JP2011095458A - 光走査装置及びこれを備えた画像形成装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】画像形成装置に組み付けられた状態でMEMSミラーの取付角度を外部から調整することができる光走査装置を提供すること。
【解決手段】光源から出射される光ビームを偏向するMEMSミラー28をハウジング26に収容して成る光走査装置において、前記MEMSミラー28を支持部34と板バネ35によって前記ハウジング26に傾動可能に保持させるとともに、前記ハウジング26に螺合挿通する複数の調整ビス36,37の先端を前記MEMSミラー28の筐体30に当接させ、該調整ビス36,37を前記ハウジング26の外部から回転させることによって前記MEMSミラー28の取付角度を調整可能とする。
【選択図】図3

Description

本発明は、偏向手段としてMEMSミラーを用いた光走査装置とこれを備えた複写機やプリンタ等の画像形成装置に関するものである。
複写機やプリンタ等の画像形成装置においては、帯電器によって表面が一様に帯電された像担持体が光走査装置によって露光走査され、その表面に画像情報に応じた静電潜像が形成される。そして、静電潜像は現像装置によって現像剤であるトナーを用いて現像されてトナー像として顕像化され、このトナー像は、転写装置によって用紙上に転写された後に定着装置によって加熱及び加圧されて用紙上に定着され、トナー像が定着された用紙が装置外へ排出されることによって一連の画像形成動作が終了する。
ところで、従来、光走査装置には、光ビームを走査する偏向器としてポリゴンミラーやガルバノミラーが専ら用いられているが、より高解像度の画像や高速プリントを達成するためには、これらのポリゴンミラーやガルバノミラーを更に高速で回転させる必要がある。
しかしながら、ポリゴンミラーやガルバノミラーを高速で回転させると軸受の耐久性や風損による発熱や騒音の問題が発生し、高速走査には限界がある。
そこで、近年、シリコンマイクロマシニング(MEMS)技術を利用した偏向器の開発が進められており、例えばマイクロミラー(以下、「MEMSミラー」と称する)とこれを軸支する捩り梁をSi基板に一体に形成し、MEMSミラー側の可動電極と固定側の固定電極との間に交流電圧を印加し、両電極間に発生する静電引力によって捩り梁を捩りながらMEMSミラーを共振を利用して往復振動させる方式が提案されている。
上記方式によれば、MEMSミラーを共振を利用して往復振動(正弦振動)させるために高速動作が可能であり、騒音と消費電力を低く抑えることができるという利点が得られる。
ところで、MEMSミラーは、それ自体の製造誤差や取付誤差等に起因して反射面が傾斜する可能性があり、反射面が傾斜すると、光ビームが被走査面上に主走査方向に走査される際に走査線の曲がりや傾き、副走査方向への位置ずれ等が発生し、高質画像を安定的に得ることができない。
そこで、例えば特許文献1には、走査線の湾曲からMEMSミラーの姿勢をミラー面の法線軸とこれに垂直な軸において回転調整することによって、画像形成装置において走査ビーム軌跡の補正を行う提案がなされている。
又、特許文献2には、反射ミラーと共振型光偏向器が装着された走査ユニット内で反射ミラーを一軸方向に傾動調整するための第1調整機構と、走査ユニット内で共振型光偏向器を二軸方向に傾動調整するための第2調整機構を設ける構成が提案されている。
更に、特許文献3には、筐体に設けられた回転支持部によって簡便に光軸調整を行うことができる構成が提案されている。
特開平2−064521号公報 特開平7−281115号公報 特開平9−179053号公報
しかしながら、特許文献1において提案された調整手段では、調整の回転軸がミラー中心若しくは入射光線の中心を通らないため、副走査方向のオフセットが必要となり、特許文献2において提案された構成では、偏向ユニットが大型化するという問題がある。又、特許文献3において提案された構成では、従来の光偏向器に対する小型化の効果は小さく、高い密封性が必要な光走査装置において調整手段を装置の外部に設けることは難しいという問題がある。そして、特許文献1〜3には、光走査装置を画像形成装置に組み付けた状態でMEMSミラーの取付角度を調整することができる構成は提案されていない。
本発明は上記問題に鑑みてなされたもので、その目的とする処は、画像形成装置に組み付けられた状態でMEMSミラーの取付角度を外部から調整することができる光走査装置及びこれを備えた画像形成装置を提供することにある。
