JP2005175401A - 反応容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】略球状の内壁面を有する内壁部材2a、2bと、内壁部材2a、2bに密着して形成され又は内壁部材2a、2b中に埋設されたヒータエレメント7と、を有することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
実施例として、図1に示す形状の反応容器1を使用した。より具体的には、直径φ400[mm]、反応容器1の隔壁を構成する内壁部材2a、2bの厚さが10[mm]であり、ガス導入口3及びガス排気口5の直径φが5[mm]である反応容器1を使用した。
本比較例では、ドーム型の反応容器を使用した。より具体的には、ドーム型の反応容器底部に、シャフトが取り付けられた円盤形状のサセプターを配置した。円盤形状のサセプターは、熱伝導率170[W/mK]の窒化アルミニウム(AlN)から形成したものであり、サセプターの内部にWから形成したヒータエレメントを略同心円状に均等な間隔をあけて埋設している。サセプターの寸法は、直径φ330[mm]、厚さ10[mm]とした。
2a、2b…内壁部材
3…ガス導入口
4…ガス供給手段
5…ガス排気口
6…ガス排気手段
7…ヒータエレメント
9…熱線反射膜
10…サセプター
11…シリコンウエハー
12a,12b…金型
13…鋳型
14…凸状部
15…原料スラリー
16…貫通孔
17…成形体
Claims (11)
- 略球状の内壁面を有する内壁部材と、前記内壁部材に密着して形成され又は前記内壁部材中に埋設されたヒータエレメントと、を有することを特徴とする反応容器。
- 前記内壁面に形成された熱線反射膜を有することを特徴とする請求項1記載の反応容器。
- 前記反応容器の内部に配置され、被処理物を点接触により支持するサセプターを有することを特徴とする請求項1記載の反応容器。
- 略球状の内壁部材中に1個以上の貫通孔を形成して、ガス導入口及びガス排気口を構成したことを特徴とする請求項1記載の反応容器。
- 前記内壁部材は、2個のドーム型の内壁部材を当接して略球状に構成したことを特徴とする請求項1記載の反応容器。
- 前記内壁部材は、金属材料又はセラミックス材料のいずれかにより形成されることを特徴とする請求項1記載の反応容器。
- 前記セラミックス材料は、アルミナ、窒化珪素、窒化アルミニウム及び炭化珪素の中から選択される1種又は2種以上を組み合わせた材料であることを特徴とする請求項6記載の反応容器。
- 前記金属材料は、アルミニウム、アルミニウム合金及び銅、銅合金の中から選択される1種又は2種以上を組み合わせた材料であることを特徴とする請求項6記載の反応容器。
- 前記内壁部材は、表面に酸化皮膜が形成されたことを特徴とする請求項1、5又は6に記載の反応容器。
- 前記ヒータエレメントは、高融点金属を主成分としたバルク体又は線状、リボン状又はメッシュ状のいずれかの形状としたものであることを特徴とする請求項1記載の反応容器。
- 前記高融点金属は、Mo、W、WC及びMo2C、W/Mo合金の中から選択されるいずれか1種又は2種以上の金属であることを特徴とする請求項10記載の反応容器。
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