JP2005129559A - 半導体ウェーハの不純物除去方法及び半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 SOIウェーハ10表面の素子形成領域A以外の領域に密着して、不純物除去用のポリシリコン膜50を形成し、加熱によってこのSOIウェーハ10表面のシリコン層13に存在する不純物をポリシリコン膜50に吸い取らせる。その後、不純物を吸い取ったポリシリコン膜50を、SOIウェーハ10の表面から完全に除去し、除去した後のシリコン層13を酸化して分離絶縁層14を形成する。
【選択図】 図1
Description
最初に、図2(a)に示すように、シリコン基板11上にSiO2 等からなる絶縁層12を形成し、その上に薄い(例えば、1μm以下)のシリコン層13を形成することにより、SOI基板10を準備する。次いで、シリコン層13上に、酸化膜20とシリコン窒化膜30を順次形成する。これらの酸化膜20とシリコン窒化膜30は、素子形成領域Aと分離領域Bを区分するためのマスクとして用いるものである。酸化膜20は、熱酸化法またはCVD法を用いて、10〜200nm程度の厚さに形成する。また、シリコン窒化膜30は、LP−CVD法を用いて、30〜200nm程度の膜厚に成長させる。
ホトリソグラフィ技術を用いて、素子形成領域Aのパターニングを行う。即ち、シリコン窒化膜30上に感光性のレジスト剤を塗布し、これに素子形成領域Aのパターンを露光した後、現像処理で分離領域Bとなる箇所のレジスト剤を除去し、素子形成領域Aに対応したレジストパターン40を形成する。
レジストパターン40を除去した後、ドライエッチングまたはウエットエッチングにより、シリコン窒化膜30の間に露出している酸化膜20を除去する。これにより、素子形成領域Aのシリコン層13がシリコン窒化膜30と酸化膜20で保護され、分離領域Bのシリコン層13が露出された図2(c)の構造が得られる。
半導体ウェーハの表面全体に、不純物除去用の膜(例えば、ポリシリコン膜)50を成膜する。ポリシリコン膜50は、LP−CVD法を用いて620℃程度の温度で成膜することができる。これにより、図2(d)の構造が得られる。
表面全体にポリシリコン膜50が形成された半導体ウェーハを拡散炉に入れ、400〜600℃の温度で、1〜24時間程度の熱処理を加える。この熱処理により、シリコン層13の内部に存在する不純物の拡散が活発になり、拡散した不純物が、このシリコン層13の上に形成されたポリシリコン膜50に吸い取られる。
不純物が吸収されたポリシリコン膜50を、ドライエッチングまたはウエットエッチングによって除去する。ポリシリコン膜50とシリコン層13は、同じ材料でオーバーエッチングされるため、図2(e)に示すように、このシリコン層13の分離領域Bに対応する箇所に窪み13aが形成される。
素子形成領域Aの表面はシリコン窒化膜30で覆われているので、このシリコン窒化膜30を耐酸化用の保護マスクとして、表面に露出した分離領域Bのシリコン層13を、熱酸化法を用いて2倍程度の膜厚になるように酸化する。これにより、図2(f)に示すように、分離領域Bのシリコン層13が酸化されて、分離絶縁層14に変化する。
シリコン窒化膜30を熱燐酸で除去し、更に酸化膜20をフッ酸で除去する。これにより、図1に示すように、素子形成領域Aが分離領域Bで区分され、かつ、この素子形成領域Aの不純物が除去された半導体ウェーハが完成する。
最初に、実施例1の工程1と同様の処理により、図4(a)に示すように、シリコン基板11上にSiO2 等からなる絶縁層12と、その上にシリコン層13が形成されたSOI基板10を準備する。次いで、素子形成領域Aと分離領域Bn,Bw及び切断領域Cを区分するマスクとして用いるために、シリコン層13上に、酸化膜20とシリコン窒化膜30を順次形成する。
実施例1の工程2と同様の処理により、素子形成領域Aに対応したレジストパターン40を形成する。形成されたレジストパターン40をマスクとし、酸化膜20をエッチング・ストッパーとして、シリコン窒化膜30をエッチングする。これにより、図4(b)の構造が得られる。
レジストパターン40を除去した後、再度ホトリソグラフィ技術によって、素子形成領域Aと幅の狭い分離領域Bnを覆い、幅の広い分離領域Bwや切断領域Cを露出させるレジストパターン45を形成する。レジストパターン45をマスクとして、ドライエッチングまたはウエットエッチングにより、幅の広い分離領域Bwと切断領域Cの酸化膜20を除去すると、図4(c)の構造が得られる。
