JP2004523896A5

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Publication number: JP2004523896A5
Application number: JP2002560170A
Authority: JP
Filing date: 2001-12-20
Publication date: 2005-12-22

Claims

光電子デバイス（５４）用の共振反射器（５０）であって、
第１屈折率を有する第１材料層（５６）であって、第１材料層（５６）が、第１材料層（５６）中に延びる１つまたは複数のパターン形成済み領域（６０）を有し、選択されたパターン形成済み領域（６０）が、第２屈折率を有する第２材料（５８）で充填される、第１材料層（５６）と、
第１材料層（５６）に隣接して配置されたミラーであって、第３の屈折率を有する隣接ミラー層（５２）を有するミラーと、
によって特徴付けられる共振反射器（５０）。
光電子デバイス用（５４）の共振反射器（５０）を形成する方法であって、光電子デバイス（５４）が頂部ミラーを有し、該方法は、
頂部ミラー（５２）の上に、第１材料層（５６）を設けるステップと、
第１材料層（５６）中のパターンをエッチングして、１つまたは複数のパターン形成済み領域（６０）を得るステップと、
１つまたは複数のパターン形成済み領域（６０）上を含む第１材料層（５６）上に、第２材料層（５８）を設けるステップと、
によって特徴付けられる方法。
光電子デバイス（５４）用の共振反射器（５０）を形成する方法であって、光電子デバイス（５４）が頂部ミラーを有し、該方法は、
頂部ミラーの頂部ミラー層（５２）中のパターンをエッチングして、１つまたは複数のパターン形成済み領域を得るステップと、
１つまたは複数のパターン形成済み領域上を含む頂部ミラー層（５２）上に、材料層（５８）を設けるステップと、
によって特徴付けられる方法。
光電子デバイス用の共振反射器（７０）であって、
頂部ミラー層（７２）を有する第１ミラー領域であって、前記頂部ミラー層が、前記頂部ミラー層（７２）中に延びるがすべてを貫かない１つまたは複数のパターン形成済み領域（７４）と、１つまたは複数の非パターン形成領域（７８）とを有する、第１ミラー領域と、
頂部ミラー層（７４）の選択された非パターン形成領域（７８）上に形成された第２ミラー領域（７６）と、
によって特徴付けられる共振反射器（７０）。
光軸（１００）を有する光キャビティを有する光電子デバイス（１０）用の共振反射器（９０）であって、
光電子デバイス（１０）の光キャビティの少なくとも一部にわたって延在する共振反射器層（９２）であって、共振反射器層（９２）が、第１屈折率を有する第１領域（９４）と第２屈折率を有する第２領域（９６）とを有し、第１領域（９４）および第２領域（９６）が、界面（９８）に沿って共に延び、界面（９８）の少なくとも一部が、光軸（１００）と平行でない、共振反射器層（９２）、
によって特徴付けられる共振反射器（９０）。
光電子（１０）デバイス用の共振反射器（９０）を形成する方法であって、
ほぼ平面の材料の第１層（９４）を設けるステップと、
材料の第１層（９４）上にフォトレジスト層（１１０）を設けて、パターン形成するステップと、
フォトレジスト層（１１０）を熱してリフローさせ、非平面であるフォトレジスト層（１１０）の頂面を得るステップと、
フォトレジスト層（１１０）および材料の第１層（９４）をエッチングして、フォトレジスト層（１１０）の非平面頂面の形状を材料の第１層（９４）に転写するステップと、
材料の第１層（９４）上に材料の第２層（９６）を設けるステップと、
によって特徴付けられる方法。
光電子デバイス（１０）用の共振反射器（９０）を形成する方法であって、
ほぼ平面の材料の第１層（９４）を設けるステップと、
材料の第１層（９４）をパターン形成するステップと、
材料の第１層（９４）を熱してリフローさせ、非平面である頂面（９８）を得るステップと、
材料の第１層（９４）上に材料の第２層（９６）を設けるステップと、
によって特徴付けられる方法。
光電子デバイス（１０）用の共振反射器（９０）を形成する方法であって、
ほぼ平面である材料の第１層（９４）を設けるステップと、
材料の第１層（９４）をパターン形成し、頂部コーナ（１２０）まで上方に延びる側縁（１１８）を得るステップと、
側縁（１１８）上および頂部コーナ（１２０）上を含むパターン形成済みの材料の第１層（９４）上にフォトレジスト層（１１４）を設けるステップであって、フォトレジスト層（１１４）が、頂部コーナ（１２０）付近で薄くなる、ステップと、
フォトレジスト層（１１４）および材料の第１層（９４）をエッチングするステップであって、まず頂部コーナ（１２０）付近のフォトレジスト層（１１４）をエッチングし、その結果、材料の第１層（９４）の頂部コーナ（１２０）が、頂部コーナ（１２０）から離れた領域よりも多くエッチングされる（１２２）、ステップと、
材料の第１層（９４）上に材料の第２層（９６）を設けるステップと、
によって特徴付けられる方法。