CN111646195B - 一种基板运送用机械臂 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种基板运送用机械臂，涉及基板运送技术领域，包括动力控制装置和设置在动力控制装置上用于运送基板的机械臂，还包括：机械臂的数量为两个；以及安装板，安装板安装在动力控制装置上，且两个机械臂安装在安装板远离动力控制装置的一侧；以及调节机构、斜板和稳定机构，两个斜板的顶部均设置有多个稳定机构；本发明调节机构以转动的方式调节两个机械臂之间的间距，用于放置不同大小的基板，节省机械臂的数量，且调节方便，两个机械臂通过调节机构在间距调节时，两个机械臂在稳定机构上进行移动，两个机械臂在通过调节机构调节后，稳定机构自动上移支撑在基板的底部。

Description

一种基板运送用机械臂

技术领域

本发明涉及基板运送技术领域，具体为一种基板运送用机械臂。

背景技术

TFT基板制作过程中，基板需要完成清洗、成膜、曝光显影等不同道别的制程，这些制程需要在不同的机台内完成，在这一系列过程中，基板需要不断的通过机械臂进行机台间和机台内部的搬送。

TFT基板厚度通常是比较薄的，机械臂承载基板时，基板与机械臂的接触面减小，使用过程中常常发生因接触面减小摩擦力不足造成基板在机械臂上位置偏移，发生破片，同时，在对不同大小的基本进行运输时，通常是增加机械臂的数量来解决，但是，这种方式，不仅耗时耗力，且需要很多的机械臂，为此需要进行改进。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种基板运送用机械臂，解决了背景技术中提到的问题。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种基板运送用机械臂，包括动力控制装置和设置在动力控制装置上用于运送基板的机械臂，还包括：

所述机械臂的数量为两个；以及

安装板，所述安装板安装在动力控制装置上，且两个机械臂安装在安装板远离动力控制装置的一侧；以及

调节机构，所述调节机构设置在安装板远离动力控制装置的一侧上，且两个机械臂安装在调节组件机构上，所述调节机构以转动的方式调节两个机械臂之间的间距，用于放置不同大小的基板；以及

斜板，所述斜板为两个，且两个斜板也均固定在安装板远离动力控制装置的一侧，所述斜板的顶部抵在机械臂的底部；以及

稳定机构，两个斜板的顶部均设置有多个稳定机构，且两个机械臂通过调节机构在间距调节时，两个机械臂在稳定机构上进行移动，两个机械臂在通过调节机构调节后，稳定机构自动上移支撑在基板的底部。

优选的，所述调节机构包括：

槽体，所述槽体开设在安装板远离动力控制装置的一侧上，且槽体的两端均呈封闭设置；以及

通孔，所述通孔开设在槽体的一个端壁上，且通孔横向贯穿安装板；以及

转动组件，所述转动组件设置在槽体内；以及

限制组件，所述限制组件设置在转动组件与槽体之间，且转动组件通过限制组件安装在槽体内。

优选的，所述转动组件包括：

螺杆，所述螺杆的一端转动安装在槽体另一个端壁上，且螺杆的另一端经通孔伸出安装板，所述螺杆位于槽体内的表面上开设有两段旋向相反的外螺纹；以及

螺套，所述螺套为两个设置，且两个螺套分别螺合在螺杆的两段外螺纹上，所述限制组件安装在螺套后端与槽体侧壁之间，且限制组件用于限制两个螺套的圆周运动。

优选的，所述限制组件包括：

滑块，两个螺套的后端均固定有滑块；以及

滑槽，所述滑槽开设在槽体的侧壁上，且滑块的后端滑动安装在滑槽内。

优选的，两个斜板在两个机械臂的下方呈交叉设置。

优选的，两个斜板一体成型设置。

优选的，所述机械臂的底部开设有沿其横向贯穿的豁槽，且豁槽的竖截面呈倒U型设置，所述稳定机构设置在斜板与豁槽之间。

优选的，所述稳定机构包括：

安装槽，所述安装槽开设在斜板的顶部；以及

安装块，所述安装块设置在安装槽内，且安装块的周向与安装槽的内周向之间留有间隙；以及

弹性件，所述弹性件为两个，且两个弹性件固定在安装槽底部与安装块底部之间；以及

撑块，所述撑块固定在安装块的顶部，且撑块为正梯形的四方体设置。

优选的，所述弹性件为弹簧，且两个弹簧的顶端均向安装块底部的中心处倾斜设置，所述弹簧呈自然状态时，所述豁槽顶部的高度位于撑块的腰部，弹簧呈压缩状态时，撑块的顶部抵在豁槽的顶部。

