JP2005052507A - 摺動部品の製造方法及び摺動部品 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明に係る天秤軸の製造方法においては、金属被膜形成工程及びDLC被膜形成工程において、基材27の表面の摺動部に対応する位置にUBMスパッタリングによってCr被膜29及びDLC被膜30を連続的に成膜し、マスキング工程において、複数の円形の穴35を有するマスキング部材34をDLC被膜30の表面に略密着状に外嵌し、エッチング工程においてマスキング部材34の穴35によって露呈している領域のDLC被膜30をプラズマエッチングして油溜32となる凹部31を形成する。
【選択図】図5−3
Description
18 天秤
27 基材
28 摺動部
29 Cr被膜
30 DLC被膜
31 凹部
32 油溜
34 マスキング部材
Claims (20)
- 基材の表面の少なくとも一部に摺動部を有し、前記摺動部の表面にDLC被膜を形成された摺動部品の製造方法において、
前記DLC被膜の表面の一部をマスクするマスキング部材を略密着状に取り付けるマスキング工程と、
前記マスキング部材でマスクされていない部分のDLC被膜をエッチングするエッチング工程と、
を備えたことを特徴とする摺動部品の製造方法。 - 前記エッチング工程では、前記摺動部の領域にエッチングにより凹部が形成されることを特徴とする請求項1に記載の摺動部品の製造方法。
- 前記エッチング工程では、油溜としての凹部が形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載の摺動部品の製造方法。
- 前記エッチング工程では、前記凹部が前記摺動部の表面積に対して約14%〜70%の面積比で形成されることを特徴とする請求項2又は3に記載の摺動部品の製造方法。
- 前記摺動部の表面に前記DLC被膜を形成する工程の前に、
前記基材の表面に金属被膜を形成する金属被膜形成工程を備えたことを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の摺動部品の製造方法。 - 前記エッチング工程では、前記金属被膜が表面に表れるまで、DLC被膜をエッチングすることを特徴とする請求項5に記載の摺動部品の製造方法。
- 前記マスキング工程では、前記マスキング部材によりマスクされた前記DLC被膜の表面のうち、所定間隔を空けた複数個所の領域が露呈していることを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載の摺動部品の製造方法。
- 前記マスキング工程では、前記DLC被膜の表面の露呈している複数個所の領域は全て同形であることを特徴とする請求項7に記載の摺動部品の製造方法。
- 前記マスキング工程では、前記DLC被膜の表面の露呈している各領域は円形であることを特徴とする請求項8に記載の摺動部品の製造方法。
- 前記エッチング工程は、プラズマエッチングによりDLC被膜が除去されることを特徴とする請求項1〜9の何れかに記載の摺動部品の製造方法。
- 前記基材は鋼材料からなり、前記プラズマエッチングは基材が150℃以下で行われることを特徴とする請求項10に記載の摺動部品の製造方法。
- 前記エッチング工程は、レーザエッチングによりDLC被膜が除去されることを特徴とする請求項1〜9の何れかに記載の摺動部品の製造方法。
- 機械類の摺動個所に取り付けられる摺動部を有する摺動部品において、
基材と、
前記基材の摺動部の表面に形成された金属被膜と、
前記金属被膜の表面に形成されたDLC被膜と、
前記DLC被膜が一部除去されて形成された凹部である油溜、若しくは、前記DLC被膜に金属被膜まで貫通するように形成された穴である油溜とを備えていることを特徴とする摺動部品。 - 前記油溜は、所定パターンに配置された複数の同形の凹部からなることを特徴とする請求項13に記載の摺動部品。
- 前記凹部は円形の凹部であることを特徴とする請求項13又は14に記載の摺動部品。
- 前記油溜は、前記摺動部の表面積に対して約14%〜70%の面積比で形成されていることを特徴とする請求項13〜15の何れかに記載の摺動部品。
- 前記摺動部品の摺動部は、往復摺動部であることを特徴とする請求項13〜16の何れかに記載の摺動部品。
- 前記摺動部品は、ミシンに取り付けられる部品であることを特徴とする請求項17に記載の摺動部品。
- 前記摺動部品は、ミシンの天秤軸を有する天秤であることを特徴とする請求項18に記載の摺動部品。
- 前記油溜は、前記DLC被膜が部分的に除去されて形成されたものであることを特徴とする請求項13〜19に記載の摺動部品。
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