JP2005099760A - アクチュエータ - Google Patents
アクチュエータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005099760A JP2005099760A JP2004239345A JP2004239345A JP2005099760A JP 2005099760 A JP2005099760 A JP 2005099760A JP 2004239345 A JP2004239345 A JP 2004239345A JP 2004239345 A JP2004239345 A JP 2004239345A JP 2005099760 A JP2005099760 A JP 2005099760A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mass
- actuator
- mass part
- unit
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
- H02N1/002—Electrostatic motors
- H02N1/006—Electrostatic motors of the gap-closing type
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0841—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/085—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by electromagnetic means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
【課題】低電圧で高速動作が可能で、かつ、振れ角（振幅）の大きいアクチュエータを提供する。
【解決手段】第１の質量部１と、第２の質量部２と、支持部３と、第１の質量部と支持部とを、第１の質量部が支持部に対して回動可能となるように連結する、１対の第１の弾性連結部４と、第１の質量部と第２の質量部とを、第２の質量部が第１の質量部に対して回動可能となるように連結する、１対の第２の弾性連結部５とを有し、交流電圧を印加することによって、第１の質量部が駆動し、それに伴い第２の質量部が回動するものであり、交流電圧の周波数が、第１の質量部と第２の質量部とが共振する２自由度振動系の共振周波数のうち低いものとほぼ等しくなるように設定された。
【選択図】 図１
【解決手段】第１の質量部１と、第２の質量部２と、支持部３と、第１の質量部と支持部とを、第１の質量部が支持部に対して回動可能となるように連結する、１対の第１の弾性連結部４と、第１の質量部と第２の質量部とを、第２の質量部が第１の質量部に対して回動可能となるように連結する、１対の第２の弾性連結部５とを有し、交流電圧を印加することによって、第１の質量部が駆動し、それに伴い第２の質量部が回動するものであり、交流電圧の周波数が、第１の質量部と第２の質量部とが共振する２自由度振動系の共振周波数のうち低いものとほぼ等しくなるように設定された。
【選択図】 図１
Description
本発明は、アクチュエータに関するものである。
例えば、レーザープリンタ等に用いられる光スキャナとしてポリゴンミラー（回転多面体）が知られている。
しかし、このようなポリゴンミラーにおいて、より高解像度で品質のよい印字と高速印刷を達成するには、ポリゴンミラーの回転をさらに高速にしなければならない。現在のポリゴンミラーには高速安定回転を維持するためにエアーベアリングが使用されているが、今以上の高速回転を得るのは困難となっている。また、高速にするためには、大型のモーターが必要であり、危機の小型化の面で不利であるという問題がある。このようなポリゴンミラーを用いると、構造が複雑となり、コストが高くなるといった問題も生じる。
しかし、このようなポリゴンミラーにおいて、より高解像度で品質のよい印字と高速印刷を達成するには、ポリゴンミラーの回転をさらに高速にしなければならない。現在のポリゴンミラーには高速安定回転を維持するためにエアーベアリングが使用されているが、今以上の高速回転を得るのは困難となっている。また、高速にするためには、大型のモーターが必要であり、危機の小型化の面で不利であるという問題がある。このようなポリゴンミラーを用いると、構造が複雑となり、コストが高くなるといった問題も生じる。
また、図８に示すような、平行平板状に電極を配置した１自由度のねじり振動子は、その構造が簡単なことから、アクチュエータの研究初期から提案されている（例えば、非特許文献１参照）。また、上記ねじり振動子をカンチレバー方式とした１自由度静電駆動型振動子も提案されている（例えば、非特許文献２参照）。
図８の１自由度静電駆動型ねじり振動子は、ガラス基板１０００上の両端部にスぺーサ２００を介してシリコンの単結晶板からなる可動電極板３００の両端固定部３００ａを固定し、この可動電極板３００の両端固定部３００ａ間に、細巾のトーションバー３００ｂを介して可動電極部３００ｃを支持させ、また、その可動電極部３００ｃに電極間隔を置いて対向させる固定電極４００を、ガラス基板１０００上において上記可動電極部３００ｃに対し平行配置している。可動電極板３００と固定電極４００との間にはスイッチ６００を介して電源５００が接続される。
図８の１自由度静電駆動型ねじり振動子は、ガラス基板１０００上の両端部にスぺーサ２００を介してシリコンの単結晶板からなる可動電極板３００の両端固定部３００ａを固定し、この可動電極板３００の両端固定部３００ａ間に、細巾のトーションバー３００ｂを介して可動電極部３００ｃを支持させ、また、その可動電極部３００ｃに電極間隔を置いて対向させる固定電極４００を、ガラス基板１０００上において上記可動電極部３００ｃに対し平行配置している。可動電極板３００と固定電極４００との間にはスイッチ６００を介して電源５００が接続される。
上記構成を有するねじり振動子は、可動電極部３００ｃと固定電極４００との間に電圧を印加すると、静電引力によりトーションバー３００ｂを軸として可動電極部３００ｃが回転するものである。しかるに、静電引力は電極間隔の二乗に反比例するため、この種の静電アクチュエータにおいては電極間隔を小さくすることが望まれる。しかし、上述した１自由度の構造では、可動電極部３００ｃが電極と可動部を兼ねるため、電極間隔を狭くすると変位（回転角）に制約が生じ、また可動範囲を大きくとるためには電極間隔を大きくする必要がある。このため、低電圧駆動と大振幅の両立が困難であるという問題がある。
K.E.Petersen:"Silicon Torsional Scanning Mirror",IBMJ.Res.Develop.,vol.24(1980)、P.631
河村他："Ｓｉを用いたマイクロメカニクスの研究"、昭和６１年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集、P.753
本発明の目的は、低電圧で高速動作が可能で、かつ、振れ角（振幅）の大きいアクチュエータを提供することにある。
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のアクチュエータは、２自由度振動系のアクチュエータであって、
第１の質量部と、
第２の質量部と、
支持部と、
前記第１の質量部と前記支持部とを、前記第１の質量部が前記支持部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも１対の第１の弾性連結部と、
