JP2005127931A - 昇温脱離ガス分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 試料Sを配置する試料室1と、この試料室1に配置された試料Sを加熱する赤外線加熱炉2と、加熱により試料Sから脱離したガスが導入される測定室3と、この測定室3内を減圧するターボ分子ポンプ5と、測定室3内にガス検出部5aが配置された質量分析計5と、試料室1と測定室3との間に設けられた中間減圧室6と、この中間減圧室6と試料室1とを連通する第1のオリフィス7と、中間減圧室6と測定室3とを連通する第2のオリフィス8とを備え、試料室1内に発生した脱離ガスを、第1のオリフィス7、中間減圧室6および第2のオリフィス8を介して測定室3へ導入する。そして、測定室3内の圧力が一定となるように、中間減圧室6内の圧力を制御する。
【選択図】 図1
Description
この脱離ガス分析法は昇温脱離ガス分析装置により実施される。同装置は、従来から種々の構造のものが提案されているが、本発明はスキマー方式と称するガス収集方式を採用する昇温脱離ガス分析装置の改良に係るものである。
Journal of the Mass Spectrometry Society of Japan: Vol.46/No.4, pp402〜403 1998
試料室内に発生した脱離ガスを、第1のオリフィス、中間減圧室および第2のオリフィスを介して測定室へ導入する構成の昇温脱離ガス分析装置において、
中間減圧室内の圧力が一定となるように制御する圧力調整手段を備えたことを特徴とする。
中間減圧室の圧力を一定に制御しても、厳密には若干の誤差が生じることは避けられない。しかし、102Paでの中間減圧室における圧力値の誤差は、10−3Paという高真空雰囲気の測定室においては、大きな圧力変動となる可能性もある。
また、制御手段は、ガス供給手段によるガス排気経路へのガス供給量を制御する構成とすることができる。
図1は、本発明の第1実施形態に係る昇温脱離分析装置を模式的に示す構成図である。
同図に示す昇温脱離分析装置は、試料を配置する試料室1と、この試料室1に配置された試料Sを周囲から加熱する赤外線加熱炉2(加熱手段)と、加熱により試料Sから脱離したガスが導入される測定室3と、この測定室3内を減圧するターボ分子ポンプ4(減圧手段)と、測定室3内にガス検出部5a(イオン源)が配置された質量分析計5と、試料室1と測定室3との間に設けられた中間減圧室6と、この中間減圧室6と試料室1とを連通する第1のオリフィス7と、中間減圧室6と測定室3とを連通する第2のオリフィス8とを備えている。
キャリアガスとしては、ヘリウムガス等の不活性ガスが用いられる。
測定制御装置11は、赤外線加熱炉2を作動して試料室1の試料Sを加熱する。加熱された試料Sからは、脱離ガスが発生する。このとき、中間減圧室6は真空ポンプ13による吸引排気をもって減圧されており、また測定室3は真空ポンプ10およびターボ分子ポンプ4による吸引排気をもって真空雰囲気近くまで減圧されている。
ここで、中間減圧室6は102Pa程度まで減圧され、また測定室3は10−3Pa程度まで減圧されている。
本発明の第2実施形態では、圧力計20(圧力検出手段)を測定室3内に設け、この圧力計20により測定室3内の圧力を検出する。圧力計20による検出結果は、圧力制御装置18(制御手段)に出力される。圧力制御装置18には、あらかじめ圧力の目標値が設定してあり、圧力計20で検出された測定室3の圧力に基づいて、測定室3の圧力が上記目標値となるように、ガス供給源17をフィードバック制御する。
本実施形態では、このように測定室3内の圧力値をフィードバックして、ガス供給源17を制御するので、先に示した第1実施形態よりもさらに測定室3内の圧力が安定化し、質量分析計5による脱離ガスの検出感度低下をいっそう抑制することができる。
2:赤外線加熱炉
3:測定室
4:ターボ分子ポンプ
5:質量分析計
5a:ガス検出部
6:中間減圧室
7:第1のオリフィス
8:第2のオリフィス
9:保護管
10:真空ポンプ
11:測定制御装置
12:ガス排気経路
13:真空ポンプ
14:調整弁
15:圧力計
16:ガス供給路
17:ガス供給源
18:圧力制御装置
20:圧力計
Claims (6)
- 試料を配置する試料室と、この試料室に配置された試料を加熱する加熱手段と、加熱により試料から脱離したガスが導入される測定室と、この測定室内を減圧する減圧手段と、前記測定室内にガス検出部が配置された質量分析計と、前記試料室と測定室との間に設けられた中間減圧室と、この中間減圧室と前記試料室とを連通する第1のオリフィスと、前記中間減圧室と前記測定室とを連通する第2のオリフィスとを備え、
前記試料室内に発生した脱離ガスを、前記第1のオリフィス、中間減圧室および第2のオリフィスを介して前記測定室へ導入する構成の昇温脱離ガス分析装置において、
前記中間減圧室内の圧力が一定となるように制御する圧力調整手段を備えた昇温脱離ガス分析装置。 - 請求項1の昇温脱離ガス分析装置において、
前記圧力調整手段は、
前記中間減圧室内の圧力を検出する圧力検出手段と、
前記中間減圧室内のガスを吸引排気するガス排気手段と、
前記圧力検出手段により検出された前記中間減圧室内の圧力値に基づき、前記ガス排気手段を制御して、前記中間減圧室内の圧力が一定となるように制御する制御手段と、
を含む昇温脱離ガス分析装置。 - 試料を配置する試料室と、この試料室に配置された試料を加熱する加熱手段と、加熱により試料から脱離したガスが導入される測定室と、この測定室内を減圧する減圧手段と、前記測定室内にガス検出部が配置された質量分析計と、前記試料室と測定室との間に設けられた中間減圧室と、この中間減圧室と前記試料室とを連通する第1のオリフィスと、前記中間減圧室と前記測定室とを連通する第2のオリフィスとを備え、
前記試料室内に発生した脱離ガスを、前記第1のオリフィス、中間減圧室および第2のオリフィスを介して前記測定室へ導入する構成の昇温脱離ガス分析装置において、
前記測定室内の圧力が一定となるように制御する圧力調整手段を備えた昇温脱離ガス分析装置。 - 請求項3の昇温脱離ガス分析装置において、
前記圧力調整手段は、
前記測定室内の圧力を検出する圧力検出手段と、
前記中間減圧室内のガスを吸引排気するガス排気手段と、
前記圧力検出手段により検出された前記測定室内の圧力値に基づき、前記ガス排気手段を制御して、前記測定室内の圧力が一定となるように制御する制御手段と、
を含む昇温脱離ガス分析装置。 - 請求項2又は4の昇温脱離ガス分析装置において、
前記ガス排気手段は、
真空ポンプと、
この真空ポンプを前記中間減圧室に連通するガス排気経路と、
このガス排気経路にガスを供給するガス供給手段と、を含み、
前記制御手段は、前記ガス供給手段による前記ガス排気経路へのガス供給量を制御する構成である昇温脱離ガス分析装置。 - 請求項5の昇温脱離ガス分析装置において、
前記ガス排気経路には、前記真空ポンプによるガス吸引量を調整するための調整弁が設けてあり、
前記ガス供給手段は、前記ガス排気経路に対し、前記調整弁より上流側にガスを供給する構成である昇温脱離ガス分析装置。
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