JP2005175295A - 半導体光素子及び光モジュール - Google Patents
半導体光素子及び光モジュール Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005175295A JP2005175295A JP2003415251A JP2003415251A JP2005175295A JP 2005175295 A JP2005175295 A JP 2005175295A JP 2003415251 A JP2003415251 A JP 2003415251A JP 2003415251 A JP2003415251 A JP 2003415251A JP 2005175295 A JP2005175295 A JP 2005175295A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- optical device
- semiconductor optical
- active region
- composition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y20/00—Nanooptics, e.g. quantum optics or photonic crystals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/34—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers
- H01S5/343—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser
- H01S5/34313—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser with a well layer having only As as V-compound, e.g. AlGaAs, InGaAs
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/02208—Mountings; Housings characterised by the shape of the housings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/0225—Out-coupling of light
- H01S5/02251—Out-coupling of light using optical fibres
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/068—Stabilisation of laser output parameters
- H01S5/0683—Stabilisation of laser output parameters by monitoring the optical output parameters
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
- H01S5/22—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure
- H01S5/2205—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure comprising special burying or current confinement layers
- H01S5/2222—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure comprising special burying or current confinement layers having special electric properties
- H01S5/2224—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure comprising special burying or current confinement layers having special electric properties semi-insulating semiconductors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
- H01S5/22—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure
- H01S5/227—Buried mesa structure ; Striped active layer
- H01S5/2275—Buried mesa structure ; Striped active layer mesa created by etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/34—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers
- H01S5/3403—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers having a strained layer structure in which the strain performs a special function, e.g. general strain effects, strain versus polarisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/34—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers
- H01S5/343—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser
- H01S5/34306—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser emitting light at a wavelength longer than 1000nm, e.g. InP based 1300 and 1500nm lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/34—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers
- H01S5/343—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser
- H01S5/34346—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser characterised by the materials of the barrier layers
- H01S5/34366—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser characterised by the materials of the barrier layers based on InGa(Al)AS
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
【解決手段】 再成長層の結晶とAl組成の関係を詳細に検討し、Al組成を低減した引っ張り歪の量子井戸層を用いることにより、素子特性の向上と長期信頼性を実現した。
【選択図】 図5
Description
(1)本発明の第1の形態は、InP基板と、前記InP基板上部に量子井戸構造で構成された活性領域と、前記活性領域の上下に光ガイド層と、クラッド層を有し、光の出射方向と交差する方向の側面において、前記活性領域の側面が前記量子井戸層のバンドギャップエネルギーより大きなバンドギャップエネルギーを有する半導体層で埋め込まれており、前記量子井戸層のAl組成が0≦Al組成比≦0.13のInGaAlAsなる化合物半導体層の群から選ばれた少なくとも一者からなることを特徴とする半導体光素子である。
(2)本発明の第2の形態は、前記量子井戸層のAl組成が0.01≦Al組成比≦0.1の範囲にあることを特徴とする前項(1)に記載の半導体光素子である。
(3)本発明の第3の形態は、前記InGaAlAsが、当該4元系化合物半導体材料(In1-x-yGaxAlyAs)の組成図において、A(In:0.87、Ga:0、Al:0.13)、B(In:1.0、Ga:0、Al:0)、C(In:0、Ga:1.0、Al:0)、D(In:0、Ga:0.87、Al:0.13)の範囲内から選ばれた少なくとも一者からなることを特徴とする前項(1)に記載の半導体光素子。
(4)本発明の第4の形態は、InP基板と、前記InP基板上部に量子井戸構造で構成された活性領域と、前記活性領域の上下に光ガイド層、クラッド層を有し、光の出射方向と交差する方向の側面において、前記活性領域の側面が前記量子井戸層のバンドギャップエネルギーより大きなバンドギャップエネルギーを有する半導体層で埋め込まれており、前記量子井戸層が引引っ張り歪を有することを特徴とする半導体光素子である。
(5)本発明の第5の形態は、前記InGaAlAs層が、引っ張り歪を有することを特徴とする前項(1)に記載の半導体光素子である。
(6)本発明の第6の形態は、前記活性領域からの発光波長が、1.25μmより1.35μmの範囲内にあることを特徴とする前項(5)に記載の半導体光素子である。
(7)本発明の第7の形態は、前記InGaAlAs層が、当該4元系化合物半導体材料(In1-x-yGaxAlyAs)の組成図において、H(In:0.53、Ga:0.34、Al:0.13)、I(In:0.53、Ga:0.4、Al:0.07)、J(In:0.4、Ga:0.6、Al:0)、K(In:0.26、Ga:0.74、Al:0)、L(In:0.46、Ga:0.41、Al:0.13)の範囲内から選ばれた少なくとも一者からなり、引っ張り歪を有することを特徴とする前項(5)に記載の半導体光素子。
(8)本発明の第8の形態は、前記活性領域からの発光波長が、1.25μmより1.35μmの範囲内にあり、前記InGaAlAs層が、当該4元系化合物半導体材料(In1-x-yGaxAlyAs)の組成図において、H(In:0.53、Ga:0.34、Al:0.13)、I(In:0.53、Ga:0.4、Al:0.07)、J(In:0.4、Ga:0.6、Al:0)、K(In:0.26、Ga:0.74、Al:0)、L(In:0.46、Ga:0.41、Al:0.13)の範囲内から選ばれた少なくとも一者からなることを特徴とする前項(5)に記載の半導体光素子である。
(9)本発明の第9の形態は、前記活性領域を構成する障壁層がp型のドーピングがなされたことを特徴とする前項(6)に記載の半導体光素子である。
(10)本発明の第10の形態は、前記活性領域を構成する障壁層がp型のドーピングがなされたことを特徴とする前項(7)に記載の半導体光素子である。
(11)本発明の第11の形態は、前記活性領域を構成する障壁層がp型のドーピングがなされたことを特徴とする前項(8)に記載の半導体光素子である。
(12)本発明の第12の形態は、前記活性領域からの発光波長が、1.36μmより1.49μmの範囲内にあることを特徴とする前項(1)に記載の半導体光素子である。
(13)本発明の第13の形態は、当該4元系化合物半導体材料(In1-x-yGaxAlyAs)の組成図において、O(In:0.76、Ga:0.11、Al:0.13)、P(In:0.5、Ga:0.5、Al:0)、Q(In:0.34、Ga:0.66、Al:0)、R(In:0.55、Ga:0.32、Al:0.13)の範囲内から選ばれた少なくとも一者からなることを特徴とする前項(1)に記載の半導体光素子である。
(14)本発明の第14の形態は、当該4元系化合物半導体材料(In1-x-yGaxAlyAs)の組成図において、O(In:0.76、Ga:0.11、Al:0.13)、P(In:0.5、Ga:0.5、Al:0.)、Q(In:0.34、Ga:0.66、Al:0)、R(In:0.55、Ga:0.32、Al:0.13)の範囲内から選ばれた少なくとも一者からなり、前記活性領域からの発光波長が、1.36μmより1.49μmの範囲内にあることを特徴とする前項(1)に記載の半導体光素子である。
(15)本発明の第15の形態は、前記活性領域を構成する障壁層がp型のドーピングがなされたことを特徴とする前項(12)に記載の半導体光素子である。
(16)本発明の第16の形態は、前記活性領域を構成する障壁層がp型のドーピングがなされたことを特徴とする前項(13)に記載の半導体光素子である。
(17)本発明の第17の形態は、前記活性領域を構成する障壁層がp型のドーピングがなされたことを特徴とする前項(14)に記載の半導体光素子である。
(18)本願発明の第18の形態は、これまで説明してきた諸半導体光素子を送信側光源に搭載した光モジュールである。こうした光モジュールでは、モジュールの封止構造が非気密封止であり、モジュール内に温度調節器を搭載せずとも十分特性を確保出来る。
図8は、本発明の1.3μm帯の埋め込み型半導体レーザ素子のレーザ光の進行方向と交差する面での断面図である。有機金属気相成長法により、n−InP基板1上にn−InPバッファ層2(Si濃度:1×1018cm−3、500nm膜厚)、n−In0.52Ga0.08Al0.40Asガイド層3(80nm膜厚、InP基板に格子整合、波長:920nm、Si濃度:1×1018cm−3)を積層した後、歪量子井戸構造6(9周期)、アンドープIn0.52Ga0.08Al0.40Asガイド層7(80nm膜厚、InP基板に格子整合、波長:920nm)、p−In0.52Al0.48Asクラッド層8(100nm膜厚、InP基板に格子整合、Zn濃度:2×1017cm−3)、p−InPクラッド層9(200nm、Zn濃度:2×1017cm−3)、p−InPクラッド層10(1500nm膜厚、Zn濃度:8×1017cm−3)、p−InGaAsコンタクト層11(200nm膜厚、InP基板に格子整合、Zn濃度:2×1019cm−3)を順次成長した。尚、前記歪量子井戸構造6は、アンドープIn0.38Ga0.56Al0.06As歪量子井戸層4(歪量:−1.0%、8nm膜厚)、アンドープIn0.52Ga0.16Al0.32As障壁層5(10nm膜厚、InP基板に格子整合、波長:1000nm)で構成される。
図9は、p−n接合を有する埋め込み層を用いたInP埋め込み型の半導体レーザ素子の例で、図8と同様に、レーザ光の進行方向と交差する面での断面図である。
本例はp型の変調ドープ多重量子井戸構造に適用した例である。図10は、変調ドープ多重量子井戸構造のレーザ光の進行方向と交差する面での断面図である。
本例は、活性層の発光波長が1.36μm〜1.49μmにある半導体光素子に関する本発明の例である。こうした例は、ラマンアンプ用励起光源や1.48μmにあるファイバーアンプ用励起光源に適用して有用である。
本例は光モジュールの例を説明するものである。図11は、本発明の半導体光素子を光モジュールに搭載したときの概略平面図である。図12はそのマウント部分の斜視図である。光モジュールのケース40に、本願発明の係わるInGaAlAs系半導体レーザ素子42が収納される。半導体レーザ素子42はサブマウント43に搭載され、このサブマウント43は所定のレーザ搭載用基板41上に設置されている。この例では、半導体レーザ素子42の一方の電極は、パッド45よりワイヤ46を介してリード49に、他方の電極は、ワイヤ47を介してレーザ搭載用基板41に接続されている。リード49はケース40の外部に引き出されている。他方、レーザ搭載用基板41はリード48に接続され、ケース40の外部に引き出されている。この例に見られるように、本願発明に係わるInGaAlAs系半導体レーザ素子を用いることによって、通例レーザ装置に配していた熱電冷却器、例えばペルチエ素子を用いずとも、常温において、光通信用の光変調が可能となる。
4:アンドープInGaAlAs歪量子井戸層、
5:アンドープInGaAlAs障壁層、6:歪量子井戸構造、
7:アンドープInGaAlAsガイド層、8:p−InAlAsクラッド層、
9:p−InPクラッド層、10:p−InPクラッド層、
11:p−InGaAsコンタクト層、12:メサストライプ、
13:FeドープInP高抵抗層、14:n側電極、15:p側電極、
16:メサストライプ、17:p−InP埋め込み層、18:n−InP埋め込み層、
19:p−InPクラッド層、20:p−InGaAsコンタクト層、
21:ZnドープInGaAlAs障壁層、22:歪量子井戸構造、
23:埋め込み型半導体レーザ、24:ワイヤー、25:駆動回路、
26:モニター用受光素子、27:信号光、28:レンズ、29:光ファイバー。
Claims (19)
- InP基板と、前記InP基板上部に量子井戸構造で構成された活性領域と、前記活性領域の上下に光ガイド層と、クラッド層を有し、光の出射方向と交差する方向の側面において、前記活性領域の側面が前記量子井戸層のバンドギャップエネルギーより大きなバンドギャップエネルギーを有する半導体層で埋め込まれており、前記量子井戸層のAl組成が0≦Al組成比≦0.13のInGaAlAsなる化合物半導体層の群から選ばれた少なくとも一者からなることを特徴とする半導体光素子。
- 前記量子井戸層のAl組成が0.01≦Al組成比≦0.1の範囲にあることを特徴とする請求項1に記載の半導体光素子。
