JP2013007875A - 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液晶パネル2の配線の欠陥位置を検出するための欠陥検査装置であって、前記液晶パネル2の端子部に電圧を印加するプローブ8と、前記プローブ8を前記液晶パネルの端子部に移動させるプローブ移動手段9と、前記液晶パネルの全面を撮影する第一の赤外センサと、前記液晶パネルの局部を撮影する第二の赤外センサと、前記第二の赤外センサを、前記液晶パネルの各位置に移動させるセンサ移動手段4とを備え、前記第一の赤外センサは、複数の赤外カメラからなる。
【選択図】図1
Description
2 液晶パネル
3 赤外センサ
3a マクロセンサ
31、32、33、34 赤外カメラ
3b ミクロセンサ
4 センサ移動手段
5 主制御部
6 電圧印加部
7 データ記憶部
8 プローブ
9 プローブ移動手段
Claims (6)
- 液晶パネルの配線の欠陥位置を検出するための欠陥検査装置であって、
前記液晶パネルの端子部に電圧を印加するプローブと、
前記プローブを前記液晶パネルの端子部に移動させるプローブ移動手段と、
前記液晶パネルの全面を撮影する第一の赤外センサと、
前記液晶パネルの局部を撮影する第二の赤外センサと、
前記第二の赤外センサを、前記液晶パネルの各位置に移動させるセンサ移動手段とを備え、
前記第一の赤外センサは、複数の赤外カメラからなることを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記複数の赤外カメラは、前記液晶パネルに反射して互いが映り込まないよう配置することを特徴とする請求項1に記載の欠陥検査装置。
- さらに、前記複数の赤外カメラで撮影された画像を処理する制御部を備え、
前記制御部は、前記複数の赤外カメラの視野が重複する領域を判別し、前記液晶パネル全体が一つの画像となるように画像を合成することを特徴とする請求項1または2に記載の欠陥検査装置。 - 液晶パネルの配線の欠陥位置を検出するための欠陥検査方法であって、
前記液晶パネルの端子部に電圧を印加するステップと、
前記液晶パネルの全面を複数の赤外カメラで撮影するステップと、
前記液晶パネルの局部を1つ以上の赤外カメラで撮影するステップとを含むことを特徴とする欠陥検査方法。 - 前記液晶パネルの全面を複数の赤外カメラで撮影するステップでは、前記液晶パネルに反射して互いが映り込まないように撮影することを特徴とする請求項4に記載の欠陥検査方法。
- さらに、前記複数の赤外カメラの視野が重複する領域を判別するステップと、
前記液晶パネル全体が一つの画像となるように画像を合成するステップとを含むことを特徴とする請求項4または5に記載の欠陥検査方法。
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