上記目的を達成するため、請求項1記載の発明は、光源から出射される光ビームを偏向するMEMSミラーをハウジングに収容して成る光走査装置において、前記MEMSミラーを支持部と板バネによって前記ハウジング又はこれに回動可能に挿通支持された円筒形のミラー台座に傾動可能に保持させるとともに、前記ハウジングに螺合挿通する複数の調整ビスの先端を前記MEMSミラーに当接させ、該調整ビスを前記ハウジングの外部から回転させることによって前記MEMSミラーの取付角度を調整可能としたことを特徴とする。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記調整ビスの少なくとも1つは前記MEMSミラーの取付角度を主走査軸回転方向に調整することを特徴とする。
請求項3記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記調整ビスの少なくとも1つは前記MEMSミラーの取付角度を副走査軸回転方向に調整することを特徴とする。
請求項4記載の画像形成装置は、請求項1〜3の何れかに記載の光走査装置を備えることを特徴とする。
本発明によれば、光走査装置を画像形成装置に組み付けた状態で、調整ビスをハウジングの外部から回転させることによってMEMSミラーの取付角度を調整することができ、カラー画像形成装置においては色ズレの調整を外部から行うことができる。尚、ハウジングに回動可能に挿通支持された円筒形のミラー台座をハウジングの外部から回動させれば、MEMSミラーのミラー法線軸の回転調整も可能となる。
又、調整手段は支持部と板バネ及び調整ビスで簡単に構成され、その設置スペースが小さくて済むため、光走査装置の小型化とコストダウンを図ることができる。
更に、光走査装置のハウジング内に高い密封性を保ったまま、MEMSミラーの取付角度(光軸)を調整することができる。
本発明に係る画像形成装置(カラーレーザープリンタ)の側断面図である。 本発明の実施の形態1に係る光走査装置の平面図である。 図2のA部拡大詳細図である。 図3の矢視B方向の図である。 本発明の実施の形態2に係る光走査装置の平面図である。 図5のC部拡大詳細図である。 図6の矢視D方向の図である。
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
[画像形成装置]
図1は本発明に係る画像形成装置の一形態としてのカラーレーザープリンタの断面図であり、図示のカラーレーザープリンタはタンデム型であって、その本体100内の中央部には、マゼンタ画像形成ユニット1M、シアン画像形成ユニット1C、イエロー画像形成ユニット1Y及びブラック画像形成ユニット1Kが一定の間隔でタンデムに配置されている。
上記各画像形成ユニット1M,1C,1Y,1Kには、像担持体である感光ドラム2a,2b,2c,2dがそれぞれ配置されており、各感光ドラム2a〜2dの周囲には、帯電器3a,3b,3c,3d、現像装置4a,4b,4c,4d、転写ローラ5a,5b,5c,5d及びドラムクリーニング装置6a,6b,6c,6dがそれぞれ配置されている。
ここで、前記感光ドラム2a〜2dは、ドラム状の感光体であって、不図示の駆動モータによって図示矢印方向(時計方向)に所定のプロセススピードで回転駆動される。又、前記帯電器3a〜3dは、不図示の帯電バイアス電源から印加される帯電バイアスによって感光ドラム2a〜2dの表面を所定の電位に均一に帯電させるものである。
更に、前記現像装置4a〜4dは、マゼンタ(M)トナー、シアン(C)トナー、イエロー(Y)トナー、ブラック(K)トナーをそれぞれ収容しており、各感光ドラム2a〜2d上に形成された各静電潜像に各色のトナーを付着させて各静電潜像を各色のトナー像として可視像化するものである。
又、前記転写ローラ5a〜5dは、各一次転写部にて中間転写ベルト7を介して各感光ドラム2a〜2dに当接可能に配置されている。ここで、中間転写ベルト7は、駆動ローラ8とテンションローラ9との間に張設されて各感光ドラム2a〜2dの上面側に走行可能に配置されており、前記駆動ローラ8は、二次転写部において中間転写ベルト7を介して二次転写ローラ10に当接可能に配置されている。又、テンションローラ9の近傍にはベルトクリーニング装置11が設けられている。
ところで、プリンタ本体100内の各画像形成ユニット1M,1C,1Y,1Kの上方には、前記各現像装置4a〜4dにトナーを補給するためのトナーコンテナ12a,12b,12c,12dが一列に並設されている。
