%以下であるので、被着体である可視光カットフ
ィルタ2と赤外線カットフィルタ3、またはフォトディ
テクタ1と可視光カットフィルタ2の熱膨張係数の差が
大きくて伸縮量に違いがある場合でも、自らが変形して
各被着体の変形(歪み)を緩和する。また、光学素子6
の表面側に配置されたガラス製の赤外線カットフィルタ
3が、その厚さ方向からの湿気の侵入を抑制する。下記
の表1は、本実施の形態のシリコーン接着剤9と従来の
光学用の紫外線硬化型接着剤との機械的特性を比較した
ものである。表1によれば、本実施の形態のシリコーン
接着剤9は、耐性試験後であっても歪みは発生していな
い。
【0019】
【表1】
【0020】本実施の形態によれば、各被着体を結合す
る硬化したシリコーン接着剤が、温度変化による各被着
体の熱膨張係数の差による伸縮量に違いがあっても、自
らが変形して各被着体の変形を緩和し、被着体の変形
(歪み)による光学素子の光学特性の低下を防止するこ
とができる。また、湿気を殆ど吸収しないガラス製赤外
線カットフィルタが、その厚さ方向からの湿気の侵入を
抑制するため、接着剤層の吸水による膨潤で、接着力の
低下や接合面の剥離が発生することはない。さらに、エ
ポキシ樹脂からなるフォトディテクタと塩化ビニル製の
可視光カットフィルタとの接合により低コストになり、
接合フィルタの透過率が82%以上を維持し、受光感度
を損なうことのない光学素子を得ることができる。
【0021】(実施の形態2)図2は実施の形態2を示
し、光学素子の構成図である。本実施の形態は、実施の
形態1と接着剤およびこれに関連する部分のみが異な
り、他の部分は実施の形態1と同様のため、異なる部分
のみ説明し、同一の部材には同一の符号を付し説明を省
略する。
【0022】図2において、光学素子16は、実施の形
態1と同様に、主に、ガラス入りエポキシ樹脂の内部に
フォトディテクタ本体1aを配設してなるフォトディテ
クタ1と、塩化ビニル製の可視光カットフィルタ2と、
ガラス製の赤外線カットフィルタ3とにより構成されて
いる。接着剤の各被着体であるフォトディテクタ1、可
視光カットフィルタ2および赤外線カットフィルタ3
は、実施の形態1の室温硬化タイプの弾性のあるシリコ
ーン接着剤9(図1参照)に替えて、未硬化時の粘度4
000mPa・sで、完全硬化時の硬度がショアA25
で半透明の紫外線硬化性を付与した湿気硬化型シリコー
ン接着剤10により接着されている。また、紫外線硬化
性を付与した湿気硬化型シリコーン接着剤10で接着さ
れた可視光カットフィルタ2および赤外線カットフィル
タ3は、接合フィルタ15を構成している。その他の構
成は実施の形態1と同様である。上記構成の光学素子1
6は、接合フィルタ15の波長域630〜670nmに
おける透過率が86%となった。
【0023】つぎに、光学素子16の製造方法を説明す
る。可視光カットフィルタ2と、赤外線カットフィルタ
3とを、紫外線硬化性を付与した湿気硬化型シリコーン
接着剤10を介して貼り合わせ、この接着剤層の厚さを
約10〜12μmとし、赤外線カットフィルタ3側より
接合面全面に紫外線を4500mJ/cm2 以上照射し
て紫外線硬化させ、接合フィルタ15を得る。さらに、
フォトディテクタ1上に紫外線硬化性を付与した湿気硬
化型シリコーン接着剤10を介して、接合フィルタ15
の可視光カットフィルタ2側の面を貼り合わせ、この接
着剤層の厚さを約10〜12μmとし、光学素子16の
フィルタ接合部側面より、紫外線を4500mJ/cm
2 以上照射して紫外線硬化させる。紫外線が届かない接
合部は、室温で24時間以上放置して硬化させ、光学素
子16を得る。
【0024】硬化した紫外線硬化性を付与した湿気硬化
型シリコーン接着剤10は、硬化収縮率が1%以下であ
るので、被着体である可視光カットフィルタ2と赤外線
カットフィルタ3、またはフォトディテクタ1と可視光
カットフィルタ2の熱膨張係数の差が大きくて伸縮量に
違いがある場合でも、自らが変形して各被着体の変形
(歪み)を抑制する。また、光学素子16の表面側に配
置されたガラス製の赤外線カットフィルタ3が、その厚
さ方向からの湿気の侵入を抑制する。さらに、紫外線硬
化性を付与した湿気硬化型シリコーン接着剤10が、紫
外線で硬化し、被着体が瞬時に固定される。上記の表1
では、本実施の形態の紫外線硬化性を付与した湿気硬化
型シリコーン接着剤10と従来の光学用の紫外線硬化型
接着剤との機械的特性を比較している。表1によれば、
本実施の形態の紫外線硬化性を付与した湿気硬化型シリ
コーン接着剤10は、耐性試験後であっても歪みは発生
していない。
【0025】本実施の形態によれば、各被着体を結合す
る硬化した紫外線硬化性を付与した湿気硬化型シリコー
ン接着剤が、温度変化による各被着体の熱膨張係数の差
による伸縮量に違いがあっても、自らが変形して各被着
体の変形を緩和し、被着体の変形(歪み)による光学素
子の光学特性の低下を防止することができる。また、湿
気を殆ど吸収しないガラス製赤外線カットフィルタが、
その厚さ方向からの湿気の侵入を抑制するため、接着剤
