JP2005027364A - 制御装置およびプログラム - Google Patents

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    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/14Drive circuits; Control arrangements or methods
    • H02N2/142Small signal circuits; Means for controlling position or derived quantities, e.g. speed, torque, starting, stopping, reversing

Abstract

【課題】振動型駆動装置の摺動面に水分が介在していると、振動型駆動装置が起動しなかったり、所望の回転数が出なかったりすることがある。
【解決手段】振動型駆動装置の起動時において、所定の周波数から第1の変化率で駆動信号の周波数を下げていき、振動体の振動状態が所定の状態となったときに相対移動速度が基準速度に達しているか否かを判別し、相対移動速度が基準速度に達していないときに、第1の変化率よりも小さい第2の変化率で前記駆動信号の周波数を下げる。
【選択図】 図2

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、振動型駆動装置の起動時における駆動を制御する制御装置および制御方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
最近、振動型モータはカメラレンズのアクチュエータとして用いられる他に、時計のカレンダー駆動、複写機の感光ドラムの駆動等を行うアクチュエータとしても用いられている。また、振動型モータにおける振動体の形状(構造)は、円環型のもの、棒状のもの、円盤形のもの等多種多様のものが存在する。
【0003】
振動型モータの一般的な駆動方法を、図5のフローチャートに示す(例えば、特許文献1参照)。また、振動型モータの起動が正常に行われたときの周波数、位相差(振動型モータ(圧電素子)への入力電圧Vaと圧電素子に設けられたセンサ相の出力電圧Vsとの位相差)、ロータの回転数(速度)のパターン図を図6に示す。
【0004】
図6において、横軸は時間(ms)を示し、縦軸は周波数(kHz)、ロータの回転数(rpm)、上記の位相差θa−sを示している。
【0005】
振動型モータを起動する際には、回路の周波数制御範囲における最大周波数fmaxからスタート(図5のステップS501)して、周波数を所定のスイープレートR1(Hz/sec)でスイープダウンさせる(図5のステップS502)。そして、エンコーダ等により振動型モータ(ロータ)が回転し始めたことを検出(パルスを検出)したら(図5のステップS503)、位相差θa−sを演算する(図5のステップS504)。ここで、演算によって得られた位相差θa−sが予め決められた位相差P2を超えたら(図5のステップS505)周波数スイープを止める(図5のステップS506)。
【0006】
以降は、周波数スイープを止めたときの周波数f1を基準として、位相差θa−sが上記の位相差P2と、予め決められた位相差P1との間に入るように周波数を制御しつつモータを目標地点まで駆動する。
【0007】
【特許文献1】
特開2001−25271号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、振動型モータを高湿度の環境下で起動しようとすると1発で起動しない、又は非常に遅いスピードでしか回らないという問題が発生する恐れがある。この問題は、高湿度中に振動型モータを放置したときに、振動体およびロータの摺動面の僅かの隙間に微小な水分が付着することにより、振動体とロータとの摩擦係数が低下し、モータの起動時に発生するトルクを低下させてしまうために起こることが判明した。特に、耐摩耗性に優れ摩耗量が極めて少ないSUS材やアルミナ等の摩擦材を用いたときほど、トルクの低下が起きやすいことが分かった。
【0009】