前記第１の質量部と前記第２の質量部とを、前記第２の質量部が前記第１の質量部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも１対の第２の弾性連結部とを有し、
交流電圧を印加することによって、前記第１の質量部が駆動し、それに伴い前記第２の質量部が回動するものであり、
前記交流電圧の周波数が、前記第１の質量部と前記第２の質量部とが共振する２自由度振動系の共振周波数のうち低いものとほぼ等しくなるように設定されたことを特徴とする。
これより、低電圧で高速動作が可能で、かつ、振れ角（振幅）の大きいアクチュエータを提供することができる。また、このような構成とすることにより、第１の質量部の振幅を抑制しつつ、第２の質量部の回転角度（振れ角）を大きくすることができる。
本発明のアクチュエータは、２自由度振動系のアクチュエータであって、
第１の質量部と、
第２の質量部と、
支持部と、
前記第１の質量部と前記支持部とを、前記第１の質量部が前記支持部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも１対の第１の弾性連結部と、
前記第１の質量部と前記第２の質量部とを、前記第２の質量部が前記第１の質量部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも１対の第２の弾性連結部とを有し、
交流電圧を印加することによって、前記第１の質量部が駆動し、それに伴い前記第２の質量部が回動するものであり、
前記交流電圧の周波数が、前記第１の質量部と前記第２の質量部とが共振する２自由度振動系の共振周波数のうち低いものとほぼ等しくなるように設定されたことを特徴とする。
これより、低電圧で高速動作が可能で、かつ、振れ角（振幅）の大きいアクチュエータを提供することができる。また、このような構成とすることにより、第１の質量部の振幅を抑制しつつ、第２の質量部の回転角度（振れ角）を大きくすることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記支持部と所定の距離だけ離間して対向するように設けられた対向基板と、
前記対向基板の、前記支持部が設けられている側の面の、前記第１の質量部に対応する位置に設けられた１対の電極とを備えており、
前記電極と前記第１の質量部との間に生じる静電気力によって、前記第１の質量部が駆動するものであることが好ましい。
これにより、第２の質量部の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
前記対向基板の、前記支持部が設けられている側の面の、前記第１の質量部に対応する位置に設けられた１対の電極とを備えており、
前記電極と前記第１の質量部との間に生じる静電気力によって、前記第１の質量部が駆動するものであることが好ましい。
これにより、第２の質量部の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記対向基板の、前記第２の質量部に対応する位置に開口部が設けられていることが好ましい。
これにより、第２の質量部が振れる際に、第２の質量部と対向基板とが接触するのを防止することができ、第２の質量部の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記第２の質量部が、光反射部を有することが好ましい。
これにより、例えば、光スキャナとして用いた場合、光の光路を容易に変更することができる。
これにより、第２の質量部が振れる際に、第２の質量部と対向基板とが接触するのを防止することができ、第２の質量部の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記第２の質量部が、光反射部を有することが好ましい。
これにより、例えば、光スキャナとして用いた場合、光の光路を容易に変更することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記第１の弾性連結部のばね定数をｋ１、前記第２の弾性連結部のばね定数をｋ２としたとき、ｋ１とｋ２とが、ｋ１＞ｋ２の関係を満足することが好ましい。
これにより、第１の質量部の振れ角を抑制しつつ、第２の質量部の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
これにより、第１の質量部の振れ角を抑制しつつ、第２の質量部の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記第１の質量部の質量をｍ１、前記第２の質量部の質量をｍ２としたとき、ｍ１とｍ２とが、ｍ１≦ｍ２の関係を満足することが好ましい。
これにより、第１の質量部の振れ角を抑制しつつ、第２の質量部の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
本発明のアクチュエータでは、一対の前記第１の弾性連結部および一対の前記第２の弾性連結部のうち少なくとも１つが、その内部にピエゾ抵抗素子を備えていることが好ましい。
これにより、例えば、回転角度および回転周波数を検出したりすることができ、また、その検出結果を、第２の質量部の姿勢の制御に利用することができる。
これにより、第１の質量部の振れ角を抑制しつつ、第２の質量部の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
本発明のアクチュエータでは、一対の前記第１の弾性連結部および一対の前記第２の弾性連結部のうち少なくとも１つが、その内部にピエゾ抵抗素子を備えていることが好ましい。
これにより、例えば、回転角度および回転周波数を検出したりすることができ、また、その検出結果を、第２の質量部の姿勢の制御に利用することができる。
以下、本発明のアクチュエータの好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
まず、本発明のアクチュエータの第１実施形態について説明する。
図１は、本発明のアクチュエータの第１実施形態を示す平面図、図２は、本発明のアクチュエータの第１実施形態を示す縦断面図、図３は、第１実施形態の対向基板および電極を示す部分平面図、図４は、印加した交流電圧の周波数と、第１の質量部および第２の質量部の共振曲線を示すグラフである。
まず、本発明のアクチュエータの第１実施形態について説明する。
図１は、本発明のアクチュエータの第１実施形態を示す平面図、図２は、本発明のアクチュエータの第１実施形態を示す縦断面図、図３は、第１実施形態の対向基板および電極を示す部分平面図、図４は、印加した交流電圧の周波数と、第１の質量部および第２の質量部の共振曲線を示すグラフである。
図１に示すアクチュエータ１００は、第１の質量部（駆動部）１と、第２の質量部（可動部）２と、支持部３とを有している。第１の質量部１、第２の質量部２および１対の支持部３は、それぞれ、例えば、シリコン等で構成されている。
本実施形態の第２の質量部２の表面（後述する対向基板６が設けられている側とは反対の面側）には、光反射部２１が設けられている。
本実施形態の第２の質量部２の表面（後述する対向基板６が設けられている側とは反対の面側）には、光反射部２１が設けられている。
また、アクチュエータ１００は、図１に示すように、第１の質量部１が支持部３に対して回動可能となるように、第１の質量部１と支持部３とを連結する１対の第１の弾性連結部４を有している。また、第２の質量部２が第１の質量部１に対して回動可能となるように、第１の質量部１と第２の質量部２とを連結する１対の第２の弾性連結部５を有している。