优选的，所述撑块的顶部固定有橡皮层。

本发明与现有技术相比具备以下有益效果：调节机构以转动的方式调节两个机械臂之间的间距，用于放置不同大小的基板，节省机械臂的数量，且调节方便，两个机械臂通过调节机构在间距调节时，两个机械臂在稳定机构上进行移动，两个机械臂在通过调节机构调节后，稳定机构自动上移支撑在基板的底部，这样就使得基板在机械臂上的接触面积随着两个机械臂的间距大小而改变，最终，使得对基板的支撑效果更好，且不受基板大小的影响。

附图说明

图1为本发明机械臂的俯视图；

图2为本发明螺杆的立体图；

图3为本发明螺杆的局部立体图；

图4为本发明机械臂的立体图；

图5为本发明机械臂的局部立体图；

图6为本发明斜板的局部立体图；

图7为本发明斜板侧视图的局部剖视图；

图8为本发明安装块的立体图；

图9为本发明撑块的立体图。

图中：1、动力控制装置；2、机械臂；3、安装板；4、斜板；5、槽体；6、通孔；7、螺杆；8、螺套；9、滑块；10、滑槽；11、豁槽；12、安装槽；13、安装块；14、弹性件；15、撑块；16、橡皮层。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-9，本发明提供一种技术方案：一种基板运送用机械臂，包括动力控制装置1和设置在动力控制装置1上用于运送基板的机械臂2(动力控制装置1为现有技术，故在本发明中不作过多解释)，还包括：

机械臂2的数量为两个；以及

安装板3，安装板3安装在动力控制装置1上，且两个机械臂2安装在安装板3远离动力控制装置1的一侧；

本发明的其中一个实施例，如图1、图2、图3、图4和图5所示：

调节机构，调节机构设置在安装板3远离动力控制装置1的一侧上，且两个机械臂2安装在调节组件机构上，调节机构以转动的方式调节两个机械臂2 之间的间距，用于放置不同大小的基板；

具体的，调节机构包括：

槽体5，槽体5开设在安装板3远离动力控制装置1的一侧上，且槽体5的两端均呈封闭设置；以及

通孔6，通孔6开设在槽体5的一个端壁上，且通孔6横向贯穿安装板3；以及

转动组件，转动组件设置在槽体5内，转动组件包括：

螺杆7，螺杆7的一端转动安装在槽体5另一个端壁上，且螺杆7的另一端经通孔6伸出安装板3，螺杆7位于槽体5内的表面上开设有两段旋向相反的外螺纹；以及

螺套8，螺套8为两个设置，且两个螺套8分别螺合在螺杆7的两段外螺纹上，限制组件安装在螺套8后端与槽体5侧壁之间，且限制组件用于限制两个螺套8的圆周运动，转动螺杆7，由于螺杆7的一端转动安装在槽体5的一个端壁上，螺杆7上开设有两段相反的外螺纹，两个螺套8分别螺合在两段相反的外螺纹上，两个螺套8的内螺纹方向相同，滑块9固定在螺套8上，滑槽10限制了滑块9的圆周运动，所以，当螺杆7进行转动后，两个螺套8只能进行相对或者向背移动。

限制组件，限制组件设置在转动组件与槽体5之间，且转动组件通过限制组件安装在槽体5内，限制组件包括：

滑块9，两个螺套8的后端均固定有滑块9；以及

滑槽10，滑槽10开设在槽体5的侧壁上，且滑块9的后端滑动安装在滑槽10内，当螺杆7进行转动后，两个螺套8只能进行相对或者向背移动，进而带动两个机械臂2进行相对或者向背移动，最终实现两个机械臂2的间距调节，能够根据需要来适用不同大小的基板。

