JP5341941B2 - 配向処理方法および配向処理装置 - Google Patents
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- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 19
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 129
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 29
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 14
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 12
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 20
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 19
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000002657 fibrous material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7003—Alignment type or strategy, e.g. leveling, global alignment
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/7035—Proximity or contact printers
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70791—Large workpieces, e.g. glass substrates for flat panel displays or solar panels
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7088—Alignment mark detection, e.g. TTR, TTL, off-axis detection, array detector, video detection
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Description
11 露光ユニット
111 露光ヘッド
112 光源
113 カメラ
113a 光路調整板
114 マスク移動手段
115 記憶手段
116 照合手段
2 フォトマスク
21 遮光部
22 透光部
23 透光窓
24 基準マーク
3 基板
31 アレイ基板
311 ゲートバスライン
312 ソースバスライン
313 絵素電極
314 薄膜トランジスタ
32 カラーフィルタ基板
321 ブラックマトリクス
322 カラーフィルタ層
4 既存パターン
a 基板の移動方向
b マスクの移動方向
Claims (7)
- 基板上に形成した配向膜に対して相対的にフォトマスクを移動させながら当該フォトマスクを介して光エネルギを照射して前記配向膜表面に配向特性を与える配向処理方法において、
前記フォトマスクを前記基板に形成された線状パターンに沿って相対的に移動させる際、フォトマスクの移動方向の移動開始側において、前記基板に予め形成された線状パターンと前記フォトマスクに設けられた基準マークとを画像認識する画像認識工程と、
この画像認識工程によって認識した線状パターンの画像と予め記憶されている基準画像とを比較することにより、前記線状パターンに対する前記フォトマスクのズレ量を算出し、前記フォトマスクの移動によりそのズレを補正するマスク位置補正工程と、
このマスク位置補正工程の後、再度前記フォトマスクに設けられた基準マークを画像認識して、この画像を前記画像認識工程で得た基準マークの画像と比較することにより、前記マスク位置補正工程での前記フォトマスクの実際の移動量を算出し、この移動量から前記マスク位置補正工程によるフォトマスクの位置補正が的確になされたか否かを判定するマスク位置補正検査工程と、
を含むことを特徴とする配向処理方法。 - 前記線状パターンは、ゲートバスライン、ソースバスラインまたはブラックマトリックスのいずれかであることを特徴とする、請求項1に記載の配向処理方法。
- 前記光エネルギは、前記光配向膜に対して所定の角度で照射されることを特徴とする請求項1または2に記載の配向処理方法。
- 前記光エネルギは紫外光であることを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載の配向処理方法。
- 基板上に形成された配向膜に対して相対的にフォトマスクを移動させながら当該フォトマスクを介して光エネルギを照射して配向処理を行う配向処理装置であって、
前記光エネルギを発する光源と、
前記基板を載置して所定の方向に移動させるテーブルと、
前記光源と前記テーブルとの間に位置するフォトマスクと、
前記基板に予め形成された線状パターンと、前記フォトマスクに形成される基準マークとを撮影するカメラと、
前記フォトマスクを前記所定の方向とは直交する方向に移動させるフォトマスク移動手段と、
前記テーブルを駆動し前記フォトマスクを前記基板に形成された線状パターンに沿って相対的に移動させる際、フォトマスクの移動方向の移動開始側において、前記カメラによって前記基板に予め形成された線状パターンと前記フォトマスクに設けられた基準マークとを画像認識し、
これよって認識した線状パターンの画像と予め記憶されている基準画像とを比較することにより、前記線状パターンに対する前記フォトマスクのズレ量を算出し、前記フォトマスク移動手段によって前記フォトマスクを移動させることによりそのズレを補正した後、
再度前記フォトマスクに設けられた基準マークを画像認識して、この画像をズレの補正前に得た基準マークの画像と比較することにより、前記フォトマスク移動手段による前記フォトマスクの実際の移動量を算出し、この移動量から前記フォトマスク移動手段による前記フォトマスクの位置補正が的確になされたか否かを判定する照合手段と、
を備えることを特徴とする配向処理装置。 - 前記光源および前記フォトマスクはそれぞれ複数備えられ、前記基板の移動方向に対して直交する方向に千鳥状に交互に配置されていることを特徴とする請求項5に記載の配向処理装置。
- 前記フォトマスクは、スリット状の透光部が互いに略平行に形成され、前記透光部のピッチは前記線状パターンのピッチと等しく、かつ前記透光部の横幅寸法は前記ピッチの約半分であることを特徴とする請求項5または6に記載の配向処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011081361A JP5341941B2 (ja) | 2006-04-05 | 2011-04-01 | 配向処理方法および配向処理装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006104161 | 2006-04-05 | ||
JP2006104161 | 2006-04-05 | ||
JP2011081361A JP5341941B2 (ja) | 2006-04-05 | 2011-04-01 | 配向処理方法および配向処理装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008508452A Division JP5133239B2 (ja) | 2006-04-05 | 2006-12-08 | 露光方法および露光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011164639A JP2011164639A (ja) | 2011-08-25 |
JP5341941B2 true JP5341941B2 (ja) | 2013-11-13 |
Family
ID=38563206
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008508452A Active JP5133239B2 (ja) | 2006-04-05 | 2006-12-08 | 露光方法および露光装置 |
JP2011081361A Expired - Fee Related JP5341941B2 (ja) | 2006-04-05 | 2011-04-01 | 配向処理方法および配向処理装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008508452A Active JP5133239B2 (ja) | 2006-04-05 | 2006-12-08 | 露光方法および露光装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8055099B2 (ja) |
JP (2) | JP5133239B2 (ja) |
WO (1) | WO2007113933A1 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5164069B2 (ja) * | 2008-08-28 | 2013-03-13 | Nskテクノロジー株式会社 | スキャン露光装置およびスキャン露光方法 |
JP5261847B2 (ja) * | 2009-06-16 | 2013-08-14 | 株式会社ブイ・テクノロジー | アライメント方法、アライメント装置及び露光装置 |
JP5633021B2 (ja) * | 2009-06-29 | 2014-12-03 | 株式会社ブイ・テクノロジー | アライメント方法、アライメント装置及び露光装置 |
JP5757245B2 (ja) * | 2009-12-24 | 2015-07-29 | 凸版印刷株式会社 | 露光方法および露光装置 |
WO2012073811A1 (ja) * | 2010-12-02 | 2012-06-07 | シャープ株式会社 | 表示パネル用基板及び基板露光方法 |
JP5756813B2 (ja) * | 2010-12-03 | 2015-07-29 | シャープ株式会社 | 基板露光方法 |
JP5843191B2 (ja) * | 2011-08-03 | 2016-01-13 | 株式会社ブイ・テクノロジー | フォトマスク |
JP5928032B2 (ja) * | 2012-03-15 | 2016-06-01 | 株式会社ブイ・テクノロジー | キャリブレーション用マスクおよびキャリブレーション方法 |
TWI578096B (zh) * | 2013-03-22 | 2017-04-11 | V科技股份有限公司 | 校正用光罩及校正方法 |
JP6312454B2 (ja) * | 2014-02-07 | 2018-04-18 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 偏光光照射装置 |
JP6372205B2 (ja) * | 2014-07-08 | 2018-08-15 | 大日本印刷株式会社 | 偏光子、偏光子の製造方法、および光配向装置 |
CN104536259A (zh) * | 2014-12-26 | 2015-04-22 | 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 | 一种光配向掩膜板对位的检测方法 |
KR101812210B1 (ko) * | 2016-02-15 | 2017-12-26 | 주식회사 이오테크닉스 | 마킹 위치 보정장치 및 방법 |
JP6940873B2 (ja) * | 2017-12-08 | 2021-09-29 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 露光装置および露光方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09166416A (ja) * | 1995-12-13 | 1997-06-24 | Mitsubishi Electric Corp | レチクルパターンの相対的位置ずれ量計測方法およびレチクルパターンの相対的位置ずれ量計測装置 |
JP3146998B2 (ja) * | 1996-09-12 | 2001-03-19 | ウシオ電機株式会社 | 液晶表示素子の配向膜光配向用偏光光照射装置 |
EP0951054B1 (en) * | 1996-11-28 | 2008-08-13 | Nikon Corporation | Aligner and method for exposure |
JP4201862B2 (ja) * | 1997-02-27 | 2008-12-24 | シャープ株式会社 | 液晶表示装置 |
AU4165599A (en) * | 1998-06-15 | 2000-01-05 | Nikon Corporation | Position sensing method, position sensor, exposure method, exposure apparatus, and production process thereof, and device and device manufacturing method |
JP4508354B2 (ja) * | 2000-04-28 | 2010-07-21 | キヤノン株式会社 | 走査露光装置および走査露光方法 |
JP4542314B2 (ja) | 2003-02-13 | 2010-09-15 | 大日本印刷株式会社 | 露光方法及び露光装置 |
JP4488685B2 (ja) * | 2003-03-12 | 2010-06-23 | 大日本印刷株式会社 | 露光装置 |
JP2005024649A (ja) | 2003-06-30 | 2005-01-27 | Jsr Corp | 液晶配向膜の形成法および液晶表示素子 |
JP2005043576A (ja) * | 2003-07-25 | 2005-02-17 | Pentax Corp | パターン描画装置 |
JP4338577B2 (ja) | 2004-04-28 | 2009-10-07 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 露光装置 |
-
2006
- 2006-12-08 US US12/295,925 patent/US8055099B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-12-08 WO PCT/JP2006/324541 patent/WO2007113933A1/ja active Application Filing
- 2006-12-08 JP JP2008508452A patent/JP5133239B2/ja active Active
-
2011
- 2011-04-01 JP JP2011081361A patent/JP5341941B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2011-09-22 US US13/137,949 patent/US8159674B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5133239B2 (ja) | 2013-01-30 |
WO2007113933A1 (ja) | 2007-10-11 |
JP2011164639A (ja) | 2011-08-25 |
US20090252422A1 (en) | 2009-10-08 |
US8055099B2 (en) | 2011-11-08 |
US20120013788A1 (en) | 2012-01-19 |
US8159674B2 (en) | 2012-04-17 |
JPWO2007113933A1 (ja) | 2009-08-13 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110425 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121127 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |