JP2005038948A

JP2005038948A - プロセス処理装置の試料設置・取出し方法及び装置

Info

Publication number: JP2005038948A
Application number: JP2003198147A
Authority: JP
Inventors: Tokuyuki Matsumoto; 徳之松本; Katsuyoshi Kudo; 勝義工藤; Kiyoshi Kurihara; 清栗原
Original assignee: Hitachi Kasado Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi Kasado Engineering Co Ltd
Priority date: 2003-07-17
Filing date: 2003-07-17
Publication date: 2005-02-10

Abstract

【課題】プロセス処理装置において、試料の設置、取出しが手動のものがある。試料を受ける台が装置内にあるため、試料の設置、取出し作業が困難である。試料を受ける台を装置外に出し、試料の設置、取出し作業を容易に行える方法、また試料搬送構成部品、例えばハンド（以下ハンドと記載する）までの試料受け渡し動作が一つの動作で行える方法を提供する。
【解決手段】試料６を搬入出する扉を開く動作で、ハンド５上の試料６を受け取り試料受け台２を容器１外に出し、扉３を閉じる動作で、試料受け台２を容器１内に納めハンド５上まで試料６の受け渡しを行うもの。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プロセス処理装置の試料設置、取出しする際の試料搬送方法及び試料搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
搬送部位との試料の受け渡しと扉の開閉が別々に構成していた。
【０００３】
【発明の解決しようとする課題】
扉３を開いた時、試料６の位置が容器１内であるため、試料６の設置、取出し作業が困難という問題があった。
【０００４】
本発明は、試料を設置する位置を容器１外に出し、試料６の設置、取出し作業を容易にするもので、更に扉３の開閉という１つの動作で試料６の受け渡しを可能とする方法及び装置を提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
扉３と試料受け台２をメンバー（１）４で接続し（リンク構造）、扉３を開くと試料受け台２が容器１外へ出てくる。扉３を閉じると試料受け台２が容器１内へ入ることを特徴とするものである。なお、試料受け台２の上昇の押上げ機構はばねを用いた場合について説明する。
【０００６】
また、扉３閉じ時は試料受け台２をハンド５下方に位置させ、扉３開き時はハンド５上方に位置させることにより、試料６の受け渡しを可能にすることを特徴とするものである。
【０００７】
また、請求項３の水平方向に移動する方式において試料受け台２の上昇にばね８を用い、試料受け台２の下降に両端にころの付いたＬ字のメンバー（２）７（Ｌ字でなくてもよいし、ころでなくてもよい）を用いる。
【０００８】
【作用】
上記のように、扉３を開く動作でハンド５上の試料６を試料受け台２が受け取り容器１外へ移動させ、扉３を閉じる動作で試料受け台２上の試料６を容器内のハンド５上に受け渡すことができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を説明する。
【０００１０】
図１は本発明の試料設置、取出し装置の一例を示したもので、水平方向移動方式の平面図である。上下・回転移動可能な試料受け台２と開閉式の扉３を備え、これらをつなぐメンバー（１）４で構成されている。このメンバー（１）４の接続部はガタ（余裕）があるがなくてもよい。また、図１ではリンク構造部は容器１内としてあるが、容器１外でもよい。
【０００１１】
図２は図１の断面図であり、（ａ）は扉閉じ時（試料受け台下降時）、（ｂ）は扉開き時（試料受け台上昇時）を示す。試料受け台２を上昇させるばね８と、試料受け台２を下降させるメンバー（２）７を備える。試料受け台２上昇時の回転を円滑にするためのトラックボール１０を備えているがなくてもよい。試料受け台２にはガイド９を備える。また、図２ではリンク構造部は容器１内としてあるが、容器１外でもよい。
【０００１２】
図３は図１の扉開き時を示す。扉３を開くことにより試料受け台２が容器１外へ移動した状態を示す。
【０００１３】
図４は上下方向移動方式の断面図である。上下移動可能な試料受け台２と開閉式の扉３を備え、これらをつなぐメンバー（１）４で構成されている。試料受け台２にはガイド９を備える。
【０００１４】
また、図１は試料受け台の位置決め例を示している。試料受け台２側に取り付けられた磁石１１と容器側に取り付けられた鉄製部品１２で固定し、位置決めを行う。磁石の組み合わせはこの逆、またはどちらも磁石の場合も含む。
【０００１５】
【発明の効果】
扉を開く動作で試料受け台を容器外へ出すことにより、試料の設置、取出し作業を容易に行え、また扉の開閉動作で試料受け台とハンドとの試料受け渡しを行え、操作の煩わしさを軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の一例を示す概略図で、水平方向移動方式の平面図である。
【図２】図１の断面図であり、（ａ）は扉閉じ時（試料受け台下降時）、（ｂ）は扉開き時（試料受け台上昇時）を示す。
【図３】図１の扉開き時を示す。
【図４】上下方向移動方式の断面図である。
【符号の説明】
１．容器
２．試料受け台
３．扉
４．メンバー（１）
５．ハンド
６．試料
７．メンバー（２）
８．ばね
９．ガイド
１０．トラックボール
１１．磁石
１２．鉄製部品

Claims

試料６を受け渡すハンド５と、このハンド５を内蔵する容器１と、容器１に設けた試料出し入れの為の開口部を塞ぐ扉３より成る試料設置・取り出し装置において、この扉３の開閉動作に連動して容器１内に出入りする試料受け台２を設け、この試料受け台２が、
前記扉３の開閉動作に連動して容器１内に出入りすると同時に、試料６を容器１内のハンド５と受け渡しするような機構を付与した事を特徴とする、試料設置・取出し方法及び装置。
試料６受け渡しの手段として、扉３が上下方向に開閉移動する方式において、試料受け台２を前記扉３の上下方開閉向動作に連動し、上下方向移動させる事で、ハンド５との試料６の受け渡しを行う事を特徴とした、請求項１に示す試料設置・取出し方法及び装置。
試料６受け渡しの手段として、扉３が水平方向に開閉移動する方式において、試料受け台２を前記扉３の水平方向開閉動作に連動し、水平方向移動させる事で、ハンド５との試料６の受け渡しを行う事を特徴とした、請求項１に示す試料設置・取出し方法及び装置。
試料６受け渡しの手段として、扉３が水平方向に開閉移動する請求項３の方式において、試料６渡し動作では、扉３開き位置にて、容器１から引き出された試料受け台２上に、試料６を設置し、扉３の水平方向移動動作に連動し、試料受け台２を水平方向に移動させ、更に扉３を閉め終わる直前に、試料受け台２の水平方向移動動作を停止し、残りの扉３の閉め方向移動動作で、試料受け台２を下降させる事で、ハンド５への試料６渡し動作を行う。またハンド５からの試料６受け取り動作では、前記渡し動作の逆の動き即ち、扉３の開き始めでは、まず最初に試料受け台２が上昇動作のみを行い、ハンド５から試料６を受け取り、その後さらに扉３を開く動作で、試料受け台２が扉３と共に水平方向移動する事で、ハンド５との試料６の受け渡しを行う機構を付与した事を特徴とした、請求項１に示す試料設置・取出し方法及び装置。
試料受け台２が上昇、下降及び水平移動する請求項４の方式において、試料受け台２を上昇する為の扉３の開き始め、下降するための扉３の閉じ終わり部位の動作と、次いで試料受け台２を容器１外へ移動あるいは容器１内へ挿入するための、水平方向移動動作の間に、試料受け台２が上下左右及び回転等の移動をしない動作範囲を設ける事を特徴とした、請求項１に示す試料設置・取出し方法及び装置。
請求項２の方式において、試料６渡し動作の試料受け台２の下降は、扉３閉め始めの動作位置を検出後、別の駆動力（例えばエアシリンダ）を用い行う。また、ハンド５からの試料６受け取り動作時の試料受け台２の上昇、容器１外への取り出し位置までの移動は扉３を開き終わる位置を検出後、別の駆動力（例えばエアシリンダ）を用い行う。並びに、請求項３の方式において、試料６渡し動作時の試料受け台２の下降は、扉３を閉め終わる動作位置を検出後、別の駆動力（例えばエアシリンダ）を用い行う。また、ハンド５からの試料６受け取り動作時の試料受け台２の上昇は、扉３を開け始める動作位置を検出後、別の駆動力（例えばエアシリンダ）を用い行う事を特徴とした、請求項１に示す試料設置・取出し方法及び装置。
請求項２の方式において、試料６渡し動作の試料受け台２の下降、試料６受け取り動作の試料受け台２の上昇、容器１外への取り出し。並びに、請求項３の方式において、試料６渡し動作時の試料受け台２の下降、試料６受け取り動作時の試料受け台２の上昇及び試料６受け渡し後の水平方向移動を含むすべての動作の駆動源は、扉３を開閉する動作にて付与される駆動力で賄う事を特徴とした、請求項１に示す試料設置・取出し方法及び装置。
試料受け台２の上昇、下降にリンク機構を用いる事を特徴とした請求項４、５、７に示す試料設置・取出し方法及び装置。
試料受け台２の上昇に押上げ機構（例えばばね）を用いる事を特徴とした請求項４、５、７に示す試料設置・取出し方法及び装置。
試料受け台２の上昇、下降にころ機構を用いる事を特徴とした請求項４、５、７、９に示す試料設置・取出し方法及び装置。
試料受け台２の回転にリンク機構、ころ機構を用いる事を特徴とした請求項３、４、５に示す試料設置・取出し方法及び装置。
試料６をハンド５から試料受け台２へ、試料受け台２からハンド５へ確実に受け渡すため、ガイド９を設ける事を特徴とした請求項１に示す試料設置・取出し方法及び装置。
試料６受け渡しの手段として、扉３が水平方向に開閉移動する請求項３の方式において、試料受け台２の上昇にばねを用いる場合、試料受け台２が円滑に移動するようトラックボール１０もしくはころ機構を用いる事を特徴とした請求項３、４、５、７、９に示す試料設置・取出し方法及び装置。
試料６受け渡しの手段として、扉３が水平方向に開閉移動する請求項３の方式において、
試料受け台２の容器１内での水平方向移動終端の位置決めに磁石１１、１２を用いる事を特徴とした請求項３、４、５、７に示す試料設置・取出し方法及び装置。