本发明的其中一个实施例，如图1、图6、图7、图8和图9所示：

斜板4，斜板4为两个，且两个斜板4也均固定在安装板3远离动力控制装置1的一侧，斜板4的顶部抵在机械臂2的底部，两个斜板4在两个机械臂2 的下方呈交叉设置，能够设置有更多的稳定机构，两个斜板4一体成型设置，便于后期的生产；

具体的，机械臂2的底部开设有沿其横向贯穿的豁槽11，且豁槽11的竖截面呈倒U型设置，稳定机构设置在斜板4与豁槽11之间。

稳定机构，两个斜板4的顶部均设置有多个稳定机构，且两个机械臂2通过调节机构在间距调节时，两个机械臂2在稳定机构上进行移动，两个机械臂2 在通过调节机构调节后，稳定机构自动上移支撑在基板的底部，稳定机构包括：

安装槽12，安装槽12开设在斜板4的顶部；以及

安装块13，安装块13设置在安装槽12内，且安装块13的周向与安装槽 12的内周向之间留有间隙；以及

弹性件14，弹性件14为两个，且两个弹性件14固定在安装槽12底部与安装块13底部之间，弹性件14为弹簧，且两个弹簧的顶端均向安装块13底部的中心处倾斜设置，弹簧呈自然状态时，豁槽11顶部的高度位于撑块15的腰部，弹簧呈压缩状态时，撑块15的顶部抵在豁槽11的顶部；以及

撑块15，撑块15固定在安装块13的顶部，且撑块15为正梯形的四方体设置，当机械臂2在移动的时候，会通过撑块15为正梯形的四方体设置，使得机械臂2移动时，下压撑块15，使得撑块15通过安装块13和弹性件14的作用在安装槽12内向下移动，当机械臂2在撑块15上移动后，撑块15会通过弹性件 14进行自动向上移动。

具体的，撑块15的顶部固定有橡皮层16，能够增大与基板之间的摩擦力，当机械臂2在撑块15上移动后，撑块15会通过弹性件14进行自动向上移动，然后，将基板放置在两个机械臂2上，撑块15可以抵在基板的底部，多个稳定机构可以根据基板的大小自动调节伸出的数量，以实现对不同大小基板的支撑，防止基板在机械臂2上发生滑移。

工作时，转动螺杆7，由于螺杆7的一端转动安装在槽体5的一个端壁上，螺杆7上开设有两段相反的外螺纹，两个螺套8分别螺合在两段相反的外螺纹上，两个螺套8的内螺纹方向相同，滑块9固定在螺套8上，滑槽10限制了滑块9的圆周运动，所以，当螺杆7进行转动后，两个螺套8只能进行相对或者向背移动，进而带动两个机械臂2进行相对或者向背移动，最终实现两个机械臂2的间距调节，能够根据需要来适用不同大小的基板，当机械臂2在移动的时候，会通过撑块15为正梯形的四方体设置，使得机械臂2移动时，下压撑块 15，使得撑块15通过安装块13和弹性件14的作用在安装槽12内向下移动，当机械臂2在撑块15上移动后，撑块15会通过弹性件14进行自动向上移动，然后，将基板放置在两个机械臂2上，撑块15可以抵在基板的底部，配合橡皮层16的设置，增大了与基板的摩擦力，多个稳定机构可以根据基板的大小自动调节伸出的数量，以实现对不同大小基板的支撑，防止基板在机械臂2上发生滑移，操作简单，实用性高。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种基板运送用机械臂，包括动力控制装置(1)和设置在动力控制装置(1)上用于运送基板的机械臂(2)，其特征在于：还包括：

所述机械臂(2)的数量为两个；以及

安装板(3)，所述安装板(3)安装在动力控制装置(1)上，且两个机械臂(2)安装在安装板(3)远离动力控制装置(1)的一侧；以及

调节机构，所述调节机构设置在安装板(3)远离动力控制装置(1)的一侧上，且两个机械臂(2)安装在调节组件机构上，所述调节机构以转动的方式调节两个机械臂(2)之间的间距，用于放置不同大小的基板；以及

斜板(4)，所述斜板(4)为两个，且两个斜板(4)也均固定在安装板(3)远离动力控制装置(1)的一侧，所述斜板(4)的顶部抵在机械臂(2)的底部；以及

稳定机构，两个斜板(4)的顶部均设置有多个稳定机构，且两个机械臂(2)通过调节机构在间距调节时，两个机械臂(2)在稳定机构上进行移动，两个机械臂(2)在通过调节机构调节后，稳定机构自动上移支撑在基板的底部。

2.根据权利要求1所述的一种基板运送用机械臂，其特征在于：所述调节机构包括：

槽体(5)，所述槽体(5)开设在安装板(3)远离动力控制装置(1)的一侧上，且槽体(5)的两端均呈封闭设置；以及

通孔(6)，所述通孔(6)开设在槽体(5)的一个端壁上，且通孔(6)横向贯穿安装板(3)；以及

转动组件，所述转动组件设置在槽体(5)内；以及

限制组件，所述限制组件设置在转动组件与槽体(5)之间，且转动组件通过限制组件安装在槽体(5)内。

3.根据权利要求2所述的一种基板运送用机械臂，其特征在于：所述转动组件包括：

螺杆(7)，所述螺杆(7)的一端转动安装在槽体(5)另一个端壁上，且螺杆(7)的另一端经通孔(6)伸出安装板(3)，所述螺杆(7)位于槽体(5)内的表面上开设有两段旋向相反的外螺纹；以及

螺套(8)，所述螺套(8)为两个设置，且两个螺套(8)分别螺合在螺杆(7)的两段外螺纹上，所述限制组件安装在螺套(8)后端与槽体(5)侧壁之间，且限制组件用于限制两个螺套(8)的圆周运动。

4.根据权利要求3所述的一种基板运送用机械臂，其特征在于：所述限制组件包括：

滑块(9)，两个螺套(8)的后端均固定有滑块(9)；以及

滑槽(10)，所述滑槽(10)开设在槽体(5)的侧壁上，且滑块(9)的后端滑动安装在滑槽(10)内。

5.根据权利要求4所述的一种基板运送用机械臂，其特征在于：两个斜板(4)在两个机械臂(2)的下方呈交叉设置。

6.根据权利要求5所述的一种基板运送用机械臂，其特征在于：两个斜板(4)一体成型设置。

7.根据权利要求5所述的一种基板运送用机械臂，其特征在于：所述机械臂(2)的底部开设有沿其横向贯穿的豁槽(11)，且豁槽(11)的竖截面呈倒U型设置，所述稳定机构设置在斜板(4)与豁槽(11)之间。

8.根据权利要求7所述的一种基板运送用机械臂，其特征在于：所述稳定机构包括：

安装槽(12)，所述安装槽(12)开设在斜板(4)的顶部；以及

安装块(13)，所述安装块(13)设置在安装槽(12)内，且安装块(13)的周向与安装槽(12)的内周向之间留有间隙；以及

弹性件(14)，所述弹性件(14)为两个，且两个弹性件(14)固定在安装槽(12)底部与安装块(13)底部之间；以及

撑块(15)，所述撑块(15)固定在安装块(13)的顶部，且撑块(15)为正梯形的四方体设置。

9.根据权利要求8所述的一种基板运送用机械臂，其特征在于：所述弹性件(14)为弹簧，且两个弹簧的顶端均向安装块(13)底部的中心处倾斜设置，所述弹簧呈自然状态时，豁槽(11)顶部的高度位于撑块(15)的腰部，弹簧呈压缩状态时，撑块(15)的顶部抵在豁槽(11)的顶部。

10.根据权利要求8所述的一种基板运送用机械臂，其特征在于：所述撑块(15)的顶部固定有橡皮层(16)。

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