JP3412923B2 - 振動波駆動装置の制御装置 - Google Patents

振動波駆動装置の制御装置

Info

Publication number
JP3412923B2
JP3412923B2 JP22004494A JP22004494A JP3412923B2 JP 3412923 B2 JP3412923 B2 JP 3412923B2 JP 22004494 A JP22004494 A JP 22004494A JP 22004494 A JP22004494 A JP 22004494A JP 3412923 B2 JP3412923 B2 JP 3412923B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
value
amplitude
input
compensating means
command value
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP22004494A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0888985A (ja
Inventor
洋明 武石
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP22004494A priority Critical patent/JP3412923B2/ja
Priority to DE69526399T priority patent/DE69526399T2/de
Priority to EP95114385A priority patent/EP0702417B1/en
Publication of JPH0888985A publication Critical patent/JPH0888985A/ja
Priority to US08/962,889 priority patent/US5841215A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3412923B2 publication Critical patent/JP3412923B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
    • H02N2/142—Small signal circuits; Means for controlling position or derived quantities, e.g. speed, torque, starting, stopping, reversing

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、進行波型モータ等の振
動波駆動装置の制御装置に関するものであり、特に高
速、高精度位置決めが必要な分野において良好に適用で
きるものである。
【０００２】
【従来の技術】振動波駆動装置の代表的な一つである進
行波型モータの基本的構成の一例としては、円環形状に
形成された振動弾性体に対して、分極処理の施された２
群の圧電素子を接着固定し、それぞれの圧電素子に位相
の異なる交流電圧を印加することによって励起される２
つの定在波の合成として進行波を形成する振動子と、該
振動子の進行波形成面に加圧接触し、進行波形成面との
摩擦力により駆動される移動部材から構成されている。
【０００３】このように構成された進行波型モータは、
低速回転時の安定性が良好であり、同時に高いトルクを
出力できる等の特性から、例えば歯車機構等の減速手段
を用いることなく、被駆動部材を直接駆動できるという
特徴を有している。また、摩擦駆動であるため電磁ノイ
ズなどの発生がなく、保持トルク及び起動トルクが大き
いことから、高速、高精度位置決めが可能であるという
特徴を有している。
【０００４】この進行波型モータを駆動するための、従
来技術の一例を図４に示す。関数発生器４は、与えられ
る周波数指令値に応じた周波数の２相信号を出力する。
２相信号は電力増幅器５で所定のレベルまで増幅され、
進行波型モータ６に印加される。進行波型モータに印加
される信号の周波数、即ち駆動周波数とモータの速度
は、一般に図５に示すような特性を持つ。従って図中ピ
ーク地点より右側の多少なだらかな特性を利用し、駆動
周波数をスイープすることによって、安定に速度を可変
することができる。この方法を用いた代表的なものとし
ては、特開昭６２−８５６８５号公報が挙げられる。
【０００５】さらに、従来技術の他の一例を図６に示
す。関数発生器には正負の符号が取りうる指令値が与え
られる。そして、振幅決定手段により指令値の絶対値に
より出力信号の振幅を規定し、さらに指令値の符号に応
じて位相差決定手段１により出力２相信号の位相差を＋
９０度あるいは−９０度とするのである。このように位
相差を切り替えることでモータの回転方向を自動的に切
り替え、連続的な可逆運転を行うことが可能になる。こ
の方式は本出願人より既に提案されている。
【０００６】なお、上記従来例では簡単のためアナログ
回路を仮定して説明したが、回路構成簡略化のため、電
力増幅器までディジタル回路構成とすることは可能であ
る。この場合、パルスの幅によりモータに与える信号の
振幅を可変する、いわゆるパルス幅変調方式が用いられ
るのが一般的である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記第１の従来例にお
いては、駆動周波数を操作することで、大きなダイナミ
ックレンジが得られる。これは図５に示した駆動周波数
−速度特性によるものであり、言い換えれば共振特性を
利用しているからである。しかしながらこれは図５に示
したように強い非線形性を持つため、従来より広く利用
されているような、線形補償要素を付加したサーボ系を
構成することが困難であった。このため、実際の負荷に
応じた調整が困難となり、進行波型モータの用途を限定
する原因となっていた。また、駆動周波数を操作するの
みでは、一方向の運転しかできないことも、その原因の
一つである。
【０００８】また、上記した第２の従来例においては、
位相差を自動的に操作することで連続的な可逆運転が可
能となるため、上述の問題点をある程度回避できる。特
に、進行波型モータに印加する信号振幅に対するモータ
速度は、線形性の良い特性を示すため、サーボ系の１要
素として取り扱い易くなり、例えば高精度位置決め等の
用途にも好適である。しかしながらこの場合、飽和等の
回路的な制限により、速度のダイナミックレンジを大き
くとれないという問題点があった。
【０００９】このように従来技術では、進行波型モータ
を、精度とダイナミックレンジとを兼ね備えた線形性の
良いアクチュエータとして使うことが困難であった。
【００１０】本発明の目的は、高精度な駆動制御と幅広
いダイナミックレンジ有する振動波駆動装置の制御装置
を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】第１の発明は、請求項１
に記載のように、駆動用の電気−機械エネルギー変換素
子に２相の駆動信号を印加することにより弾性体に２相
の定在波を発生させ、該弾性体の駆動面の表面粒子に楕
円運動を励起させる振動波駆動装置における該駆動用の
電気−機械エネルギー変換素子に２相の駆動信号を出力
する振動波駆動装置の制御装置において、任意の実数値
を入力とし、該２相の駆動信号の位相差指令値を出力す
る第１の補償手段と、該第１の補償手段と同じ入力を用
いて該２相の駆動電圧の振幅指令値を出力する第２の補
償手段と、該第１及び第２の補償手段と同じ入力を用い
て該２相の駆動信号の周波数指令値を出力する第３の補
償手段とを有し、該入力の絶対値が該第２の補償手段で
規定される振幅下限値より大きく振幅上限値より小さい
場合には、該入力の絶対値を振幅指令値、駆動周波数の
上限値を周波数指令値として出力し、該入力の絶対値が
第２の補償手段で規定される振幅上限値より大きい場合
には、該振幅上限値を振幅指令値、該入力の絶対値と該
振幅上限値との差を変数として比例定数を乗じた値を該
第３の補償手段で規定される周波数上限値より減じた値
