JP2005116944A - 高圧処理装置および高圧処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 薬剤A,Bを一時的に貯留する混合槽6A,6Bがそれぞれ設けられている。各混合槽6A,6Bは高圧流体供給ユニット2と接続されている。そして、薬剤AとSCFとの混合物(処理流体)による表面処理を行う際には、予め薬剤Aが貯留された混合槽6Aに対して高圧流体供給ユニット2からSCFを圧送し、混合槽6Aに流れ込んだSCFに薬剤Aが溶解して薬剤AとSCFの混合物(処理流体)が生成される。また、高圧弁(処理流体注入弁)39を開くことにより、処理流体が圧力容器1に送り込まれる。これにより、圧力容器1内に配置された基板に対して処理流体による所定の表面処理が実行される。
【選択図】 図1
Description
図1は、この発明にかかる高圧処理装置の第1実施形態を示す図である。この第1実施形態にかかる高圧処理装置は、圧力容器1の内部に形成される処理チャンバー9に超臨界二酸化炭素または超臨界二酸化炭素と薬剤との混合物を処理流体として導入し、その処理チャンバー9において保持されている略円形の半導体ウエハなどの基板(被処理体)に対して所定の洗浄処理、リンス処理および乾燥処理を行う装置である。以下、その構成および動作について詳細に説明する。
ところで、上記第1実施形態では高圧ポンプ22からのSCFを圧力容器1や混合槽6A,6Bに直接的に供給するように構成している。したがって、圧力容器1や混合槽6A,6Bに供給されるSCFの流量を精度良く制御することが難しい。そこで、以下に説明する第2実施形態では第1実施形態に対して流量制御部を追加してSCFの流量を精度良く制御し、より良好な表面処理が実行可能となっている。
上記第1および第2実施形態では、混合槽6A,6Bで処理流体を生成した後、該処理流体を圧力容器1に送り込むように構成しているが、高圧ポンプ22からのSCFを高圧配管(第1管路)100を流通させつつ、高圧ポンプ22からのSCFの一部を利用することで、薬剤を高圧配管100内でSCFに送り込むようにしてもよい。
図14は、この発明にかかる高圧処理装置の第4実施形態を示す図である。この第4実施形態では、混合槽6A,6Bや中間槽7A,7Bに貯留される薬剤の高さレベルを検知するレベルセンサ(薬剤レベル検知手段)46が設けられている。なお、同図には、混合槽6Aに設けられたレベルセンサ46のみを図示し、以下においては混合槽6Aでの薬剤の高さレベル検知および補充動作について説明するが、他の混合槽や中間槽にも同一構成のレベルセンサ46が設けられ、同様の補充動作を実行する。
図15は、この発明にかかる高圧処理装置の第5実施形態を示す図である。この第5実施形態が先の実施形態と大きく相違する点は、混合槽6Aに対して互いに異なる複数種類の薬剤A,C,Dを供給可能となっている点である。この実施形態では、薬剤供給ユニット5は薬剤A,C,Dを混合槽6Aに供給するための薬剤供給系を有している。すなわち、薬剤Aの供給系として、薬剤Aを貯留する貯留タンク51に対して加圧部53が接続されるとともに、貯留タンク51が高圧弁341を介して混合槽6Aに接続されている。また、薬剤Cの供給系として、薬剤Cを貯留する貯留タンク55に対して加圧部57が接続されるとともに、貯留タンク55が高圧弁342を介して混合槽6Aに接続されている。さらに、薬剤Dの供給系として、薬剤Dを貯留する貯留タンク56に対して加圧部58が接続されるとともに、貯留タンク56が高圧弁343を介して混合槽6Aに接続されている。このため、コントローラからの開閉指令にしたがって高圧弁341〜343の開閉動作を制御することで、これらの薬剤A、C,Dの全部あるいは一部が混合槽6Aに選択的に供給される。このように、本実施形態によれば、複数種類の薬剤による表面処理が可能となり、高圧処理装置の汎用性をさらに高めることができる。なお、混合槽6Aに代えて、混合槽6Bまたは中間槽7A、7Bに対し、本実施形態を適用してもよい。
2… 高圧流体供給ユニット
3… 流路制御ユニット
