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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101033121B1 (ko) * 2004-06-07 2011-05-11 엘지디스플레이 주식회사 로봇암을 포함하는 기판이송장치 및 그것을 이용한 기판이송방법
CN1721302B (zh) * 2004-07-15 2011-02-23 奇美电子股份有限公司 一种用于序列式基板盒的基板搬运装置
JP4378301B2 (ja) * 2005-02-28 2009-12-02 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置及び基板処理方法及び基板処理プログラム
JP2007117857A (ja) * 2005-10-27 2007-05-17 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 基板の搬送処理装置
JP2007203402A (ja) * 2006-02-01 2007-08-16 Nidec Sankyo Corp ロボット用ハンドおよび該ハンドを具備する搬送ロボット
JP4312787B2 (ja) * 2006-11-15 2009-08-12 東京エレクトロン株式会社 減圧乾燥装置
JP5182339B2 (ja) * 2010-08-31 2013-04-17 三星ダイヤモンド工業株式会社 基板ブレーク装置
JP5616205B2 (ja) * 2010-11-29 2014-10-29 東京エレクトロン株式会社 基板処理システム、基板処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体
KR101321322B1 (ko) * 2011-04-22 2013-10-23 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 기판 반송 장치 및 반송 방법
JP2014519187A (ja) * 2011-05-03 2014-08-07 株式会社テラセミコン インライン熱処理装置
CN102437077A (zh) * 2011-10-19 2012-05-02 东莞宏威数码机械有限公司 Oled基片线性传输设备
CN102709392B (zh) * 2012-05-31 2014-07-16 苏州晟成新能源科技有限公司 一种输送宽度可调的铺板机
CN102683503B (zh) * 2012-05-31 2014-05-28 苏州晟成新能源科技有限公司 一种输送长度可调的铺板机
JP6616606B2 (ja) * 2015-07-13 2019-12-04 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP6864514B2 (ja) * 2017-03-23 2021-04-28 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理システムおよび基板処理方法
CN111646195B (zh) * 2020-06-04 2021-08-24 西安外事学院 一种基板运送用机械臂
CN113651121B (zh) * 2021-08-20 2023-07-25 安徽海思达机器人有限公司 一种酒盒卸垛装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62228388A (ja) * 1986-03-31 1987-10-07 オークマ株式会社 ロボツト用ハンド
JPH01316417A (ja) * 1988-06-16 1989-12-21 Ngk Spark Plug Co Ltd 雰囲気炉の露点制御装置
JPH0773755B2 (ja) * 1990-10-12 1995-08-09 有限会社ティアイエンジニアリング 搬送装置
JPH10308436A (ja) * 1997-05-08 1998-11-17 Olympus Optical Co Ltd 基板搬送装置
JPH11309409A (ja) * 1998-04-30 1999-11-09 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理システム
JP4030654B2 (ja) * 1998-06-02 2008-01-09 大日本スクリーン製造株式会社 基板搬送装置
JP3605541B2 (ja) * 1999-05-25 2004-12-22 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置

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