JP2008227033A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理チャンバー2と、処理チャンバー2内で半導体ウエハWを支持する支持ピン3と、処理ガス供給源12と、半導体ウエハWと対向するように設けられ、通電により発熱可能で、かつ、処理ガスと接触することにより触媒作用でラジカルを発生させる触媒発熱部材8と、触媒発熱部材8に通電する直流電源9と、支持ピン3を移動させ、触媒発熱部材8と半導体ウエハWを近接、離間させて半導体ウエハWの温度を制御する駆動機構4を具備している。
【選択図】図1
Description
Claims (6)
- 被処理基板を収容して処理するための処理チャンバーと、
前記処理チャンバー内で前記被処理基板を支持する支持部材と、
前記被処理基板を処理するためのラジガルを発生させる処理ガスを前記処理チャンバー内に供給する処理ガス供給機構と、
前記被処理基板と対向するように設けられ、通電により発熱可能で、かつ、前記処理ガスと接触することにより触媒作用でラジカルを発生させる触媒発熱部材と、
前記触媒発熱部材に通電して当該触媒発熱部材を発熱させる電力供給機構と、
前記支持部材を移動させ、前記触媒発熱部材と前記被処理基板を近接、離間させて前記被処理基板の温度を制御する駆動機構と
を具備したことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1記載の基板処理装置であって、
前記触媒発熱部材と、前記支持部材との間に、前記触媒発熱部材からの輻射熱を透過させる材料からなり、前記ラジカルが通過可能な複数の透孔を備えた板状部材を配設したことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2記載の基板処理装置であって、
前記板状部材の前記触媒発熱部材側の前記処理チャンバー内の圧力が、前記板状部材の前記支持部材側の前記処理チャンバー内の圧力より高くされることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2又は3記載の基板処理装置であって、
前記板状部材が石英からなることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1〜4いずれか1項記載の基板処理装置であって、
前記触媒発熱部材は、W、SiC、Ptのいずれかから構成されることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1〜5いずれか1項記載の基板処理装であって、
前記処理ガスが水素ガスであることを特徴とする基板処理装置。
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