を周波数指令値として出力することを特徴とする。第２
の発明は、駆動用の電気−機械エネルギー変換素子に２
相の駆動信号を印加することにより弾性体に２相の定在
波を発生させ、該弾性体の駆動面の表面粒子に楕円運動
を励起させる振動波駆動装置における該駆動用の電気−
機械エネルギー変換素子に２相の駆動信号を出力する振
動波駆動装置の制御装置において、任意の実数値を入力
とし、該２相の駆動信号の位相差指令値を出力する第１
の補償手段と、該第１の補償手段と同じ入力を用いて該
２相の駆動電圧の振幅指令値を出力する第２の補償手段
と、該第１及び第２の補償手段と同じ入力を用いて該２
相の駆動信号の周波数指令値を出力する第３の補償手段
とを有し、該入力の絶対値が該第２の補償手段で規定さ
れる振幅下限値より大きく振幅上限値より小さい場合に
は、該入力の絶対値を振幅指令値、駆動周波数の上限値
を周波数指令値として出力し、該入力の絶対値が第２の
補償手段で規定される振幅上限値より大きい場合には、
該振幅上限値を振幅指令値、該入力の絶対値と該振幅上
限値との 差を変数とする単調増加関数の値を該第３の補
償手段で規定される周波数上限値より減じた値を周波数
指令値として出力することを特徴とする。
【００１２】上記した第１、第２の発明では、入力の絶
対値が該第２の補償手段で規定される振幅下限値より大
きく振幅上限値より小さい場合には、該入力の絶対値を
振幅指令値、駆動周波数の上限値を周波数指令値として
出力し、該入力の絶対値が第２の補償手段で規定される
振幅上限値より大きい場合には、該振幅上限値を振幅指
令値、該入力の絶対値と該振幅上限値との差を変数とし
て比例定数を乗じた値、あるいは該差を変数とする単調
増加関数の値を、該第３の補償手段で規定される周波数
上限値より減じた値を周波数指令値として出力するの
で、ダイナミックレンジが広く、かつ、線形性に優れた
振動波駆動装置の制御装置を提供できる。
【００１３】第３の発明は、請求項３に記載のように、
上記いずれかの発明で、第１の補償手段は、駆動方向の
入力情報に応じて＋９０度あるいは−９０度のいずれか
の値を位相差指令値として出力することを特徴とする。
【００１４】この構成により、弾性体の駆動部の表面粒
子に形成される楕円運動の方向が決定され、駆動方向が
決まる。
【００１５】
【００１６】
【００１７】
【００１８】
【００１９】
【００２０】
【実施例】本発明による第１の実施例を図１に示す。図
１において、１は位相差決定手段である第１の補償要
素、２は振幅決定手段である第２の補償要素、３は駆動
周波数決定手段である第３の補償要素、４は関数発生
器、５は電力増幅器、６は進行波型モータである。第
１、第２、第３の補償要素はＣＰＵ７上でソフトウエア
として実現している。関数発生器４はさらにＤ／Ａコン
バータ８、Ｖ／Ｆコンバータ９、およびカウンタ主体で
構成されるロジック回路１０から構成されている。第３
の補償要素をなす駆動周波数決定手段３の出力はＤ／Ａ
コンバータ８に与えられ、さらにＶ／Ｆコンバータ９に
よって、駆動周波数の基準となる周期信号を生成する。
ロジック回路１０はこの基準信号をもとに、第１の補償
要素をなす位相差決定手段１の出力に従って振幅指令値
に比例したデューティー比を持つ２相のパルス信号を生
成しており、それらの位相差は第２の補償要素をなす振
幅決定手段１の出力により決定される。また電力増幅器
５は、スイッチング素子と昇圧用のインダクタンスによ
り構成されている。
【００２１】本実施例において、進行波型モータへの指
令値は、任意の値を取るディジタル値として与えられる
が、アナログ電圧をＡ／Ｄ変換して与えても良い。この
指令値が、第１、第２、第３の補償要素１，２，３の入
力となる。
【００２２】第１の補償要素１では、指令値の符号に応
じて＋９０度あるいは−９０度の値を位相差指令値とし
て出力する。従って指令値をＵ、位相差指令値をφとす
れば、第１の補償要素１の機能は次の様に記述できる。
【００２３】Ｕ≧０ → φ＝９０度 Ｕ＜０ → φ＝−９０度 また第２の補償要素２では、指令値Ｕの絶対値を取って
振幅指令値を出力する。この時、出力する振幅指令値に
上限値と下限値を設定する。この上限値は、後段の関数
発生器４や電力増幅器５における回路的な制限により規
定される。下限値を設けてあるのは、進行波型モータが
安定して駆動できるだけの電力を供給するためである。
これら上限値と下限値をそれぞれｕmax 、ｕmin 、振幅
値をｕとすれば、第２の補償要素２の機能は次のように
記述できる。
【００２４】｜Ｕ｜＜ｕmin → ｕ＝ｕmin ｜Ｕ｜≧ｕmax → ｕ＝ｕmax ｕmin ≦｜Ｕ｜＜ｕmax → ｕ＝｜Ｕ｜ さらに第３の補償要素３では、以下の式に従って駆動周
波数指令値ｆd を出力する。
【００２５】 ｜Ｕ｜＜ｕmax → ｆｄ＝ｆmax ｜Ｕ｜≧ｕmax → ｆｄ＝ｆmax−ｋ・（｜Ｕ｜−ｕmax） ｆmax−ｋ・（｜Ｕ｜−ｕmax）≦ｆmin → ｆｄ＝ｆmin ここで、駆動周波数上限値ｆmaxは図５における共振点
より十分高い値に設定し、駆動周波数下限値ｆminは共
振点よりわずかに高い値に設定する。これら上限値と下
限値の差の分だけ、速度のダイナミックレンジを確保す
ることができることになる。上式においては、振幅の変
化分に対する速度の変化分と、駆動周波数の変化分に対
する速度の変化分とを、比例定数ｋを用いてマッチング
させている。そして、振幅Ｕの絶対値のうち振幅上限値
を越えた分を駆動周波数を操作する分に割り当てる。こ
のようにすることで操作量Ｕの有効範囲を拡大して十分
なダイナミックレンジを確保することができるのであ
る。
【００２６】以上３つの補償要素の機能を図示すれば、
図２のようになる。このような第１、第２、第３の補償
要素を設けることにより、位相差、振幅、駆動周波数を
１つの線形操作量Ｕから一意的にかつ整合性を持って決
定することができ、しかも線形操作量Ｕに対する進行波
型モータの速度を概ね線形な特性とすることができる。
従って、操作量Ｕを決定するには通常よく用いられる制
御補償演算結果をそのまま用いることができ、負荷にあ
わせた調整が行いやすい進行波型モータ制御装置を提供
できる。
【００２７】［第２の実施例］本発明による第２の実施
例を図３に示す。本実施例は進行波型モータの位置決め
の目的で用いたものである。進行波型モータにはロータ
リエンコーダ１１が十分な剛性をもってカップリングさ
れており、これを用いて得た位置情報と目標値の差を取
る位置フィードバックループと、ダンピングを向上させ
るための速度フィードバックループを有する制御系構成
となっている。位置補償器１２には比例要素、速度補償
器１３には比例＋積分要素が用いられている。これら補
償要素も、ＣＰＵ７内でソフトウエアとして実現されて
いる。
【００２８】速度補償器である比例＋積分要素１３にお
ける積分器の値は位置決め開始時にゼロに初期化するの
が一般的である。しかしながら、第１の実施例でも述べ
たように振幅決定手段２において下限値を設けているた
め、積分器をゼロに初期化した場合、この下限値に相当
する値に積分器がチャージアップされるまで一定の時間
を要することになる。特に微小ピッチ送りで位置決めを
行う用途では、この時間分だけ位置決め時間が長くなる
ことになってしまう。
【００２９】そこで本実施例では、位置決め動作を始め
る直前に、積分器の値を振幅下限値に相当する値に初期
化する。進行波型モータの動作方向によりその符号が異
なるため、ＣＰＵ７では位置決め開始前に現在位置と目
標位置との差を取り、その符号と積分器初期値の符号が
同一になるよう初期化している。これによって、進行波
型モータを素早く起動し、もって短時間での位置決めが
可能となる。
【００３０】［第３の実施例］第１、第２の実施例で
は、駆動周波数決定手段３において、振幅の変化分に対
する速度の変化分と、駆動周波数の変化分に対する速度
の変化分とを、比例定数ｋを用いてマッチングさせてい
たが、これの替わりに任意の単調増加関数を用いること
も可能である。
【００３１】特に、この関数として、図５に示した駆動
周波数−速度特性と同じものを用いれば、線形操作量Ｕ
に対する進行波型モータの速度は完全に比例関係とな
り、より系の特性を向上させることができる。そして関
