JP2004186582A - 半導体装置用テープキャリアと半導体装置及びそれらの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体チップとテープキャリアとの高い接続信頼性を確保できる、半導体装置用テープキャリア及びそれを用いた半導体装置を提供すること。
【解決手段】テープキャリアは、表面上に、配線2のパターンと、この配線パターン上に半導体チップを接続するためのバンプ1とを設けた絶縁性フィルムよりなっている。そして、半導体チップ9との接合のために、配線パターン上に、バンプ1の径に対して10〜25%の大きさの粒径の導電粒子を2〜5重量%含有した熱可塑性異方導電性接着剤層3が設けられている。
【選択図】図1
【解決手段】テープキャリアは、表面上に、配線2のパターンと、この配線パターン上に半導体チップを接続するためのバンプ1とを設けた絶縁性フィルムよりなっている。そして、半導体チップ9との接合のために、配線パターン上に、バンプ1の径に対して10〜25%の大きさの粒径の導電粒子を2〜5重量%含有した熱可塑性異方導電性接着剤層3が設けられている。
【選択図】図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、導電粒子を含んだ熱可塑性異方導電性接着剤を使用した半導体装置用テープキャリアと半導体装置及びそれらの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
CSPやBGA等の半導体装置は、半導体チップと半導体装置用テープキャリアとを接合して製造されている。そして、その電気的接合方法として、以前は金線を用いるワイヤボンディング法が主流であったが、最近では電子機器の小型・軽量化の要求に応えるために、バンプボンディング法が採用されるようになってきた。このバンプボンディング法は、半導体チップの電極パッドまたは半導体チップを搭載するテープキャリアの電極部にバンプと称される突起電極を形成し、そのバンプを介して両者を電気的に接続するようにしたものであり、半導体装置内の配線を短くして高周波特性を向上させることが出来るようにしたものである。
また、この方法は、半導体装置の小型化を図りやすいという特徴を有している。
【0003】
このようなバンプボンディング法によって半導体装置を製作する場合の例は特許文献1に記載されているが、その一例を図5を用いて説明する。図5に示したテープキャリアは、基本的にその一方の面に銅箔から形成した配線2のパターンを施した電気絶縁性のポリイミドフィルム6と、その配線2を覆うように形成された電気絶縁性の接着剤層12とで構成されており、その配線の一部には図示しない半導体チップの電極部と対応する位置にバンプ1が形成されている。また、ポリイミドフイルム6の他方の面には外部端子形成用のヴイアホール4が設けられいる。そして、接着剤層12から突出しているバンプ1の表面と外部端子形成用ヴイアホール4内に露出している配線部分には、必要に応じてメッキ5が施されている。
【0004】
次に、このような構成のテープキャリアの製造方法を図6を用いて説明する。まず、銅箔8、ポリイミドフイルム6、銅箔8の三層で構成されている両面銅貼り基材の表面にエッチングレジスト7の層を設け、その層の表面にバンプ形成用のマスクを密接させ、露光し現像することによってバンプ形成用のレジストパターンを形成する(図6(a)参照)。
そして、露出している銅箔部をハーフエッチングしてバンプ1を形成してから、バンプの表面に残っているレジスト層を除去する(図6(b)参照)。
【0005】
次に、バンプ1が形成されている方の銅箔面に、再度エッチングレジスト層を設け、配線パターン形成用のマスクを密接させて露光し現像することによって、配線形成用のエッチングパターンを形成する。そして、露出した銅箔部をエッチングしてから残ったエッチングレジストを剥離・除去することによって所定の配線2のパターンを形成する(図6(c)参照)。
その後、配線側の表面全体に絶縁性の接着剤層12を形成し、キュアを行う。その形成方法としては、通常均一な膜厚を得やすいことから、フイルム化された接着剤を張り合わせる方法が用いられる(図6(d)参照)。
【0006】
その次に、そのようにして形成された接着剤層12の前面をエッチングして、接着剤層の膜厚だけを薄くし、バンプ先端部を露出させる(図6(e)参照)。その後、両面に再度エッチングレジスト層を形成しておいて、配線側とは反対側の面のエッチングレジスト層表面に、外部端子形成用ヴイアホール4のパターンを有するマスクを密接させ、露光し現像することによって目的とするエッチングレジストパターンを形成することができる。そして、露出している銅箔部をエッチングした後、残存しているエッチングレジストを剥離・除去することによって、ポリイミドフイルムをエッチングするための銅マスクパターンを形成する(図6(f)参照)。
【0007】
その次に、ポリイミドフイルムをエッチングすることによって、バンプ接合後に外部端子を形成するための外部端子形成用ヴイアホール4を形成する。そして、それらの内部に露出した配線部2をレジストで保護しておいて、残された銅マスクをエッチングで除去する(図6(g)参照)。
そして、バンプ形成側表面のエッチングレジストと、外部端子形成用ヴイアホール4の底部のレジストを除去し、最後に外部端子形成用ヴイアホールの底面の銅表面に金メッキ5を施すことによってテープキャリアが完成する(図6(h)参照)。
【0008】
次に、このようにして製作されたテープキャリアと半導体チップをバンプ接合し、半導体装置として構成するまでの工程を図7を用いて説明する。
まず、半導体チップ9の電極部にテープキャリアのバンプ1を位置合わせして、両者を重ね合わせる。そして、加熱し圧着させることによって、両者を接着剤によって接着する(図7(a)参照)。
そして最後にテープキャリアの外部端子形成用ヴイアホール4に、外部端子(はんだバンプ)11を形成することによって、半導体装置の製作が終了する(図7(b)参照)。
【0009】
【特許文献】
特開2000−340615号公報
【0010】
しかし、上記のような半導体装置用テープキャリアの製造方法においては、図6(e)に示した接着剤層12からバンプ1の先端部分を露出させる場合に、エッチングに時間がかかり、また多量のエッチング液を使用するためにコスト高になってしまう。また、エッチング時間が長すぎるとポリイミドフイルム6にエッチング液が染み込み、しばしばポリイミドフイルムを破損させてしまうことがある。