又、プリンタ本体100内の各画像形成ユニット1M,1C,1Y,1Kの下方には、各画像形成ユニット1M,1C,1Y,1Kに対応して本発明に係る計4つの光走査装置13がそれぞれ配置され、これらの下方のプリンタ本体100の底部には給紙カセット14が着脱可能に設置されている。そして、給紙カセット14には複数枚の不図示の用紙が積層収容されており、この給紙カセット14の近傍には、該給紙カセット14から用紙を取り出すピックアップローラ15と、取り出された用紙を分離して搬送パスSへと1枚ずつ送り出すフィードローラ16とリタードローラ17が設けられている。
又、プリンタ本体100の側部を上下方向に延びる前記搬送パスSには、用紙を搬送する搬送ローラ対18と、用紙を一時待機させた後に所定のタイミングで前記二次転写対向ローラ8と二次転写ローラ10との当接部である二次転写部へと供給するレジストローラ対19が設けられている。尚、搬送パスSの横には、用紙の両面に画像を形成する場合に使用される別の搬送パスS’が形成されており、この搬送パスS’には複数の反転ローラ対20が適当な間隔で設けられている。
ところで、プリンタ本体100内の一側部に縦方向に配置された前記搬送パスSは、プリンタ本体100の上面に設けられた排紙トレイ21まで延びており、その途中には定着装置22と排紙ローラ対23,24が設けられている。
次に、以上の構成を有するカラーレーザープリンタによる画像形成動作について説明する。
画像形成開始信号が発せられると、各画像形成ユニット1M,1C,1Y,1Kにおいて各感光ドラム2a〜2dが図示矢印方向(時計方向)に所定のプロセススピードで回転駆動され、これらの感光ドラム2a〜2dは、帯電器3a〜3dによって一様に帯電される。又、各光走査装置13は、各色毎のカラー画像信号によって変調された光ビームを出射し、その光ビームを各感光ドラム2a〜2dの表面に照射し、各感光ドラム2a〜2d上に各色のカラー画像信号に対応した静電潜像をそれぞれ形成する。
そして、先ず、マゼンタ画像形成ユニット1Mの感光ドラム2a上に形成された静電潜像に、該感光ドラム2aの帯電極性と同極性の現像バイアスが印加された現像装置4aによってマゼンタトナーを付着させ、該静電潜像をマゼンタトナー像として可視像化する。このマゼンタトナー像は、感光ドラム2aと転写ローラ5aとの間の一次転写部(転写ニップ部)において、トナーと逆極性の一次転写バイアスが印加された転写ローラ5aの作用によって、図示矢印方向に回転駆動されている中間転写ベルト7上に一次転写される。
上述のようにしてマゼンタトナー像が一次転写された中間転写ベルト7は、次のシアン画像形成ユニット1Cへと移動する。そして、シアン画像形成ユニット1Cにおいても、前記と同様にして、感光ドラム2b上に形成されたシアントナー像が一次転写部において中間転写ベルト7上のマゼンタトナー像に重ねて転写される。
以下同様にして、中間転写ベルト7上に重畳転写されたマゼンタ及びシアントナー像の上に、イエロー及びブラック画像形成ユニット1Y,1Kの各感光ドラム2c,2d上にそれぞれ形成されたイエロー及びブラックトナー像が各一次転写部において順次重ね合わせられ、中間転写ベルト7上にはフルカラーのトナー像が形成される。尚、中間転写ベルト7上に転写されないで各感光ドラム2a〜2d上に残留する転写残トナーは、各ドラムクリーニング装置6a〜6dによって除去され、各感光ドラム2a〜2dは次の画像形成に備えられる。
そして、中間転写ベルト7上のフルカラートナー像の先端が駆動ローラ8と二次転写ローラ10間の二次転写部(転写ニップ部)に達するタイミングに合わせて、給紙カセット14からピックアップローラ15とフィードローラ16及びリタードローラ17によって搬送パスSへと送り出された用紙がレジストローラ対19によって二次転写部へと搬送される。そして、二次転写部に搬送された用紙に、トナーと逆極性の二次転写バイアスが印加された二次転写ローラ10によってフルカラーのトナー像が中間転写ベルト7から一括して二次転写される。
而して、フルカラーのトナー像が転写された用紙は、定着装置22へと搬送され、フルカラーのトナー像が加熱及び加圧されて用紙の表面に熱定着され、トナー像が定着された用紙は、排紙ローラ対23,24によって排紙トレイ21上に排出されて一連の画像形成動作が完了する。尚、用紙上に転写されないで中間転写ベルト7上に残留する転写残トナーは、前記ベルトクリーニング装置11によって除去され、中間転写ベルト7は次の画像形成に備えられる。
[光走査装置]
次に、本発明に係る前記光走査装置13の実施の形態について説明する。尚、4つの光走査装置13の構成は全て同じであるため、以下、1つの光走査装置13についてのみ説明する。
