JP5470238B2 - 光走査装置及びこれを備えた画像形成装置 - Google Patents

Description

本発明は、偏向手段としてＭＥＭＳミラーを用いた光走査装置とこれを備えた複写機やプリンタ等の画像形成装置に関するものである。

複写機やプリンタ等の画像形成装置においては、帯電器によって表面が一様に帯電された像担持体が光走査装置によって露光走査され、その表面に画像情報に応じた静電潜像が形成される。そして、静電潜像は現像装置によって現像剤であるトナーを用いて現像されてトナー像として顕像化され、このトナー像は、転写装置によって用紙上に転写された後に定着装置によって加熱及び加圧されて用紙上に定着され、トナー像が定着された用紙が装置外へ排出されることによって一連の画像形成動作が終了する。

ところで、従来、光走査装置には、光ビームを走査する偏向器としてポリゴンミラーやガルバノミラーが専ら用いられているが、より高解像度の画像や高速プリントを達成するためには、これらのポリゴンミラーやガルバノミラーを更に高速で回転させる必要がある。

しかしながら、ポリゴンミラーやガルバノミラーを高速で回転させると軸受の耐久性や風損による発熱や騒音の問題が発生し、高速走査には限界がある。

そこで、近年、シリコンマイクロマシニング（ＭＥＭＳ）技術を利用した偏向器の開発が進められており、例えばマイクロミラー（以下、「ＭＥＭＳミラー」と称する）とこれを軸支する捩り梁をＳｉ基板に一体に形成し、ＭＥＭＳミラー側の可動電極と固定側の固定電極との間に交流電圧を印加し、両電極間に発生する静電引力によって捩り梁を捩りながらＭＥＭＳミラーを共振を利用して往復振動させる方式が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

上記方式によれば、ＭＥＭＳミラーを共振を利用して往復振動（正弦振動）させるために高速動作が可能であり、騒音と消費電力を低く抑えることができるという利点が得られる反面、ＭＥＭＳミラーはポリゴンミラーに比して偏向角（振れ角）が小さく、反射面の大きさにも限界がある。

ところが、ＭＥＭＳミラーを大気中で使用すると、外部環境（温度、湿度、ゴミ等）によって偏向角特性が変化するため、これを画像形成装置の光走査装置に使用した場合には外部環境によってリニアリティ等の走査性能が変動する。又、空気の粘性抵抗によってＭＥＭＳミラーの偏向角を大きく取ることができず、ＭＥＭＳミラーの振動によって周囲に空気の乱流等が発生すると該ＭＥＭＳミラーの動作が不安定になる。このため、ＭＥＭＳミラーの振動空間を気密封止する提案がなされている。

特許文献１にはＭＥＭＳミラーの振動空間を気密封止するとともに、振動空間内を減圧することによって前記問題を解消する提案がなされている。

特開平４−２１１２１８号公報

しかしながら、ＭＥＭＳミラーの振動室を光を透過する透明なカバーガラスで密封する場合、一般的にガラスは１．５程度の屈折率を有しているため、カバーガラスの表面で光がフレネル反射を起こし、反射光がフレア光となり易いという問題がある。特に、偏向手段としてＭＥＭＳミラーを使用する光走査装置においてはカバーガラスとミラー部が近接しているため、カバーガラスを副走査方向に傾けても効果は低く、多重反射等の問題が発生し易い。

上記問題は、カバーガラスに反射防止膜を設けることによって軽減されるが、入射角が広帯域の反射防止膜は高価であるという問題がある。

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的とする処は、フレア光の発生を抑えつつ、ＭＥＭＳミラーの動作の安定化を図ることができる光走査装置及びこれを備えた画像形成装置を提供することにある。

上記目的を達成するため、請求項１記載の発明は、光源と、該光源から出射される光ビームを偏向するＭＥＭＳミラーと、前記光源から出射される光ビームを前記ＭＥＭＳミラー上に線状に結像させる結像素子と、前記ＭＥＭＳミラーによって偏向された光ビームを被走査面上に結像させる走査レンズを備えた光走査装置において、
前記ＭＥＭＳミラーが一体に形成された基板上に前記光源を組み込むとともに、前記結像素子を自由曲面ミラーによって構成し、
パッケージ壁とその開口部を覆うパッケージカバー及びカバーガラスによってＭＥＭＳ室を形成し、該ＭＥＭＳ室に前記光源と前記ＭＥＭＳミラー及び前記自由曲面ミラーを収容するとともに、ＭＥＭＳ室を気密封止し、
前記ＭＥＭＳミラーの法線方向と前記光源からの光ビームの出射方向とが平行になるよう構成するとともに、光ビームが前記ＭＥＭＳミラーに対して主走査方向に斜入射するよう構成したことを特徴とする。

請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記カバーガラスを副走査方向に傾斜させたことを特徴とする。

請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の発明において、前記カバーガラスをＭＥＭＳミラーに近い前記走査レンズによって構成したことを特徴とする。

請求項４記載の発明は、請求項１〜３の何れかに記載の発明において、前記パッケージ壁又は前記パッケージカバーに吸気口を形成し、該吸気口から前記ＭＥＭＳ室内の空気を吸引することによって該ＭＥＭＳ室内を減圧したことを特徴とする。

請求項５記載の画像形成装置は、請求項１〜４の何れかに記載の光走査装置を備えることを特徴とする。

請求項１記載の発明によれば、光源とＭＥＭＳミラー及び結像素子を収容するＭＥＭＳ室を気密封止したため、ＭＥＭＳミラーの動作が外部環境（温度、湿度、ゴミ等）によって影響を受けず、該ＭＥＭＳミラーの動作が安定化する。又、カバーガラスとＭＥＭＳミラーが十分離間して配置されるため、カバーガラスを通過する光の入射角域が狭くなり、カバーガラス表面での光のフレネル反射に伴うフレア光の発生が抑えられる。更に、ＭＥＭＳミラーが一体に形成された基板上に光源を組み込んだため、基板が１枚で済むとともに、ＭＥＭＳミラーや光源に接続される電気配線が短縮及び簡略化される。又、光源から出射する光ビームを自由曲面ミラーによって反射させてＭＥＭＳミラー上に線状に結像させるようにしたため、収束光学系（１次光学系）に従来必要であったコリメータレンズやシリンドリカルレンズ等の複数のレンズが不要となり、部品点数を削減して光走査装置の小型化とコストダウンを図ることができる。

請求項２記載の発明によれば、カバーガラスを副走査方向に傾斜させたため、カバーガラス表面での光のフレネル反射が抑えられ、フレア光の発生が一層確実に防がれる。

請求項３記載の発明によれば、カバーガラスをＭＥＭＳミラーに近い走査レンズによって構成したため、カバーガラスを別途設ける必要がなく、光走査装置の部品点数が削減されてコストダウンが図られる。

請求項４記載の発明によれば、ＭＥＭＳ室内の空気を吸引することによって該ＭＥＭＳ室内を減圧したため、ＭＥＭＳミラーの振動に伴う空気の乱流が発生せず、ＭＥＭＳミラーの動作が更に安定化する。

請求項５記載の発明によれば、光走査装置においてフレア光の発生が抑えられる結果、画像形成装置によって形成される画像にフレア光に伴う縦すじが発生せず、又、ＭＥＭＳミラーの作動安定性が高められるために光走査装置による高精度な光走査が可能となり、高質画像が安定的に得られる。

本発明に係る画像形成装置（カラーレーザープリンタ）の側断面図である。 本発明に係る光走査装置要部の構成を示す平面図である。 図２のＡ部拡大詳細図である。 本発明に係る光走査装置の別形態を示す要部平面図である。

以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。

［画像形成装置］
図１は本発明に係る画像形成装置の一形態としてのカラーレーザープリンタの断面図であり、図示のカラーレーザープリンタはタンデム型であって、その本体１００内の中央部には、マゼンタ画像形成ユニット１Ｍ、シアン画像形成ユニット１Ｃ、イエロー画像形成ユニット１Ｙ及びブラック画像形成ユニット１Ｋが一定の間隔でタンデムに配置されている。

上記各画像形成ユニット１Ｍ，１Ｃ，１Ｙ，１Ｋには、像担持体である感光ドラム２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄがそれぞれ配置されており、各感光ドラム２ａ〜２ｄの周囲には、帯電器３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ、現像装置４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ、転写ローラ５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ及びドラムクリーニング装置６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄがそれぞれ配置されている。

ここで、前記感光ドラム２ａ〜２ｄは、ドラム状の感光体であって、不図示の駆動モータによって図示矢印方向（時計方向）に所定のプロセススピードで回転駆動される。又、前記帯電器３ａ〜３ｄは、不図示の帯電バイアス電源から印加される帯電バイアスによって感光ドラム２ａ〜２ｄの表面を所定の電位に均一に帯電させるものである。
更に、前記現像装置４ａ〜４ｄは、マゼンタ（Ｍ）トナー、シアン（Ｃ）トナー、イエロー（Ｙ）トナー、ブラック（Ｋ）トナーをそれぞれ収容しており、各感光ドラム２ａ〜２ｄ上に形成された各静電潜像に各色のトナーを付着させて各静電潜像を各色のトナー像として可視像化するものである。

又、前記転写ローラ５ａ〜５ｄは、各一次転写部にて中間転写ベルト７を介して各感光ドラム２ａ〜２ｄに当接可能に配置されている。ここで、中間転写ベルト７は、駆動ローラ８とテンションローラ９との間に張設されて各感光ドラム２ａ〜２ｄの上面側に走行可能に配置されており、前記駆動ローラ８は、二次転写部において中間転写ベルト７を介して二次転写ローラ１０に当接可能に配置されている。又、テンションローラ９の近傍にはベルトクリーニング装置１１が設けられている。

ところで、プリンタ本体１００内の各画像形成ユニット１Ｍ，１Ｃ，１Ｙ，１Ｋの上方には、前記各現像装置４ａ〜４ｄにトナーを補給するためのトナーコンテナ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄが一列に並設されている。

又、プリンタ本体１００内の各画像形成ユニット１Ｍ，１Ｃ，１Ｙ，１Ｋの下方には、各画像形成ユニット１Ｍ，１Ｃ，１Ｙ，１Ｋに対応して本発明に係る計４つの光走査装置１３がそれぞれ配置され、これらの下方のプリンタ本体１００の底部には給紙カセット１４が着脱可能に設置されている。そして、給紙カセット１４には複数枚の不図示の用紙が積層収容されており、この給紙カセット１４の近傍には、該給紙カセット１４から用紙を取り出すピックアップローラ１５と、取り出された用紙を分離して搬送パスＳへと１枚ずつ送り出すフィードローラ１６とリタードローラ１７が設けられている。

又、プリンタ本体１００の側部を上下方向に延びる前記搬送パスＳには、用紙を搬送する搬送ローラ対１８と、用紙を一時待機させた後に所定のタイミングで前記二次転写対向ローラ８と二次転写ローラ１０との当接部である二次転写部へと供給するレジストローラ対１９が設けられている。尚、搬送パスＳの横には、用紙の両面に画像を形成する場合に使用される別の搬送パスＳ’が形成されており、この搬送パスＳ’には複数の反転ローラ対２０が適当な間隔で設けられている。

ところで、プリンタ本体１００内の一側部に縦方向に配置された前記搬送パスＳは、プリンタ本体１００の上面に設けられた排紙トレイ２１まで延びており、その途中には定着装置２２と排紙ローラ対２３，２４が設けられている。

次に、以上の構成を有するカラーレーザープリンタによる画像形成動作について説明する。

画像形成開始信号が発せられると、各画像形成ユニット１Ｍ，１Ｃ，１Ｙ，１Ｋにおいて各感光ドラム２ａ〜２ｄが図示矢印方向（時計方向）に所定のプロセススピードで回転駆動され、これらの感光ドラム２ａ〜２ｄは、帯電器３ａ〜３ｄによって一様に帯電される。又、各光走査装置１３は、各色毎のカラー画像信号によって変調された光ビームを出射し、その光ビームを各感光ドラム２ａ〜２ｄの表面に照射し、各感光ドラム２ａ〜２ｄ上に各色のカラー画像信号に対応した静電潜像をそれぞれ形成する。

そして、先ず、マゼンタ画像形成ユニット１Ｍの感光ドラム２ａ上に形成された静電潜像に、該感光ドラム２ａの帯電極性と同極性の現像バイアスが印加された現像装置４ａによってマゼンタトナーを付着させ、該静電潜像をマゼンタトナー像として可視像化する。このマゼンタトナー像は、感光ドラム２ａと転写ローラ５ａとの間の一次転写部（転写ニップ部）において、トナーと逆極性の一次転写バイアスが印加された転写ローラ５ａの作用によって、図示矢印方向に回転駆動されている中間転写ベルト７上に一次転写される。

上述のようにしてマゼンタトナー像が一次転写された中間転写ベルト７は、次のシアン画像形成ユニット１Ｃへと移動する。そして、シアン画像形成ユニット１Ｃにおいても、前記と同様にして、感光ドラム２ｂ上に形成されたシアントナー像が一次転写部において中間転写ベルト７上のマゼンタトナー像に重ねて転写される。

以下同様にして、中間転写ベルト７上に重畳転写されたマゼンタ及びシアントナー像の上に、イエロー及びブラック画像形成ユニット１Ｙ，１Ｋの各感光ドラム２ｃ，２ｄ上にそれぞれ形成されたイエロー及びブラックトナー像が各一次転写部において順次重ね合わせられ、中間転写ベルト７上にはフルカラーのトナー像が形成される。尚、中間転写ベルト７上に転写されないで各感光ドラム２ａ〜２ｄ上に残留する転写残トナーは、各ドラムクリーニング装置６ａ〜６ｄによって除去され、各感光ドラム２ａ〜２ｄは次の画像形成に備えられる。

そして、中間転写ベルト７上のフルカラートナー像の先端が駆動ローラ８と二次転写ローラ１０間の二次転写部（転写ニップ部）に達するタイミングに合わせて、給紙カセット１４からピックアップローラ１５とフィードローラ１６及びリタードローラ１７によって搬送パスＳへと送り出された用紙がレジストローラ対１９によって二次転写部へと搬送される。そして、二次転写部に搬送された用紙に、トナーと逆極性の二次転写バイアスが印加された二次転写ローラ１０によってフルカラーのトナー像が中間転写ベルト７から一括して二次転写される。

而して、フルカラーのトナー像が転写された用紙は、定着装置２２へと搬送され、フルカラーのトナー像が加熱及び加圧されて用紙の表面に熱定着され、トナー像が定着された用紙は、排紙ローラ対２３，２４によって排紙トレイ２１上に排出されて一連の画像形成動作が完了する。尚、用紙上に転写されないで中間転写ベルト７上に残留する転写残トナーは、前記ベルトクリーニング装置１１によって除去され、中間転写ベルト７は次の画像形成に備えられる。

[光走査装置]
次に、本発明に係る前記光走査装置１３の実施の形態１を図２及び図３に基づいて説明する。尚、４つの光走査装置１３の構成は全て同じであるため、以下、１つの光走査装置１３についてのみ説明する。

図２は本発明に係る光走査装置要部の構成を示す平面図、図３は図２のＡ部（収束光学系）の拡大詳細である。

光走査装置１３は、光源であるレーザーダイオード２５と偏向手段であるＭＥＭＳミラー２６を備えているが、図３に詳細に示すように、レーザーダイオード２５とこれを駆動する不図示のドライバは、ＭＥＭＳミラー２６が一体に形成されたＳｉ基板２７上に組み込まれている。

そして、本実施の形態に係る光走査装置１３においては、レーザーダイオード２５のレーザービームの出射方向には、レーザーダイオード２５から出射するレーザービームを反射させて前記ＭＥＭＳミラー２６上に線状に結像させる結像手段としての自由曲面ミラー２８が配置されている。

ここで、前記ＭＥＭＳミラー２６は、Ｓｉ基板２７にエッチングや成膜等のマイクロマシニング技術（ＭＥＭＳ技術）を利用して一体に形成されており、このＭＥＭＳミラー２６は、不図示の捩り梁によってその中間部が不図示のフレームに支持されており、捩り梁を中心として往復振動（正弦振動）する。尚、ＭＥＭＳミラー２６の表面（反射面）にはアルミニウム膜等が成膜されてその反射率が高められている。

而して、本実施の形態では、図２に示すように、パッケージ壁２９とその開口部を覆う不図示のパッケージカバー及びカバーガラス３０によってＭＥＭＳ室３１が形成されており、このＭＥＭＳ室３１にはレーザーダイオード２５とＭＥＭＳミラー２６及び自由曲面ミラー２８が収容され、ＭＥＭＳ室３１は気密封止されている。ここで、パッケージ壁２９の一部には通し孔２９ａが形成されており、この通し孔２９ａにはＳｉ基板２７から延びるハーネス３２が通され、通し孔２９ａは気密にモールドされている。

ところで、本実施の形態では、カバーガラス３０は副走査方向（図２の紙面垂直方向）に傾斜した状態で設置されている。又、図示しないが、パッケージ壁２９又はパッケージカバーの一方には吸気口が形成されており、該吸気口からＭＥＭＳ室３１内の空気を吸引することによって該ＭＥＭＳ室３１内が減圧されて真空に近い状態に保持されている。

他方、図２に示すように、ＭＥＭＳミラー２６によって偏向される光ビームの進行方向に沿って円弧状の２つの走査レンズ３３，３４が配設されている。尚、走査レンズ３３，３４は、ＭＥＭＳミラー２６によって偏向された光ビームを走査面である感光ドラム２ａ（２ｂ，２ｃ，２ｄ）上に等速度で集光させるためのｆθ特性を有している。

而して、図２に示す光走査装置１３において、レーザーダイオード２５が画像データに応じてＯＮ／ＯＦＦ制御されると、該レーザーダイオード２５から画像データに対応して変調された光ビームが出射され、この光ビームは、自由曲面ミラー２８によって反射してＭＥＭＳミラー２６上に線状に結像する。

上述のようにＭＥＭＳミラー２６上に線状に結像した光ビームは、ＭＥＭＳミラー２６が往復振動することによって主走査方向に偏向され、この偏向された光ビームは、カバーガラス３０及び走査レンズ３３，３４を通過することによって図１に示す各画像形成ユニット１Ｍ（１Ｃ，１Ｙ，１Ｋ）の感光ドラム２ａ（２ｂ，２ｃ，２ｄ）上に結像され、図２に示す有効走査範囲Ｒの一端を書出点Ｐ１、他端を書終点Ｐ２として感光ドラム２ａ（２ｂ，２ｃ，２ｄ）上を主走査方向に往復走査する。すると、前述のように各感光ドラム２ａ（２ｂ，２ｃ，２ｄ）上には各色のカラー画像信号に対応した静電潜像がそれぞれ形成される。

以上において、本実施の形態に係る光走査装置１３においては、レーザーダイオード２５とＭＥＭＳミラー２６及び自由曲面ミラー２８を収容するＭＥＭＳ室３１を気密封止したため、ＭＥＭＳミラー２６の動作が外部環境（温度、湿度、ゴミ等）によって影響を受けず、該ＭＥＭＳミラー２６の動作が安定化する。又、カバーガラス３０とＭＥＭＳミラー２６が十分離間して配置されるため、カバーガラス３０を通過する光の入射角域が狭くなり、カバーガラス３０表面での光のフレネル反射に伴うフレア光の発生が抑えられる。特に、本実施の形態では、ＭＥＭＳ室３１内の空気を吸引することによって該ＭＥＭＳ室３１内を減圧したため、ＭＥＭＳミラー２６の振動に伴う空気の乱流が発生せず、ＭＥＭＳミラー２６の動作が更に安定化する。又、本実施の形態では、カバーガラス３０を副走査方向に傾斜させたため、カバーガラス３０表面での光のフレネル反射が抑えられ、フレア光の発生が一層確実に防がれる。

更に、本実施の形態では、ＭＥＭＳミラー２６が一体に形成されたＳｉ基板２７上にレーザーダイオード２５とドライバを組み込んだため、基板がＳｉ基板２７の１枚で済むとともに、ＭＥＭＳミラー２６やレーザーダイオード２５に接続される電気配線が短縮及び簡略化される。又、レーザーダイオード２５から出射する光ビームを自由曲面ミラー２８によって反射させてＭＥＭＳミラー２６上に線状に結像させるようにしたため、収束光学系（１次光学系）に従来必要であったコリメータレンズやシリンドリカルレンズ等の複数のレンズが不要となり、部品点数を削減して光走査装置１３の小型化とコストダウンを図ることができる。

又、本実施の形態では、カバーガラス３０を副走査方向に傾斜させたため、カバーガラス３０表面での光のフレネル反射が抑えられ、フレア光の発生が一層確実に防がれる。

更に、本実施の形態では、ＭＥＭＳミラー２６が一体に形成されたＳｉ基板２７上にレーザーダイオード２５とドライバを組み込んだため、基板がＳｉ基板２７の１枚で済むとともに、ＭＥＭＳミラー２６やレーザーダイオード２５に接続される電気配線が短縮及び簡略化される。又、レーザーダイオード２５から出射する光ビームを自由曲面ミラー２８によって反射させてＭＥＭＳミラー２６上に線状に結像させるようにしたため、収束光学系（１次光学系）従来必要であったコリメータレンズやシリンドリカルレンズ等の複数のレンズが不要となり、部品点数を削減して光走査装置１３の小型化とコストダウンを図ることができる。

ここで、本発明に係る光走査装置１３の別形態を図４に示すが、同図に示すように、カバーガラスをＭＥＭＳミラー２６に近い走査レンズ３３によって構成すれば、つまり、ＭＥＭＳ室３１を画成するカバーガラスを走査レンズ３３で代用すれば、カバーガラスを別途設ける必要がなく、光走査装置１３の部品点数を削減してコストダウンを図ることができる。

尚、以上は本発明をカラーレーザープリンタとこれに備えられた光走査装置に対して適用した形態について説明したが、本発明は、モノクロプリンタや複写機等を含む他の任意の画像形成装置及びこれに備えられた光走査装置に対しても同様に適用可能であることは勿論である。

１Ｍ マゼンタ画像形成ユニット
１Ｃ シアン画像形成ユニット
１Ｙ イエロー画像形成ユニット
１Ｋ ブラック画像形成ユニット
２ａ〜２ｄ 感光ドラム（像担持体）
３ａ〜３ｄ 帯電器
４ａ〜４ｄ 現像装置
５ａ〜５ｄ 転写ローラ
６ａ〜６ｄ ドラムクリーニング装置
７ 中間転写ベルト
８ 駆動ローラ
９ テンションローラ
１０ 二次転写ローラ
１１ ベルトクリーニング装置
１２ａ〜１２ｄ トナーコンテナ
１３ 光走査装置
１４ 給紙カセット
１５ ピックアップローラ
１６ フィードローラ
１７ リタードローラ
１８ 搬送ローラ対
１９ レジストローラ対
２０ 搬送ローラ対
２１ 排紙トレイ
２２ 定着装置
２３，２４ 排紙ローラ対
２５ レーザーダイオード（光源）
２６ ＭＥＭＳミラー
２７ Ｓｉ基板
２８ 自由曲面ミラー（結像素子）
２９ パッケージ壁
２９ａ パッケージ壁の通し孔
３０ カバーガラス
３１ ＭＥＭＳ室
３２ ハーネス
３３，３４ 走査レンズ
Ｐ１ 書出点
Ｐ２ 書終点
Ｒ 有効走査範囲
Ｓ，Ｓ’ 搬送パス

Claims (5)

1. 光源と、該光源から出射される光ビームを偏向するＭＥＭＳミラーと、前記光源から出射される光ビームが直接入射され、その入射された光ビームを前記ＭＥＭＳミラー上に線状に結像させる結像素子と、前記ＭＥＭＳミラーによって偏向された光ビームを被走査面上に結像させる走査レンズを備えた光走査装置において、
   前記ＭＥＭＳミラーが一体に形成された基板上に前記光源を組み込むとともに、前記結像素子を自由曲面ミラーによって構成し、
   パッケージ壁とその開口部を覆うパッケージカバー及びカバーガラスによってＭＥＭＳ室を形成し、該ＭＥＭＳ室に前記光源と前記ＭＥＭＳミラー及び前記自由曲面ミラーを収容するとともに、ＭＥＭＳ室を気密封止し、
   前記ＭＥＭＳミラーの法線方向と前記光源からの光ビームの出射方向とが平行になるよう構成するとともに、光ビームが前記ＭＥＭＳミラーに対して主走査方向に斜入射するよう構成したことを特徴とする光走査装置。
2. 前記カバーガラスを副走査方向に傾斜させたことを特徴とする請求項１記載の光走査装置。
3. 前記カバーガラスをＭＥＭＳミラーに近い前記走査レンズによって構成したことを特徴とする請求項１または２記載の光走査装置。
4. 前記パッケージ壁又は前記パッケージカバーに吸気口を形成し、該吸気口から前記ＭＥＭＳ室内の空気を吸引することによって該ＭＥＭＳ室内を減圧したことを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の光走査装置。
5. 請求項１〜４の何れかに記載の光走査装置を備えることを特徴とする画像形成装置。

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