- 前記InGaAlAsが、当該4元系化合物半導体材料(In1-x-yGaxAlyAs)の組成図において、A(In:0.87、Ga:0、Al:0.13)、B(In:1.0、Ga:0、Al:0)、C(In:0、Ga:1.0、Al:0)、D(In:0、Ga:0.87、Al:0.13)の範囲内から選ばれた少なくとも一者からなることを特徴とする請求項1に記載の半導体光素子。
- InP基板と、前記InP基板上部に量子井戸構造で構成された活性領域と、前記活性領域の上下に光ガイド層、クラッド層を有し、光の出射方向と交差する方向の側面において、前記活性領域の側面が前記量子井戸層のバンドギャップエネルギーより大きなバンドギャップエネルギーを有する半導体層で埋め込まれており、前記量子井戸層が、組成比(In1-x-yGaxAlyAs)が、当該4元系化合物半導体材料の組成図において、E(In:0.52、Ga:0、Al:0.48)、F(In:0.53、Ga:0.47、Al:0)、C(In:0、Ga:1.0、Al:0)、G(In:0、Ga:0、Al:1.0)の範囲内から選ばれた少なくとも一者からなり、前記量子井戸層が引引っ張り歪を有することを特徴とする半導体光素子。
- 前記InGaAlAs層が、当該4元系化合物半導体材料(In1-x-yGaxAlyAs)の組成図において、H(In:0.53、Ga:0.34、Al:0.13)、F(In:0.53、Ga:0.47、Al:0)、C(In:0、Ga:1.0、Al:0)、D(In:0、Ga:0.87、Al:0.13)の範囲内から選ばれた少なくとも一者からなり、引っ張り歪を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体光素子。
- 前記活性領域からの発光波長が、1.25μmより1.35μmの範囲内にあることを特徴とする請求項5に記載の半導体光素子。
- 前記InGaAlAs層が、当該4元系化合物半導体材料(In1-x-yGaxAlyAs)の組成図において、H(In:0.53、Ga:0.34、Al:0.13)、I(In:0.53、Ga:0.4、Al:0.07)、J(In:0.4、Ga:0.6、Al:0)、K(In:0.26、Ga:0.74、Al:0)、L(In:0.46、Ga:0.41、Al:0.13)の範囲内から選ばれた少なくとも一者からなり、引っ張り歪を有することを特徴とする請求項5に記載の半導体光素子。
- 前記活性領域からの発光波長が、1.25μmより1.35μmの範囲内にあり、前記InGaAlAs層が、当該4元系化合物半導体材料(In1-x-yGaxAlyAs)の組成図において、H(In:0.53、Ga:0.34、Al:0.13)、I(In:0.53、Ga:0.4、Al:0.07)、J(In:0.4、Ga:0.6、Al:0)、K(In:0.26、Ga:0.74、Al:0)、L(In:0.46、Ga:0.41、Al:0.13)の範囲内から選ばれた少なくとも一者からなることを特徴とする請求項5に記載の半導体光素子。
- 前記活性領域を構成する障壁層がp型のドーピングがなされたことを特徴とする請求項6に記載の半導体光素子。
- 前記活性領域を構成する障壁層がp型のドーピングがなされたことを特徴とする請求項7に記載の半導体光素子。
- 前記活性領域を構成する障壁層がp型のドーピングがなされたことを特徴とする請求項8に記載の半導体光素子。
- 前記活性領域からの発光波長が、1.36μmより1.49μmの範囲内にあることを特徴とする請求項1に記載の半導体光素子。
- 前記4元系化合物半導体材料(In1-x-yGaxAlyAs)の組成図において、O(In:0.76、Ga:0.11、Al:0.13)、P(In:0.5、Ga:0.5、Al:0)、Q(In:0.34、Ga:0.66、Al:0)、R(In:0.55、Ga:0.32、Al:0.13)の範囲内から選ばれた少なくとも一者からなることを特徴とする請求項1に記載の半導体光素子。
- 前記4元系化合物半導体材料(In1-x-yGaxAlyAs)の組成図において、O(In:0.76、Ga:0.11、Al:0.13)、P(In:0.5、Ga:0.5、Al:0.)、Q(In:0.34、Ga:0.66、Al:0)、R(In:0.55、Ga:0.32、Al:0.13)の範囲内から選ばれた少なくとも一者からなり、前記活性領域からの発光波長が、1.36μmより1.49μmの範囲内にあることを特徴とする請求項1に記載の半導体光素子。
- 前記活性領域を構成する障壁層がp型のドーピングがなされたことを特徴とする請求項12に記載の半導体光素子。
- 前記活性領域を構成する障壁層がp型のドーピングがなされたことを特徴とする請求項13に記載の半導体光素子。
- 前記活性領域を構成する障壁層がp型のドーピングがなされたことを特徴とする請求項14に記載の半導体光素子。
- パッケージ基体と、このパッケージ基体に搭載された半導体光素子とを少なくとも有し、前記半導体光素子が請求項1より請求項17のいずれかに記載された半導体光素子であることを特徴とする光モジュール。
- 前記光モジュールの封止構造が非気密封止であり、温度調節器を用いず、少なくとも前記半導体光素子が前記パッケージ基体に搭載されていることを特徴とする請求項18に記載の光モジュール。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003415251A JP2005175295A (ja) | 2003-12-12 | 2003-12-12 | 半導体光素子及び光モジュール |
US10/782,897 US7038233B2 (en) | 2003-12-12 | 2004-02-23 | Semiconductor optical devices and optical modules |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003415251A JP2005175295A (ja) | 2003-12-12 | 2003-12-12 | 半導体光素子及び光モジュール |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005175295A true JP2005175295A (ja) | 2005-06-30 |
Family
ID=34650570
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003415251A Withdrawn JP2005175295A (ja) | 2003-12-12 | 2003-12-12 | 半導体光素子及び光モジュール |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7038233B2 (ja) |
JP (1) | JP2005175295A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010238711A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 量子カスケードレーザ |
US8610105B2 (en) | 2009-05-15 | 2013-12-17 | Oclaro Japan, Inc. | Semiconductor electroluminescent device with a multiple-quantum well layer formed therein |
JP2019201162A (ja) * | 2018-05-18 | 2019-11-21 | 日本電信電話株式会社 | 光装置 |
CN110854253A (zh) * | 2019-12-12 | 2020-02-28 | 佛山市国星半导体技术有限公司 | 一种紫外led芯片及其制作方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2432715A (en) * | 2005-11-25 | 2007-05-30 | Sharp Kk | Nitride semiconductor light emitting devices |
WO2007096939A1 (ja) * | 2006-02-20 | 2007-08-30 | Fujitsu Limited | 光半導体装置とその製造方法 |
US20170324219A1 (en) * | 2016-05-05 | 2017-11-09 | Macom Technology Solutions Holdings, Inc. | Semiconductor laser incorporating an electron barrier with low aluminum content |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05145178A (ja) * | 1991-11-18 | 1993-06-11 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 歪量子井戸半導体レーザ素子 |
JPH06275909A (ja) * | 1993-03-19 | 1994-09-30 | Fujitsu Ltd | 半導体歪量子井戸レーザ |
WO1995015022A1 (fr) * | 1993-11-24 | 1995-06-01 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Element optique a semi-conducteur |
JPH08172241A (ja) * | 1994-12-16 | 1996-07-02 | Furukawa Electric Co Ltd:The | AlGaInAs系多重量子井戸を有する半導体発光素子 |
JPH10223968A (ja) * | 1997-02-03 | 1998-08-21 | Fujitsu Ltd | 光半導体装置 |
JP2000353858A (ja) * | 1999-06-14 | 2000-12-19 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 面発光レーザとその作製方法 |
JP2001185815A (ja) * | 1999-12-22 | 2001-07-06 | Hitachi Ltd | 半導体光素子 |
JP2001320128A (ja) * | 2000-05-09 | 2001-11-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体レーザ |
JP2002261377A (ja) * | 2001-02-27 | 2002-09-13 | Hitachi Ltd | 光モジュール |
JP2002368342A (ja) * | 2001-06-11 | 2002-12-20 | Anritsu Corp | 多重量子井戸半導体素子 |
JP2003133647A (ja) * | 2001-10-22 | 2003-05-09 | Nec Corp | 半導体素子およびその作製方法 |
JP2003204108A (ja) * | 2002-01-10 | 2003-07-18 | Hitachi Ltd | 半導体レーザモジュール応用装置 |
JP2003204114A (ja) * | 2002-01-07 | 2003-07-18 | Nec Corp | 分布帰還型半導体レーザおよびその製造方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0770743B2 (ja) * | 1987-11-10 | 1995-07-31 | 富士通株式会社 | 共鳴トンネリングバリア構造デバイス |
US5132981A (en) * | 1989-05-31 | 1992-07-21 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor optical device |
JPH0770782B2 (ja) * | 1991-02-07 | 1995-07-31 | 富士ゼロックス株式会社 | 半導体レーザ装置 |
JP2914210B2 (ja) * | 1995-03-07 | 1999-06-28 | 日本電気株式会社 | 多重量子井戸構造光半導体装置及びその製造方法 |
JPH08316588A (ja) * | 1995-05-23 | 1996-11-29 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 歪量子井戸構造を有する半導体光素子 |
JP2955986B2 (ja) * | 1996-05-22 | 1999-10-04 | 日本電気株式会社 | 半導体光変調器及びその製造方法 |
US5952673A (en) * | 1996-12-11 | 1999-09-14 | Fujitsu Limited | Optical semiconductor device including a multiple quantum well structure of an AlGaInAs/InP system |
JP3041381B2 (ja) | 1997-08-11 | 2000-05-15 | 古河電気工業株式会社 | 量子井戸半導体レーザ素子 |
US6407407B1 (en) * | 1999-05-05 | 2002-06-18 | The United States Of America As Represented By The Director Of The National Security Agency | Ridge laser with oxidized strain-compensated superlattice of group III-V semiconductor |
US6827503B2 (en) * | 2000-12-01 | 2004-12-07 | Shipley Company, L.L.C. | Optical device package having a configured frame |
JP4105403B2 (ja) * | 2001-04-26 | 2008-06-25 | 日本オプネクスト株式会社 | 半導体光集積素子の製造方法 |
JP4057802B2 (ja) * | 2001-09-05 | 2008-03-05 | 株式会社日立製作所 | 半導体光素子 |
JP2004047743A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光集積デバイス |
US20050141578A1 (en) * | 2003-06-20 | 2005-06-30 | Benoit Reid | Laser diode structure with blocking layer |
-
2003
- 2003-12-12 JP JP2003415251A patent/JP2005175295A/ja not_active Withdrawn
-
2004
- 2004-02-23 US US10/782,897 patent/US7038233B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05145178A (ja) * | 1991-11-18 | 1993-06-11 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 歪量子井戸半導体レーザ素子 |
JPH06275909A (ja) * | 1993-03-19 | 1994-09-30 | Fujitsu Ltd | 半導体歪量子井戸レーザ |
WO1995015022A1 (fr) * | 1993-11-24 | 1995-06-01 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Element optique a semi-conducteur |
JPH08172241A (ja) * | 1994-12-16 | 1996-07-02 | Furukawa Electric Co Ltd:The | AlGaInAs系多重量子井戸を有する半導体発光素子 |
JPH10223968A (ja) * | 1997-02-03 | 1998-08-21 | Fujitsu Ltd | 光半導体装置 |
JP2000353858A (ja) * | 1999-06-14 | 2000-12-19 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 面発光レーザとその作製方法 |
JP2001185815A (ja) * | 1999-12-22 | 2001-07-06 | Hitachi Ltd | 半導体光素子 |
JP2001320128A (ja) * | 2000-05-09 | 2001-11-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体レーザ |
JP2002261377A (ja) * | 2001-02-27 | 2002-09-13 | Hitachi Ltd | 光モジュール |
JP2002368342A (ja) * | 2001-06-11 | 2002-12-20 | Anritsu Corp | 多重量子井戸半導体素子 |
JP2003133647A (ja) * | 2001-10-22 | 2003-05-09 | Nec Corp | 半導体素子およびその作製方法 |
JP2003204114A (ja) * | 2002-01-07 | 2003-07-18 | Nec Corp | 分布帰還型半導体レーザおよびその製造方法 |
JP2003204108A (ja) * | 2002-01-10 | 2003-07-18 | Hitachi Ltd | 半導体レーザモジュール応用装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010238711A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 量子カスケードレーザ |
US8610105B2 (en) | 2009-05-15 | 2013-12-17 | Oclaro Japan, Inc. | Semiconductor electroluminescent device with a multiple-quantum well layer formed therein |
JP2019201162A (ja) * | 2018-05-18 | 2019-11-21 | 日本電信電話株式会社 | 光装置 |
CN110854253A (zh) * | 2019-12-12 | 2020-02-28 | 佛山市国星半导体技术有限公司 | 一种紫外led芯片及其制作方法 |
CN110854253B (zh) * | 2019-12-12 | 2024-04-30 | 佛山市国星半导体技术有限公司 | 一种紫外led芯片及其制作方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20050127384A1 (en) | 2005-06-16 |
US7038233B2 (en) | 2006-05-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2475056A1 (en) | Photonic crystal device | |
US5583878A (en) | Semiconductor optical device | |
JPH06326407A (ja) | 半導体レーザ | |
CN109417276B (zh) | 半导体激光器装置、半导体激光器模块及焊接用激光器光源系统 | |
JPH11274635A (ja) | 半導体発光装置 | |
US6539040B2 (en) | Laser diode and fabrication process thereof | |
US20130149804A1 (en) | Optical semiconductor device and pumping light source for optical fiber amplifier | |
JP4057802B2 (ja) | 半導体光素子 | |
JP2010135724A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP3809941B2 (ja) | 電界吸収型光変調器 | |
JP2005175295A (ja) | 半導体光素子及び光モジュール | |
JP4570353B2 (ja) | 半導体レーザ素子 | |
KR100417096B1 (ko) | 반도체 레이저 장치 및 그 제조방법 | |
US20080013579A1 (en) | Buried-heterostructure semiconductor laser | |
US20030026306A1 (en) | High output power semiconductor laser diode | |
JP4983791B2 (ja) | 光半導体素子 | |
JPH09129969A (ja) | 半導体レーザ | |
JP4163321B2 (ja) | 半導体発光装置 | |
JP4087020B2 (ja) | 半導体光素子 | |
Ikoma et al. | Highly reliable AlGaInAs buried heterostructure lasers for uncooled 10Gb/s direct modulation | |
JP4163343B2 (ja) | 発光素子および発光素子モジュール | |
JP2004103679A (ja) | 半導体発光素子および半導体発光素子モジュール | |
JP2001345518A (ja) | 半導体レーザ素子 | |
JP2001251021A (ja) | GaInNAs半導体素子及びその製造方法 | |
JP4861095B2 (ja) | 半導体レーザ素子および光送信モジュール |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080124 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080212 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080414 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20080414 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080624 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080825 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080930 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081128 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20081205 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20090130 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20100609 |