モータが上記のように低トルクの状態になると、従来の制御方法では、振動型モータを正常に起動することができないことがある。すなわち、図7に示すように、モータ起動時に周波数を高い方(fmax)からスイープダウンさせて、振動体の振動振幅が十分大きな値V1(周波数がf1)になっていても、摺動面に存在する水分等によってロータの回転数(N1)がほぼ0となっている場合がある。
【0010】
この場合には、周波数f1から更に周波数を下げていき、結局は最低周波数(fmin)までスイープダウンしてそこで駆動を終了するという駆動パターンになってしまう。
【0011】
ここで、振動型モータは振動体とロータとの摩擦力によって駆動されるものであるため、摺動面での摩擦熱は極めて高くなり、定常状態で駆動すると摩擦面の温度は数百度にもおよぶ。しかし、摺動面に水分が介在している場合において、振動型駆動装置が起動し始める僅かな時間内では、摺動面に発生する摩擦熱も僅かであり、従来の制御方法では水分を除去することはできない。
【0012】
摺動面に水分が介在した場合の対策としては、振動体およびロータの接触面に加える加圧力を上げることにより接触面での面圧を上げて水分を排除したり、摺動面を粗く(凹凸状に)して水分の影響を少なくしたりするのが一般的である。
【0013】
しかし、振動型モータにおいて、単純に加圧力のみを上げるのでは摺動面への負荷を増加させ、摩耗を助長することになる。しかも、加圧したときの反力を受ける軸受けにも負荷がかかるため、軸受けの耐久性を悪化させるとともに、軸受けでの損失も増加させることになる。また、単に摺動面を粗らくした場合には、摺動面での摩耗を促進させることになるため、振動型モータの耐久性の点で好ましくない。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明は、駆動信号の入力を受けて振動を励起する振動体と振動体に加圧接触する接触体とが相対的に移動可能な振動型駆動装置の駆動を制御する制御装置であって、振動体の振動状態を検出する振動検出手段と、振動体および接触体の相対移動速度を検出する速度検出手段と、振動体に駆動信号を出力して振動型駆動装置の駆動を制御する制御手段とを有し、制御手段は、振動型駆動装置の起動時において、所定の周波数から第1の変化率で前記駆動信号の周波数を下げる第1の周波数制御ステップと、第1の周波数制御ステップでの周波数の変化に応じて振動検出手段で検出された振動状態が所定の状態となったときに、速度検出手段で検出された相対移動速度が所定の基準速度に達しているか否かを判別する判別ステップと、判別ステップで相対移動速度が前記基準速度に達していないと判別したときに、第1の変化率よりも小さい第2の変化率で駆動信号の周波数を下げる第2の周波数制御ステップと、相対移動速度が前記基準速度に達したときに、相対移動速度が目標速度となるように駆動信号の周波数を変更する第3の周波数制御ステップとを行うことを特徴とする。
【0015】
すなわち、振動型駆動装置の起動時において、第1の変化率で周波数を変化させても振動型駆動装置の摺動面に介在する水分等によって相対移動速度が上がらないときに、第1の変化率よりも小さい第2の変化率で周波数を変化させることで、摺動面に生じる摩擦熱によって水分を除去するまでの時間を確保している。これにより、振動体および接触体間での摩擦力を回復させることができるため、従来技術の制御方法のように起動時の段階で振動型駆動装置の駆動を終了してしまうことはなく、振動型駆動装置を確実に起動することができる。また、本発明は、メカ的な構成を変えて摺動面に介在する水分を除去するものではないため、上述したように摺動面の摩耗を促進させることもない。
【0016】
ここで、第2の変化率をゼロとすることもできる。すなわち、第1の変化率から第2の変化率に変更するときの駆動信号(周波数)を振動体に入力することができる。
【0017】
なお、振動体の振動状態としては、電気−機械エネルギ変換素子に設けられたセンサ電極の出力信号の振幅や、振動体に入力される駆動信号と電気−機械エネルギ変換素子に設けられたセンサ電極の出力信号との位相差や、振動体に入力される駆動信号のうち機械腕電流成分を用いることができる。
【0018】
また、上述した制御回路の処理動作をプログラムによってコンピュータに実行させるようにしてもよい。
【0019】
【発明の実施の形態】
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態である振動型モータの制御装置について、図1〜図3および図8〜図10を用いて説明する。
