JP2005138133A - 基板の欠陥修正装置及びその方法並びに液晶基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザユニットから基板の欠陥箇所に向けてレーザビームを照射して欠陥を除去するが、このためにレーザユニットに組み込まれるスリット機構は4枚の遮光板20R,20L,20F,20Bで構成され、遮光板20R,20L,20F,20Bには、モータ等からなる往復動駆動手段22R,22L,22F,22Bと、回動駆動手段23R,23L,23F,23Bに接続され、それぞれ独立に往復動及び回動させることができるようになっている。
【選択図】図4
Description
このようにレーザビームを用いた基板の欠陥修正装置の構成は、例えば特許文献1に開示されている。この公知の欠陥修正装置は、修正されるべき基板をXYステージに設置して、この基板に対向するように配置されたレーザ発振器を有し、このレーザ発振器からのレーザビームを対物レンズにより基板の表面に照射するように構成している。そして、欠陥の大きさに応じてレーザビームの照射領域を制御するために、電動スリットをレーザ発振器から対物レンズまでの光路に配置して、レーザビームのパターンを制御するようにしている。
2 レーザユニット
3 検査修正ステージ
4 赤外線撮像装置
10 レーザ発振器
12 スリット機構
13 照明ランプ
14 CCDカメラ
20,20R,20L,20F,20B 遮光板
21 スリット状開口
22R,22L,22F,22B 往復動駆動手段
23R,23L,23F,23B 回動駆動手段
Claims (5)
- レーザ発振器と、このレーザ発振器から照射されるレーザビームの基板への照射領域を制御するスリット機構とからなり、基板表面に形成された所定のパターンに対して可変な照射領域となるようにしてレーザビームを照射することによって、この基板に形成されたパターンを修正する装置において、
前記スリット機構として、レーザビームを通過させる開口を形成するために、前記レーザビームの光軸と直交する方向に設けた4枚の遮光板から構成し、
前記各遮光板は各々独立の往復動駆動手段により所定間隔だけ往復移動可能とし、また少なくとも相対向する2辺を構成する2枚の遮光板はさらに各々独立の回動駆動手段により水平面で所定角度回動可能として、前記開口の形状を変化させるように
構成したことを特徴とする基板の欠陥修正装置。 - 前記相対向する各2辺を構成する4枚の可動遮光板にそれぞれ往復動駆動手段と回動駆動手段とを装着する構成としたことを特徴とする請求項1記載の基板の欠陥修正装置。
- 前記レーザ発振器及び前記スリット機構は、前記基板の表面の撮像手段及びその照明手段、さらに集光用光学系と共に一体的に組み込んだレーザユニットとして構成し、このレーザユニットは直交2軸上で移動可能な構成としたことを特徴とする請求項1または請求項2記載の基板の欠陥修正装置。
- レーザ発振器と、このレーザ発振器から照射されるレーザビームの照射領域を形成するために、4枚の可動遮光板を備えたスリット機構を介してレーザビームを照射することによって、基板の表面に膜付けにより形成された所定のパターンの欠陥を修正するための方法であって、
前記基板表面のパターンにおける欠陥箇所における除去すべきラインと一致するようにスリット機構を構成する少なくとも各々の遮光板を水平方向及び回動方向に位置を調整することによって、前記レーザ発振器から前記基板上に照射されるレーザビームの照射領域を前記欠陥箇所に一致させ、
前記レーザ発振器からレーザビームを照射して、前記開口の内側の余分な膜部材を除去する
ことを特徴とするパターン修正方法。 - 前記基板は液晶基板であり、請求項4の方法によりパターンが修正された液晶基板。
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