層の吸水による膨潤で、接着力の低下や接合面の剥離が
発生することはない。さらに、エポキシ樹脂からなるフ
ォトディテクタと塩化ビニル製の可視光カットフィルタ
との接合により低コストになり、接合フィルタの透過率
が86%以上を維持し、実施の形態1より受光感度の高
い光学素子を得ることができる。また、紫外線硬化性を
付与した湿気硬化型シリコーン接着剤が、紫外線で瞬時
に硬化し、接着力を発揮するため、位置ズレを起こし難
く、また、つぎの作業が可能となるため時間のロスが少
なく、短時間で光学素子を完成させることができる。
【0026】実施の形態1および2では、フォトディテ
クタの上に、第1のカットフィルタとして塩化ビニル製
の可視光カットフィルタを配設し、さらにその上に第2
のカットフィルタとしてガラス製の赤外線カットフィル
タを配設するという構成にしたが、第1のカットフィル
タを樹脂製の赤外線カットフィルタとし、さらにその上
に第2のカットフィルタとしてガラス製の可視光カット
フィルタを配設するようにしてもよい。
【0027】
【発明の効果】請求項1、2、3、4または5に係る発
明によれば、歪みや剥離がなく、かつコストの低い異種
材料のフィルタの組み合わせによる光学素子を提供する
ことができる。請求項2または5に係る発明によれば、
上記効果に加え、第2のカットフィルタが、樹脂製の第
1のカットフィルタおよび接着剤層への湿気の侵入を抑
制するので、接着剤層の吸水による膨潤で、接着力の低
下や接合面の剥離が発生することはない。請求項3また
は5に係る発明によれば、上記効果に加え、発生頻度の
高い照射物からの有害な反射光をカットするので、平常
状態の読み取り機能を維持することができる。請求項4
に係る発明によれば、上記効果に加え、接着剤の硬化収
縮率は1%以下であるため、カットフィルタなどの被着
体の熱膨張係数の差が大きく、伸縮量に違いがある場合
でも、自らが変形して各被着体の変形を抑制するので、
光学素子の光学特性を低下させることはない。請求項5
に係る発明によれば、上記効果に加え、受光感度を損な
うことがないので、光学素子の光学特性を充足させる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施の形態1の光学素子の構成図である。
【図2】実施の形態2の光学素子の構成図である。
【図3】従来技術1の光学素子の構成図である。
【図4】従来技術2のレーザ光カットフィルタの構成図
である。
【符号の説明】
1 フォトディテクタ 2 可視光カットフィルタ 3 赤外線カットフィルタ 9 シリコーン接着剤
フロントページの続き Fターム(参考) 2H043 AE02 2H048 AA05 AA07 AA12 AA16 AA18 AA24 AA27 4J040 EK031 JB04 JB08 JB11 LA01 LA06 LA10 MA05 MA10 NA17 5F072 JJ05 JJ08 KK30 RR01 RR03 YY15

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 フォトディテクタと、互いに波長の異な
    る光をカットする2枚のカットフィルタとにより構成さ
    れた光学素子において、 前記フォトディテクタに第1のカットフィルタが、未硬
    化時の粘度が4000mPa・s以下で、かつ硬化時の
    硬度がショアA30以下の透明または半透明の弾性を有
    する接着剤を介して固定され、さらに、前記第1のカッ
    トフィルタに第2のカットフィルタが、前記接着剤を介
    して固定されて構成されていることを特徴とする光学素
    子。
  2. 【請求項2】 前記第1のカットフィルタは樹脂からな
    り、前記第2のカットフィルタはガラスからなることを
    特徴とする請求項1記載の光学素子。
  3. 【請求項3】 前記2枚のカットフィルタの内、一方の
    カットフィルタは赤外線をカットし、他方のカットフィ
    ルタは可視光をカットするものであることを特徴とする
    請求項1記載の光学素子。
  4. 【請求項4】 前記弾性を有する接着剤が、常温で硬化
    するシリコーン接着剤または紫外線硬化性を付与した湿
    気硬化型シリコーン接着剤であることを特徴とする請求
    項1記載の光学素子。
  5. 【請求項5】 前記2個のカットフィルタを介した場合
    のレーザ光の透過波長域が630〜670nmであり、
    該透過波長域の透過率が82%以上であることを特徴と
    する請求項1、2または3記載の光学素子。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003035788A1 (fr) * 2001-10-23 2003-05-01 Nippon Sheet Glass Co., Ltd. Procede de fabrication d'un element optique
