JP5453236B2 - 光走査装置及びこれを備えた画像形成装置 - Google Patents

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本発明は、偏向手段としてMEMSミラーを用いた光走査装置とこれを備えた複写機やプリンタ等の画像形成装置に関するものである。
複写機やプリンタ等の画像形成装置においては、帯電器によって表面が一様に帯電された像担持体が光走査装置によって光走査され、その表面に画像情報に応じた静電潜像が形成される。そして、静電潜像は、現像装置によって現像剤であるトナーを用いて現像されてトナー像として顕像化され、このトナー像は、転写装置によって用紙上に転写された後に定着装置によって加熱及び加圧されて用紙上に定着され、トナー像が定着された用紙が装置外へ排出されることによって一連の画像形成動作が終了する。
ところで、従来、光走査装置には、光ビームを走査する偏向器としてポリゴンミラーやガルバノミラーが専ら用いられているが、より高解像度の画像や高速プリントを達成するためには、これらのポリゴンミラーやガルバノミラーを更に高速で回転させる必要がある。
しかしながら、ポリゴンミラーやガルバノミラーを高速で回転させると軸受の耐久性や風損による発熱や騒音の問題が発生し、高速走査には限界がある。
そこで、近年、シリコンマイクロマシニング(MEMS)技術を利用した偏向器の開発が進められており、例えばマイクロミラー(以下、「MEMSミラー」と称する)とこれを軸支する捩り梁をSi基板に一体に形成し、MEMSミラー側の可動電極と固定側の固定電極との間に交流電圧を印加し、両電極間に発生する静電引力によって捩り梁を捩りながらMEMSミラーを共振させ、このMEMSミラーの共振を利用してこれを往復振動させる方式が提案されている(例えば、特許文献1,2参照)。
上記方式によれば、共振を利用してMEMSミラーを往復振動(正弦振動)させるために高速動作が可能であり、騒音と消費電力を低く抑えることができるという利点が得られる。
特開平4−211218号公報 特開2008−083688号公報
ところで、MEMSミラーを用いた光走査装置は、MEMSミラー自体を小さく成形することができるためにポリゴンミラーに比べて小型化が可能であるというメリットが得られる反面、偏向角が小さいという問題がある。このようにMEMSミラーの偏向角が小さいと、定められた領域を走査するためには走査レンズの焦点距離を延ばす必要があり、長焦点距離の走査レンズを用いると光路長が長くなって光走査装置が大型化するという問題が発生する。
そこで、従来、走査レンズを負のパワーを有するものとして走査領域を拡大し、走査レンズに入射する光束を収束光とすることによって、負のパワーを有する走査レンズであっても走査面上に光ビームを結像させてMEMSミラーから走査面までの光路長の短縮と走査領域の拡大を両立させるようにしている。
しかしながら、MEMSミラーに入射する光束を収束光とする収束光学系(1次光学系)にはコリメータレンズやシリンドリカルレンズ等の複数のレンズが必要であるため、部品点数が増えて光走査装置の小型化やコストダウンの効果が小さいという問題がある。
本発明は上記問題に鑑みてなされたもので、その目的とする処は、部品点数の削減や電気配線の簡略化等によって小型化とコストダウンを図ることができる光走査装置とこれを備えた画像形成装置を提供することにある。
上記目的を達成するため、請求項1記載の発明は、光源であるレーザーダイオードと、該レーザーダイオードから出射するレーザービームを偏向するMEMSミラーと、該MEMSミラーによって偏向されたレーザービームを走査面上に等速度で集光させる走査レンズを備えた光走査装置において、前記MEMSミラーが一体に形成された基板上に前記レーザーダイオードを組み込み、該レーザーダイオードから出射するレーザービームを反射させて前記MEMSミラー上に線状に結像させる自由曲面ミラーを設けたことを特徴とする。
請求項記載の画像形成装置は、請求項記載の光走査装置を備えることを特徴とする。
本発明によれば、MEMSミラーが一体に形成された基板上にレーザーダイオードを組み込んだため、基板が1枚で済むとともに、MEMSミラーやレーザーダイオードに接続される電気配線が短縮及び簡略化される。
又、レーザーダイオードから出射するレーザービームを自由曲面ミラーによって反射させてMEMSミラー上に線状に結像させるようにしたため、収束光学系(1次光学系)従来必要であったコリメータレンズやシリンドリカルレンズ等の複数のレンズが不要となり、部品点数を削減して光走査装置の小型化とコストダウンを図ることができる。
本発明に係る画像形成装置(カラーレーザープリンタ)の側断面図である。 本発明に係る光走査装置要部の構成を示す平面図である。 図2のA部(収束光学系)の拡大詳細図である。
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
[画像形成装置]
図1は本発明に係る画像形成装置の一形態としてのカラーレーザープリンタの断面図であり、図示のカラーレーザープリンタはタンデム型であって、その本体100内の中央部には、マゼンタ画像形成ユニット1M、シアン画像形成ユニット1C、イエロー画像形成ユニット1Y及びブラック画像形成ユニット1Kが一定の間隔でタンデムに配置されている。
上記各画像形成ユニット1M,1C,1Y,1Kには、像担持体である感光ドラム2a,2b,2c,2dがそれぞれ配置されており、各感光ドラム2a〜2dの周囲には、帯電器3a,3b,3c,3d、現像装置4a,4b,4c,4d、転写ローラ5a,5b,5c,5d及びドラムクリーニング装置6a,6b,6c,6dがそれぞれ配置されている。
ここで、前記感光ドラム2a〜2dは、ドラム状の感光体であって、不図示の駆動モータによって図示矢印方向(時計方向)に所定のプロセススピードで回転駆動される。又、前記帯電器3a〜3dは、不図示の帯電バイアス電源から印加される帯電バイアスによって感光ドラム2a〜2dの表面を所定の電位に均一に帯電させるものである。
更に、前記現像装置4a〜4dは、マゼンタ(M)トナー、シアン(C)トナー、イエロー(Y)トナー、ブラック(K)トナーをそれぞれ収容しており、各感光ドラム2a〜2d上に形成された各静電潜像に各色のトナーを付着させて各静電潜像を各色のトナー像として可視像化するものである。
又、前記転写ローラ5a〜5dは、各一次転写部にて中間転写ベルト7を介して各感光ドラム2a〜2dに当接可能に配置されている。ここで、中間転写ベルト7は、駆動ローラ8とテンションローラ9との間に張設されて各感光ドラム2a〜2dの上面側に走行可能に配置されており、前記駆動ローラ8は、二次転写部において中間転写ベルト7を介して二次転写ローラ10に当接可能に配置されている。又、テンションローラ9の近傍にはベルトクリーニング装置11が設けられている。
ところで、プリンタ本体100内の各画像形成ユニット1M,1C,1Y,1Kの上方には、前記各現像装置4a〜4dにトナーを補給するためのトナーコンテナ12a,12b,12c,12dが一列に並設されている。
又、プリンタ本体100内の各画像形成ユニット1M,1C,1Y,1Kの下方には、各画像形成ユニット1M,1C,1Y,1Kに対応して本発明に係る計4つの光走査装置(レーザースキャナユニット(LSU))13がそれぞれ配置され、これらの下方のプリンタ本体100の底部には給紙カセット14が着脱可能に設置されている。そして、給紙カセット14には複数枚の不図示の用紙が積層収容されており、この給紙カセット14の近傍には、該給紙カセット14から用紙を取り出すピックアップローラ15と、取り出された用紙を分離して搬送パスSへと1枚ずつ送り出すフィードローラ16とリタードローラ17が設けられている。
又、プリンタ本体100の側部を上下方向に延びる前記搬送パスSには、用紙を搬送する搬送ローラ対18と、用紙を一時待機させた後に所定のタイミングで前記二次転写対向ローラ8と二次転写ローラ10との当接部である二次転写部へと供給するレジストローラ対19が設けられている。尚、搬送パスSの横には、用紙の両面に画像を形成する場合に使用される別の搬送パスS’が形成されており、この搬送パスS’には複数の反転ローラ対20が適当な間隔で設けられている。
ところで、プリンタ本体100内の一側部に縦方向に配置された前記搬送パスSは、プリンタ本体100の上面に設けられた排紙トレイ21まで延びており、その途中には定着装置22と排紙ローラ対23,24が設けられている。
次に、以上の構成を有するカラーレーザープリンタによる画像形成動作について説明する。
画像形成開始信号が発せられると、各画像形成ユニット1M,1C,1Y,1Kにおいて各感光ドラム2a〜2dが図示矢印方向(時計方向)に所定のプロセススピードで回転駆動され、これらの感光ドラム2a〜2dは、帯電器3a〜3dによって一様に帯電される。又、各光走査装置13は、各色毎のカラー画像信号によって変調されたレーザービームを出射し、そのレーザービームを各感光ドラム2a〜2dの表面に照射し、各感光ドラム2a〜2d上に各色のカラー画像信号に対応した静電潜像をそれぞれ形成する。
そして、先ず、マゼンタ画像形成ユニット1Mの感光ドラム2a上に形成された静電潜像に、該感光ドラム2aの帯電極性と同極性の現像バイアスが印加された現像装置4aによってマゼンタトナーを付着させ、該静電潜像をマゼンタトナー像として可視像化する。このマゼンタトナー像は、感光ドラム2aと転写ローラ5aとの間の一次転写部(転写ニップ部)において、トナーと逆極性の一次転写バイアスが印加された転写ローラ5aの作用によって、図示矢印方向に回転駆動されている中間転写ベルト7上に一次転写される。
上述のようにしてマゼンタトナー像が一次転写された中間転写ベルト7は、次のシアン画像形成ユニット1Cへと移動する。そして、シアン画像形成ユニット1Cにおいても、前記と同様にして、感光ドラム2b上に形成されたシアントナー像が一次転写部において中間転写ベルト7上のマゼンタトナー像に重ねて転写される。
以下同様にして、中間転写ベルト7上に重畳転写されたマゼンタ及びシアントナー像の上に、イエロー及びブラック画像形成ユニット1Y,1Kの各感光ドラム2c,2d上にそれぞれ形成されたイエロー及びブラックトナー像が各一次転写部において順次重ね合わせられ、中間転写ベルト7上にはフルカラーのトナー像が形成される。尚、中間転写ベルト7上に転写されないで各感光ドラム2a〜2d上に残留する転写残トナーは、各ドラムクリーニング装置6a〜6dによって除去され、各感光ドラム2a〜2dは次の画像形成に備えられる。
そして、中間転写ベルト7上のフルカラートナー像の先端が駆動ローラ8と二次転写ローラ10間の二次転写部(転写ニップ部)に達するタイミングに合わせて、給紙カセット14からピックアップローラ15とフィードローラ16及びリタードローラ17によって搬送パスSへと送り出された用紙がレジストローラ対19によって二次転写部へと搬送される。そして、二次転写部に搬送された用紙に、トナーと逆極性の二次転写バイアスが印加された二次転写ローラ10によってフルカラーのトナー像が中間転写ベルト7から一括して二次転写される。
而して、フルカラーのトナー像が転写された用紙は、定着装置22へと搬送され、フルカラーのトナー像が加熱及び加圧されて用紙の表面に熱定着され、トナー像が定着された用紙は、排紙ローラ対23,24によって排紙トレイ21上に排出されて一連の画像形成動作が完了する。尚、用紙上に転写されないで中間転写ベルト7上に残留する転写残トナーは、前記ベルトクリーニング装置11によって除去され、中間転写ベルト7は次の画像形成に備えられる。
[光走査装置]
次に、本発明に係る前記光走査装置13を図2及び図3に基づいて説明する。尚、4つの光走査装置13の構成は全て同じであるため、以下、1つの光走査装置13についてのみ説明する。
図2は本発明に係る光走査装置要部の構成を示す平面図、図3は図2のA部(収束光学系)の拡大詳細である。
光走査装置13は、光源であるレーザーダイオード25と偏向手段であるMEMSミラー26を備えているが、図3に詳細に示すように、レーザーダイオード25とこれを駆動する不図示のドライバは、MEMSミラー26が一体に形成されたSi基板27上に組み込まれている。
そして、本実施の形態に係る光走査装置13においては、レーザーダイオード25のレーザービームの出射方向には、レーザーダイオード25から出射するレーザービームを反射させて前記MEMSミラー26上に線状に結像させる自由曲面ミラー28が配置されている。
ここで、前記MEMSミラー26は、Si基板27にエッチングや成膜等のマイクロマシニング技術(MEMS技術)を利用して一体に形成されており、粉のMEMSミラー26は、これを支持する不図示の捩り梁を中心として往復振動(正弦振動)する。尚、MEMSミラー26の表面(反射面)にはアルミニウム膜等が成膜されてその反射率が高められている。
又、前記自由曲面ミラー28の断面形状は次のように設定されている。
即ち、副走査方向をx、主走査方向をy、光軸方向をzとしたとき、自由虚無面ミラー28のyz断面形状は次式にて表わされる。
Figure 0005453236
又、自由曲面ミラー28のyにおけるxz断面の曲率半径は次式で表わされる。
Figure 0005453236
数1及び数2において、c,k,R0,A,Bは係数であって、本実施の形態では次表に示されるような値が採用されている。
Figure 0005453236
又、図2に示すように、MEMSミラー26によって偏向されるレーザービームの進行方向に沿って円弧状の2つの走査レンズ29,30が配設されている。尚、走査レンズ29,30は、MEMSミラー26によって偏向されたレーザービームを走査面である感光ドラム2a(2b,2c,2d)上に等速度で集光させるためのfθ特性を有している。
而して、図2に示す光走査装置13において、レーザーダイオード25が画像データに応じてON/OFF制御されると、該レーザーダイオード25から画像データに対応して変調されたレーザービームが出射され、このレーザービームは、自由曲面ミラー28によって反射してMEMSミラー26上に線状に結像する。
上述のようにMEMSミラー26上に線状に結像したレーザービームは、MEMSミラー26が往復振動することによって主走査方向に偏向され、この偏向されたレーザービームは、走査レンズ29,30を通過することによって図1に示す各画像形成ユニット1M(1C,1Y,1K)の感光ドラム2a(2b,2c,2d)上に結像され、図2に示す有効走査範囲Rの一端を書出点P1、他端を書終点P2として感光ドラム2a(2b,2c,2d)上を主走査方向に往復走査する。すると、前述のように各感光ドラム2a(2b,2c,2d)上には各色のカラー画像信号に対応した静電潜像がそれぞれ形成される。
以上のように、本実施の形態においては、MEMSミラー26が一体に形成されたSi基板27上にレーザーダイオード25とこれを駆動するドライバを組み込んだため、基板としてはSi基板27の1枚で済むとともに、レーザーダイオード25やMEMSミラー26等に接続される電気配線が短縮及び簡略化される。
又、レーザーダイオード25から出射するレーザービームを自由曲面ミラー28によって反射させてMEMSミラー26上に線状に結像させるようにしたため、収束光学系(1次光学系)に従来必要であったコリメータレンズやシリンドリカルレンズ等の複数のレンズが不要となり、部品点数を削減して光走査装置13の小型化とコストダウンを図ることができる。
尚、以上は本発明をカラーレーザープリンタとこれに備えられた光走査装置に対して適用した形態について説明したが、本発明は、モノクロプリンタや複写機等を含む他の任意の画像形成装置及びこれに備えられた光走査装置に対しても同様に適用可能であることは勿論である。
1M マゼンタ画像形成ユニット
1C シアン画像形成ユニット
1Y イエロー画像形成ユニット
1K ブラック画像形成ユニット
2a〜2d 感光ドラム(像担持体)
3a〜3d 帯電器
4a〜4d 現像装置
5a〜5d 転写ローラ
6a〜6d ドラムクリーニング装置
7 中間転写ベルト
8 駆動ローラ
9 テンションローラ
10 二次転写ローラ
11 ベルトクリーニング装置
12a〜12d トナーコンテナ
13 光走査装置
14 給紙カセット
15 ピックアップローラ
16 フィードローラ
17 リタードローラ
18 搬送ローラ対
19 レジストローラ対
20 搬送ローラ対
21 排紙トレイ
22 定着装置
23,24 排紙ローラ対
25 レーザーダイオード
26 MEMSミラー
27 Si基板
28 自由曲面ミラー
29,30 走査レンズ
P1 書出点
P2 書終点
R 有効走査範囲
S,S’ 搬送パス

Claims (2)

  1. 光源であるレーザーダイオードと、該レーザーダイオードから出射するレーザービームを偏向するMEMSミラーと、該MEMSミラーによって偏向されたレーザービームを走査面上に等速度で集光させる走査レンズを備えた光走査装置において、
    前記MEMSミラーが一体に形成された基板上に前記レーザーダイオードを組み込み、該レーザーダイオードから出射するレーザービームを直接受けて当該レーザービームを反射させて前記MEMSミラー上に線状に結像させる自由曲面ミラーを設けたことを特徴とする光走査装置。
  2. 請求項記載の光走査装置を備えることを特徴とする画像形成装置。
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