JP2008076569A - アクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の質量部21を平面視したときに第1の質量部21の回動中心軸Xを介して互いに逆向きに周回するように第1の質量部21と回動中心軸Xとに沿って形成されるとともに直列接続された1対のコイル28と、1対のコイル28に電圧を印加する電圧印加手段と、第1の質量部21に対しその片側にて1対のコイル28の各コイルに対向するように設けられ、互いに同極性の極性を有する1対の磁極41、42を備えた永久磁石4とを備え、電圧印加手段の作動により、1対のコイル28が互いに反対方向の磁界を発生させ、第1の質量部21を回動させるように構成されている。
【選択図】図1
Description
例えば、特許文献1には、ミラー部を備えた板状部材と、この板状部材を両持ち支持する1対の捩りバネとで1自由度の振動系を構成したアクチュエータが開示されている。
このような特許文献1にかかるアクチュエータでは、板状部材を介してその両側にそれぞれ磁極を設けているため、電磁石の大型化、ひいてはアクチュエータの大型化を招いてしまう。
また、かかるアクチュエータにあっては、板状部材および1対の捩りバネで1自由度の振動系が構成されているため、板状部材の回動角を大きなものとしつつ、省電力化を図ることが難しい。
本発明のアクチュエータは、枠状をなす第1の質量部と、
前記第1の質量部を支持するための支持部と、
前記第1の質量部を前記支持部に対して支持するように連結されてなる1対の第1の弾性部と、
前記第1の質量部の前記枠状の内側に設けられた第2の質量部と、
前記第2の質量部を前記第1の質量部に対して支持するように連結されてなる1対の第2の弾性部と、
前記第1の質量部を回動させる駆動手段とを有し、
前記駆動手段の作動により、前記1対の第1の弾性部を捩れ変形させながら前記第1の質量部を回動させ、前記1対の第2の弾性部を捩れ変形させながら前記第2の質量部を回動させるように構成されたアクチュエータであって、
前記駆動手段は、前記第1の質量部を平面視したときに前記第1の質量部の回動中心軸を介して互いに逆向きに周回するように前記第1の質量部と前記回動中心軸とに沿って形成されてなる1対のコイルと、該1対のコイルに電圧を印加する電圧印加手段と、前記第1の質量部の片側にて前記各コイルに対向するように設けられ、互いに同極性の極性を有する1対の磁極を備えた磁界発生手段とを備え、前記電圧印加手段の作動により、前記1対のコイルが互いに反対方向の磁界を発生させ、前記第1の質量部を回動させるように構成されていることを特徴とする。
これにより、各コイルを一回の成膜で形成して、アクチュエータの製造を簡単化することができる。その結果、アクチュエータの低コスト化を図ることができる。また、コイルを比較的薄いものとすることができるので、アクチュエータの振動特性に対するコイルの影響を少なくし、アクチュエータの設計を簡単化することができる。
これにより、1対のコイルの構成を簡単化し、アクチュエータの製造をより簡単化することができる。特に、第1の部分が1対のコイルの双方に共用されているため、アクチュエータの振動特性に対するコイルの影響をより少なくし、アクチュエータの設計をより簡単化することができる。
これにより、1対の配線を介して1対のコイルに電圧を印加することができる。このような1対の配線は、1対の第1の弾性部にそれぞれ設けられているため、比較的簡単に、1対の第1の弾性部の互いの捩りバネ定数を等しくすることができる。そのため、第1の質量部および第2の質量部の回動を円滑なものとすることができる。また、1対の配線は、コイルと同時に1回の成膜で形成することができ、アクチュエータの製造を簡単化することができる。
これにより、アクチュエータの構成を簡単化することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記磁界発生手段は、前記1対の磁極を有する1つの永久磁石で構成されていることが好ましい。
これにより、アクチュエータの構成をより簡単化することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記1対のコイルは、前記第1の質量部の前記1対の磁極側の面付近に設けられていることが好ましい。