レジストパターン45を除去した後、半導体ウェーハの表面全体に、不純物除去用のポリシリコン膜50を成膜する。これにより、図4(d)の構造が得られる。
表面全体にポリシリコン膜50が形成された半導体ウェーハを拡散炉に入れ、400〜600℃の温度で、1〜24時間程度の熱処理を加える。この熱処理により、シリコン層13の内部に存在する不純物が、このシリコン層13の上に形成されたポリシリコン膜50に吸い取られる。
エッチングによってポリシリコン膜50を除去すると、オーバーエッチングにより、図4(e)に示すように、シリコン層13の幅の広い分離領域Bwと切断領域Cに対応する箇所に窪み13aが形成される。
シリコン窒化膜30をマスクとして、表面に露出した分離領域Bw及び切断領域Cのシリコン層13を、熱酸化法を用いて2倍程度の膜厚になるように酸化する。これにより、図4(f)に示すように、分離領域Bwや切断領域Cのシリコン層13が酸化され、分離絶縁層14に変化する。
シリコン窒化膜30と酸化膜20を除去することにより、図3に示すように、素子形成領域Aが分離領域Bn,Bw及び切断領域Cで区分され、かつ、この素子形成領域Aの不純物が除去された半導体ウェーハが完成する。
この半導体ウェーハでは、分離領域Bや切断領域Cの他、素子形成領域Aが配置されない箇所、例えば、ウェーハ周辺部Dや中央部で集積回路が配置されない箇所E、または位置合わせ用のマークが形成される箇所等に、不純物除去のためのポリシリコン膜50を形成している。なお、ポリシリコン膜50の形成方法とこのポリシリコン膜50を用いた不純物除去処理は、実施例1,2で説明した通りである。
11 シリコン基板
12 絶縁層
13 シリコン層
14 分離絶縁層
20 酸化膜
30 シリコン窒化膜
40,45 レジスト・パターン
50 ポリシリコン膜
A 素子形成領域
B,Bn,Bw 分離領域
C 切断領域
Claims (8)
- 半導体ウェーハの表面に酸化膜及び窒化膜を順次形成する処理と、
前記酸化膜及び窒化膜の一部を除去して前記半導体ウェーハ表面の複数の素子形成領域以外の所定領域を露出させる処理と、
前記所定領域が露出された半導体ウェーハの表面に不純物除去膜を形成する処理と、
加熱によって前記半導体ウェーハ表面に存在する不純物を前記不純物除去膜に吸い取らせる処理とを、
順次行うことを特徴とする半導体ウェーハの不純物除去方法。 - 前記所定領域は、半導体チップ内に配置されて前記素子形成領域を分離する分離領域、または該半導体チップを切り出すための切断領域であることを特徴とする請求項1記載の半導体ウェーハの不純物除去方法。
- 前記加熱は、400〜600℃の温度で1〜24時間行うことを特徴とする請求項1記載の半導体ウェーハの不純物除去方法。
- 前記不純物を前記不純物除去膜に吸い取らせる処理の後、該不純物除去膜を完全に除去することを特徴とする請求項1記載の半導体ウェーハの不純物除去方法。
- 前記半導体ウェーハは、シリコン基板の上に酸化シリコンによる絶縁層を介してシリコン層を形成したSOIウェーハ、サファイア基板の上にシリコン層を形成したSOSウェーハ、または石英基板の上にシリコン層を形成したSOQウェーハであることを特徴とする請求項1記載の半導体ウェーハの不純物除去方法。
- 半導体ウェーハの表面に酸化膜及び窒化膜を順次形成する処理と、
前記半導体ウェーハ表面に設けられる複数の素子形成領域、該素子形成領域を分離する幅の狭い分離領域と幅の広い分離領域及びそれ以外の幅の広い領域の内で、幅の広い分離領域とそれ以外の幅の広い領域上の前記酸化膜及び窒化膜を除去し、これらの領域を露出させる処理と、
前記領域が露出された半導体ウェーハの表面に不純物除去膜を形成する処理と、
加熱によって前記半導体ウェーハ表面に存在する不純物を前記不純物除去膜に吸い取らせる処理とを、
順次行うことを特徴とする半導体ウェーハの不純物除去方法。 - 前記幅の広い領域は、半導体チップを切り出すための切断領域、位置合わせ用のマークが形成される領域、または寸法測定用のマークが形成される領域であることを特徴とする請求項6記載の半導体ウェーハの不純物除去方法。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載された方法によって不純物が除去された半導体ウェーハに素子を形成したことを特徴とする半導体装置。
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