支持部３は、図２に示すように、絶縁部８を介して、スペーサ９と接合している。絶縁部８は、例えば、シリコンの酸化物や窒化物等で構成され、スペーサ９は、例えば、シリコン等で構成されている。
また、図２に示すように、本実施形態のアクチュエータ１００は、支持部３と所定の距離だけ離間して対向するように設けられた対向基板６を有している。この対向基板６は、各種ガラスやシリコン等で構成されている。
また、図２に示すように、本実施形態のアクチュエータ１００は、支持部３と所定の距離だけ離間して対向するように設けられた対向基板６を有している。この対向基板６は、各種ガラスやシリコン等で構成されている。
対向基板６と支持部３とは、図示の構成のように、スペーサ９を介して接合している。
対向基板６は、図２および図３に示すように、第２の質量部２に対応する位置に開口部６１を有している。
また、図２および図３に示すように、対向基板６上には、第１の質量部１に対応する位置に、一対の電極７が設けられている。また、一対の電極７は、第１の質量部１の回転軸（第１の弾性連結部４）を中心にほぼ対称となるように設けられている。
対向基板６は、図２および図３に示すように、第２の質量部２に対応する位置に開口部６１を有している。
また、図２および図３に示すように、対向基板６上には、第１の質量部１に対応する位置に、一対の電極７が設けられている。また、一対の電極７は、第１の質量部１の回転軸（第１の弾性連結部４）を中心にほぼ対称となるように設けられている。
第１の質量部１と電極７とは、図示しない電源で接続されており、第１の質量部１と電極７との間に交流電圧（駆動電圧）を印加できるよう構成されている。なお、第１の質量部１の電極７と対向する面の表面には、絶縁膜（図示せず）が設けられている。これにより、短絡を防止することができる。
上述したような構成の２自由度振動型アクチュエータにおいては、第１の質量部１と第１の弾性連結部４とからなる第１の振動系と、第２の質量部２と第２の弾性連結部５とからなる第２の振動系とを構成する。
上述したような構成の２自由度振動型アクチュエータにおいては、第１の質量部１と第１の弾性連結部４とからなる第１の振動系と、第２の質量部２と第２の弾性連結部５とからなる第２の振動系とを構成する。
第１の質量部１と電極７との間に交流電圧を印加すると、第１の質量部１と電極７との間に静電気力が生じる。この静電気力により、第１の質量部１が、電極７の方へ引きつけられ、第１の弾性連結部４を軸に振動（回転）する。この第１の質量部１の振動に伴って、第２の弾性連結部５を介して連結されている第２の質量部２は第２の弾性連結部５を軸に振動（回転）する。
ところで、このような２自由度振動型アクチュエータでは、第１の質量部１および第２の質量部２の振幅（振れ角）と、印加する交流電圧の周波数との間に、図４に示すような周波数特性が存在している。
すなわち、第１の質量部１と第１の弾性連結部４と、第２の質量部２と第２の弾性連結部５とからなる２自由度振動系は、第１の質量部１および第２の質量部２の振幅が大きくなる２つの共振周波数ｆｍ１［ｋＨｚ］、ｆｍ３［ｋＨｚ］（ただし、ｆｍ１＜ｆｍ３）と、第１の質量部１の振幅がほぼ０となる、１つの反共振周波数ｆｍ２［ｋＨｚ］とを有している。
すなわち、第１の質量部１と第１の弾性連結部４と、第２の質量部２と第２の弾性連結部５とからなる２自由度振動系は、第１の質量部１および第２の質量部２の振幅が大きくなる２つの共振周波数ｆｍ１［ｋＨｚ］、ｆｍ３［ｋＨｚ］（ただし、ｆｍ１＜ｆｍ３）と、第１の質量部１の振幅がほぼ０となる、１つの反共振周波数ｆｍ２［ｋＨｚ］とを有している。
本発明では、上記のような構成のアクチュエータにおいて、第１の質量部と電極との間に印加する交流電圧の周波数Ｆが、２つの共振周波数のうち低いもの、すなわち、ｆｍ１とほぼ等しくなるように設定することを特徴とする。
すなわち、印加する交流電圧の周波数Ｆ［ｋＨｚ］をｆｍ１［ｋＨｚ］とほぼ等しいものに設定することにより、第１の質量部１の振幅を抑制しつつ、第２の質量部２の振れ角（回転角度）を大きくすることができる。なお、本明細書中では、Ｆ［ｋＨｚ］とｆｍ１［ｋＨｚ］とがほぼ等しいとは、（ｆｍ１−１）≦Ｆ≦（ｆｍ１＋１）の条件を満足することを意味する。
すなわち、印加する交流電圧の周波数Ｆ［ｋＨｚ］をｆｍ１［ｋＨｚ］とほぼ等しいものに設定することにより、第１の質量部１の振幅を抑制しつつ、第２の質量部２の振れ角（回転角度）を大きくすることができる。なお、本明細書中では、Ｆ［ｋＨｚ］とｆｍ１［ｋＨｚ］とがほぼ等しいとは、（ｆｍ１−１）≦Ｆ≦（ｆｍ１＋１）の条件を満足することを意味する。
対向基板６の電極７が設けられている面と平行な方向に対する第２の質量部２の最大振れ角は、２０°以上であるのが好ましい。これにより、例えば、レーザープリンタ等の装置に用いられる光スキャナに適用した場合、より容易に装置を小型化することができる。
第１の質量部１の平均厚さは、１〜１０００μｍであるのが好ましく、１０〜３００μｍであるのがより好ましい。
第１の質量部１の平均厚さは、１〜１０００μｍであるのが好ましく、１０〜３００μｍであるのがより好ましい。
第２の質量部２の平均厚さは、１〜１０００μｍであるのが好ましく、１０〜３００μｍであるのがより好ましい。
第１の弾性連結部４のばね定数ｋ１は、１×１０−４〜１×１０４Ｎｍ／ｒａｄであるのが好ましく、１×１０−２〜１×１０３Ｎｍ／ｒａｄであるのがより好ましく、１×１０−１〜１×１０２Ｎｍ／ｒａｄであるのがさらに好ましい。これにより、第２の質量部２の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
また、第２の弾性連結部５のばね定数ｋ２は、１×１０−４〜１×１０４Ｎｍ／ｒａｄであるのが好ましく、１×１０−２〜１×１０３Ｎｍ／ｒａｄであるのがより好ましく、１×１０−１〜１×１０２Ｎｍ／ｒａｄであるのがさらに好ましい。これにより、第１の質量部１の振れ角を抑制しつつ、第２の質量部２の振れ角をより大きくすることができる。
第１の弾性連結部４のばね定数ｋ１は、１×１０−４〜１×１０４Ｎｍ／ｒａｄであるのが好ましく、１×１０−２〜１×１０３Ｎｍ／ｒａｄであるのがより好ましく、１×１０−１〜１×１０２Ｎｍ／ｒａｄであるのがさらに好ましい。これにより、第２の質量部２の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
また、第２の弾性連結部５のばね定数ｋ２は、１×１０−４〜１×１０４Ｎｍ／ｒａｄであるのが好ましく、１×１０−２〜１×１０３Ｎｍ／ｒａｄであるのがより好ましく、１×１０−１〜１×１０２Ｎｍ／ｒａｄであるのがさらに好ましい。これにより、第１の質量部１の振れ角を抑制しつつ、第２の質量部２の振れ角をより大きくすることができる。
第１の弾性連結部４のばね定数をｋ１、第２の弾性連結部５のばね定数をｋ２としたとき、ｋ１とｋ２とが、ｋ１＞ｋ２の関係を満足するのが好ましい。これにより、第１の質量部１の振れ角を抑制しつつ、第２の質量部２の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
また、第１の質量部１の質量をｍ１、前記第２の質量部２の質量をｍ２としたとき、ｍ１とｍ２とが、ｍ１≦ｍ２の関係を満足することが好ましい。これにより、第１の質量部１の振れ角を抑制しつつ、第２の質量部２の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