これにより、コイルと磁極との間の距離を小さくして、アクチュエータをより省電力なものとすることができる。
これにより、第1の質量部および第2の質量部のそれぞれの回動角を大きくしても、コイルと磁極との接触を防止することができる。そのため、コイルと磁極との間の距離を小さくしつつ、第1の質量部および第2の質量部のそれぞれの回動角をより大きくすることができる。
これにより、コイルと磁極との間の距離を小さくしつつ、第1の質量部および第2の質量部のそれぞれの回動角をより大きくすることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記回動中心軸方向において、前記磁極の長さは、前記第2の質量部の長さよりも長いことが好ましい。
これにより、コイルと磁極との接触を防止しつつ、各磁極による磁界の強度を大きくすることができる。
これにより、同一電源を用いて1対のコイルに磁界を生じさせることができる。そのため、アクチュエータの低コスト化および小型化を図ることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記第2の質量部は、光反射性を有する光反射部を備えることが好ましい。
これにより、光スキャナ、光スイッチ、光アッテネータ等の光学デバイスに本発明を適用することができる。
前記第1の質量部を支持するための支持部と、
前記第1の質量部を前記支持部に対して支持するように連結されてなる1対の第1の弾性部と、
前記第1の質量部の前記枠状の内側に設けられ、光反射性を有する光反射部を備えた第2の質量部と、
前記第2の質量部を前記第1の質量部に対して支持するように連結されてなる1対の第2の弾性部と、
前記第1の質量部を回動させる駆動手段とを有し、
前記駆動手段の作動により、前記1対の第1の弾性部を捩れ変形させながら前記第1の質量部を回動させ、前記1対の第2の弾性部を捩れ変形させながら前記第2の質量部を回動させ、前記光反射部で反射した光を走査するように構成された光スキャナであって、
前記駆動手段は、前記第1の質量部を平面視したときに前記第1の質量部の回動中心軸を介して互いに逆向きに周回するように前記第1の質量部と前記回動中心軸とに沿って形成されてなる1対のコイルと、該1対のコイルに電圧を印加する電圧印加手段と、前記第1の質量部の片側にて前記各コイルに対向するように1対設けられた磁極を備えた磁界発生手段とを備え、前記電圧印加手段の作動により、前記1対のコイルが互いに反対方向の磁界を発生させ、前記第1の質量部を回動させるように構成されていることを特徴とする。
これにより、省電力化および小型化を図りつつ、第2の質量部の回動角を大きくすることができる光スキャナを提供することができる。
前記第1の質量部を支持するための支持部と、
前記第1の質量部を前記支持部に対して支持するように連結されてなる1対の第1の弾性部と、
前記第1の質量部の前記枠状の内側に設けられ、光反射性を有する光反射部を備えた第2の質量部と、
前記第2の質量部を前記第1の質量部に対して支持するように連結されてなる1対の第2の弾性部と、
前記第1の質量部を回動させる駆動手段と、
前記光反射部へ向けて光を照射する光照射手段とを有し、
前記駆動手段の作動により、前記1対の第1の弾性部を捩れ変形させながら前記第1の質量部を回動させ、前記1対の第2の弾性部を捩れ変形させながら前記第2の質量部を回動させ、前記光反射部で反射した光を主走査および/または副走査し、対象物上に画像を形成するように構成された画像形成装置であって、
前記駆動手段は、前記第1の質量部を平面視したときに前記第1の質量部の回動中心軸を介して互いに逆向きに周回するように前記第1の質量部と前記回動中心軸とに沿って形成されてなる1対のコイルと、該1対のコイルに電圧を印加する電圧印加手段と、前記第1の質量部の片側にて前記各コイルに対向するように1対設けられた磁極を備えた磁界発生手段とを備え、前記電圧印加手段の作動により、前記1対のコイルが互いに反対方向の磁界を発生させ、前記第1の質量部を回動させるように構成されていることを特徴とする。
図1は、本発明のアクチュエータの実施形態を示す平面図、図2は、図1中のA−A線断面図、図3は、図1に示すアクチュエータに備えられた1対のコイルを説明するための図、図4は、図1に示すアクチュエータの動作を説明するための図、図5は、図3に示すアクチュエータにおける第1の質量部および第2の質量部の振幅と印加電圧の周波数との関係を示すグラフである。
なお、以下では、説明の便宜上、図1中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言い、図2および図4中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
基体2は、図1に示すように、枠状をなす第1の質量部21と、第1の質量部21を支持するための支持部22と、第1の質量部21と支持部22とを連結する1対の第1の弾性部23、24と、第1の質量部21の内側に設けられた第2の質量部25と、第1の質量部21と第2の質量部25とを連結する1対の第2の弾性部26、27とを有している。
第1の質量部21は、枠状(より具体的には四角環状)をなしている。
このような枠状をなす第1の質量部21の内側には、第1の質量部21に対し離間した状態で、第2の質量部25が設けられている。
第2の質量部25は、板状をなし、その板面(上面)に光反射部251が設けられている。これにより、アクチュエータ1を光スキャナ、光アッテネータ、光スイッチなどの光デバイスに適用することができる。
このような第1の質量部21および第2の質量部25にあっては、第1の質量部21が1対の第1の弾性部23、24を介して支持部22に接続され、第2の質量部25が第2の弾性部26、27を介して第1の質量部21に接続されている。
1対の第2の弾性部26、27は、それぞれ、弾性変形可能であり、第2の質量部25を第1の質量部21に対して回動可能とするように、第2の質量部25と第1の質量部21とを連結している。すなわち、1対の第1の弾性部23、24は、弾性変形可能であり、第1の質量部21を支持部22に対し両持ち支持するように連結している。
このように、基体2は、第1の質量部21と1対の第1の弾性部23、24とで構成された第1の振動系と、第2の質量部25と第2の弾性部26、27とで構成された第2の振動系とからなる2自由度振動系を有する。
そして、このような2自由度振動系を構成する部分の下面付近には、図2に示すように、1対のコイル28が設けられている。この1対のコイル28は、前述した第2の質量部25の光反射部251とは反対側の面に設けられているため、光反射部251の設計の自由度が低下することもない。
この1対のコイル28(各コイル)は、単層の金属層で構成されている。これにより、各コイルを一回の成膜で形成して、アクチュエータ1の製造を簡単化することができる。その結果、アクチュエータ1の低コスト化を図ることができる。
より具体的には、1対のコイル28は、第2の質量部25および1対の第2の弾性部26、27に設けられた第1の部分281と、第1の質量部21を平面視したときに第1の質量部21の回動中心軸Xを介してその両側部分にそれぞれ設けられた1対の第2の部分282、283とを備えている。そして、第1の部分281と第2の部分282とが1対のコイル28のうちの一方のコイルを構成し、第1の部分281と第2の部分283とが1対のコイル28のうちの他方のコイルを構成している。
これにより、1対のコイル28の構成を簡単化し、アクチュエータ1の製造をより簡単化することができる。特に、第1の部分281が1対のコイル28の双方に共用されているため、アクチュエータ1の振動特性に対する1対のコイル28の影響をより少なくし、アクチュエータ1の設計をより簡単化することができる。
これにより、1対の配線291、292を介して1対のコイル28に電圧を印加することができる。このような1対の配線291、292は、1対の第1の弾性部23、24にそれぞれ設けられているため、比較的簡単に、1対の第1の弾性部23、24の互いの捩りバネ定数を等しくすることができる。そのため、第1の質量部21および第2の質量部25の回動を円滑なものとすることができる。また、1対の配線291、292は、1対のコイル28と同時に1回の成膜で形成することができ、アクチュエータ1の製造を簡単化することができる。
支持体3は、例えば、ガラスやシリコンを主材料として構成されている。なお、基体2と支持体3とは、例えば、ガラス、シリコン、またはSiO2を主材料として構成された接合層を介して接合されていてもよい。
そして、凹部33は、基体2の2自由度振動系の振動、すなわち第1の質量部21および第2の質量部25の回動が回動(振動)する際に、支持体3に接触するのを防止する逃げ部を構成する。凹部(逃げ部)33を設けることにより、アクチュエータ1全体の大型化を防止しつつ、第1の質量部21および第2の質量部25の振れ角(振幅)をより大きく設定することができる。
この永久磁石4は、第1の質量部21と第2の質量部25との間に臨むように、永久磁石4の本体から突出形成され、互いに同極性の極性(本実施形態ではS極)を有する1対の磁極41、42を備えている。すなわち、1対の磁極41、42は、平面視したときに、第2の質量部25と1対の第2の弾性部26、27と第1の質量部21とで画成された2つの空間内にそれぞれ位置するように設けられている。
また、各磁極41、42は、第1の質量部21と第2の質量部25との間に臨むように設けられているため、コイル28と磁極41、42との間の距離を小さくしつつ、第1の質量部21および第2の質量部25のそれぞれの回動角をより大きくすることができる。
また、本実施形態では、回動中心軸X方向において、磁極41、42の長さは、それぞれ、第2の質量部25の長さよりも長くなっている。これにより、コイル28と磁極41、42との接触を防止しつつ、各磁極41、42による磁界の強度を大きくすることができる。
このようなアクチュエータ1にあっては、1対のコイル28と電源回路5と永久磁石4とが、第1の質量部21を回動させる駆動手段を構成している。
電源回路5が1対のコイル28に交番電圧を印加することにより、1対のコイル28に流れる電流の方向が図3にて実線矢印で示す方向と破線矢印で示す方向とに交互に切り換わる。
このとき、1対のコイル28に流れる電流の方向が図3にて実線矢印で示す方向である場合、図4(a)に示すように、1対のコイル28(第1の部分281および第2の部分282で構成されたコイルと、第1の部分281および第2の部分283で構成されたコイル)が互いに反対方向の磁界を発生させる。そして、この場合、第1の部分281および第2の部分282で構成されたコイルと、磁極41との間に反発力が生じ、また、第1の部分281および第2の部分283で構成されたコイルと、磁極42との間に吸引力が生じる。
そして、この第1の質量部21の振動(駆動)に伴って、第2の弾性部26、27を介して連結されている第2の質量部25も、第2の弾性部26、27を軸に、支持体3の板面(図1における紙面)に対して傾斜するように振動(回動)する。
この場合、第2の質量部25の最大回転角度が、20°以上となるように構成されるのが好ましい。
すなわち、かかる振動系は、第1の質量部21の振幅と、第2の質量部25の振幅とが大きくなる2つの共振周波数fm1[kHz]、fm3[kHz](ただし、fm1<fm3)と、第1の質量部21の振幅がほぼ0となる、1つの反共振周波数fm2[kHz]とを有している。
なお、本明細書中では、F[kHz]とfm1[kHz]とがほぼ等しいとは、(fm1−1)≦F≦(fm1+1)の条件を満足することを意味する。
第2の質量部25の平均厚さは、1〜1500μmであるのが好ましく、10〜300μmであるのがより好ましい。
第1の弾性部23、24のばね定数k1は、1×10−3〜1×105Nm/radであるのが好ましく、1×10−2〜1×104Nm/radであるのがより好ましく、1×10−1〜1×103Nm/radであるのがさらに好ましい。これにより、第2の質量部25の回転角度(振れ角)をより大きくすることができる。
さらに、第1の質量部21の慣性モーメントをJ1とし、第2の質量部25の慣性モーメントをJ2としたとき、J1とJ2とは、J1≦J2なる関係を満足することが好ましく、J1<J2なる関係を満足することがより好ましい。これにより、第1の質量部21の振れ角を抑制しつつ、第2の質量部25の回転角度(振れ角)をより大きくすることができる。
このようにして求められる第1の振動系の固有振動数ω1と第2の振動系の固有振動数ω2とは、ω1>ω2なる関係を満足するのが好ましい。これにより、第1の質量部21の振れ角を抑制しつつ、第2の質量部25の回転角度(振れ角)をより大きくすることができる。
アクチュエータ1を光スキャナとして用いた場合、アクチュエータ1(本発明にかかる光スキャナ)は、光反射部251で反射した光を走査する。このような本発明にかかる光スキャナは、第2の質量部25の回動角を大きくすることができるため、対象物とアクチュエータ1(光スキャナ)との間の距離を小さくすることができる。
このような光スキャナは、例えば、レーザープリンタ、イメージング用ディスプレイ、バーコードリーダー、走査型共焦点顕微鏡などの画像形成装置に好適に適用することができる。
まず、電子写真方式を採用するプリンタに本発明を適用した例を説明する。
図6は、本発明の光スキャナを備える画像形成装置(プリンタ)の一例を示す全体構成の模式的断面図である。
図6に示す画像形成装置10(プリンタ)は、露光・現像・転写・定着を含む一連の画像形成プロセスによって、トナーからなる画像を紙やOHPシートなどの記録媒体に記録するものである。このような画像形成装置10は、図6に示すように、図示矢印方向に回転する感光体11を有し、その回転方向に沿って順次、帯電ユニット12、露光ユニット13、現像ユニット14、転写ユニット15、クリーニングユニット16が配設されている。また、画像形成装置10は、図6にて、下部に、紙などの記録媒体Pを収容する給紙トレイ17が設けられ、上部に、定着装置18が設けられている。
帯電ユニット12は、コロナ帯電などにより感光体11の表面を一様に帯電するための装置である。
露光ユニット13は、図示しないパーソナルコンピュータなどのホストコンピュータから画像情報を受けこれに応じて、一様に帯電された感光体11上に、レーザーを選択的に照射することによって、静電的な潜像を形成する装置である。
より具体的に説明すると、露光ユニット13は、図7に示すように、光スキャナであるアクチュエータ1と、レーザー光源131と、コリメータレンズ132と、fθレンズ133とを有している。
その際、アクチュエータ1の駆動(第2の質量部25の回動中心軸Xまわりの回動)により、光反射部251で反射した光(レーザーL)は、感光体11の軸線方向に走査(主走査)される。一方、感光体11の回転により、光反射部251で反射した光(レーザーL)は、感光体11の周方向に走査(副走査)される。また、レーザー光源131から出力されるレーザー光Lの強度は、図示しないホストコンピュータから受けた画像情報に応じて変化する。
このようにして露光ユニット13は、感光体11上を選択的に露光して画像形成(描画)を行う。
中間転写ベルト151は、駆動ローラ154の回転により、一次転写ローラ152および従動ローラ153を従動回転させながら、図6に示す矢印方向に、感光体11とほぼ同じ周速度にて回転駆動されるようになっている。
一次転写ローラ152は、感光体11に形成された単色のトナー像を中間転写ベルト151に転写するための装置である。
二次転写ローラ155は、中間転写ベルト151上に形成された単色やフルカラーなどのトナー像を、紙、フィルム、布等の記録媒体Pに転写するための装置である。
クリーニングユニット16は、一次転写ローラ152と帯電ユニット12との間で感光体11の表面に当接するゴム製のクリーニングブレード161を有し、一次転写ローラ152によって中間転写ベルト151上にトナー像が転写された後に、感光体11上に残存するトナーをクリーニングブレード161により掻き落として除去するための装置である。
感光体11の帯電された領域は、感光体11の回転に伴って露光位置に至り、露光ユニット13によって、第1色目、例えばイエローYの画像情報に応じた潜像が前記領域に形成される。
感光体11上に形成されたイエロートナー像は、感光体11の回転に伴って一次転写位置(すなわち、感光体11と一次転写ローラ152との対向部)に至り、一次転写ローラ152によって、中間転写ベルト151に転写(一次転写)される。このとき、一次転写ローラ152には、トナーの帯電極性とは逆の極性の一次転写電圧(一次転写バイアス)が印加される。なお、この間、二次転写ローラ155は、中間転写ベルト151から離間している。
前述の処理と同様の処理が、第2色目、第3色目および第4色目について繰り返して実行されることにより、各画像信号に対応した各色のトナー像が、中間転写ベルト151に重なり合って転写される。これにより、中間転写ベルト151上にはフルカラートナー像が形成される。
中間転写ベルト151上に形成されたフルカラートナー像は、中間転写ベルト151の回転に伴って二次転写位置に至り、二次転写ローラ155によって記録媒体Pに転写(二次転写)される。このとき、二次転写ローラ155は中間転写ベルト151に押圧されるとともに二次転写電圧(二次転写バイアス)が印加される。
記録媒体Pに転写されたフルカラートナー像は、定着装置18によって加熱および加圧されて記録媒体Pに融着される。その後、片面プリントの場合には、記録媒体Pは、排紙ローラ対173によって画像形成装置10の外部へ排出される。
両面プリントの場合には、定着装置18によって一方の面に定着処理された記録媒体Pを一旦排紙ローラ対173により挟持した後に、排紙ローラ対173を反転駆動するとともに、搬送ローラ対174、176を駆動して、当該記録媒体Pを搬送路175を通じて表裏反転して二次転写位置へ帰還させ、前述と同様の動作により、記録媒体Pの他方の面に画像を形成する。
図8は、本発明の画像形成装置(イメージングディスプレイ)の一例を示す概略図である。
図8に示す画像形成装置19は、光スキャナであるアクチュエータ1と、R(赤)、G(緑)、B(青)の3色の光源191、192、193と、クロスダイクロイックプリズム(Xプリズム)194と、ガルバノミラー195と、固定ミラー196と、スクリーン197とを備えている。
このような画像形成装置19にあっては、光源191、192、193からクロスダイクロイックプリズム194を介してアクチュエータ1(光反射部251)に各色の光が照射される。このとき、光源191からの赤色の光と、光源192からの緑色の光と、光源193からの青色の光とが、クロスダイクロイックプリズム194にて合成される。
その際、アクチュエータ1の駆動(第2の質量部25の回動中心軸Xまわりの回動)により、光反射部251で反射した光は、スクリーン197の横方向に走査(主走査)される。一方、ガルバノミラー195の軸線Yまわりの回転により、光反射部251で反射した光は、スクリーン197の縦方向に走査(副走査)される。また、各色の光源191、192、193から出力される光の強度は、図示しないホストコンピュータから受けた画像情報に応じて変化する。
このようにして画像形成装置19は、スクリーン197上を画像形成(描画)を行う。
また、前述した実施形態では、アクチュエータの中心を通り質量部や駆動部の回動軸線に直角な面に対しほぼ対称(左右対称)な形状をなしている構造を説明したが、非対称であってもよい。
また、前述した実施形態では、光反射部が第2の質量部の上面(支持基板とは逆側の面)に設けられている構成について説明したが、例えば、その逆に設けられている構成であってもよい。
Claims (14)
- 枠状をなす第1の質量部と、
前記第1の質量部を支持するための支持部と、
前記第1の質量部を前記支持部に対して支持するように連結されてなる1対の第1の弾性部と、
前記第1の質量部の前記枠状の内側に設けられた第2の質量部と、
前記第2の質量部を前記第1の質量部に対して支持するように連結されてなる1対の第2の弾性部と、
前記第1の質量部を回動させる駆動手段とを有し、
前記駆動手段の作動により、前記1対の第1の弾性部を捩れ変形させながら前記第1の質量部を回動させ、前記1対の第2の弾性部を捩れ変形させながら前記第2の質量部を回動させるように構成されたアクチュエータであって、
前記駆動手段は、前記第1の質量部を平面視したときに前記第1の質量部の回動中心軸を介して互いに逆向きに周回するように前記第1の質量部と前記回動中心軸とに沿って形成されてなる1対のコイルと、該1対のコイルに電圧を印加する電圧印加手段と、前記第1の質量部の片側にて前記各コイルに対向するように設けられ、互いに同極性の極性を有する1対の磁極を備えた磁界発生手段とを備え、前記電圧印加手段の作動により、前記1対のコイルが互いに反対方向の磁界を発生させ、前記第1の質量部を回動させるように構成されていることを特徴とするアクチュエータ。 - 前記各コイルは、単層の金属層で構成されている請求項1に記載のアクチュエータ。
- 前記1対のコイルは、前記第2の質量部および前記1対の第2の弾性部に設けられた第1の部分と、前記平面視で前記第1の質量部の回動中心軸を介してその両側部分にそれぞれ設けられた1対の第2の部分とを備え、前記第1の部分と、前記1対の第2の部分のうちの一方の第2の部分とが、前記1対のコイルのうちの一方のコイルを構成し、前記第1の部分と、前記1対の第2の部分のうちの他方の第2の部分とが、前記1対のコイルのうちの他方のコイルを構成している請求項2に記載のアクチュエータ。
- 前記各第2の部分の前記第1の部分との接続側とは反対側の端に接続され、前記1対の第1の弾性部のそれぞれに沿って形成された1対の配線を有する請求項3に記載のアクチュエータ。
- 前記磁界発生手段は、少なくとも1つの永久磁石で構成されている請求項1ないし4のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記磁界発生手段は、前記1対の磁極を有する1つの永久磁石で構成されている請求項5に記載のアクチュエータ。
- 前記1対のコイルは、前記第1の質量部の前記1対の磁極側の面付近に設けられている請求項1ないし6のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記1対の磁極は、前記平面視したときに、前記第2の質量部と前記1対の第2の弾性部と前記第1の質量部とで画成された2つの空間内にそれぞれ位置するように設けられている請求項1ないし7のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記各磁極は、前記第1の質量部と前記第2の質量部との間に臨むように設けられている請求項8に記載のアクチュエータ。
- 前記回動中心軸方向において、前記磁極の長さは、前記第2の質量部の長さよりも長い請求項9に記載のアクチュエータ。
- 前記電圧印加手段は、前記コイルへ交流を印加するように構成されている請求項1ないし10のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記第2の質量部は、光反射性を有する光反射部を備える請求項1ないし11のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 枠状をなす第1の質量部と、
前記第1の質量部を支持するための支持部と、
前記第1の質量部を前記支持部に対して支持するように連結されてなる1対の第1の弾性部と、
前記第1の質量部の前記枠状の内側に設けられ、光反射性を有する光反射部を備えた第2の質量部と、
前記第2の質量部を前記第1の質量部に対して支持するように連結されてなる1対の第2の弾性部と、
前記第1の質量部を回動させる駆動手段とを有し、
前記駆動手段の作動により、前記1対の第1の弾性部を捩れ変形させながら前記第1の質量部を回動させ、前記1対の第2の弾性部を捩れ変形させながら前記第2の質量部を回動させ、前記光反射部で反射した光を走査するように構成された光スキャナであって、
前記駆動手段は、前記第1の質量部を平面視したときに前記第1の質量部の回動中心軸を介して互いに逆向きに周回するように前記第1の質量部と前記回動中心軸とに沿って形成されてなる1対のコイルと、該1対のコイルに電圧を印加する電圧印加手段と、前記第1の質量部の片側にて前記各コイルに対向するように1対設けられた磁極を備えた磁界発生手段とを備え、前記電圧印加手段の作動により、前記1対のコイルが互いに反対方向の磁界を発生させ、前記第1の質量部を回動させるように構成されていることを特徴とする光スキャナ。 - 枠状をなす第1の質量部と、
前記第1の質量部を支持するための支持部と、
前記第1の質量部を前記支持部に対して支持するように連結されてなる1対の第1の弾性部と、
前記第1の質量部の前記枠状の内側に設けられ、光反射性を有する光反射部を備えた第2の質量部と、
前記第2の質量部を前記第1の質量部に対して支持するように連結されてなる1対の第2の弾性部と、
前記第1の質量部を回動させる駆動手段と、
前記光反射部へ向けて光を照射する光照射手段とを有し、
前記駆動手段の作動により、前記1対の第1の弾性部を捩れ変形させながら前記第1の質量部を回動させ、前記1対の第2の弾性部を捩れ変形させながら前記第2の質量部を回動させ、前記光反射部で反射した光を主走査および/または副走査し、対象物上に画像を形成するように構成された画像形成装置であって、
前記駆動手段は、前記第1の質量部を平面視したときに前記第1の質量部の回動中心軸を介して互いに逆向きに周回するように前記第1の質量部と前記回動中心軸とに沿って形成されてなる1対のコイルと、該1対のコイルに電圧を印加する電圧印加手段と、前記第1の質量部の片側にて前記各コイルに対向するように1対設けられた磁極を備えた磁界発生手段とを備え、前記電圧印加手段の作動により、前記1対のコイルが互いに反対方向の磁界を発生させ、前記第1の質量部を回動させるように構成されていることを特徴とする画像形成装置。
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