JP2011232109A - 発生気体分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】発生気体分析装置10は、先端側に第1オリフィス22があり他端側にガス供給管26が接続されたクヌッセン型の試料セル20を取り外し可能に装着する。また、試料を配置した試料セル20へガス供給管26を介してガスを供給可能であり、この試料セル20を内包した減圧室30の内包空間を拡散ポンプ33及びロータリポンプ34によって減圧可能である。そして、試料セル20を加熱し試料から生成した試料ガスを、第1オリフィス22、内包空間、第3オリフィス72及び第2オリフィス52を介して検出器が配設された測定室50へ導入してこれを測定する。このように、試料セル20が内包されている内包空間が減圧されているから、減圧室30内にガス成分が残留するのを抑制可能であり、試料セル20を加熱した際に減圧室で残留成分のガスが発生しにくい。
【選択図】図1
Description
第1のオリフィスが設けられ該第1オリフィスと異なる位置にガスを供給する供給管が配設され、試料を配置する試料室と、
前記試料室を加熱し前記試料から試料ガスを発生させる温度に加熱可能な加熱部と、
前記試料から生成した試料ガスを導入する第2のオリフィスと内部空間を減圧する測定室用減圧機と該導入された試料ガスを検出する検出器とが配設された測定室と、
前記試料室を内包して配設し該内包した空間を減圧する内包空間減圧機が配設されている減圧室と、
を備えたものである。
Claims (10)
- 第1のオリフィスが設けられ該第1オリフィスと異なる位置にガスを供給する供給管が配設され、試料を配置する試料室と、
前記試料室を加熱し前記試料から試料ガスを発生させる温度に加熱可能な加熱部と、
前記試料から生成した試料ガスを導入する第2のオリフィスと内部空間を減圧する測定室用減圧機と該導入された試料ガスを検出する検出器とが配設された測定室と、
前記試料室を内包して配設し該内包した空間を減圧する内包空間減圧機が配設されている減圧室と、
を備えた発生気体分析装置。 - 前記試料室は、前記減圧室に設けられた貫通孔に外部から挿入され、取り外し可能に前記減圧室に配設される筒状体の試料セルである、請求項1に記載の発生気体分析装置。
- 前記減圧室は、前記減圧室内を冷却して物質をトラップする冷却トラップが配設されている、請求項1又は2に記載の発生気体分析装置。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の発生気体分析装置であって、
前記第1オリフィスと前記第2オリフィスと前記検出器とが直線上に配列されるように調整する位置調整機構、を備えた発生気体分析装置。 - 前記減圧室は、前記第1オリフィスと前記第2オリフィスと前記検出器とが直線上に配置されるよう前記測定室と前記試料室とが配設されている、請求項4に記載の発生気体分析装置。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の発生気体分析装置であって、
前記試料室と前記測定室との間に配設され第3のオリフィスが設けられ、内部空間を減圧する中間減圧機が配設された中間室、を備えた発生気体分析装置。 - 前記試料室及び前記供給管のうち少なくとも該試料室への接続部分は、石英、アルミナ、白金族、高融点金属類及びカーボンのうち少なくとも1以上の部材により形成されている、請求項1〜6のいずれか1項に記載の発生気体分析装置。
- 前記測定室用減圧機は、前記第2オリフィスから流入するガス流量よりも高い減圧能力を有している、請求項1〜7のいずれか1項に記載の発生気体分析装置。
- 前記測定室用減圧機は、前記試料室内の圧力が760Torr以下の範囲で前記試料ガスを発生したときに、前記測定室の圧力を1×10-3Torr以下に保持する減圧能力を有している、請求項1〜8のいずれか1項に記載の発生気体分析装置。
- 前記内包空間減圧機は、前記試料室内の圧力が760Torr以下の範囲で前記試料ガスを発生したときに、前記減圧室の圧力を10-1Torr以下に保持する減圧能力を有している、請求項1〜9のいずれか1項に記載の発生気体分析装置。
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