5… 薬剤供給ユニット
6A、6B… 混合槽
7A、7B… 中間槽
13… 密閉構造体
15… 排気手段
31〜40… 高圧弁(流路制御手段)
41〜43… 流量制御部
45… 濃度モニタ(薬剤濃度検知手段)
46… レベルセンサ(薬剤レベル検知手段)
200… コントローラ(制御手段)
A〜D… 薬剤
Claims (20)
- 高圧流体と薬剤との混合物を処理流体として被処理体の表面に接触させて前記被処理体の表面に対して所定の表面処理を施す高圧処理装置において、
その内部に前記表面処理を行うための処理チャンバーを有する圧力容器と、
高圧流体を圧送する高圧流体供給手段と、
その内部に前記薬剤を貯留可能な貯留空間を有する混合槽と、
前記混合槽に前記薬剤を供給する薬剤供給手段と、
前記高圧流体供給手段から圧送される高圧流体の流路を制御する流路制御手段とを備え、
前記流路制御手段は、前記薬剤供給手段から薬剤の供給を受けて該薬剤を貯留している前記混合槽に対して高圧流体を圧送することで、前記混合槽内で前記混合物を生成するとともに前記混合物を前記圧力容器に送り込むことを特徴とする高圧処理装置。 - 前記貯留空間の一部に薬剤が貯留された状態で高圧流体が前記混合槽に圧送される請求項1に記載の高圧処理装置であって、
前記貯留空間のうち薬剤が貯留されていない未貯留領域が前記高圧流体供給手段および前記圧力容器と連通されており、
前記混合槽では、前記未貯留領域を流れる高圧流体に前記貯留空間に貯留された薬剤が溶解して前記混合物が生成されるとともに、前記混合物が前記圧力容器に向けて送り出されることを特徴とする高圧処理装置。 - 前記貯留空間の一部に薬剤が貯留された状態で高圧流体が前記混合槽に圧送される請求項1に記載の高圧処理装置であって、
前記貯留空間のうち薬剤が貯留されている貯留領域が前記高圧流体供給手段と連通される一方、薬剤が貯留されていない未貯留領域が前記圧力容器と連通されており、
前記混合槽では、前記貯留領域を流れる高圧流体に薬剤が溶解して前記混合物が生成されるとともに、前記混合物が前記圧力容器に向けて送り出されることを特徴とする高圧処理装置。 - 前記貯留空間に貯留されている薬剤の高さレベルを検知する薬剤レベル検知手段をさらに備えたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の高圧処理装置。
- 前記薬剤レベル検知手段により検知される高さレベルが所定の補給レベル以下になったときに前記薬剤供給手段により薬剤を前記混合槽に補給することを特徴とする請求項4記載の高圧処理装置。
- 前記薬剤レベル検知手段により検知される高さレベルが所定のエンドレベルに達したときに、装置各部を制御して前記被処理体に対する薬剤による表面処理を終了する制御手段をさらに備えたことを特徴とする請求項4記載の高圧処理装置。
- 前記薬剤供給手段は、複数の相異なる薬剤の全部または一部を前記混合槽に供給することを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の高圧処理装置。
- 前記薬剤として有害物質を用いる前記高圧処理装置において、
前記高圧処理装置のうち有害物質が漏出する可能性のある部位が、排気手段を備えた密閉構造体に収容されていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の高圧処理装置。 - 圧力容器内で高圧流体と薬剤との混合物を処理流体として被処理体の表面に接触させて前記被処理体の表面に対して所定の表面処理を施す高圧処理方法において、
混合槽に薬剤を供給する工程と、
前記混合槽に対して高圧流体を圧送して、前記混合槽に貯留されている薬剤と前記高圧流体とを混合して前記混合物を生成するとともに前記混合物を前記圧力容器に送り込んで
前記圧力容器内を昇圧する工程と
を備えたことを特徴とする高圧処理方法。 - 高圧流体と薬剤との混合物を処理流体として被処理体の表面に接触させて前記被処理体の表面に対して所定の表面処理を施す高圧処理装置において、
その内部に前記表面処理を行うための処理チャンバーを有する圧力容器と、