<実施の形態1>
図2は本発明の実施の形態1に係る光走査装置の主走査断面図、図3は図2のA部拡大詳細図、図4は図3の矢視B方向の図である。
図2に示すように、光走査装置13の上面開口部が透明なカバーガラス25で覆われたハウジング26にはレーザー光源27が設けられており、カバーガラス25で密閉されたハウジング26内にはMEMSミラー28と走査レンズ29が収容されている。
ここで、上記MEMSミラー28の構成の概要を図4に基づいて説明する。
MEMSミラー28は、筐体30上に接合されたSi基板31にエッチングや成膜等のマイクロマシニング技術(MEMS技術)を利用して長楕円状のミラー部32とこれを支持する捩り梁33を一体に形成することによって構成されており、ミラー部32は捩り梁33(Y軸)を中心として往復振動(正弦振動)する。尚、図示しないが、捩り梁33には可動電極が形成されており、Si基板31のミラー部32と捩り梁33を除く本体部31aには固定電極が形成されている。
以上のように構成されたMEMSミラー28において、不図示の交流電源から可動電極と固定電極に交流電圧がそれぞれ印加されると、これらの可動電極と固定電極との間に静電引力が発生し、この静電引力によってミラー部32捩り梁33(Y軸)を中心として所定角度(偏向角)だけ往復振動(正弦振動)する。尚、ミラー部32の駆動周波数は共振周波数に設定されており、これによってミラー部32の振幅(偏向角)が拡大される。又、ミラー部32の表面(反射面)にはアルミニウム膜等が成膜されてその反射率が高められている。
而して、レーザー光源27が画像データに応じてON/OFF制御されると、該レーザー光源から画像データに対応して変調された光ビームLが出射され、この光ビームLは、不図示のコリメータレンズ2によって適当な大きさのコリメート光に整形された後、副走査方向(Y軸方向)にのみパワーを有する不図示のシリンドリカルレンズにそれぞれ入射される。そして、シリンドリカルレンズを通過した各光ビームLは、MEMSミラー28に入射して結像される。
MEMSミラー28に入射した光ビームLは、MEMSミラー28のミラー部32が前述のように往復振動(正弦振動)することによって主走査方向(X軸方向)に走査され、走査レンズ29を通過することによって図1に示す各画像形成ユニット1M(1C,1Y,1K)の感光ドラム2a(2b,2c,2d)上に結像され、感光ドラム2a(2b,2c,2d)上を主走査方向(X軸方向)に露光走査する。これによって光ビームLによる感光ドラム2a(2b,2c,2d)上には画像情報に応じた潜像が形成される。
而して、MEMSミラー28は以下に説明する調整手段によってその取付角度がハウジング26の外部から調整される。
即ち、MEMSミラー28は、筐体の30の中心部(ミラー部32の中心)が球体状の支持部34によってハウジング26に傾動可能に支持されるとともに、その四辺の各中央部(ミラー部32の中心を通る直交軸であるX軸とY軸上の箇所)が金属製の板バネ35によってハウジング26に弾性支持されている。
ここで、図3に示すように、筐体30の底面の中心部とこれに対応するハウジング26の内面には球面の一部を成す凹部30a,26aがそれぞれ形成され、これらの凹部30a,26aに球体状の前記支持部34が係合することによって位置決めされ、MEMSミラー28は支持部34を中心として傾動することができる。尚、支持体34(凹部30a,26a)の中心とミラー部32の中心を結ぶ直線は、ミラー法線にほぼ一致している。
又、ハウジング26のX軸上とY軸上の各1点(筐体30の板バネ35による支持部)に対応する箇所には調整ビス36,37が進退可能に螺合挿通しており、各調整ビス36,37の先端はMEMSミラー28の筐体30の底面にそれぞれ当接している。
以上の調整手段を備えた光走査装置13においては、当該光走査装置13を図1に示すカラーレーザープリンタに組み付けた状態で、調整ビス36,37をハウジング26の外部から回すことによってMEMSミラー28の取付角度を調整することができる。即ち、一方の調整ビス36を回せば、該調整ビス36の先端に当接するMEMSミラー28の取付角度が主走査軸回転方向(X軸回転方向)に調整され、他方の調整ビス37を回せば、MEMSミラー28の取付角度が副走査軸回転方向(Y軸回転方向)に調整される。このようにしてMEMSミラー28の取付角度を調整することによって、図1に示すカラーレーザープリンタにおいて色ズレの調整を外部から容易に行うことができる。
又、調整手段は支持部34と板パネ35及び調整ビス36,37で簡単に構成され、その設置スペースが小さくて済むため、光走査装置13の小型化とコストダウンを図ることができる。
更に、本実施の形態では、ハウジング26内に高い密封性を保ったまま、MEMSミラー28の取付角度(光軸)を調整することができるため、ハウジング26内にトナーや紙粉等が侵入することがなく、ハウジング26内に収容されたMEMSミラー28や走査レンズ29が常に高い機能を発揮することができる。
<実施の形態2>
次に、本発明の実施の形態2に係る光走査装置を図5〜図7に基づいて説明する。
図5は本発明の実施の形態2に係る光走査装置の走査断面図、図6は図5のC部拡大詳細図、図7は図6の矢視D方向の図であり、これらの図においては図2〜図4において示したものと同一要素には同一符号を付しており、以下、それらについての再度の説明は省略する。
本実施の形態においては、円筒形のハウジングに円筒形のミラー台座38を回動可能に挿通支持させ、この台座ミラー38にMEMSミラー28を前記実施の形態1と同様の構成によって傾動可能に支持するとともに、その取付角度を調整ビス36,37を回すことによってハウジング26の外部から調整することができるよう構成している。
従って、本実施の形態においても前記実施の形態1と同様の効果が得られる他、円筒形のミラー台座38をハウジング26の外部から回動させれば、MEMSミラー28のミラー法線軸の回転調整も可能となるという効果が得られる。
尚、以上は本発明をカラーレーザープリンタとこれに備えられた光走査装置に対して適用した形態について説明したが、本発明は、モノクロプリンタや複写機等を含む他の任意の画像形成装置及びこれに備えられた光走査装置に対しても同様に適用可能であることは勿論である。
1M マゼンタ画像形成ユニット
1C シアン画像形成ユニット
1Y イエロー画像形成ユニット
1K ブラック画像形成ユニット
2a〜2d 感光ドラム(像担持体)
3a〜3d 帯電器
4a〜4d 現像装置
5a〜5d 転写ローラ
6a〜6d ドラムクリーニング装置
7 中間転写ベルト
8 駆動ローラ
9 テンションローラ
10 二次転写ローラ
11 ベルトクリーニング装置
12a〜12d トナーコンテナ
13 光走査装置
14 給紙カセット
15 ピックアップローラ
16 フィードローラ
17 リタードローラ
18 搬送ローラ対
19 レジストローラ対
20 搬送ローラ対
21 排紙トレイ
22 定着装置
23,24 排紙ローラ対
25 カバーガラス
26 ハウジング
26a ハウジングの凹部
27 レーザー光源(光源)
28 MEMSミラー
29 走査レンズ
30 MEMSミラーの筐体
31 Si基板
31a Si基板本体
32 MEMSミラーのミラー部
33 MEMSミラーの捩り梁
34 支持部
35 板バネ
36,37 調整ビス
38 台座ミラー
L1 光ビーム
S,S’ 搬送パス

Claims (4)

  1. 光源から出射される光ビームを偏向するMEMSミラーをハウジングに収容して成る光走査装置において、
    前記MEMSミラーを支持部と板バネによって前記ハウジング又はこれに回動可能に挿通支持された円筒形のミラー台座に傾動可能に保持させるとともに、前記ハウジングに螺合挿通する複数の調整ビスの先端を前記MEMSミラーに当接させ、該調整ビスを前記ハウジングの外部から回転させることによって前記MEMSミラーの取付角度を調整可能としたことを特徴とする光走査装置。
  2. 前記調整ビスの少なくとも1つは前記MEMSミラーの取付角度を主走査軸回転方向に調整することを特徴とする請求項1記載の光走査装置。
  3. 前記調整ビスの少なくとも1つは前記MEMSミラーの取付角度を副走査軸回転方向に調整することを特徴とする請求項1記載の光走査装置。
  4. 請求項1〜3の何れかに記載の光走査装置を備えることを特徴とする画像形成装置。

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US11674845B2 (en) * 2019-09-10 2023-06-13 Shimadzu Corporation Angle adjustment mechanism and fourier transform infrared spectrophotometer equipped with the same

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