【0020】
図8から図10は、棒状振動型モータの説明図である。図8は、棒状振動体の構造(A)と、振動体での振動モード(B)を示す。図9、10は、図8に示す振動体を備えた振動型モータの構成図である。この振動型モータは、例えば、カメラに設けられたレンズを駆動するためのアクチュエータとして用いられる。
【0021】
図8〜図10において、101は第1の弾性体、102は第2の弾性体である。103は電気−機械エネルギ変換素子としての積層圧電素子(又は単板の圧電素子の積層体)であり、第1の弾性体101および第2の弾性体102で挟まれている。
【0022】
104はシャフト、105はナットであり、シャフト104及びナット105は、弾性体101、102および積層圧電素子103に対して所定の挟持力を付与するように締め付けられている。
【0023】
107はロータ(接触体)であり、この一方(図9の下方)の面には、接触部107aが形成されている。この接触部107aは、振動体の端面に設けられた摺動部材106に接触するようになっており、この接触幅が小さく、かつ適度なバネ性を有する構造となっている。また、ロータ107の他方(図9の上方)の面には、ギア108の凹部(又は凸部)と係合する凸部(または凹部)が形成されている。
【0024】
108は、ロータ107とともに回転し、振動型モータの出力を伝達するギアである。ギア108は、振動型モータを取り付けるためのフランジ110によりシャフト104のスラスト方向で位置決めされている。111は、シャフト104の先端部をフランジ110に固定するためのナットである。112は、ロータ107に加圧力を付与するための加圧バネであり、ギア108とロータ107との間に設けられている。
【0025】
109は軸受けであり、ギア108に固定されており、シャフト104の位置規制を行っている。
【0026】
積層圧電素子103は、グループ化された2つの電極郡(+、−に分極された領域)を有しており、不図示の電源からそれぞれの電極郡に位相の異なる交流電圧を印加すると、振動体には図8(B)に示す曲げ振動と、この曲げ振動と同じ曲げ振動であって、紙面に垂直な方向の振動とが励振される。
【0027】
ここで、印加電圧の位相を調整することにより、2つの曲げ振動間に90度の時間的な位相差を与えることができ、その結果、振動体の曲げ振動は振動体の軸周りに発生する。
【0028】
これにより、ロータ107に接触する第1の弾性体101の上面には楕円運動が形成され、耐摩耗性を有する摺動部材106に押圧されたロータ107が摩擦駆動し、ロータ107、ギア108および加圧バネ112が一体となって回転する。
【0029】
本実施形態における振動型モータの制御装置の構成について図1を用いて説明する。
【0030】
同図において、1は制御回路である。2は電圧制御発振器(VCO)であり、制御回路1の出力に応じた周波電圧を出力する。3は分配回路であり、VCO2の周波電圧を分周してπ/2位相差の信号を出力する。
【0031】
4、5は出力回路であり、分配回路3の周波電圧を、振動型モータ6を駆動できる電圧と電流値に増幅する。
【0032】
出力回路4、5からの出力信号は、振動型モータ6の振動体に設けられた積層圧電素子103に入力され、振動体に上述したような曲げ振動を励振する。これにより、振動体に摺動可能に圧接したロータ107が回転する。ロータ107の回転は、不図示の動力伝達機構を介して複写機の感光ドラムやカメラのレンズ鏡筒等の駆動対象7に伝達され、駆動対象7を駆動する。
【0033】
8は、ロータ107の回転を検出するためのエンコーダである。このエンコーダ8は、振動型モータとともに回転するスリット付き遮光板と、この遮光板の回転を検出するフォトインタラプタとで構成されている。9はエンコーダ8の出力に基づいて振動型モータ(ロータ107)の回転位置と回転数を検出する位置速度検出回路である。この位置速度検出回路9での検出結果は、制御回路1に送られる。
【0034】
10は位相差検出回路であり、出力回路4、5から振動型モータ6(積層圧電素子103)に入力される信号と、積層圧電素子103に設けられたフィードバック用のセンサ相(S相)からの出力信号との位相差を検出する。この検出結果は、制御回路1へ送られる。
【0035】
11、12はコンデンサであり、コイル13、14とにより振動型モータ(積層圧電素子103)に入力する信号の電圧を昇圧する。
【0036】
制御回路1は、位置速度検出回路9および位相差検出回路10の出力に基づいて後述するように振動型モータの駆動制御を行う。また、制御回路1は、センサ相の出力電圧(Vs)に基づいて振動体の振動振幅を検出する。
【0037】
本実施形態においては、振動型モータを停止状態から起動して、ある一定の速度での制御に入るまでの駆動法について述べる。それ以降のモータの駆動制御および停止動作等に関しては、従来の技術と同様である。
【0038】
例えば、振動型モータを起動した後は、速度制御及び位相制御によって振動型モータの速度を所望の回転速度に近づけるための制御を行い、速度制御によってモータの駆動を停止させる。
【0039】
ここで、上記の速度制御は、所定の周期で振動型モータの回転速度を検出し、検出された回転速度と所望の回転速度を比較し、実際の回転速度が所望の回転速度よりも速い場合には駆動周波数を所定値だけ高くし、実際の回転速度が所望の回転速度よりも遅い場合には駆動周波数を所定値だけ低くすることにより、振動型モータの回転速度を制御するものである。
【0040】
また、上記の位相制御は、圧電素子に入力される周波電圧と、センサ用の圧電素子からの周波電圧の位相差を検出し、得られた位相差の情報に基づいて周波数を制御するものである。
【0041】
図2は、振動型モータを起動させるときの制御フローチャートである。図3は、周波数、S相電圧Vsおよびモータ回転数Nのタイムチャートを示す図である。
【0042】
図2において、ステップS101では、周波数を、周波数制御範囲における最大周波数fmax(振動体の共振周波数よりも高い周波数)に設定して振動型モータの駆動を開始する。
【0043】
なお、振動型モータの駆動を開始するときの周波数に関しては、fmaxに設定する場合に限らず、他の所定の周波数に設定してもよい。例えば、前回起動時の周波数を記憶しておき、確実に振動型モータを駆動させる(ロータ107を回転させる)周波数に設定することができる。これにより、短時間で振動型モータを所定の回転数まで立ち上げることができる。
【0044】
ステップS102では、スイープレートR1(Hz/s)で周波数をスイープダウンさせていき、エンコーダ8の出力信号と振動振幅(Vs)をモニタする。
【0045】
ステップS103では、振動振幅Vsが所定の振動振幅(Vst)よりも大きいか否かを判別し、VsがVstよりも大きい場合にはステップS104に進む。
【0046】
ステップS104では、エンコーダ8の出力に基づいてロータ107の回転数Nを検出し、回転数Nが所定の回転数Ntよりも大きいか否かを判別する。ここで、NがNtよりも大きい場合にはステップS107に進み、NがNtよりも小さい場合にはステップS105に進む。
【0047】
図3では、振動型モータにおける摺動面に水分等が介在しているために、振幅Vsが所定振幅Vst(Vs1)に達したときのT1の時点で回転数Nが所定回転数Ntに達していない場合を示している。このときの回転数をN1で示す。
【0048】
ステップS105では、スイープレートをR1からR2に変更する。ここで、スイープレートR2は、スイープレートR1よりも小さくなっている。図3では、周波数f1を境に、スイープレートをR1からR2に変更している。
【0049】
ステップS106では、スイープレートR2で周波数のスイープダウンを行う。
【0050】
ステップS107では、スイープレートをR3に変更する。ここで、スイープレートR3の値は、適宜設定することができるが、より短時間で回転数を目標回転数(図3のN3)まで上げるためには、スイープレートR3をスイープレートR2よりも大きくするのがよい。
【0051】
図3に示すように、振動型モータの摺動面に水分が存在している場合には、スイープレートをR1からR2に切り替え、R2で周波数を変化させることにより、振動体およびロータ間の摩擦によって摺動面の水分を除去することができる。水分を除去できれば、回転数Nは徐々に上昇して所定回転数Ntに達するため、これ以降はスイープレートをR3に切り替えることで短時間で回転数を目標回転数まで上げることができる。
【0052】
このような制御を行うことにより、従来技術で説明したように回転数が上がらないうちに振動型モータの駆動を停止させてしまうことがなくなる。
