JP2004340932A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2004340932A5
JP2004340932A5 JP2004079889A JP2004079889A JP2004340932A5 JP 2004340932 A5 JP2004340932 A5 JP 2004340932A5 JP 2004079889 A JP2004079889 A JP 2004079889A JP 2004079889 A JP2004079889 A JP 2004079889A JP 2004340932 A5 JP2004340932 A5 JP 2004340932A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
phosphor
support
scintillator layer
vapor deposition
scintillator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004079889A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2004340932A (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from EP03100723A external-priority patent/EP1460642B1/en
Application filed filed Critical
Publication of JP2004340932A publication Critical patent/JP2004340932A/ja
Publication of JP2004340932A5 publication Critical patent/JP2004340932A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Claims (2)

  1. 蒸着の工程によって、真空条件下で維持された封止された領域内で、可撓性支持体上に燐光体又はシンチレータ層を被覆するための方法であって、前記燐光体又はシンチレータ層が前記支持体上に蒸着される方法において、前記支持体(5)が真空チャンバー(1)において一つの回転支持ローラ(6)のまわりに装着された可撓性シートであり、それは蒸気流(16)を通して前(又は後)方向に連続的に又は不連続的に移動し、蒸気流(16)は一つのトレー又はボート(3)に存在しかつ前記蒸気流(16)を発生する蒸気源を与えるために加熱される原材料の混合物(4)によって与えられ、前記燐光体又はシンチレータ層をシート(5)上に蒸着させることを特徴とする方法。
  2. 前記燐光体又はシンチレータ層は、使用準備された燐光体又はシンチレータスクリーン、パネル又はプレートの面積を少なくとも50%超えて、前記可撓性支持体の領域上に蒸着される請求項1に記載の方法。
JP2004079889A 2003-03-20 2004-03-19 走査装置に使用するために好適な燐光体又はシンチレータシート及びパネルの製造方法 Pending JP2004340932A (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP03100723A EP1460642B1 (en) 2003-03-20 2003-03-20 Manufacturing method of phosphor or scintillator sheets and panels suitable for use in a scanning apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004340932A JP2004340932A (ja) 2004-12-02
JP2004340932A5 true JP2004340932A5 (ja) 2007-02-01

Family

ID=32799023

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004079890A Pending JP2004340933A (ja) 2003-03-20 2004-03-19 燐光体又はシンチレータシートの製造方法及び走査装置に使用するために好適なパネル
JP2004079889A Pending JP2004340932A (ja) 2003-03-20 2004-03-19 走査装置に使用するために好適な燐光体又はシンチレータシート及びパネルの製造方法

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004079890A Pending JP2004340933A (ja) 2003-03-20 2004-03-19 燐光体又はシンチレータシートの製造方法及び走査装置に使用するために好適なパネル

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7141135B2 (ja)
EP (1) EP1460642B1 (ja)
JP (2) JP2004340933A (ja)
DE (2) DE60326429D1 (ja)

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7501155B2 (en) * 2003-03-20 2009-03-10 Agfa Healthcare Manufacturing method of phosphor or scintillator sheets and panels suitable for use in a scanning apparatus
JP2005029895A (ja) * 2003-07-04 2005-02-03 Agfa Gevaert Nv 蒸着装置
EP1646053A2 (en) 2004-10-07 2006-04-12 Agfa-Gevaert Binderless storage phosphor screen.
EP1691216B1 (de) 2005-02-15 2013-07-10 Agfa-Gevaert HealthCare GmbH Radiographiesystem und Verfahren zur Aufzeichnung von Röntgenaufnahmen in Speicherleuchtstoffschichten
ATE535824T1 (de) 2005-02-15 2011-12-15 Agfa Gevaert Healthcare Gmbh Auslesevorrichtung und verfahren zum auslesen von in speicherleuchtstoffschichten gespeicherten röntgenaufnahmen
EP1691215B1 (de) 2005-02-15 2012-11-28 Agfa-Gevaert HealthCare GmbH Auslesevorrichtung und Verfahren zum Auslesen von in Speicherleuchtstoffschichten gespeicherten Röntgenaufnahmen
EP1783246B1 (en) * 2005-10-28 2014-04-30 Agfa HealthCare N.V. Method of preparing stabilised storage phosphor panels.
US20070098881A1 (en) * 2005-10-28 2007-05-03 Jean-Pierre Tahon Method of preparing stabilized storage phosphor panels
US20070098880A1 (en) * 2005-10-28 2007-05-03 Jean-Pierre Tahon Method of vaporization of phosphor precursor raw materials
EP1890299A1 (en) * 2006-08-17 2008-02-20 Agfa HealthCare NV Method of manufacturing a radiation image storage panel
EP1889893B1 (en) * 2006-08-17 2013-03-27 Agfa HealthCare NV Method of manufacturing a radiation image storage panel
JP4983911B2 (ja) * 2007-03-08 2012-07-25 コニカミノルタエムジー株式会社 シンチレータパネルの製造方法及びシンチレータパネル用基板の厚さの下限設定方法
US20090162535A1 (en) * 2007-12-21 2009-06-25 Jean-Pierre Tahon Method of forming a phosphor or scintillator material and vapor deposition apparatus used therefor
DE102008024372B4 (de) * 2008-05-20 2013-08-22 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Verfahren zum Transport von Substraten in Vakuumbeschichtungseinrichtungen
CN101684546B (zh) * 2008-09-25 2012-05-23 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 软性基板镀膜治具
TWI477646B (zh) * 2010-08-09 2015-03-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 化學氣相沉積設備
AT512949B1 (de) * 2012-06-04 2016-06-15 Leica Microsysteme Gmbh Verfahren zur Beschichtung mit einem Verdampfungsmaterial
US9507968B2 (en) * 2013-03-15 2016-11-29 Cirque Corporation Flying sense electrodes for creating a secure cage for integrated circuits and pathways
CN107937869A (zh) * 2016-10-12 2018-04-20 上海和辉光电有限公司 一种镀膜装置及镀膜方法
CN107177820B (zh) * 2017-06-12 2019-05-24 哈尔滨光宇电源股份有限公司 高速连续卷绕式真空蒸镀锂设备及利用其实现基材蒸镀锂的方法
CN109746142B (zh) * 2017-11-06 2021-04-02 张家港康得新光电材料有限公司 镀膜装置
CN111254407A (zh) * 2018-11-30 2020-06-09 中国科学院大连化学物理研究所 使用热蒸发镀膜法在柔性衬底上制备薄膜的真空镀膜设备
CN112746322B (zh) * 2020-12-30 2022-08-26 安徽中飞科技有限公司 制备多晶硒化锌的物理气相沉积装置及方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3838273A (en) 1972-05-30 1974-09-24 Gen Electric X-ray image intensifier input
US3859527A (en) 1973-01-02 1975-01-07 Eastman Kodak Co Apparatus and method for producing images corresponding to patterns of high energy radiation
CH652754A5 (de) 1981-03-13 1985-11-29 Balzers Hochvakuum Anordnung zum beschichten von substraten in einer vakuumbeschichtungsanlage.
US5055681A (en) * 1984-09-18 1991-10-08 Konica Corporation Radiographic image storage panel and process for reading out a radiographic image
DE3578359D1 (de) 1984-12-17 1990-07-26 Konishiroku Photo Ind Schirm zum speichern eines strahlungsbildes.
KR940000259A (ko) * 1992-06-12 1994-01-03 게리 리 그리스월드 테이프 지지체상에서의 다층 필름 제조 시스템 및 방법
GB2339800B (en) * 1998-07-24 2003-04-09 Gen Vacuum Equipment Ltd A vacuum process for depositing zinc sulphide and other coatings on flexible moving web
AU5750800A (en) * 1999-07-02 2001-01-22 Agfa-Gevaert Naamloze Vennootschap Method for preparing a csx photostimulable phosphor and phosphors therefrom
EP1113458B1 (en) * 1999-12-27 2005-02-02 Agfa-Gevaert A binderless storage phosphor screen with needle shaped crystals and methods for producing the same
US6402905B1 (en) 2001-03-16 2002-06-11 4 Wave, Inc System and method for controlling deposition thickness using a mask with a shadow that varies along a radius of a substrate
JP2003113466A (ja) 2001-07-31 2003-04-18 Fuji Photo Film Co Ltd 真空蒸着装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2004340932A5 (ja)
JP2009540122A5 (ja)
JP2007070687A5 (ja)
JP2009506200A5 (ja)
JP2008163457A5 (ja) 成膜装置
JP5988619B2 (ja) 成膜装置、成膜方法
TW200628619A (en) Vacuum coating system
JP2003313654A5 (ja) 成膜装置および成膜方法
JP2009144242A5 (ja) タングステン膜の製造方法および装置
JP2009120946A5 (ja)
EP1293585A3 (en) Apparatus for depositing thin film
JP2008513964A5 (ja)
JP2012519950A5 (ja)
JP2016520717A (ja) Aldコーティングによるターゲットポンプ内部の保護
WO2008078502A1 (ja) 成膜装置および成膜方法
JP2004340933A5 (ja) 走査装置に使用するために好適な燐光体又はシンチレータシート及びパネルの製造方法
JP2008532769A5 (ja)
WO2006130817A3 (en) Deposition of uniform layer of desired material
JP2011505262A5 (ja)
JP2011146506A5 (ja)
JPS6130661A (ja) 被膜形成装置
JP2004217970A5 (ja) 蒸着装置および蒸着方法
JP2009079276A5 (ja)
TW200606267A (en) System for vaporizing materials onto a substrate surface
JP2006523778A5 (ja)