また、第１の質量部１の質量をｍ１、前記第２の質量部２の質量をｍ２としたとき、ｍ１とｍ２とが、ｍ１≦ｍ２の関係を満足することが好ましい。これにより、第１の質量部１の振れ角を抑制しつつ、第２の質量部２の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
ところで、第１の振動系の固有振動数ω１は、第１の質量部１の質量をｍ１、第１の弾性連結部４のばね定数をｋ１としたとき、ω１＝（ｋ１／ｍ１）１／２によって与えられ、第２の振動系の固有振動数ω２は、第２の質量部２の質量をｍ２、第２の弾性連結部５のばね定数をｋ２としたとき、ω２＝（ｋ２／ｍ２）１／２によって与えられる。
上記のようにして求められる第１の振動系の固有振動数ω１と第２の振動系の固有振動数ω２とは、ω１＞ω２の関係を満足するのが好ましい。これにより、第１の質量部１の振れ角を抑制しつつ、第２の質量部２の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
上記のようにして求められる第１の振動系の固有振動数ω１と第２の振動系の固有振動数ω２とは、ω１＞ω２の関係を満足するのが好ましい。これにより、第１の質量部１の振れ角を抑制しつつ、第２の質量部２の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
なお、本実施形態のアクチュエータ１００は、一対の第１の弾性連結部４および一対の第２の弾性連結部５のうち少なくとも１つが、その内部にピエゾ抵抗素子を備えたものであるのが好ましい。これにより、例えば、回転角度および回転周波数を検出したりすることができ、また、その検出結果を、第２の質量部２の姿勢の制御に利用することができる。
次に、図１および図２に示すようなアクチュエータ１００の製造方法の一例について添付図面を参照しつつ説明する。
図５は、アクチュエータの製造方法の一例を示す工程図である。
本実施形態では、一例として、以下に示す、第１の工程と第２の工程と第３の工程とにより、アクチュエータ１００を製造する場合について説明する。
図５は、アクチュエータの製造方法の一例を示す工程図である。
本実施形態では、一例として、以下に示す、第１の工程と第２の工程と第３の工程とにより、アクチュエータ１００を製造する場合について説明する。
［第１の工程］
まず、図５（ａ）に示すように、第１のＳｉ層４０と、ＳｉＯ２層８’と、第２のＳｉ層９’とで構成されたＳＯＩ基板５０を用意する。
次に、図５（ｂ）に示すように、第１のＳｉ層４０に、例えばエッチング等を施すことにより、第１の質量部１、第２の質量部２、支持部３、第１の弾性連結部４、第２の弾性連結部５を形成する。
次に、図５（ｃ）に示すように、第２のＳｉ層９’に、例えばエッチング等を施すことにより、スペーサ９を形成する。
その後、第２の質量部２上に、図５（ｄ）に示すように、光反射部２１を、例えば、真空蒸着法等により成膜し、上基板６０が得られる。
まず、図５（ａ）に示すように、第１のＳｉ層４０と、ＳｉＯ２層８’と、第２のＳｉ層９’とで構成されたＳＯＩ基板５０を用意する。
次に、図５（ｂ）に示すように、第１のＳｉ層４０に、例えばエッチング等を施すことにより、第１の質量部１、第２の質量部２、支持部３、第１の弾性連結部４、第２の弾性連結部５を形成する。
次に、図５（ｃ）に示すように、第２のＳｉ層９’に、例えばエッチング等を施すことにより、スペーサ９を形成する。
その後、第２の質量部２上に、図５（ｄ）に示すように、光反射部２１を、例えば、真空蒸着法等により成膜し、上基板６０が得られる。
［第２の工程］
まず、図５（ｅ）に示すように、ガラス基板６’を用意する。
次に、図５（ｆ）に示すように、ガラス基板６’に、例えばエッチング等を施すことにより、開口部６１を有する対向基板６を形成する。
その後、図５（ｇ）に示すように、対向基板６上に、例えば、真空蒸着法等により、電極７を形成し、下基板７０が得られる。
まず、図５（ｅ）に示すように、ガラス基板６’を用意する。
次に、図５（ｆ）に示すように、ガラス基板６’に、例えばエッチング等を施すことにより、開口部６１を有する対向基板６を形成する。
その後、図５（ｇ）に示すように、対向基板６上に、例えば、真空蒸着法等により、電極７を形成し、下基板７０が得られる。
［第３の工程］
第１の工程で得られた上基板６０と、第２の工程で得られた下基板７０とを、図５（ｈ）に示すように、例えば陽極接合等により、接合する。
次に、図５（ｉ）に示すように、ＳｉＯ２層８’の、支持部３とスペーサ９とに挟まれた部分を除いた部分を、エッチング等により除去し、絶縁部８を形成する。
以上のようにして、アクチュエータ１００が製造される。
なお、第２の工程は、第１の工程と同時に行ってもよいし、第１の工程よりも先に行ってもよい。
第１の工程で得られた上基板６０と、第２の工程で得られた下基板７０とを、図５（ｈ）に示すように、例えば陽極接合等により、接合する。
次に、図５（ｉ）に示すように、ＳｉＯ２層８’の、支持部３とスペーサ９とに挟まれた部分を除いた部分を、エッチング等により除去し、絶縁部８を形成する。
以上のようにして、アクチュエータ１００が製造される。
なお、第２の工程は、第１の工程と同時に行ってもよいし、第１の工程よりも先に行ってもよい。
次に、本発明のアクチュエータの第２実施形態について説明する。
図６は、本発明のアクチュエータの第２実施形態を示す平面図である。以下、図６に示すアクチュエータ１００’について、前記第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本実施形態のアクチュエータ１００’は、図６に示すように、第１の質量部１が支持部３に対して回動可能となるように、第１の質量部１と支持部３とを連結する２対の第１の弾性連結部４’を有している。また、第２の質量部２が第１の質量部１に対して回動可能となるように、第１の質量部１と第２の質量部２とを連結する２対の第２の弾性連結部５’を有している。
図６は、本発明のアクチュエータの第２実施形態を示す平面図である。以下、図６に示すアクチュエータ１００’について、前記第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本実施形態のアクチュエータ１００’は、図６に示すように、第１の質量部１が支持部３に対して回動可能となるように、第１の質量部１と支持部３とを連結する２対の第１の弾性連結部４’を有している。また、第２の質量部２が第１の質量部１に対して回動可能となるように、第１の質量部１と第２の質量部２とを連結する２対の第２の弾性連結部５’を有している。
このような構成とすることにより、より確実に第２の質量部２の振幅（回転）を制御することができる。
なお、本実施形態のように２対の第１の弾性連結部４’と２対の第２の弾性連結部５’を有する場合、前記実施形態で説明したばね定数ｋ１、ｋ２は、ほぼ同じ位置で連結している２つの弾性連結部を一体的なものとみなして求められるものである。
なお、本実施形態のように２対の第１の弾性連結部４’と２対の第２の弾性連結部５’を有する場合、前記実施形態で説明したばね定数ｋ１、ｋ２は、ほぼ同じ位置で連結している２つの弾性連結部を一体的なものとみなして求められるものである。
次に、本発明のアクチュエータの第３実施形態について説明する。
図７は、本発明のアクチュエータの第３実施形態を示す平面図である。以下、図７に示すアクチュエータ１００”について、前記第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本実施形態のアクチュエータ１００”は、電磁力（ローレンツ力）により駆動するように構成されている。
図７は、本発明のアクチュエータの第３実施形態を示す平面図である。以下、図７に示すアクチュエータ１００”について、前記第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本実施形態のアクチュエータ１００”は、電磁力（ローレンツ力）により駆動するように構成されている。
すなわち、アクチュエータ１００”は、図７に示すように、１対の支持部３のそれぞれに設けられた端子１０と、第１の質量部１の対向基板６と対向する面とは反対側の面に設けられたコイル２０と、第１の質量部１を挟むように弾性連結部を中心に対向配置された１対の永久磁石３０とを有している。
一対の永久磁石３０は、Ｓ極とＮ極とが互いに向かい合うように設置されている。
また、コイル２０の端部は、端子１０と接続されている。
端子１０は、図示せぬ電源に接続されており、コイル２０に交流電圧を印加できるようになっている。
一対の永久磁石３０は、Ｓ極とＮ極とが互いに向かい合うように設置されている。
また、コイル２０の端部は、端子１０と接続されている。
端子１０は、図示せぬ電源に接続されており、コイル２０に交流電圧を印加できるようになっている。
本実施形態のアクチュエータ１００”は、交流電圧の印加によってコイル２０（第１の質量部１）と永久磁石３０との間でローレンツ力が生じ、そのローレンツ力によって駆動するものである。
以上説明したようなアクチュエータは、例えば、レーザープリンタ、バーコードリーダー等の光スキャナ、イメージング用ディスプレイ等に好適に適用することができる。
以上説明したようなアクチュエータは、例えば、レーザープリンタ、バーコードリーダー等の光スキャナ、イメージング用ディスプレイ等に好適に適用することができる。
以上、本発明のアクチュエータについて、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、本発明のアクチュエータでは、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。
また、前述した実施形態では、第１の弾性連結部４を一対または２対有するものとして説明したが、これに限定されず、例えば、３対以上であってもよい。
また、前述した実施形態では、第１の弾性連結部４を一対または２対有するものとして説明したが、これに限定されず、例えば、３対以上であってもよい。
また、前述した実施形態では、第２の弾性連結部５を一対または２対有するものとして説明したが、これに限定されず、例えば、３対以上であってもよい。
また、前述した実施形態では、光反射部２１が第２の質量部２の対向基板６が設けられている側とは反対の面側に設けられている構成について説明したが、例えば、その逆の面に設けられている構成であってもよいし、両方の面に設けられている構成であってもよい。
また、前述した実施形態では、光反射部２１が第２の質量部２の対向基板６が設けられている側とは反対の面側に設けられている構成について説明したが、例えば、その逆の面に設けられている構成であってもよいし、両方の面に設けられている構成であってもよい。
また、前述した実施形態では、対向基板６上に電極７が設けられている構成について説明したが、第１の質量部１に設けられていてもよいし、対向基板６と第１の質量部１の両方に設けられていてもよい。
また、前述した実施形態では、一対の電極７を備えた構成について説明したが、一対でなくてもよい。
また、前述した実施形態では、一対の電極７を備えた構成について説明したが、一対でなくてもよい。
また、前述した実施形態では、第１の弾性連結部および第２の弾性連結部の形状として図示の構成のものについて説明したが、これに限定されず、例えば、その形状が、クランク形状等であってもよいし、分岐した構造を有するものであってもよい。
また、前述した実施形態では、第２の質量部２の電極７と対向する面の表面に、短絡防止用の絶縁膜が設けられている構成について説明したが、例えば、このような絶縁膜は、電極７の表面に設けられていてもよいし、両方に設けられていてもよい。
また、前述した実施形態では、第２の質量部２の電極７と対向する面の表面に、短絡防止用の絶縁膜が設けられている構成について説明したが、例えば、このような絶縁膜は、電極７の表面に設けられていてもよいし、両方に設けられていてもよい。
また、前述した実施形態では、コイル２０が第１の質量部１の対向基板６と対向する面とは反対側の面に設けられている構成について説明したが、例えば、その逆の面に設けられていてもよいし、第１の質量部１の内部に設けられているものであってもよい。
また、前述した実施形態では、上基板６０を一体的に製造するものとして説明したが、一体的に製造しなくてもよい。例えば、第１の質量部１と第２の質量部２と支持部３と第１の弾性連結部４と第２の弾性連結部５とを一体的に形成した基板と、下基板７０とを、例えば、ガラス等で構成されたスペーサを介して、接合するものであってもよいし、各部を別々に作製して接合するものであってもよい。
また、前述した実施形態では、上基板６０を一体的に製造するものとして説明したが、一体的に製造しなくてもよい。例えば、第１の質量部１と第２の質量部２と支持部３と第１の弾性連結部４と第２の弾性連結部５とを一体的に形成した基板と、下基板７０とを、例えば、ガラス等で構成されたスペーサを介して、接合するものであってもよいし、各部を別々に作製して接合するものであってもよい。
１……第１の質量部 ２……第２の質量部 ２１……光反射部 ３……支持部 ４、４’……第１の弾性連結部 ５、５’……第２の弾性連結部 ６……対向基板 ６１……開口部 ７……電極 ８……絶縁部 ９……スペーサ ６’……ガラス基板 ８’……ＳｉＯ２層 ９’……第２のＳｉ層 ４０……第１のＳｉ層 ５０……ＳＯＩ基板 ６０……上基板 ７０……下基板 １０……端子 ２０……コイル ３０……永久磁石 １００、１００’、１００”……アクチュエータ ２００……スペーサ ３００……可動電極板 ３００ａ……両端固定部 ３００ｂ……トーションバー ３００ｃ……可動電極部 ４００……固定電極 ５００……電源 ６００……スイッチ １０００……ガラス基板
Claims (7)
- ２自由度振動系のアクチュエータであって、
第１の質量部と、
第２の質量部と、
支持部と、
前記第１の質量部と前記支持部とを、前記第１の質量部が前記支持部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも１対の第１の弾性連結部と、
前記第１の質量部と前記第２の質量部とを、前記第２の質量部が前記第１の質量部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも１対の第２の弾性連結部とを有し、
交流電圧を印加することによって、前記第１の質量部が駆動し、それに伴い前記第２の質量部が回動するものであり、
前記交流電圧の周波数が、前記第１の質量部と前記第２の質量部とが共振する２自由度振動系の共振周波数のうち低いものとほぼ等しくなるように設定されたことを特徴とするアクチュエータ。 - 前記支持部と所定の距離だけ離間して対向するように設けられた対向基板と、
前記対向基板の、前記支持部が設けられている側の面の、前記第１の質量部に対応する位置に設けられた１対の電極とを備えており、
前記電極と前記第１の質量部との間に生じる静電気力によって、前記第１の質量部が駆動するものである請求項１に記載のアクチュエータ。 - 前記対向基板の、前記第２の質量部に対応する位置に開口部が設けられている請求項２に記載のアクチュエータ。
- 前記第２の質量部は、光反射部を有する請求項２または３に記載のアクチュエータ。
- 前記第１の弾性連結部のばね定数をｋ１、前記第２の弾性連結部のばね定数をｋ２としたとき、ｋ１とｋ２とが、ｋ１＞ｋ２の関係を満足する請求項１ないし４のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記第１の質量部の質量をｍ１、前記第２の質量部の質量をｍ２としたとき、ｍ１とｍ２とが、ｍ１≦ｍ２の関係を満足する請求項１ないし５のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 一対の前記第１の弾性連結部および一対の前記第２の弾性連結部のうち少なくとも１つが、その内部にピエゾ抵抗素子を備えている請求項１ないし６のいずれかに記載のアクチュエータ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004239345A JP4492252B2 (ja) | 2003-09-05 | 2004-08-19 | アクチュエータ |
| US10/934,331 US7382510B2 (en) | 2003-09-05 | 2004-09-03 | Actuator |
| CNB2004100687212A CN100411294C (zh) | 2003-09-05 | 2004-09-06 | 致动器 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003314502 | 2003-09-05 | ||
| JP2004239345A JP4492252B2 (ja) | 2003-09-05 | 2004-08-19 | アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005099760A true JP2005099760A (ja) | 2005-04-14 |
| JP4492252B2 JP4492252B2 (ja) | 2010-06-30 |
Family
ID=34467704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004239345A Expired - Fee Related JP4492252B2 (ja) | 2003-09-05 | 2004-08-19 | アクチュエータ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7382510B2 (ja) |
| JP (1) | JP4492252B2 (ja) |
| CN (1) | CN100411294C (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005134665A (ja) * | 2003-10-30 | 2005-05-26 | Olympus Corp | 光偏向器 |
| WO2006111465A1 (de) * | 2005-04-20 | 2006-10-26 | Siemens Aktiengesellschaft | Elektrostatischer generator für mehrfrequente vibrationsquellen |
| JP2006330399A (ja) * | 2005-05-26 | 2006-12-07 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ |
| JP2008076569A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置 |
| US7420315B2 (en) | 2004-12-15 | 2008-09-02 | Seiko Epson Corporation | Actuator |
| US7593152B2 (en) | 2006-01-05 | 2009-09-22 | Seiko Epson Corporation | Optical device |
| US7649301B2 (en) | 2004-12-15 | 2010-01-19 | Seiko Epson Corporation | Actuator capable of driving with large rotational angle or large deflection angle |
| US7656570B2 (en) | 2006-05-30 | 2010-02-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical deflector and optical instrument using the same |
| JP2017167254A (ja) * | 2016-03-15 | 2017-09-21 | パイオニア株式会社 | 駆動装置及びミラー装置 |
| WO2020032274A1 (ja) | 2018-08-10 | 2020-02-13 | 浜松ホトニクス株式会社 | アクチュエータ装置、及びアクチュエータ装置の製造方法 |
| JP2021081593A (ja) * | 2019-11-19 | 2021-05-27 | 株式会社リコー | 台座、可動装置、レーザレーダ装置、画像形成装置及び画像投影装置 |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7468824B2 (en) * | 2004-01-19 | 2008-12-23 | Ricoh Company, Ltd. | Imaging apparatus including optical scanning device with deflecting mirror module, and method of deflecting with the mirror module |
| JP4193817B2 (ja) * | 2005-06-22 | 2008-12-10 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ |
| JP5441309B2 (ja) * | 2006-02-13 | 2014-03-12 | キヤノン株式会社 | 揺動体装置、及び光偏向装置 |
| JP4881073B2 (ja) * | 2006-05-30 | 2012-02-22 | キヤノン株式会社 | 光偏向器、及びそれを用いた光学機器 |
| US8234578B2 (en) * | 2006-07-25 | 2012-07-31 | Northrop Grumman Systems Corporatiom | Networked gesture collaboration system |
| KR100908120B1 (ko) * | 2006-11-01 | 2009-07-16 | 삼성전기주식회사 | 전자기 마이크로 액츄에이터 |
| US7821693B1 (en) * | 2006-12-06 | 2010-10-26 | Advanced Numicro Systems, Inc. | MEMS mirror with rotation amplification and electromagnetic drive |
| DE102007030994A1 (de) * | 2007-07-04 | 2009-01-08 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zur Schwingungsanregung eines Schwingungselements eines mikromechanischen Bauelements |
| US8526089B2 (en) * | 2007-10-05 | 2013-09-03 | Innoluce B.V. | MEMS scanning micromirror |
| DE102008001053A1 (de) * | 2008-04-08 | 2009-10-15 | Robert Bosch Gmbh | Elektrodenkamm, mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für einen Elektrodenkamm oder ein mikromechanisches Bauteil |
| KR102138339B1 (ko) * | 2018-10-24 | 2020-07-27 | 주식회사 엠플러스 | 사운드 진동 액츄에이터 |
| CN109613695B (zh) * | 2019-01-14 | 2022-01-25 | 清华大学深圳研究生院 | 一种mems扫描镜 |
| WO2020184108A1 (ja) * | 2019-03-12 | 2020-09-17 | アルプスアルパイン株式会社 | 電磁駆動装置及び操作装置 |
| EP4074071A1 (en) * | 2019-12-11 | 2022-10-19 | Lofelt GmbH | Linear vibration actuator having moving coil and moving magnet |
| CN113933987A (zh) * | 2020-06-29 | 2022-01-14 | 华为技术有限公司 | Mems微镜及光学扫描装置 |
| DE102020213022A1 (de) | 2020-10-15 | 2022-04-21 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Optisches Reflexionselement |
| US11831215B2 (en) * | 2021-05-06 | 2023-11-28 | Aac Microtech (Changzhou) Co., Ltd. | Linear vibration motor |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06269186A (ja) * | 1993-03-12 | 1994-09-22 | Agency Of Ind Science & Technol | ２自由度振動型マイクロアクチュエータ |
| JP2002214561A (ja) * | 2000-11-20 | 2002-07-31 | Olympus Optical Co Ltd | 光偏向器 |
| JP2002221677A (ja) * | 2001-01-25 | 2002-08-09 | Miyota Kk | プレーナー型ガルバノミラー |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3003429B2 (ja) * | 1992-10-08 | 2000-01-31 | 富士電機株式会社 | ねじり振動子および光偏向子 |
| JPH0792409A (ja) | 1993-09-27 | 1995-04-07 | Canon Inc | 光スキャナー |
| JPH0990249A (ja) | 1995-09-25 | 1997-04-04 | Olympus Optical Co Ltd | 光偏向子及びその製造方法 |
| CN1187711A (zh) * | 1996-12-25 | 1998-07-15 | 株式会社尼康 | 振动致动器及其调节方法 |
| CN1337086A (zh) * | 1998-11-06 | 2002-02-20 | 霍尼韦尔有限公司 | 具有增强的恢复力的弯曲的致动器 |
| CN1333943A (zh) * | 1998-12-15 | 2002-01-30 | 跃龙公司 | 旋转的静电微致动器 |
-
2004
- 2004-08-19 JP JP2004239345A patent/JP4492252B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-09-03 US US10/934,331 patent/US7382510B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-09-06 CN CNB2004100687212A patent/CN100411294C/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06269186A (ja) * | 1993-03-12 | 1994-09-22 | Agency Of Ind Science & Technol | ２自由度振動型マイクロアクチュエータ |
| JP2002214561A (ja) * | 2000-11-20 | 2002-07-31 | Olympus Optical Co Ltd | 光偏向器 |
| JP2002221677A (ja) * | 2001-01-25 | 2002-08-09 | Miyota Kk | プレーナー型ガルバノミラー |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005134665A (ja) * | 2003-10-30 | 2005-05-26 | Olympus Corp | 光偏向器 |
| US7649301B2 (en) | 2004-12-15 | 2010-01-19 | Seiko Epson Corporation | Actuator capable of driving with large rotational angle or large deflection angle |
| US7880365B2 (en) | 2004-12-15 | 2011-02-01 | Seiko Epson Corporation | Actuator capable of driving with large rotational angle or large deflection angle |
| US7420315B2 (en) | 2004-12-15 | 2008-09-02 | Seiko Epson Corporation | Actuator |
| WO2006111465A1 (de) * | 2005-04-20 | 2006-10-26 | Siemens Aktiengesellschaft | Elektrostatischer generator für mehrfrequente vibrationsquellen |
| JP4507983B2 (ja) * | 2005-05-26 | 2010-07-21 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ |
| JP2006330399A (ja) * | 2005-05-26 | 2006-12-07 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ |
| US7593152B2 (en) | 2006-01-05 | 2009-09-22 | Seiko Epson Corporation | Optical device |
| US7656570B2 (en) | 2006-05-30 | 2010-02-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical deflector and optical instrument using the same |
| JP2008076569A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置 |
| JP4525652B2 (ja) * | 2006-09-19 | 2010-08-18 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置 |
| JP2017167254A (ja) * | 2016-03-15 | 2017-09-21 | パイオニア株式会社 | 駆動装置及びミラー装置 |
| WO2020032274A1 (ja) | 2018-08-10 | 2020-02-13 | 浜松ホトニクス株式会社 | アクチュエータ装置、及びアクチュエータ装置の製造方法 |
| KR20210040047A (ko) | 2018-08-10 | 2021-04-12 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 액추에이터 장치, 및 액추에이터 장치의 제조 방법 |
| US11970389B2 (en) | 2018-08-10 | 2024-04-30 | Hamamatsu Photonics K.K. | Actuator device and method for manufacturing actuator device |
| JP2021081593A (ja) * | 2019-11-19 | 2021-05-27 | 株式会社リコー | 台座、可動装置、レーザレーダ装置、画像形成装置及び画像投影装置 |
| JP7395980B2 (ja) | 2019-11-19 | 2023-12-12 | 株式会社リコー | 可動装置、レーザレーダ装置、画像形成装置及び画像投影装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20050088715A1 (en) | 2005-04-28 |
| JP4492252B2 (ja) | 2010-06-30 |
| CN1592069A (zh) | 2005-03-09 |
| US7382510B2 (en) | 2008-06-03 |
| CN100411294C (zh) | 2008-08-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4492252B2 (ja) | アクチュエータ | |
| JP3759598B2 (ja) | アクチュエータ | |
| JP4092283B2 (ja) | ２次元光スキャナ及び光学装置 | |
| JP3065611B1 (ja) | マイクロミラ―装置およびその製造方法 | |
| JP4385938B2 (ja) | アクチュエータ | |
| JP4193817B2 (ja) | アクチュエータ | |
| JP5319939B2 (ja) | 光偏向器および光学装置 | |
| JP4385937B2 (ja) | アクチュエータ | |
| JP2005128147A (ja) | 光偏向器及び光学装置 | |
| JPH10325935A (ja) | 一体的な光共振器、光スキャナエンジンおよびそれにおける使用に適した走査光線を発生するための方法 | |
| KR20090041766A (ko) | 미러로부터 분리된 액츄에이터를 구비한 멤스 스캐너 | |
| JP2011175043A (ja) | 光スキャナーおよび画像形成装置 | |
| JP4123133B2 (ja) | アクチュエータ | |
| JP2005279863A (ja) | アクチュエータの製造方法およびアクチュエータ | |
| JP2006167860A (ja) | アクチュエータ | |
| JP4581847B2 (ja) | アクチュエータ | |
| JP2006081320A (ja) | アクチュエータ | |
| JP2001264676A (ja) | 光スキャナ | |
| JP4561262B2 (ja) | アクチュエータ | |
| JP4175272B2 (ja) | アクチュエータ | |
| JP2005279864A (ja) | アクチュエータの製造方法およびアクチュエータ | |
| JP2001272626A (ja) | 光スキャナ | |
| JP2006067706A (ja) | アクチュエータ | |
| JP2006075944A (ja) | アクチュエータ | |
| JP2007121464A (ja) | チルトミラー素子及びその駆動方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070116 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091014 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091020 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20091029 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20091029 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091217 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20091217 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100202 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100223 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100316 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100329 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4492252 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130416 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130416 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140416 Year of fee payment: 4 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |