JP2005167019A - トランジスタおよびそのゲート絶縁膜の成膜に用いるcvd装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】成膜室の電極表面を非多孔質化することにより、クリーニングガス中のフッ素成分の成膜室内への残留自体を抑える。そして、ゲート絶縁膜(3)中の含有フッ素濃度を、1×1020atoms/cm3 以下、さらに望ましくは1×1019atoms/cm3 以下に抑えるようにする。
【選択図】図1
Description
ここで、先ず、トランジスタのゲート絶縁膜中の含有フッ素濃度〔単位:atoms/cm3 〕と、閾値(Vth〔単位:V〕)およびオン電流(Ion〔単位:nA〕)との各初期特性を調べるために行った実験について説明する。尚、含有フッ素濃度については、シリコンウエハー上のゲート絶縁膜と同じ条件でアモルファスシリコン窒化膜を成膜し、このアモルファスシリコン窒化膜の含有フッ素濃度を2次イオン質量分析法(SIMS)により測定して定量した。また、トランジスタとしては、チャネル幅Wとチャネル長Lとの比W/Lが、W/L=4のものを用いた。
(3) ゲート絶縁膜
(4) アモルファスシリコン半導体膜(半導体膜)
(5) n+アモルファスシリコン半導体膜(半導体膜)
(6) ソース電極
(7) ドレイン電極
(50) 成膜室
(51) ガス供給孔
(52) 陽極(電極)
(70) アルミニウム層(非多孔質層)
Claims (8)
- 相対向するように配置されたソース電極およびドレイン電極と、前記ソース電極と前記ドレイン電極との間に配置された少なくとも1層の半導体膜と、前記半導体膜に近接するように配置されたゲート電極と、前記ソース電極,前記ドレイン電極および前記半導体層と前記ゲート電極との間に配置されたゲート絶縁膜とを備えたトランジスタであって、
前記ゲート絶縁膜中に含まれる含有フッ素濃度が、1×1020atoms/cm3 以下であることを特徴とするトランジスタ。 - 請求項1に記載のトランジスタにおいて、
前記含有フッ素濃度が、1×1019atoms/cm3 以下であることを特徴とするトランジスタ。 - 請求項1に記載のトランジスタにおいて、
電界効果型であることを特徴とするトランジスタ。 - 請求項1に記載のトランジスタにおいて、
前記ゲート絶縁膜は、アモルファスシリコン窒化膜であることを特徴とするトランジスタ。 - 請求項1に記載のトランジスタにおいて、
前記ゲート絶縁膜は、CVD法により成膜されていることを特徴とするトランジスタ。 - 請求項1,2,3,4,5のうちの何れか1項に記載のトランジスタのゲート絶縁膜の成膜に用いられるCVD装置であって、
ガス供給孔を有し、成膜室内に配置された電極を備え、
前記電極の表面が、非多孔質層からなることを特徴とするCVD装置。 - 請求項6に記載のCVD装置を用いて成膜されたゲート絶縁膜を備えていることを特徴とするトランジスタ。
- 請求項7に記載のトランジスタを、画素電極部に対するスイッチング素子として備えていることを特徴とする液晶表示装置。
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