JP7258591B2 - 垂直共振器型発光素子 - Google Patents
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Description
EM1 発光構造層
14 発光層
19、31、41 第2の多層膜反射鏡
Claims (9)
- 基板と、
前記基板上に形成された第1の多層膜反射鏡と、
前記第1の多層膜反射鏡上に形成され、発光層を含む発光構造層と、
前記発光構造層上に形成され、前記第1の多層膜反射鏡との間で共振器を構成する第2の多層膜反射鏡と、を有し、
前記第2の多層膜反射鏡は、低屈折率材料からなる低屈折率膜と前記低屈折率材料よりも大きな屈折率を有する高屈折率材料からなる高屈折率膜とが交互に積層された第1の多層膜と、前記第1の多層膜の上面を覆いかつ前記発光層から放出された光に対して透光性を有する中間膜と、前記中間膜の上面を部分的に覆うように形成され、前記低屈折率膜と前記高屈折率膜とが交互に積層された第2の多層膜と、を含み、
前記中間膜は、前記発光層から放出される光の前記中間膜内の波長の1/2の自然数倍の膜厚を有し、
前記共振器の中心軸に沿った方向から見た平面視において、前記第2の多層膜の外縁は、前記中間膜の外縁よりも内側に配されており、かつ前記第2の多層膜の外縁内に前記中心軸が位置しており、
前記第1の多層膜の最も前記基板側には前記低屈折率膜が設けられ、前記第1の多層膜の最も前記中間膜側には前記高屈折率材料からなりかつ前記高屈折率膜よりも小さな膜厚を有する低膜厚高屈折率膜が設けられ、
前記第2の多層膜の最も上面側には前記低屈折率膜が設けられ、前記第2の多層膜の最も前記中間膜側には前記低膜厚高屈折率膜が設けられていることを特徴とする垂直共振器型発光素子。 - 前記第2の多層膜及び前記中間膜の上面は金属膜に覆われていることを特徴とする請求項1に記載の垂直共振器型発光素子。
- 前記第2の多層膜は、それぞれ5つの前記低屈折率膜及び前記高屈折率膜と、前記低膜厚高屈折率膜と、を有し、
前記第1及び第2の多層膜における前記低屈折率膜及び前記高屈折率膜は、前記発光層から放出された光のそれぞれ前記低屈折率膜及び前記高屈折率膜内の波長の1/4の自然数倍の膜厚を有し、
前記第1及び第2の多層膜における前記低膜厚高屈折率膜は、前記発光層から放出された光の前記低膜厚高屈折率膜内の波長の1/8の自然数倍の膜厚を有することを特徴とする請求項2に記載の垂直共振器型発光素子。 - 基板と、
前記基板上に形成された第1の多層膜反射鏡と、
前記第1の多層膜反射鏡上に形成され、発光層を含む発光構造層と、
前記発光構造層上に形成され、前記第1の多層膜反射鏡との間で共振器を構成する第2の多層膜反射鏡と、を有し、
前記第2の多層膜反射鏡は、低屈折率材料からなる低屈折率膜と前記低屈折率材料よりも大きな屈折率を有する高屈折率材料からなる高屈折率膜とが交互に積層された第1の多層膜と、前記第1の多層膜の上面を覆いかつ前記発光層から放出された光に対して透光性を有する中間膜と、前記中間膜の上面を部分的に覆うように形成され、前記低屈折率膜と前記高屈折率膜とが交互に積層された第2の多層膜と、を含み、
前記中間膜は、前記発光層から放出される光の前記中間膜内の波長の1/2の自然数倍の膜厚を有し、
前記共振器の中心軸に沿った方向から見た平面視において、前記第2の多層膜の外縁は、前記中間膜の外縁よりも内側に配されており、かつ前記第2の多層膜の外縁内に前記中心軸が位置しており、
前記第1の多層膜の最も前記基板側には前記低屈折率膜が設けられ、前記第1の多層膜の最も前記中間膜側には前記低屈折率膜が設けられ、
前記第2の多層膜の最も上面側には前記低屈折率膜が設けられ、前記第2の多層膜の最も前記中間膜側には前記高屈折率膜が設けられ、
前記第2の多層膜及び前記中間膜の上面は光学的に露出していることを特徴とする垂直共振器型発光素子。 - 前記第2の多層膜は、それぞれ5つの前記低屈折率膜及び前記高屈折率膜を有し、
前記第1及び第2の多層膜における前記低屈折率膜及び前記高屈折率膜は、前記発光層から放出された光のそれぞれ前記低屈折率膜及び前記高屈折率膜内の波長の1/4の自然数倍の膜厚を有することを特徴とする請求項4に記載の垂直共振器型発光素子。 - 基板と、
前記基板上に形成された第1の多層膜反射鏡と、
前記第1の多層膜反射鏡上に形成され、発光層を含む発光構造層と、
前記発光構造層上に形成され、前記第1の多層膜反射鏡との間で共振器を構成する第2の多層膜反射鏡と、を有し、
前記第2の多層膜反射鏡は、低屈折率材料からなる低屈折率膜と前記低屈折率材料よりも大きな屈折率を有する高屈折率材料からなる高屈折率膜とが交互に積層された第1の多層膜と、前記第1の多層膜の上面を覆いかつ前記発光層から放出された光に対して透光性を有する中間膜と、前記中間膜の上面を部分的に覆うように形成され、前記低屈折率膜と前記高屈折率膜とが交互に積層された第2の多層膜と、を含み、
前記中間膜は、前記発光層から放出される光の前記中間膜内の波長の1/2の自然数倍の膜厚を有し、
前記共振器の中心軸に沿った方向から見た平面視において、前記第2の多層膜の外縁は、前記中間膜の外縁よりも内側に配されており、かつ前記第2の多層膜の外縁内に前記中心軸が位置しており、
前記第2の多層膜は、前記中間膜の上面において環状に形成されていることを特徴とする垂直共振器型発光素子。 - 前記中間膜は、前記第2の多層膜の前記低屈折率膜及び前記高屈折率膜よりも小さなエッチング速度を有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1つに記載の垂直共振器型発光素子。
- 基板と、
前記基板上に形成された第1の多層膜反射鏡と、
前記第1の多層膜反射鏡上に形成され、発光層を含む発光構造層と、
前記発光構造層上に形成され、前記第1の多層膜反射鏡との間で共振器を構成する第2の多層膜反射鏡と、を有し、
前記第2の多層膜反射鏡は、低屈折率材料からなる低屈折率膜と前記低屈折率材料よりも大きな屈折率を有する高屈折率材料からなる高屈折率膜とが交互に積層された第1の多層膜と、前記第1の多層膜の上面を覆いかつ前記発光層から放出された光に対して透光性を有する中間膜と、前記中間膜の上面を部分的に覆うように形成され、前記低屈折率膜と前記高屈折率膜とが交互に積層された第2の多層膜と、を含み、
前記中間膜は、前記発光層から放出される光の前記中間膜内の波長の1/2の自然数倍の膜厚を有し、
前記共振器の中心軸に沿った方向から見た平面視において、前記第2の多層膜の外縁は、前記中間膜の外縁よりも内側に配されており、かつ前記第2の多層膜の外縁内に前記中心軸が位置しており、
前記高屈折率膜、前記低屈折率膜及び前記中間膜は、誘電体膜からなることを特徴とする垂直共振器型発光素子。 - 前記中間膜は、Al2O3膜又はAlN膜からなることを特徴とする請求項8に記載の垂直共振器型発光素子。
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