【0053】
ステップS108では、スイープレートR3で周波数のスイープダウンを行い、ステップS109で回転数Nが目標回転数(図3のN3)に達したか否かを判別する。ここで、回転数Nが目標回転数に達していない場合には、スイープレートR3でのスイープダウンを継続し、回転数Nが目標回転数になった時点(図3のT3)でスイープダウンを停止して振動型モータの駆動制御を開始する。
【0054】
本実施形態では、スイープレートを切り替えるための判定基準としてロータの回転数Nを用いたが、これに限るものではなく、振動型モータが駆動しているか否かが判断できるものであればいかなる方法をとってもよい。例えば、エンコーダのパルス数を判断基準としてもよく、図3のT1の時点で5パルス以上出力されたときにスイープレートを切り替えるようにすることができる。
【0055】
本実施形態によれば、通常の環境(高湿度ではない環境)下では、周波数の変化に応じて回転数が上昇するため、起動時間の遅延を誘発することなく振動型モータを素早く立ち上げることができる。一方、高湿度環境のような悪条件の下では、高振幅の状態でゆっくりと振動型モータを駆動することで摺動面に生じた摩擦熱により摺動面に存在する水分を除去することができる。これにより、確実にロータが回転できる状態まで振動型モータを復帰させて駆動することができる。
【0056】
(第2実施形態)
図4を用いて本発明の第2実施形態について説明する。ここで、図4は、周波数、S相電圧Vsおよびモータ回転数Nのタイムチャートを示す図である。同図では、図3で説明した場合と同様であり、振動型モータにおける摺動面に水分が介在するために、周波数を変化させてもこれに応じて回転数が上がらない場合について説明したものである。
【0057】
なお、本実施形態における回路構成および振動型モータの構成は、第1実施形態で説明したもの(図1、図8〜図10)と同様である。
【0058】
第1実施形態では、図2のステップS105でスイープレートをR2に変更しているが、本実施形態では、スイープレートをR2に変更する代わりに周波数のスイープを停止(周波数を一定)させるようにしている。
【0059】
図4において、周波数fmaxからスイープレートR1でスイープダウンを行い、振幅Vsが所定振幅Vstに達したとき(T1の時点)に、周波数f1で一定の振動振幅を印加し続ける。
【0060】
そして、回転数Nが所定回転数Ntに達したら(T2の時点)、周波数のスイープレートをR3に設定してスイープダウンを再開し、回転数が目標回転数N3に達するまでスイープダウンを継続する。回転数が目標回転数N3に達した後は、振動型モータの駆動制御が行われる。本実施形態においても、第1実施形態で説明した効果と同様の効果が得られる。
【0061】
上述した動作において、周波数f1で一定時間振動を加えても振動型モータが起動しなかった場合には、所定時間(例えば1sec)の経過後に振動型モータの駆動を止め、再度スタートから繰り返すようにしてもよい。この処理を複数回繰り返すことにより、振動型モータにおける摺動面の状態が悪化している場合でも短時間でモータを起動することができる。
【0062】
なお、上述した第1、第2実施形態では、図3、4に示すように周波数を直線状に変化させているが、曲線状に変化させるようにしてもよい。
【0063】
(第3実施形態)
本発明の第3実施形態は、振動振幅Vsではなく位相差θa−sを用いて振動体の振動振幅を検出するものである。なお、本実施形態における回路構成および振動型モータの構成は、第1実施形態で説明した構成と同様である。
【0064】
ここで、位相差θa−sそのものは振動体の振動振幅を直接表現するものではないが、共振周波数に対して現在どの位置で振動しているかを把握できるので、位相差θa−sの値を指定すれば同一の振動型モータにおいてはほぼ同じ振動振幅が再現できる。このため、位相差θa−sに基づいて間接的に振動体の振動振幅をモニタすることができる。
【0065】
具体的には、振動体に上述した所定の振動振幅Vstが励振されるときの振動状態に対応した位相差θa−stを予めメモリに記憶しておき、図2のステップS103の代わりに、位相差検出回路10からの出力に基づいて検出された位相差θa−sと前記位相差θa−stとの比較を行う。
【0066】
すなわち、位相差θa−sが位相差θa−stに達したとき(振幅Vsが所定振幅Vstに達したときに相当する)に、ロータの回転数が所定回転数Ntに達したか否かを判別する。
【0067】
そして、回転数が所定回転数Ntに達していないときには、第1、第2実施形態で説明したようにスイープレートをR1からR2に切り替え、回転数が所定回転数Ntに達したときにスイープレートをR3に切り替えて、回転数Nを目標回転数まで上昇させる。
【0068】
ここで、振動体の振動振幅(Vs)が非常に小さいときには、位相差θa−sの信号は正確ではなく、誤信号になることがある。このため、位相差θa−sを判定の指標として用いる場合には、Vsがある程度大きくなってからの信号を用いる必要がある。
【0069】
本実施形態では、VaとVsの位相を測定する際に、コンパレータを通して矩形波の信号に変換しており、Vsに関してはコンパレータレベルを一定レベルオフセットさせて設定し、Vsがあるレベル以上大きくならないとコンパレータから信号が出力されないように設定している。
【0070】
すなわち、Vsが小さくて位相差θa−sが誤信号となるようなレベルのときにはVsのコンパレータの信号が出力されないため、位相差θa−sは測定されず、デフォルト値を示すようになっている。これにより、誤信号となるレベルの位相差θa−sは自動的に排除され、位相差θa−sが正確な信号になってから測定を行うことができるため、極めて信頼性の高い制御を行うことができる。
【0071】
(第4実施形態)
本発明の第4実施形態は、上述した第1、第2実施形態のようにVsを用いるのではなく、振動型モータに印加する電流の機械腕電流成分を指標として振動体の振動振幅を検出し、振動型モータの駆動制御を行うものである。
【0072】
機械腕電流は圧電素子の歪みに比例して増加し、振動体の振動振幅とほぼ比例する。このため、機械腕電流と振動振幅との関係を予め求めておけば、機械腕電流に基づいて上述した実施形態で説明した制御(図2)と同様の制御を行うことができる。
【0073】
本実施形態では機械腕電流の絶対値を検出し、この値を上述した第1実施形態及び第2実施形態におけるVaの代わりに振動振幅の指標としている。
【0074】
具体的には、振動体に上述した所定の振動振幅Vstが励振されるときの振動状態に対応した機械腕電流Imtを予めメモリに記憶しておき、図2のステップS103の代わりに、検出された機械腕電流Imと前記機械腕電流Itとの比較を行う。
【0075】
すなわち、機械腕電流Imが前記機械腕電流Imtに達したとき(振幅Vsが所定振幅Vstに達したときに相当する)に、ロータの回転数が所定回転数Ntに達したか否かを判別する。
【0076】
そして、回転数が所定回転数Ntに達していないときには、第1、第2実施形態で説明したようにスイープレートをR1からR2に切り替え、回転数が所定回転数Ntに達したときにスイープレートをR3に切り替えて、回転数Nを目標回転数まで上昇させる。
【0077】
なお、上述した実施形態においては、図8〜図10に示す棒状の振動型モータを用いた場合について説明したが、これに限るものではなく、摩擦駆動する振動型モータであればいかなるタイプ(例えば、円環型や円盤型)のものを適用することができる。
【0078】
【発明の効果】
本発明によれば、振動型駆動装置の摺動面に水分が介在していても摺動面での摩擦力を回復させることができるため、従来技術の制御方法のように起動時の段階で振動型駆動装置の駆動を終了してしまうことはなく、振動型駆動装置を確実に起動することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施形態における制御装置におけるブロック図である。
【図2】第1実施形態におけるモータ起動時の動作を示すフローチャートである。
【図3】第1実施形態におけるモータ起動時のタイミングチャートである。
【図4】第2実施形態におけるモータ起動時のタイミングチャートである。
【図5】従来におけるモータ起動時の動作を示すフローチャーットである。
【図6】従来例におけるモータ起動時のタイミングチャート(正常時)である。
【図7】従来例におけるモータ起動時のタイムチャート(異常時)である。
【図8】棒状振動型モータの外観図(a)と振動モードを示す図(b)である。
【図9】上記の振動型モータの断面図である。
【図10】上記の振動型モータの外観図である。
【符号の説明】
1:制御回路 2:VCO
3:分配回路 4、5:出力回路
6:振動型モータ 7:駆動対象
8:エンコーダ 9:位置速度検出回路
10:位相差検出回路
101:第1の弾性体 102:第2の弾性体
103:積層圧電素子 104:シャフト
105:ナット 106:摺動部材
107:ロータ 108:ギア
109:軸受け 110:フランジ
111:ナット
112:加圧バネ

Claims (8)

  1. 駆動信号の入力を受けて振動を励起する振動体と該振動体に加圧接触する接触体とが相対的に移動可能な振動型駆動装置の駆動を制御する制御装置であって、
    前記振動体の振動状態を検出する振動検出手段と、
    前記振動体および前記接触体の相対移動速度を検出する速度検出手段と、
    前記振動体に駆動信号を出力して前記振動型駆動装置の駆動を制御する制御手段とを有し、
    前記制御手段は、
    前記振動型駆動装置の起動時において、所定の周波数から第1の変化率で前記駆動信号の周波数を下げる第1の周波数制御ステップと、
    該第1の周波数制御ステップでの周波数の変化に応じて前記振動検出手段で検出された振動状態が所定の状態となったときに、前記速度検出手段で検出された相対移動速度が所定の基準速度に達しているか否かを判別する判別ステップと、
    該判別ステップで前記相対移動速度が前記基準速度に達していないと判別したときに、前記第1の変化率よりも小さい第2の変化率で前記駆動信号の周波数を下げる第2の周波数制御ステップと、
    前記相対移動速度が前記基準速度に達したときに、前記相対移動速度が目標速度となるように前記駆動信号の周波数を変更する第3の周波数制御ステップとを行うことを特徴とする制御装置。
  2. 前記制御手段は、前記第2の周波数制御ステップにおいて、前記第2の変化率をゼロとして前記駆動信号を出力することを特徴とする請求項1に記載の制御装置。
  3. 前記振動検出手段は、前記振動体の振動振幅を検出することを特徴とする請求項1に記載の制御装置。
  4. 前記振動体は、少なくとも電気−機械エネルギ変換素子を有しており、
    前記振動検出手段は、前記電気−機械エネルギ変換素子に設けられたセンサ電極の出力信号の振幅を検出することを特徴とする請求項3に記載の制御装置。
  5. 前記振動体は、少なくとも電気−機械エネルギ変換素子を有しており、
    前記振動検出手段は、前記電気−機械エネルギ変換素子に入力される駆動信号と、前記電気−機械エネルギ変換素子に設けられたセンサ電極の出力信号との位相差を検出することを特徴とする請求項1に記載の制御装置。
  6. 前記振動検出手段は、前記振動体に入力される駆動信号のうち機械腕電流成分を検出することを特徴とする請求項1に記載の制御装置。
  7. 駆動信号の入力を受けて振動を励起する振動体と該振動体に加圧接触する接触体とが相対的に移動可能な振動型駆動装置の駆動を制御する制御装置に適用される制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
    前記制御方法は、
    前記振動型駆動装置の起動時において、所定の周波数から第1の変化率で前記駆動信号の周波数を下げる第1の周波数制御ステップと、
    前記振動体の振動状態を検出するとともに、前記振動体および前記接触体の相対移動速度を検出する検出ステップと、
    前記第1の周波数制御ステップでの周波数の変化に応じて前記振動状態が所定状態となったときに、前記相対移動速度が所定の基準速度に達しているか否かを判別する判別ステップと、
    該判別ステップにおいて前記相対移動速度が前記基準速度に達していないと判別したきに、前記第1の変化率よりも小さい第2の変化率で前記駆動信号の周波数を下げる第2の周波数制御ステップと、
    前記相対移動速度が前記基準速度に達したときに、前記相対移動速度が目標速度となるように前記駆動信号の周波数を変更する第3の周波数制御ステップとを有することを特徴とするプログラム。
  8. 前記第2の周波数制御ステップにおいて、前記第2の変化率をゼロとしたことを特徴とする請求項7に記載のプログラム。
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