そこで、図6(e)に示すような接着剤層からバンプ先端部分を露出させる工程を無くし、接着剤層で配線側の表面全体を覆ったままで、半導体チップと重ね合わせ接着させる方法が提案されている。その場合、半導体チップの電極部とテープキャリアのバンプ部との導通を可能とさせるために、接着剤層を導電粒子の入った熱可塑性の異方性導電接着剤を用いて形成している。
【0011】
これは、半導体チップの電極部とテープキャリアのバンプ部を重ね合せて加熱・圧着した際、異方性導線接着剤中に分散している導電粒子が、半導体チップの電極パッドとテープキャリアの電極部との間で押圧されてその部分のみに導電性を発現させ、それ以外の部分では導電粒子が押圧されないようにして、半導体チップとテープキャリアとの電気的接続の信頼性を向上させるようにしたものである。異方性導線接着剤の導電粒子は、通常、異方性導線接着剤全体の重量に対し5重量%以上の含有率を有している。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、そのような異方性導電接着剤の場合、バンプと半導体チップ間における異方性導電膜の従来の加熱・圧着による接着方法では、狭ピッチ電極間の接続、特に電極間距離が100μm以下の場合の接続において、隣り合う導電粒子が接着してしまい、しばしば隣接する電極間に導通が生じて短絡による不良を起こしやすく、接続信頼性に欠けるという問題があった。
【0013】
本発明は、従来技術の有するこのような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、半導体チップとテープキャリアとの高い接続信頼性を確保できる、半導体装置用テープキャリア及びそれを用いた半導体装置並びにそれらの製造方法を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明による半導体装置用テープキャリアは、表面上に、配線パターンと該配線パターン上に半導体チップを接続するためのバンプとを設けた絶縁性フィルムよりなる半導体装置用テープキャリアにおいて、該テープキャリアと半導体チップを接合するために、前記配線パターン上に、前記バンプの径に対して10〜25%の大きさの粒径の導電粒子を2〜5重量%含有した熱可塑性の異方導電性接着剤層を設けたことを特徴としている。
【0015】
また、上記目的を達成するために、本発明による半導体の製造方法は、上記半導体装置において、上記絶縁性フィルム側より、上記半導体チップとバンプとの接合部に、所定の荷重と接合に要するエネルギーとを付与するようにしたことを特徴としている。
【0016】
本発明の半導体装置の製造方法によれば、上記エネルギーが超音波エネルギーであり、接合温度を250〜310℃、前記荷重を80〜220gf/バンプ、超音波出力を0.8〜2.5Wとしたことを特徴としている。
【0017】
本発明によれば、上記半導体装置用テープキャリアの配線パターン上にはバンプと同等の厚さに熱可塑性の絶縁性接着剤層が設けられ、その上に前記バンプの表面を覆って導電粒子の入った熱可塑性の異方導電性接着剤層が設けられ、更にその上に熱可塑性の絶縁性接着剤層が設けられている。
【0018】
また、本発明によれば、上記半導体装置用テープキャリアは、前記バンプの径に対して10〜25%の大きさの粒径の導電粒子を2〜5重量%含有した熱可塑性の異方性接着剤層を設けたことを特徴としている。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の態様を図示した実施例に基づき説明する。先ず、本発明によるテープキャリアの構成を、図1を用いて説明する。図中、従来技術で説明したのと実質上同一の構成部材には、同一符号が付されている。
本発明のテープキャリアは、基本的には、その一方の面に銅箔から形成した配線2を施した電気絶縁性のポリイミドフイルム6と、その配線全体を覆うように設けられたた熱可塑性の異方導電性接着剤層3とで構成されており、配線2上の半導体チップの電極部と対応する位置にはバンプ1が形成されている。また、テープキャリアの配線側と反対の側には、エッチングによる外部端子形成用ヴイアホール4が形成されており、そのヴイアホール底面の露出した配線部に金メッキ5が施されている。
【0020】
このテープキャリアに半導体チップを接続する際、異方導電性接着剤層3中の導電粒子の含有量は、2〜5重量%であることが望ましい。即ち、その含有量が5%より多い場合、隣り合う導電粒子が接着してしまい、電極間で短絡を起こす可能性がある。また、その含有量が2%以下だと、導電粒子が不足してしまい、バンプ1上に導電粒子が存在する確率が低いため、導通不足による接続不良を起こしてしまう。
【0021】
また、導電粒子の粒子径は、バンプ1の径に対し10〜25%の大きさにすることが望ましい。即ち、導電粒子の粒子径がバンプ径の10%以下だと、導電粒子がバンプ1上に均一に存在しにくく、バンプ1の端部などに偏在してしまい、導通不良を起こしてしまう。また、導電粒子の粒子径がバンプ径の25%以上だと、バンプ1上に存在する導電粒子の数が少なくなり、導通不良となる。
【0022】
次に、本発明の半導体装置は、一度上記テープキャリアと半導体チップ9を熱圧着させることにより製造されるが、この場合、上述のように導電粒子の含有率が2〜5重量%と少ないため導通は確保されないため、バンプ位置に対応するポリイミドフイルム6の部分を上方から所定の加重で押圧しながら、ボンディングツール10をポリイミドフイルム6に押し当て、所定の出力の超音波を印加して製造する(図2(b)参照)。これにより、半導体チップ9の電極部とバンプ1間の確実な導通が得られるようにする。
【0023】
このようにして得られた半導体装置は、配線2が露出しておらず、絶縁信頼性が極めて高いものとなる。また、接着剤も特殊なものを使用せず、安価なものを使用することが可能になるので、コストの面でも有利である。
【0024】
また、ボンディングツール10により、半導体チップ9の電極部とテープキャリアのバンプ1間に集中的に外部荷重をかけて導通が得られるようにしているため、介在物が異方導電性接着剤層3のみでなく、複数の異方導電性接着剤層と絶縁性接着剤層の積層構造、例えば、図4に示すように、絶縁性接着剤層12−異方導電性接着剤層3−絶縁性接着剤層12の三層構造の場合であっても、導通は可能である。
【0025】
この構造は、配線層側の第一の絶縁性接着剤層はほぼバンプの厚さと同等の厚さまで積層させ、その上にバンプを薄く覆うように異方導電性接着剤層を積層させ、更にその上に5μm程度の厚さの第二の絶縁性接着剤層を積層させたものである。この場合、異方導電性接着剤層3にかかるコストを下げるため、バンプ1上を覆う異方導電性接着剤層3の厚さは出来るだけ薄くすることが望ましく、最低限導性電粒子一個分の厚さが望ましい。例えば、5μmの径の導電粒子を有する異方導電性接着剤層3の厚さは5μmという具合である。
【0026】
ここで、絶縁性接着剤層12には、熱可塑性の絶縁性接着剤フィルムを使用する。また、異方導電性接着剤層3としては、上述の熱可塑性絶縁性接着剤と同質のフイルム状のものを使用する(異方導電性接着剤層と絶縁性接着剤層は導電粒子を含むか否かの違いである)。
【0027】
そして三層構造とした場合、異方導電性接着剤の導電粒子の粒径は、バンプ径に対し10〜25%、その含有量が10〜20重量%であることが望ましい。それは、異方導電性接着剤層が薄いため、例えば導電粒子一個分の厚さの場合、そのバンプに押しつぶされる導電粒子の径がバンプ径に対し10%より小さくその含有量が5%より少ないと、バンプ上に入る導電粒子の数が少なく、またバンプ上に均一に存在しにくくバンプの端部に偏在するする可能性があり、導通不良を起こす可能性があるからである。導電粒子の含有量が20%より多いと導電粒子のコストが高くなる。また、導電粒子の径がバンプ径に対し25%よりも大きくその含有量が5%より少ないと、バンプ上に入る導電粒子の数が少なくなり、導通不良を起こしてしまう。導電粒子の含有量が20%より多いと、隣り合う導電粒子が接着してしまう可能性が高くなり、短絡による不良を起こし易くなる。
【0028】
上述のように、本発明によるテープキャリアにおいては、薄い異方導電性接着剤層3の導電粒子の数が通常よりも多いため、半導体チップの電極側に異方導電性接着剤層3を直接接着させると、外部荷重による接合時に導電粒子が横方向に寄せられ、導電粒子が接着して短絡を起こす可能性があるため、異方導電性接着剤層3と半導体チップの電極間に絶縁性接着剤層12を介在させて、半導体チップの電極とテープキャリアのバンプ1間以外では、絶縁状態が維持されるようにされている。
本発明によれば、以上のような層構造とすることにより、接着剤層に用いる異方導電性接着剤も必要最小限での使用が可能となり、安価なテープキャリアを得ることができる。
【0029】
半導体チップの電極とテープキャリアのバンプ1をボンディングツール等による外部荷重により接合する場合における接合温度を250〜310℃、荷重を80〜220gf/バンプ、超音波出力を0.8〜2.5Wに条件設定すると、良好な接合が得られる。勿論、上述の条件範囲を超えても接合は可能であるが、異方導電性接着剤層3や絶縁性接着剤層12の厚さが薄くなった場合、上述の条件範囲を上回ると半導体チップを破損する可能性が生じる。また、この条件範囲を下回ると、それらの厚さが厚くなっ多場合、接合不良を起こす可能性がある。
【0030】
次に、本発明のテープキャリアの製造と、そのテープキャリアを用いた半導体装置の製造について、4つの実施例と比較例を挙げて以下に詳細に説明する。
各テープキャリアの製造には、銅箔、ポリイミドフイルム、銅箔の3層からなる新日繊化学(株)製の両面銅貼り積層材料(製品名:エスパネックス)を使用した。
また、接着剤層の形成には、新日繊化学(株)製の熱可塑性ポリイミド接着剤、また異方導電性接着剤層においては導電粒子として日本化学工業(株)製金−ニッケル被膜樹脂粒子(商品名:ブライト)、または積水化学工業(株)製金被膜プラスチック微粒子(商品名:ミクロパールAU)を前記ポリイミド接着剤に混入し、フイルムを作製した。
テープキャリアと半導体チップの接合には、カイジョー製のワイヤボンダ(商品名:FB−118A)を使用し、バンプを1つずつ接合するシングルボインとボンディング方式によって行った。
【0031】
[実施例1]
(1)テープキャリアの製造
本実施例は、それぞれの銅箔の厚さが357μmで、ポリイミドフイルムの厚さが507μmの両面銅張り積層材料を使用した。
まず、銅箔8、ポリイミドフイルム6、銅箔8の三層で構成されている両面銅貼り基材の表面にドライフイルムタイプのエッチングレジストをラミネートして、その層の表面にバンプ形成用のマスクを密接させ、露光し現像した後、液温450℃の塩化第二銅水溶液を用いて銅箔をエッチングし、直径407μmのバンプ形成用のレジスト7のパターンを形成した(図3(a)参照)。そして、液温500℃の5%水酸化ナトリウム水溶液で残されているレジストの剥離・除去を行った。
【0032】
次に、バンプ1が形成されている方の銅箔面に、ドライフイルムタイプのエッチングレジストをラミネートして、配線パターン形成用のマスクを密接させて露光し現像することによって、配線形成用のエッチングパターンを形成した。そして、露出した銅箔部をエッチングしてから残ったエッチングレジストを剥離・除去することによって所定の銅配線2のパターンを形成した。
この段階において銅配線2の厚さは187μmであり、そこに直径40μmの銅バンプ1が形成された(図3(c)参照)。
【0033】
その後、接着剤に直径57μmのブライトを10重量%混合して厚さ407μmの異方導電性膜を作製し、これを基材にラミネートして、配線側の表面全体に異方導電性接着剤層3を形成し、キュアを行った。(図4d参照)。
【0034】
次に、配線側とは反対の側の銅箔表面に、ドライフイルムタイプのエッチングレジストをラミネートして、外部端子形成用ヴイアホール4のパターンを有するマスクを密接させ、露光し現像した後、液温450℃の塩化第二銅水溶液を用いて銅箔をエッチングして、直径400μmの開口部が750μm間隔で74個並んだポリイミドエッチング用の銅マスクパターンを形成した。そして、液温500℃の5%水酸化ナトリウム水溶液で残されているレジストの剥離・除去を行った(図4e参照)。
【0035】
その次に、銅マスクパターンの形成されている側のポリイミドフイルム6の銅マスクパターンの形成されている側を、液温800℃の非ヒドラジン系アルカリポリイミドエッチング液に浸してエッチングすることによって、バンプ接合後に外部端子を形成するための直径340μmの外部端子形成用ヴイアホール4を形成した。そして、それらの内部に露出した配線部をレジストで保護しておいて、残された銅マスクをエッチングで除去した(図4(f)参照)。
【0036】
そして、バンプ形成側表面のエッチングレジストと、外部端子形成用ヴイアホール4の底部のレジストを除去し、最後に外部端子形成用ヴイアホール4の底面の銅表面に厚さ17μmの金メッキ5を施すことによってテープキャリアを得た(図4g参照)。
【0037】
(2)半導体装置の製造
まず、半導体チップ9の電極部にテープキャリアのバンプ1を位置合わせして、両者を重ね合わせる。そして、温度を300℃にし、荷重を10Kgf/cm2にして10秒間熱圧着することにより、両者を異方導電性接着剤層3を介して接着させた(図2(a)参照)。
【0038】
次に、290℃に加熱したステージ上に半導体チップ9を下側にして置き、荷重100gf/バンプ、超音波出力0.55Wの条件で50msec.の間ポリイミドフイルムの上方からボンディングツール10を押し当ててバンプ接合を行った(図2(b)参照)。
そして、ポリイミドフイルム6に設けられた外部端子形成用ヴイアホール4に、直径400μmのはんだボールを搭載し、これを加熱して銅配線2に接合することによって外部端子11を形成した(図2(c)参照)。
【0039】
そこで、このような工程で製造した100個の半導体装置を全数検査した。その結果、全てのものについて、良好な接合状態が確認され、且つ断線や短絡不良の生じてないことが確認された。
【0040】
[実施例2]
(1)テープキャリアの製造
本実施例は、異方導電性接着剤層3の製造において使用した導電粒子の直径が10μmである以外は、実施例1と同様にしてテープキャリアを製造した。
(2)半導体装置の製造
本実施例の場合は、半導体チップ9とテープキャリアのバンプ1の接合条件を、温度290℃、荷重80gf/バンプ、超音波出力0.55W、圧着時間50msec.とした以外は、実施例1と同様にして100個の半導体装置を製造した。そして、全数検査をしたところ、全てのものにおいて、良好な接合状況が確認され、且つ断線、短絡不良が生じていないことが確認された。
【0041】
[実施例3]
(1)テープキャリアの製造
本実施例は、基材であるポリイミドフィルム6に張り合わせる接着剤層を、絶縁性接着剤層▲1▼−異方導電性接着剤層▲2▼−絶縁性接着剤層▲3▼の三層で構成した例を示している。その製造方法は、銅箔の厚さと同程度の厚みを持つ絶縁性接着剤層▲1▼を作製し、基材にラミネートで張り合わせる。その後、同じラミネート条件で異方導電性接着剤層▲2▼と絶縁性接着剤層▲3▼とを順次張り合わせて、最後にキュアを行った。異方導電性接着剤層としては、直径5μmの導電粒子ブライトを接着剤に分散させて製造した膜厚5μmのものを使用した。
(2)半導体装置の製造
本実施例の場合は、半導体チップ9とテープキャリアのバンプ1の接合条件を実施例1と同様にして、100個の半導体装置を製造した。
そして、全数検査をしたところ、全てのものにおいて、良好な接合状況が確認され、且つ断線、短絡不良が生じていないことが確認された。
[実施例4]
【0042】
(1)テープキャリアの製造
本実施例では、接着剤層の一部が直径10μmの導電粒子ブライトを接着剤に分散させて製造した膜厚10μmの異方導電性接着剤層である以外は、実施例3に準じて製造された。
(2)半導体装置の製造
本実施例の場合は、半導体チップ9とテープキャリアのバンプ1の接合条件を、実施例1と同様にして100個の半導体装置を製造した。
そして、全数検査をしたところ、全てのものにおいて、良好な接合状況が確認され、且つ断線、短絡不良が生じていないことが確認された。
【0043】
[比較例1]
(1)テープキャリアの製造
本比較例は、接着剤に直径5μmのブライトを10重量%混合して製造した厚さ40μmの異方性導電膜を接着剤層として使用したほかは実施例1と同様にしてテープキャリアを製造した。
(2)半導体装置の製造
次に、半導体チップの電極部にテープキャリア部のバンプを重ね合わせ、温度300℃、荷重10Kgf/cm2で10秒間熱圧着することにより、両者を全体または一部が異方性導電膜である接着剤によって接着させてバンプ接合を行い、100個の半導体装置を製造した。
そして、製造した全ての半導体装置を検査したところ、一部のものに導通不良が起きていることがわかり、その原因が半導体チップの電極部とテープキャリアのバンプ間の押圧不足による接合不良が原因であることが確認された。
【0044】
[比較例2]
(1)テープキャリアの製造
本比較例では、接着剤に直径10μmのブライトを10重量%混合して製造した厚さ40μmの異方性導電膜を接着剤層として使用したほかは実施例1と同様にしてテープキャリアを製造した。
(2)半導体装置の製造
次に、半導体チップの電極部にテープキャリア部のバンプを重ね合わせ、温度300℃、荷重10Kgf/cm2で10秒間熱圧着することにより、両者を全体または一部が異方性導電膜である接着剤によって接着させてバンプ接合を行い、100個の半導体装置を製造した。
そして、製造した全ての半導体装置を検査したところ、一部のものに導通不良が起きていることがわかり、その原因が半導体チップの電極部とテープキャリアのバンプ間の押圧不足による接合不良が原因であることが確認できた。
【0045】
【発明の効果】
上述のように、本発明によれば、半導体チップとの接合に際し、半導体チップの電極部とテープキャリアの配線部との導通が確実に得られるようにしたテープキャリアを安価に製造することができ、半導体装置を廉価に提供することを可能にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体装置用テープキャリアの一構成例を示す断面図である。
【図2】図1に示した半導体装置用テープキャリアを用いて半導体装置を製造するための工程を示した断面図である。
【図3】図1に示した半導体装置用テープキャリアの製造方法を説明するための工程図である。
【図4】本発明の半導体装置用テープキャリアの他の構成例を示す断面図である。
【図5】従来の半導体装置用テープキャリアの一構成例を示す断面図である。
【図6】図5に示した従来の半導体装置用テープキャリアを製造するための工程図である。
【図7】図5に示した半導体装置用テープキャリアを用いて半導体装置を製造するための工程を示した断面図である。
【符号の説明】
1 バンプ
2 配線
3 異方導電性接着剤層
4 外部端子形成用ヴィアホール
5 金メッキ
6 ポリイミドフィルム
7 レジスト
8 銅箔
9 半導体チップ
10 ボンディングツール
11 外部端子
12 絶縁性接着剤層
【発明の属する技術分野】
本発明は、導電粒子を含んだ熱可塑性異方導電性接着剤を使用した半導体装置用テープキャリアと半導体装置及びそれらの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
CSPやBGA等の半導体装置は、半導体チップと半導体装置用テープキャリアとを接合して製造されている。そして、その電気的接合方法として、以前は金線を用いるワイヤボンディング法が主流であったが、最近では電子機器の小型・軽量化の要求に応えるために、バンプボンディング法が採用されるようになってきた。このバンプボンディング法は、半導体チップの電極パッドまたは半導体チップを搭載するテープキャリアの電極部にバンプと称される突起電極を形成し、そのバンプを介して両者を電気的に接続するようにしたものであり、半導体装置内の配線を短くして高周波特性を向上させることが出来るようにしたものである。
また、この方法は、半導体装置の小型化を図りやすいという特徴を有している。
【0003】
このようなバンプボンディング法によって半導体装置を製作する場合の例は特許文献1に記載されているが、その一例を図5を用いて説明する。図5に示したテープキャリアは、基本的にその一方の面に銅箔から形成した配線2のパターンを施した電気絶縁性のポリイミドフィルム6と、その配線2を覆うように形成された電気絶縁性の接着剤層12とで構成されており、その配線の一部には図示しない半導体チップの電極部と対応する位置にバンプ1が形成されている。また、ポリイミドフイルム6の他方の面には外部端子形成用のヴイアホール4が設けられいる。そして、接着剤層12から突出しているバンプ1の表面と外部端子形成用ヴイアホール4内に露出している配線部分には、必要に応じてメッキ5が施されている。
【0004】
次に、このような構成のテープキャリアの製造方法を図6を用いて説明する。まず、銅箔8、ポリイミドフイルム6、銅箔8の三層で構成されている両面銅貼り基材の表面にエッチングレジスト7の層を設け、その層の表面にバンプ形成用のマスクを密接させ、露光し現像することによってバンプ形成用のレジストパターンを形成する(図6(a)参照)。
そして、露出している銅箔部をハーフエッチングしてバンプ1を形成してから、バンプの表面に残っているレジスト層を除去する(図6(b)参照)。
【0005】
次に、バンプ1が形成されている方の銅箔面に、再度エッチングレジスト層を設け、配線パターン形成用のマスクを密接させて露光し現像することによって、配線形成用のエッチングパターンを形成する。そして、露出した銅箔部をエッチングしてから残ったエッチングレジストを剥離・除去することによって所定の配線2のパターンを形成する(図6(c)参照)。
その後、配線側の表面全体に絶縁性の接着剤層12を形成し、キュアを行う。その形成方法としては、通常均一な膜厚を得やすいことから、フイルム化された接着剤を張り合わせる方法が用いられる(図6(d)参照)。
【0006】
その次に、そのようにして形成された接着剤層12の前面をエッチングして、接着剤層の膜厚だけを薄くし、バンプ先端部を露出させる(図6(e)参照)。その後、両面に再度エッチングレジスト層を形成しておいて、配線側とは反対側の面のエッチングレジスト層表面に、外部端子形成用ヴイアホール4のパターンを有するマスクを密接させ、露光し現像することによって目的とするエッチングレジストパターンを形成することができる。そして、露出している銅箔部をエッチングした後、残存しているエッチングレジストを剥離・除去することによって、ポリイミドフイルムをエッチングするための銅マスクパターンを形成する(図6(f)参照)。
【0007】
その次に、ポリイミドフイルムをエッチングすることによって、バンプ接合後に外部端子を形成するための外部端子形成用ヴイアホール4を形成する。そして、それらの内部に露出した配線部2をレジストで保護しておいて、残された銅マスクをエッチングで除去する(図6(g)参照)。
そして、バンプ形成側表面のエッチングレジストと、外部端子形成用ヴイアホール4の底部のレジストを除去し、最後に外部端子形成用ヴイアホールの底面の銅表面に金メッキ5を施すことによってテープキャリアが完成する(図6(h)参照)。
【0008】
次に、このようにして製作されたテープキャリアと半導体チップをバンプ接合し、半導体装置として構成するまでの工程を図7を用いて説明する。
まず、半導体チップ9の電極部にテープキャリアのバンプ1を位置合わせして、両者を重ね合わせる。そして、加熱し圧着させることによって、両者を接着剤によって接着する(図7(a)参照)。
そして最後にテープキャリアの外部端子形成用ヴイアホール4に、外部端子(はんだバンプ)11を形成することによって、半導体装置の製作が終了する(図7(b)参照)。
【0009】
【特許文献】
特開2000−340615号公報
【0010】
しかし、上記のような半導体装置用テープキャリアの製造方法においては、図6(e)に示した接着剤層12からバンプ1の先端部分を露出させる場合に、エッチングに時間がかかり、また多量のエッチング液を使用するためにコスト高になってしまう。また、エッチング時間が長すぎるとポリイミドフイルム6にエッチング液が染み込み、しばしばポリイミドフイルムを破損させてしまうことがある。
そこで、図6(e)に示すような接着剤層からバンプ先端部分を露出させる工程を無くし、接着剤層で配線側の表面全体を覆ったままで、半導体チップと重ね合わせ接着させる方法が提案されている。その場合、半導体チップの電極部とテープキャリアのバンプ部との導通を可能とさせるために、接着剤層を導電粒子の入った熱可塑性の異方性導電接着剤を用いて形成している。
【0011】
これは、半導体チップの電極部とテープキャリアのバンプ部を重ね合せて加熱・圧着した際、異方性導線接着剤中に分散している導電粒子が、半導体チップの電極パッドとテープキャリアの電極部との間で押圧されてその部分のみに導電性を発現させ、それ以外の部分では導電粒子が押圧されないようにして、半導体チップとテープキャリアとの電気的接続の信頼性を向上させるようにしたものである。異方性導線接着剤の導電粒子は、通常、異方性導線接着剤全体の重量に対し5重量%以上の含有率を有している。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、そのような異方性導電接着剤の場合、バンプと半導体チップ間における異方性導電膜の従来の加熱・圧着による接着方法では、狭ピッチ電極間の接続、特に電極間距離が100μm以下の場合の接続において、隣り合う導電粒子が接着してしまい、しばしば隣接する電極間に導通が生じて短絡による不良を起こしやすく、接続信頼性に欠けるという問題があった。
【0013】
本発明は、従来技術の有するこのような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、半導体チップとテープキャリアとの高い接続信頼性を確保できる、半導体装置用テープキャリア及びそれを用いた半導体装置並びにそれらの製造方法を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明による半導体装置用テープキャリアは、表面上に、配線パターンと該配線パターン上に半導体チップを接続するためのバンプとを設けた絶縁性フィルムよりなる半導体装置用テープキャリアにおいて、該テープキャリアと半導体チップを接合するために、前記配線パターン上に、前記バンプの径に対して10〜25%の大きさの粒径の導電粒子を2〜5重量%含有した熱可塑性の異方導電性接着剤層を設けたことを特徴としている。