数値はテーブル等の形でＲＯＭに保存し、これを参照し
て用いれば良い。
【００３２】なお、上記した各実施例においては、振動
波駆動装置として、円環形状の弾性体に圧電素子を接合
したものを振動子とし、該弾性体に加圧接触する部材を
移動体として駆動する振動波モータを例にして説明した
が、該部材を固定させて振動子を移動させる方式、ある
いは振動子を固定し、その駆動面に接触する紙等のシー
ト部材を移動させるシート搬送装置等であっても良い。
【００３３】さらに振動子を棒状に形成し、軸方向に対
して互いに直交する２軸について曲げ振動を励起し、そ
の合成により、例えば該振動子の一端部を駆動部とした
場合、該駆動部の表面粒子に該軸方向と直交する軸の回
りに楕円運動を生じさせ、該駆動部と加圧接触する部材
と、該棒状の振動子とを相対的に移動させる方式であっ
てもよい。
【００３４】
【発明の効果】請求項１、２に係る発明によれば、入力
の絶対値が該第２の補償手段で規定される振幅下限値よ
り大きく振幅上限値より小さい場合には、該入力の絶対
値を振幅指令値、駆動周波数の上限値を周波数指令値と
して出力し、該入力の絶対値が第２の補償手段で規定さ
れる振幅上限値より大きい場合には、該振幅上限値を振
幅指令値、該入力の絶対値と該振幅上限値との差を変数
として比例定数を乗じた値、あるいは該差を変数とする
単調増加関数の値を、該第３の補償手段で規定される周
波数上限値より減じた値を周波数指令値として出力する
ので、ダイナミックレンジが広く、かつ、線形性に優れ
た振動波駆動装置の制御装置を提供できる。
【００３５】請求項３に係る発明によれば、一つの入力
値により、弾性体の駆動部の表面粒子に形成される楕円
運動の方向が決定され、駆動方向が決まる。
【００３６】
【００３７】
【００３８】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例を示すブロック図。
【図２】図１の要部の具体的構成を出力波形で夫々示す
図。
【図３】第２の実施例を示すブロック図。
【図４】従来の振動波モータの制御装置のブロック図。
【図５】周波数−速度特性を示す波形図。
【図６】従来の他の振動波モータの制御装置のブロック
図。
【符号の説明】
１ 第１の補償要素（位相差決定手段） ２ 第２の補償要素（振幅決定手段） ３ 第３の補償要素（駆動周波数決定手段） ４ 関数発生器 ５ 電力増幅器 ６ 進行波型モータ ７ ＣＰＵ ８ Ｄ／Ａコンバータ ９ Ｖ／Ｆコンバータ １０ ロジック回路 １１ ロータリーエンコーダ １２ 位置補償器 １３ 速度補償器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−90575（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−184167（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−277184（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−255186（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−18281（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−197563（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−29573（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−197562（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−328757（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−103487（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H02N 2/00

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 駆動用の電気−機械エネルギー変換素子
    に２相の駆動信号を印加することにより弾性体に２相の
    定在波を発生させ、該弾性体の駆動面の表面粒子に楕円
    運動を励起させる振動波駆動装置における該駆動用の電
    気−機械エネルギー変換素子に２相の駆動信号を出力す
    る振動波駆動装置の制御装置において、 任意の実数値を入力とし、該２相の駆動信号の位相差指
    令値を出力する第１の補償手段と、該第１の補償手段と
    同じ入力を用いて該２相の駆動電圧の振幅指令値を出力
    する第２の補償手段と、該第１及び第２の補償手段と同
    じ入力を用いて該２相の駆動信号の周波数指令値を出力
    する第３の補償手段とを有し、該入力の絶対値が該第２
    の補償手段で規定される振幅下限値より大きく振幅上限
    値より小さい場合には、該入力の絶対値を振幅指令値、
    駆動周波数の上限値を周波数指令値として出力し、該入
    力の絶対値が第２の補償手段で規定される振幅上限値よ
    り大きい場合には、該振幅上限値を振幅指令値、該入力
    の絶対値と該振幅上限値との差を変数として比例定数を
    乗じた値を該第３の補償手段で規定される周波数上限値
    より減じた値を周波数指令値として出力することを特徴
    とする振動波駆動装置の制御装置。
  2. 【請求項２】 駆動用の電気−機械エネルギー変換素子
    に２相の駆動信号を印加することにより弾性体に２相の
    定在波を発生させ、該弾性体の駆動面の表面粒子に楕円
    運動を励起させる振動波駆動装置における該駆動用の電
    気−機械エネルギー変換素子に２相の駆動信号を出力す
    る振動波駆動装置の制御装置において、 任意の実数値を入力とし、該２相の駆動信号の位相差指
    令値を出力する第１の補償手段と、該第１の補償手段と
    同じ入力を用いて該２相の駆動電圧の振幅指令値を出力
    する第２の補償手段と、該第１及び第２の補償手段と同
    じ入力を用いて該２相の駆動信号の周波数指令値を出力
    する第３の補償手段とを有し、該入力の絶対値が該第２
    の補償手段で規定される振幅下限値より大きく振幅上限
    値より小さい場合には、該入力の絶対値を振幅指令値、
    駆動周波数の上限値を周波数指令値として出力し、該入
    力の絶対値が第２の補償手段で規定される振幅上限値よ
    り 大きい場合には、該振幅上限値を振幅指令値、該入力
    の絶対値と該振幅上限値との差を変数とする単調増加関
    数の値を該第３の補償手段で規定される周波数上限値よ
    り減じた値を周波数指令値として出力する ことを特徴と
    する振動波駆動装置の制御装置。
  3. 【請求項３】 請求項１または２において、第１の補償
    手段は、駆動方向の入力情報に応じて＋９０度あるいは
    −９０度のいずれかの値を位相差指令値として出力する
    ことを特徴とする振動波駆動装置の制御装置。
JP22004494A 1994-09-14 1994-09-14 振動波駆動装置の制御装置 Expired - Fee Related JP3412923B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22004494A JP3412923B2 (ja) 1994-09-14 1994-09-14 振動波駆動装置の制御装置
DE69526399T DE69526399T2 (de) 1994-09-14 1995-09-13 Steuerungsgerät für einen durch Vibrationen angetriebenen Motor
EP95114385A EP0702417B1 (en) 1994-09-14 1995-09-13 Control apparatus for vibration wave motor
US08/962,889 US5841215A (en) 1994-09-14 1997-11-12 Control apparatus for vibration wave motor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22004494A JP3412923B2 (ja) 1994-09-14 1994-09-14 振動波駆動装置の制御装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0888985A JPH0888985A (ja) 1996-04-02
JP3412923B2 true JP3412923B2 (ja) 2003-06-03

Family

ID=16745050

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22004494A Expired - Fee Related JP3412923B2 (ja) 1994-09-14 1994-09-14 振動波駆動装置の制御装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5841215A (ja)
EP (1) EP0702417B1 (ja)
JP (1) JP3412923B2 (ja)
DE (1) DE69526399T2 (ja)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10178792A (ja) * 1996-12-20 1998-06-30 Canon Inc 駆動制御装置およびこれを用いた装置、複写機
US6100622A (en) * 1997-12-12 2000-08-08 Canon Kabushiki Kaisha Driving apparatus of vibration type actuator
JP4688245B2 (ja) * 1998-06-02 2011-05-25 セイコーインスツル株式会社 位置決めシステム及び超音波モータ付電子機器
US6285115B1 (en) 2000-05-22 2001-09-04 Caterpillar Inc. Method and apparatus for controlling position and velocity of a piezoelectric device
JP2002199758A (ja) * 2000-12-28 2002-07-12 Canon Inc 振動型アクチュエータの制御装置
JP3832396B2 (ja) * 2002-07-17 2006-10-11 コニカミノルタフォトイメージング株式会社 駆動装置、位置制御装置およびカメラ
JP4478407B2 (ja) * 2003-06-30 2010-06-09 キヤノン株式会社 制御装置およびプログラム
JP5893307B2 (ja) * 2011-09-13 2016-03-23 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータの駆動装置
JP6478680B2 (ja) * 2015-02-12 2019-03-06 キヤノン株式会社 制御装置、レンズ装置、および撮像装置
WO2020121772A1 (ja) * 2018-12-14 2020-06-18 ソニー株式会社 撮像装置、撮像装置の駆動方法および駆動装置
CN115684843B (zh) * 2022-12-30 2023-03-10 华东交通大学 输电线路故障信号的分析方法及装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6285685A (ja) 1985-10-09 1987-04-20 Canon Inc 超音波モ−タ−の駆動回路
JPS62237584A (ja) * 1986-04-09 1987-10-17 Fujitsu Ltd シザリング処理方式
US4812699A (en) * 1986-11-11 1989-03-14 Nikon Corporation Drive control device in an ultrasonic vibration motor
US5155418A (en) * 1989-10-16 1992-10-13 Canon Kabushiki Kaisha Actuator device
DE69111481T2 (de) * 1990-02-14 1996-01-18 Nikon Corp Antriebsvorrichtung für einen Ultraschallwellenmotor.
JP2863280B2 (ja) * 1990-07-04 1999-03-03 アスモ株式会社 超音波モータの駆動方法
US5130619A (en) * 1990-12-26 1992-07-14 Kubota Corporation Drive control apparatus for an ultrasonic motor
US5459369A (en) * 1992-07-20 1995-10-17 Canon Kabushiki Kaisha Control apparatus for travelling wave driven motor
JPH06237584A (ja) * 1992-12-16 1994-08-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 超音波モータの速度制御方法及び速度制御装置
DE4341073C2 (de) * 1993-12-02 1996-02-08 Daimler Benz Ag Schwingungsmotor und Verfahren zur Steuerung eines Schwingungsmotors

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0888985A (ja) 1996-04-02
DE69526399T2 (de) 2002-11-07
US5841215A (en) 1998-11-24
EP0702417A3 (en) 1997-11-05
DE69526399D1 (de) 2002-05-23
EP0702417A2 (en) 1996-03-20
EP0702417B1 (en) 2002-04-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5539268A (en) Vibration type actuator device
JP3595808B2 (ja) 電圧発生回路及び該回路を備えた駆動装置
US20020096970A1 (en) Driving device of a vibration type actuator
JP3412923B2 (ja) 振動波駆動装置の制御装置
JP5037767B2 (ja) 振動型アクチュエータの制御装置
JP2004080964A (ja) 駆動装置
JPH07274552A (ja) リニアモータ
KR101138397B1 (ko) 압전 액츄에이터, 이의 구동 장치 및 방법
US20030006722A1 (en) Control apparatus for vibration type actuator
EP0691692B1 (en) Vibration driven motor
Uchino et al. Ultrasonic linear motors using a multilayered piezoelectric actuator
JPH10304687A (ja) 振動型アクチュエータの駆動装置および振動型アクチュエータを駆動源とする装置
JP2976489B2 (ja) 超音波モータの駆動回路
JPH10210775A (ja) 振動型アクチュエータの駆動装置およびレンズ駆動装置
JPH07241090A (ja) 超音波モータ
US5640065A (en) Ultrasonic motor and method of driving the same
JP4482986B2 (ja) 振動モータ及びその駆動方法
JPH09233869A (ja) 振動装置
JP3453838B2 (ja) 超音波モータ
JPH01122375A (ja) 圧電モータの制御方法
JPH07123750A (ja) 超音波モータの駆動回路
JP3068651B2 (ja) モータ制御装置
JP3191406B2 (ja) 超音波モータの駆動方法
JP3202423B2 (ja) 振動波駆動装置
JP2002233173A (ja) 駆動装置

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080328

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090328

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100328

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100328

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110328

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120328

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130328

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140328

Year of fee payment: 11

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees