JP2006270004A - レジスト膜の除去方法および除去装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 チャンバー1内に基板温度を制御し得る載置台2、基板3、熱触媒となるタングステンワイア4、および気体導入口5を備え、また、チャンバーには、気体導入口5につながる気体導入配管6および減圧用排気管7を配備している。これにより、水素ラジカル(H*)の密度が1013cm-3〜1015cm-3の高密度の範囲で適宜選定すると、基板温度150〜250℃の範囲でエッチング速度500nm/min.以上の高エッチングレートによるレジスト剥離の高作業性を実現することができる。
【選択図】 図2
Description
3rd International Conference on Hot-Wire CVD(Cat-CVD)Process.(2004.8)Kouhei Hashimoto,Atsushi Masuda,Hideki Matsumura,Tomoatsu Ishibashi and Kazuhisa Takao:Systematic Study on Photoresist Removal Using Hydrogen Atoms Generated on Heated Catalyzer.
2 載置台
3 基板
4 タングステンワイア
5 気体導入口板
6 気体導入配管
7 減圧用排気管
8 レジスト膜
9 自動圧力制御装置(APC)
10 バルブ
11 バルブ
Claims (5)
- 基板上のレジスト膜を、水素ラジカル密度1013cm-3〜1015cm-3の気圏中で、エッチング除去することを特徴とするレジスト膜の除去方法。
- 前記基板の温度を150℃〜300℃に保って、前記熱触媒の温度を1600℃〜2000℃に維持することを特徴とする請求項1に記載のレジスト膜の除去方法。
- チャンバー内に高温金属による熱触媒を設置して、前記熱触媒に水素を作用させて、水素ラジカル密度1013cm-3〜1015cm-3の水素ラジカル生成過程をそなえたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のレジスト膜の除去方法。
- チャンバー内に高温金属による熱触媒を設置して、前記熱触媒に水素を作用させて、前記チャンバー内の水素ラジカル密度を1013cm-3〜1015cm-3に維持し、基板の温度を150℃〜300℃に保って、前記基板上のレジスト膜をエッチング除去するレジスト膜の除去装置。
- 前記熱触媒の温度を制御し、チャンバー内の水素ラジカル密度を規制する高周波加熱遠隔制御部をそなえた請求項4に記載のレジスト膜の除去装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP (1) | JP2006270004A (ja) |
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