【0015】
また、上記目的を達成するために、本発明による半導体の製造方法は、上記半導体装置において、上記絶縁性フィルム側より、上記半導体チップとバンプとの接合部に、所定の荷重と接合に要するエネルギーとを付与するようにしたことを特徴としている。
【0016】
本発明の半導体装置の製造方法によれば、上記エネルギーが超音波エネルギーであり、接合温度を250〜310℃、前記荷重を80〜220gf/バンプ、超音波出力を0.8〜2.5Wとしたことを特徴としている。
【0017】
本発明によれば、上記半導体装置用テープキャリアの配線パターン上にはバンプと同等の厚さに熱可塑性の絶縁性接着剤層が設けられ、その上に前記バンプの表面を覆って導電粒子の入った熱可塑性の異方導電性接着剤層が設けられ、更にその上に熱可塑性の絶縁性接着剤層が設けられている。
【0018】
また、本発明によれば、上記半導体装置用テープキャリアは、前記バンプの径に対して10〜25%の大きさの粒径の導電粒子を2〜5重量%含有した熱可塑性の異方性接着剤層を設けたことを特徴としている。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の態様を図示した実施例に基づき説明する。先ず、本発明によるテープキャリアの構成を、図1を用いて説明する。図中、従来技術で説明したのと実質上同一の構成部材には、同一符号が付されている。
本発明のテープキャリアは、基本的には、その一方の面に銅箔から形成した配線2を施した電気絶縁性のポリイミドフイルム6と、その配線全体を覆うように設けられたた熱可塑性の異方導電性接着剤層3とで構成されており、配線2上の半導体チップの電極部と対応する位置にはバンプ1が形成されている。また、テープキャリアの配線側と反対の側には、エッチングによる外部端子形成用ヴイアホール4が形成されており、そのヴイアホール底面の露出した配線部に金メッキ5が施されている。
【0020】
このテープキャリアに半導体チップを接続する際、異方導電性接着剤層3中の導電粒子の含有量は、2〜5重量%であることが望ましい。即ち、その含有量が5%より多い場合、隣り合う導電粒子が接着してしまい、電極間で短絡を起こす可能性がある。また、その含有量が2%以下だと、導電粒子が不足してしまい、バンプ1上に導電粒子が存在する確率が低いため、導通不足による接続不良を起こしてしまう。
【0021】
また、導電粒子の粒子径は、バンプ1の径に対し10〜25%の大きさにすることが望ましい。即ち、導電粒子の粒子径がバンプ径の10%以下だと、導電粒子がバンプ1上に均一に存在しにくく、バンプ1の端部などに偏在してしまい、導通不良を起こしてしまう。また、導電粒子の粒子径がバンプ径の25%以上だと、バンプ1上に存在する導電粒子の数が少なくなり、導通不良となる。
【0022】
次に、本発明の半導体装置は、一度上記テープキャリアと半導体チップ9を熱圧着させることにより製造されるが、この場合、上述のように導電粒子の含有率が2〜5重量%と少ないため導通は確保されないため、バンプ位置に対応するポリイミドフイルム6の部分を上方から所定の加重で押圧しながら、ボンディングツール10をポリイミドフイルム6に押し当て、所定の出力の超音波を印加して製造する(図2(b)参照)。これにより、半導体チップ9の電極部とバンプ1間の確実な導通が得られるようにする。
【0023】
このようにして得られた半導体装置は、配線2が露出しておらず、絶縁信頼性が極めて高いものとなる。また、接着剤も特殊なものを使用せず、安価なものを使用することが可能になるので、コストの面でも有利である。
【0024】
また、ボンディングツール10により、半導体チップ9の電極部とテープキャリアのバンプ1間に集中的に外部荷重をかけて導通が得られるようにしているため、介在物が異方導電性接着剤層3のみでなく、複数の異方導電性接着剤層と絶縁性接着剤層の積層構造、例えば、図4に示すように、絶縁性接着剤層12−異方導電性接着剤層3−絶縁性接着剤層12の三層構造の場合であっても、導通は可能である。
【0025】
この構造は、配線層側の第一の絶縁性接着剤層はほぼバンプの厚さと同等の厚さまで積層させ、その上にバンプを薄く覆うように異方導電性接着剤層を積層させ、更にその上に5μm程度の厚さの第二の絶縁性接着剤層を積層させたものである。この場合、異方導電性接着剤層3にかかるコストを下げるため、バンプ1上を覆う異方導電性接着剤層3の厚さは出来るだけ薄くすることが望ましく、最低限導性電粒子一個分の厚さが望ましい。例えば、5μmの径の導電粒子を有する異方導電性接着剤層3の厚さは5μmという具合である。
【0026】
ここで、絶縁性接着剤層12には、熱可塑性の絶縁性接着剤フィルムを使用する。また、異方導電性接着剤層3としては、上述の熱可塑性絶縁性接着剤と同質のフイルム状のものを使用する(異方導電性接着剤層と絶縁性接着剤層は導電粒子を含むか否かの違いである)。
【0027】
そして三層構造とした場合、異方導電性接着剤の導電粒子の粒径は、バンプ径に対し10〜25%、その含有量が10〜20重量%であることが望ましい。それは、異方導電性接着剤層が薄いため、例えば導電粒子一個分の厚さの場合、そのバンプに押しつぶされる導電粒子の径がバンプ径に対し10%より小さくその含有量が5%より少ないと、バンプ上に入る導電粒子の数が少なく、またバンプ上に均一に存在しにくくバンプの端部に偏在するする可能性があり、導通不良を起こす可能性があるからである。導電粒子の含有量が20%より多いと導電粒子のコストが高くなる。また、導電粒子の径がバンプ径に対し25%よりも大きくその含有量が5%より少ないと、バンプ上に入る導電粒子の数が少なくなり、導通不良を起こしてしまう。導電粒子の含有量が20%より多いと、隣り合う導電粒子が接着してしまう可能性が高くなり、短絡による不良を起こし易くなる。
【0028】
上述のように、本発明によるテープキャリアにおいては、薄い異方導電性接着剤層3の導電粒子の数が通常よりも多いため、半導体チップの電極側に異方導電性接着剤層3を直接接着させると、外部荷重による接合時に導電粒子が横方向に寄せられ、導電粒子が接着して短絡を起こす可能性があるため、異方導電性接着剤層3と半導体チップの電極間に絶縁性接着剤層12を介在させて、半導体チップの電極とテープキャリアのバンプ1間以外では、絶縁状態が維持されるようにされている。
本発明によれば、以上のような層構造とすることにより、接着剤層に用いる異方導電性接着剤も必要最小限での使用が可能となり、安価なテープキャリアを得ることができる。
【0029】
半導体チップの電極とテープキャリアのバンプ1をボンディングツール等による外部荷重により接合する場合における接合温度を250〜310℃、荷重を80〜220gf/バンプ、超音波出力を0.8〜2.5Wに条件設定すると、良好な接合が得られる。勿論、上述の条件範囲を超えても接合は可能であるが、異方導電性接着剤層3や絶縁性接着剤層12の厚さが薄くなった場合、上述の条件範囲を上回ると半導体チップを破損する可能性が生じる。また、この条件範囲を下回ると、それらの厚さが厚くなっ多場合、接合不良を起こす可能性がある。
【0030】
次に、本発明のテープキャリアの製造と、そのテープキャリアを用いた半導体装置の製造について、4つの実施例と比較例を挙げて以下に詳細に説明する。
各テープキャリアの製造には、銅箔、ポリイミドフイルム、銅箔の3層からなる新日繊化学(株)製の両面銅貼り積層材料(製品名:エスパネックス)を使用した。
また、接着剤層の形成には、新日繊化学(株)製の熱可塑性ポリイミド接着剤、また異方導電性接着剤層においては導電粒子として日本化学工業(株)製金−ニッケル被膜樹脂粒子(商品名:ブライト)、または積水化学工業(株)製金被膜プラスチック微粒子(商品名:ミクロパールAU)を前記ポリイミド接着剤に混入し、フイルムを作製した。
テープキャリアと半導体チップの接合には、カイジョー製のワイヤボンダ(商品名:FB−118A)を使用し、バンプを1つずつ接合するシングルボインとボンディング方式によって行った。
【0031】
[実施例1]
(1)テープキャリアの製造
本実施例は、それぞれの銅箔の厚さが357μmで、ポリイミドフイルムの厚さが507μmの両面銅張り積層材料を使用した。
まず、銅箔8、ポリイミドフイルム6、銅箔8の三層で構成されている両面銅貼り基材の表面にドライフイルムタイプのエッチングレジストをラミネートして、その層の表面にバンプ形成用のマスクを密接させ、露光し現像した後、液温450℃の塩化第二銅水溶液を用いて銅箔をエッチングし、直径407μmのバンプ形成用のレジスト7のパターンを形成した(図3(a)参照)。そして、液温500℃の5%水酸化ナトリウム水溶液で残されているレジストの剥離・除去を行った。
【0032】
次に、バンプ1が形成されている方の銅箔面に、ドライフイルムタイプのエッチングレジストをラミネートして、配線パターン形成用のマスクを密接させて露光し現像することによって、配線形成用のエッチングパターンを形成した。そして、露出した銅箔部をエッチングしてから残ったエッチングレジストを剥離・除去することによって所定の銅配線2のパターンを形成した。
この段階において銅配線2の厚さは187μmであり、そこに直径40μmの銅バンプ1が形成された(図3(c)参照)。
【0033】
その後、接着剤に直径57μmのブライトを10重量%混合して厚さ407μmの異方導電性膜を作製し、これを基材にラミネートして、配線側の表面全体に異方導電性接着剤層3を形成し、キュアを行った。(図4d参照)。
【0034】
次に、配線側とは反対の側の銅箔表面に、ドライフイルムタイプのエッチングレジストをラミネートして、外部端子形成用ヴイアホール4のパターンを有するマスクを密接させ、露光し現像した後、液温450℃の塩化第二銅水溶液を用いて銅箔をエッチングして、直径400μmの開口部が750μm間隔で74個並んだポリイミドエッチング用の銅マスクパターンを形成した。そして、液温500℃の5%水酸化ナトリウム水溶液で残されているレジストの剥離・除去を行った(図4e参照)。
【0035】
その次に、銅マスクパターンの形成されている側のポリイミドフイルム6の銅マスクパターンの形成されている側を、液温800℃の非ヒドラジン系アルカリポリイミドエッチング液に浸してエッチングすることによって、バンプ接合後に外部端子を形成するための直径340μmの外部端子形成用ヴイアホール4を形成した。そして、それらの内部に露出した配線部をレジストで保護しておいて、残された銅マスクをエッチングで除去した(図4(f)参照)。
【0036】
そして、バンプ形成側表面のエッチングレジストと、外部端子形成用ヴイアホール4の底部のレジストを除去し、最後に外部端子形成用ヴイアホール4の底面の銅表面に厚さ17μmの金メッキ5を施すことによってテープキャリアを得た(図4g参照)。
【0037】
(2)半導体装置の製造
まず、半導体チップ9の電極部にテープキャリアのバンプ1を位置合わせして、両者を重ね合わせる。そして、温度を300℃にし、荷重を10Kgf/cm2にして10秒間熱圧着することにより、両者を異方導電性接着剤層3を介して接着させた(図2(a)参照)。
【0038】
次に、290℃に加熱したステージ上に半導体チップ9を下側にして置き、荷重100gf/バンプ、超音波出力0.55Wの条件で50msec.の間ポリイミドフイルムの上方からボンディングツール10を押し当ててバンプ接合を行った(図2(b)参照)。
そして、ポリイミドフイルム6に設けられた外部端子形成用ヴイアホール4に、直径400μmのはんだボールを搭載し、これを加熱して銅配線2に接合することによって外部端子11を形成した(図2(c)参照)。
【0039】
そこで、このような工程で製造した100個の半導体装置を全数検査した。その結果、全てのものについて、良好な接合状態が確認され、且つ断線や短絡不良の生じてないことが確認された。
【0040】
[実施例2]
(1)テープキャリアの製造
本実施例は、異方導電性接着剤層3の製造において使用した導電粒子の直径が10μmである以外は、実施例1と同様にしてテープキャリアを製造した。
(2)半導体装置の製造
本実施例の場合は、半導体チップ9とテープキャリアのバンプ1の接合条件を、温度290℃、荷重80gf/バンプ、超音波出力0.55W、圧着時間50msec.とした以外は、実施例1と同様にして100個の半導体装置を製造した。そして、全数検査をしたところ、全てのものにおいて、良好な接合状況が確認され、且つ断線、短絡不良が生じていないことが確認された。
【0041】
[実施例3]
(1)テープキャリアの製造
本実施例は、基材であるポリイミドフィルム6に張り合わせる接着剤層を、絶縁性接着剤層▲1▼−異方導電性接着剤層▲2▼−絶縁性接着剤層▲3▼の三層で構成した例を示している。その製造方法は、銅箔の厚さと同程度の厚みを持つ絶縁性接着剤層▲1▼を作製し、基材にラミネートで張り合わせる。その後、同じラミネート条件で異方導電性接着剤層▲2▼と絶縁性接着剤層▲3▼とを順次張り合わせて、最後にキュアを行った。異方導電性接着剤層としては、直径5μmの導電粒子ブライトを接着剤に分散させて製造した膜厚5μmのものを使用した。
(2)半導体装置の製造
本実施例の場合は、半導体チップ9とテープキャリアのバンプ1の接合条件を実施例1と同様にして、100個の半導体装置を製造した。
そして、全数検査をしたところ、全てのものにおいて、良好な接合状況が確認され、且つ断線、短絡不良が生じていないことが確認された。
[実施例4]
【0042】
(1)テープキャリアの製造
本実施例では、接着剤層の一部が直径10μmの導電粒子ブライトを接着剤に分散させて製造した膜厚10μmの異方導電性接着剤層である以外は、実施例3に準じて製造された。
(2)半導体装置の製造
本実施例の場合は、半導体チップ9とテープキャリアのバンプ1の接合条件を、実施例1と同様にして100個の半導体装置を製造した。
そして、全数検査をしたところ、全てのものにおいて、良好な接合状況が確認され、且つ断線、短絡不良が生じていないことが確認された。
【0043】
[比較例1]
(1)テープキャリアの製造
本比較例は、接着剤に直径5μmのブライトを10重量%混合して製造した厚さ40μmの異方性導電膜を接着剤層として使用したほかは実施例1と同様にしてテープキャリアを製造した。
(2)半導体装置の製造
次に、半導体チップの電極部にテープキャリア部のバンプを重ね合わせ、温度300℃、荷重10Kgf/cm2で10秒間熱圧着することにより、両者を全体または一部が異方性導電膜である接着剤によって接着させてバンプ接合を行い、100個の半導体装置を製造した。
そして、製造した全ての半導体装置を検査したところ、一部のものに導通不良が起きていることがわかり、その原因が半導体チップの電極部とテープキャリアのバンプ間の押圧不足による接合不良が原因であることが確認された。
【0044】
[比較例2]
(1)テープキャリアの製造
本比較例では、接着剤に直径10μmのブライトを10重量%混合して製造した厚さ40μmの異方性導電膜を接着剤層として使用したほかは実施例1と同様にしてテープキャリアを製造した。
(2)半導体装置の製造
次に、半導体チップの電極部にテープキャリア部のバンプを重ね合わせ、温度300℃、荷重10Kgf/cm2で10秒間熱圧着することにより、両者を全体または一部が異方性導電膜である接着剤によって接着させてバンプ接合を行い、100個の半導体装置を製造した。
そして、製造した全ての半導体装置を検査したところ、一部のものに導通不良が起きていることがわかり、その原因が半導体チップの電極部とテープキャリアのバンプ間の押圧不足による接合不良が原因であることが確認できた。
【0045】
【発明の効果】
上述のように、本発明によれば、半導体チップとの接合に際し、半導体チップの電極部とテープキャリアの配線部との導通が確実に得られるようにしたテープキャリアを安価に製造することができ、半導体装置を廉価に提供することを可能にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体装置用テープキャリアの一構成例を示す断面図である。
【図2】図1に示した半導体装置用テープキャリアを用いて半導体装置を製造するための工程を示した断面図である。
【図3】図1に示した半導体装置用テープキャリアの製造方法を説明するための工程図である。
【図4】本発明の半導体装置用テープキャリアの他の構成例を示す断面図である。
【図5】従来の半導体装置用テープキャリアの一構成例を示す断面図である。
【図6】図5に示した従来の半導体装置用テープキャリアを製造するための工程図である。
【図7】図5に示した半導体装置用テープキャリアを用いて半導体装置を製造するための工程を示した断面図である。
【符号の説明】
1 バンプ
2 配線
3 異方導電性接着剤層
4 外部端子形成用ヴィアホール
5 金メッキ
6 ポリイミドフィルム
7 レジスト
8 銅箔
9 半導体チップ
10 ボンディングツール
11 外部端子
12 絶縁性接着剤層
Claims (9)
- 表面上に、配線パターンと該配線パターン上に半導体チップを接続するためのバンプとを設けた絶縁性フィルムよりなる半導体装置用テープキャリアにおいて、該テープキャリアと半導体チップとを接合するために、前記配線パターン上に、前記バンプの径に対して10〜25%の大きさの粒径の導電粒子を2〜5重量%含有した熱可塑性異方導電性接着剤層を設けたことを特徴とする半導体装置用テープキャリア。
- 請求項1に記載の半導体装置用テープキャリアに半導体チップを接続したことを特徴とする半導体装置。
- 請求項2に記載の半導体装置において、前記絶縁性フィルム側より、前記半導体チップとバンプとの接合部に、所定の荷重と接合に要するエネルギーとを付与するようにしたことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記エネルギーが超音波エネルギーであり、接合温度を250〜310℃、前記荷重を80〜220gf/バンプ、超音波出力を0.8〜2.5Wとしたことを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
- 請求項1に記載の半導体装置用テープキャリアの配線パターン上にバンプと同等の厚さに熱可塑性の絶縁性接着剤層を設け、その上に前記バンプの表面を覆って導電粒子の入った熱可塑性異方導電性接着剤層を設け、更にその上に熱可塑性の絶縁性接着剤層を設けてなる半導体装置用テープキャリア。
- 前記バンプの径に対して10〜25%の大きさの粒径の導電粒子を2〜5重量%含有した熱可塑性異方性接着剤層を設けたことを特徴とする請求項5に記載の半導体装置用テープキャリア。
- 請求項6に記載の半導体装置用テープキャリアに半導体チップを接続してなる半導体装置。
- 請求項7に記載の半導体装置において、絶縁性フィルム側より、前記半導体チップとバンプとの接合部に、所定の荷重と接合に要するエネルギーとを付与するようにしたことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記エネルギーが超音波エネルギーであり、接合温度を250〜310℃、前記荷重を80〜220gf/バンプ、超音波出力を0.8〜2.5Wとしたことを特徴とする請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
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