高圧流体を圧送する高圧流体供給手段と、
その内部に前記薬剤を貯留可能な貯留空間を有する中間槽と、
前記中間槽に前記薬剤を供給する薬剤供給手段と、
前記高圧流体供給手段から圧送される高圧流体の流路を制御する流路制御手段とを備え、
前記流路制御手段は、前記高圧流体供給手段からの高圧流体を前記圧力容器に向けて圧送するとともに、前記高圧流体の一部を、前記薬剤供給手段から薬剤の供給を受けて該薬剤を貯留している前記中間槽に対して圧送することで前記中間槽に貯留された薬剤を前記圧力容器に送り込むことを特徴とする高圧処理装置。 - 前記流路制御手段は、前記高圧流体供給手段と前記圧力容器とを連通して高圧流体を前記圧力容器に導く第1管路と、前記高圧流体供給手段と前記中間槽とを連通して高圧流体を前記中間槽に導く第2管路と、前記中間槽と前記圧力容器とを連通して少なくとも薬剤を前記圧力容器に導く第3管路と、前記第1管路および前記第2管路を流れる高圧流体の流量比を制御する流量制御部とを備えたことを特徴とする請求項10に記載の高圧処理装置。
- 前記圧力容器に流れ込む薬剤の濃度を検知する薬剤濃度検知手段と、
前記薬剤濃度検知手段により検知された薬剤濃度に基づき流量制御部を制御して前記圧力容器内での薬剤濃度を調整する制御手段と
をさらに備えたことを特徴とする請求項11に記載の高圧処理装置。 - 前記貯留空間の一部に薬剤が貯留された状態で高圧流体が前記中間槽に圧送される請求項10ないし12のいずれかに記載の高圧処理装置であって、
前記貯留空間のうち薬剤が貯留されていない未貯留領域が前記高圧流体供給手段および前記圧力容器と連通されており、
前記中間槽では、前記未貯留領域を流れる高圧流体に前記貯留空間に貯留された薬剤が溶解して前記混合物が生成されるとともに、前記混合物が前記圧力容器に向けて送り出されることを特徴とする高圧処理装置。 - 前記貯留空間の一部に薬剤が貯留された状態で高圧流体が前記中間槽に圧送される請求項10ないし12のいずれかに記載の高圧処理装置であって、
前記貯留空間のうち薬剤が貯留されている貯留領域が前記高圧流体供給手段と連通される一方、薬剤が貯留されていない未貯留領域が前記圧力容器と連通されており、
前記中間槽では、前記貯留領域を流れる高圧流体に薬剤が溶解して前記混合物が生成されるとともに、前記混合物が前記圧力容器に向けて送り出されることを特徴とする高圧処理装置。 - 前記貯留空間の一部に薬剤が貯留された状態で高圧流体が前記中間槽に圧送される請求項10ないし12のいずれかに記載の高圧処理装置であって、
前記貯留空間のうち薬剤が貯留されていない未貯留領域が前記高圧流体供給手段と連通される一方、薬剤が貯留されている貯留領域が前記圧力容器と連通されており、
前記中間槽では、前記未貯留領域に流れ込んだ高圧流体により薬剤が前記圧力容器に向けて押し出されることを特徴とする高圧処理装置。 - 前記貯留空間に貯留されている薬剤の高さレベルを検知する薬剤レベル検知手段をさらに備えたことを特徴とする請求項10ないし15のいずれかに記載の高圧処理装置。
- 前記薬剤レベル検知手段により検知される高さレベルが所定の補給レベル以下になったときに前記薬剤供給手段により薬剤を前記中間槽に補給することを特徴とする請求項16記載の高圧処理装置。
- 前記薬剤レベル検知手段により検知される高さレベルが所定のエンドレベルに達したときに、装置各部を制御して前記被処理体に対する薬剤による表面処理を終了する制御手段をさらに備えたことを特徴とする請求項16記載の高圧処理装置。
- 前記薬剤供給手段は、複数の相異なる薬剤の全部または一部を前記中間槽に供給することを特徴とする請求項10ないし18のいずれかに記載の高圧処理装置。
- 前記薬剤として有害物質を用いる前記高圧処理装置において、
前記高圧処理装置のうち有害物質が漏出する可能性のある部位が、排気手段を備えた密閉構造体に収容されていることを特徴とする請求項10ないし19のいずれかに記載の高圧処理装置。
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