EP1462826A1 (de) * 2003-03-28 2004-09-29 Agfa-Gevaert AG Vorrichtung zum Erfassen von in einer Phosphorschicht enthaltenen Bildinformationen
EP1469326A1 (de) * 2003-03-28 2004-10-20 Agfa-Gevaert AG Vorrichtung zum Erfassen von in einer Phosphorschicht enthaltenen Bildinformationen
JP2005189317A (ja) * 2003-12-24 2005-07-14 Nikon Corp 多層薄膜部品及びその製造方法
DE102006039894A1 (de) * 2006-08-25 2008-03-13 Carl Zeiss Smt Ag Baugruppe, optisches System und Verfahren zur Herstellung einer Baugruppe
JP2009132749A (ja) * 2007-11-28 2009-06-18 Seiko Epson Corp 接合方法および接合体
JP2010184500A (ja) * 2010-04-27 2010-08-26 Seiko Epson Corp 接合方法および接合体
US8486218B2 (en) 2008-03-06 2013-07-16 Seiko Epson Corporation Method of manufacturing a part of a MEMS system

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003035788A1 (fr) * 2001-10-23 2003-05-01 Nippon Sheet Glass Co., Ltd. Procede de fabrication d'un element optique
US6743517B2 (en) 2001-10-23 2004-06-01 Nippon Sheet Glass Co., Ltd. Process for producing optical element
US7176476B2 (en) 2003-03-28 2007-02-13 Agfa- Gevaert Healthcare Gmbh Device for acquiring information contained in a phosphor layer
EP1469326A1 (de) * 2003-03-28 2004-10-20 Agfa-Gevaert AG Vorrichtung zum Erfassen von in einer Phosphorschicht enthaltenen Bildinformationen
US7071484B2 (en) 2003-03-28 2006-07-04 Agfa-Gevaert Healthcare Gmbh Device for acquiring information contained in a phosphor layer
EP1462826A1 (de) * 2003-03-28 2004-09-29 Agfa-Gevaert AG Vorrichtung zum Erfassen von in einer Phosphorschicht enthaltenen Bildinformationen
JP2005189317A (ja) * 2003-12-24 2005-07-14 Nikon Corp 多層薄膜部品及びその製造方法
DE102006039894A1 (de) * 2006-08-25 2008-03-13 Carl Zeiss Smt Ag Baugruppe, optisches System und Verfahren zur Herstellung einer Baugruppe
JP2009132749A (ja) * 2007-11-28 2009-06-18 Seiko Epson Corp 接合方法および接合体
US8617340B2 (en) 2007-11-28 2013-12-31 Seiko Epson Corporation Bonding method and bonded body
US8679283B2 (en) 2007-11-28 2014-03-25 Seiko Epson Corporation Bonding method and bonded body
US8486218B2 (en) 2008-03-06 2013-07-16 Seiko Epson Corporation Method of manufacturing a part of a MEMS system
JP2010184500A (ja) * 2010-04-27 2010-08-26 Seiko Epson Corp 接合方法および接合体

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