KR101033121B1 - 로봇암을 포함하는 기판이송장치 및 그것을 이용한 기판이송방법 - Google Patents

로봇암을 포함하는 기판이송장치 및 그것을 이용한 기판이송방법 Download PDF

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KR101033121B1
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Abstract

본 발명의 목적은, 모서리 부분의 뜯김이나 파손 없이 다양한 크기의 액정표시장치용 기판을 이송할 수 있는 로봇암을 포함하는 기판이송장치 및 이송방법을 제공함에 있다.
본 발명은, 일방향으로 연장된 하나 이상의 지지대와; 상기 지지대와 연결되고, 기판이 놓여지고, 상기 지지대가 연장된 방향을 따라 이동가능한 제 1, 2 놓임단을 포함하는 기판이송장치용 로봇암과 기판이송장치 및 기판이송방법을 제공한다.
본 발명은 액정표시장치용 기판의 크기에 따라 놓임부 사이의 거리를 조절하게 된다. 특히, 액정표시장치용 기판의 모서리가 놓임부 바깥에 위치하도록 놓임부 사이의 거리는 조절된다. 따라서, 본 발명은 액정표시장치용 기판의 모서리 부분이 뜯거지거나 파손되지 않고 다양한 크기의 액정표시장치용 기판을 이송할 수 있는 효과가 있다.

Description

로봇암을 포함하는 기판이송장치 및 그것을 이용한 기판 이송방법{Transfer device including robot arm for substrate and tranfer method for substrate using the same}
도 1은 액정표시장치용 기판을 이송하기 위한 종래의 로봇암을 도시한 도면.
도 2는 종래의 로봇암을 사용하여 액정표시장치용 기판을 이송하는 것을 도시한 도면.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 기판의 이송장치를 개략적으로 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 이송장치의 로봇암을 도시한 도면.
도 5와 6은 본 발명의 실시예에 따른 로봇암을 사용하여 액정표시장치용 기판을 이송하는 것을 도시한 도면.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
330a, 330b : 제 1, 2 로봇암 341a, 342a : 제 1, 2 지지부
341b, 342b : 제 3, 4 지지부 351a, 352a : 제 1, 2 놓임부
351b, 352b : 제 3, 4 놓임부 353 : 돌출단
본 발명은 기판을 이송하기 위한 기판이송장치 및 기판이송방법에 대한 것으로서, 보다 상세하게는 액정표시장치용 기판을 이송하기 위한 로봇암(robot arm)을 포함한 기판이송장치 및 기판이송방법에 대한 것이다.
최근 사회가 정보화 시대로 발전함에 따라 대량의 정보를 처리 및 표시하는 디스플레이(display) 분야가 급속도로 발전해 왔다.
특히 근래에 들어 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 요구를 충족시킬 수 있는 박막트랜지스터형 액정표시장치(Thin-film transistor liquid crystal display device)가 개발됨에 따라, 기존의 브라운관(Cathode-Ray Tube : CRT)을 대체하며 디스플레이 분야의 새로운 주류를 이루고 있다.
일반적으로 액정표시장치는 액정의 광학적 이방성과 분극성질을 이용하여 화상을 디스플레이 한다. 즉, 액정의 분자구조는 가늘고 길며 배열에 방향성을 갖는 광학적 이방성과, 인위적으로 전기장을 인가할 경우 배열방향이 변화하는 분극성질을 가지고 있는 바, 액정표시장치는 이들 액정분자에 적절한 전압을 인가해 액정분자의 배열 방향을 인위적으로 변화시키고, 이를 따라 굴절하는 빛으로 화상을 표현하게 된다.
이에 액정표시장치는 크게 표현하고자 목적하는 화상에 대한 정보를 출력하는 구동시스템과, 이 화상정보를 적절한 전기적 신호로 변환하는 회로부와, 이들 전기적 신호를 통해 화상을 디스플레이하는 액정패널로 구분될 수 있다.
이중 특히 액정패널에는 특히 전기적 신호에 따라 분자 배열방향이 변화되는 액정이 실장되어, 이에 의한 빛의 투과율 변화를 통해 사용자에게 목적하는 화상을 디스플레이하는 부분으로서, 간단히 유리등의 투명기판 일면에 각각 전계생성전극을 포함하는 여러 가지 전기적 소자가 설치된 상부기판과 하부기판을 구비한 후, 이들 전극이 서로 마주보도록 배치하여 그 사이에 액정을 충진한 구성을 가지고 있다.
이때 상, 하부기판 각각에 포함되는 전계생성전극 및 여러 가지 전기적 소자들은 통상 투명기판 상면으로 박막을 증착한 후 이를 식각하여 패터닝(patterning)하는 과정을 수 차례 반복하여 구현되는 바, 이들 박막의 증착이나 식각 등의 공정은 액정표시장치용 기판제조를 위한 챔버(chamber)에서 진행되는 것이 일반적이다.
위와 같은 공정들은 하나의 챔버에서 진행되지 않고 다수의 챔버에서 연속적으로 진행되기 때문에, 다수의 챔버에 액정표시장치용 기판을 이송하기 위한 이송장치가 공정 시스템에서 구비된다.
도 1은 액정표시장치용 기판을 이송하기 위한 종래의 로봇암을 도시한 도면이다.
도시한 바와 같이, 로봇암(130)은 일방향으로 연장된 지지부(140)와, 지지부(140)에 연결되고 액정표시장치용 기판(100)이 놓여지는 놓임부(151, 152)로 이루어진다.
놓임부(151, 152)는 지지부(140)에 고정된 구조로 이루어진다. 놓임부(151, 152)의 하단에는 돌출된 형상의 돌출단(153)이 형성되어 있다. 돌출단(153)에 액정표시장치용 기판(100)이 놓여지게 된다.
도 2는 종래의 로봇암을 사용하여 액정표시장치용 기판을 이송하는 것을 도시한 도면이다.
도시한 바와 같이, 서로 마주보는 제 1, 2 로봇암(130a, 130b)이 이격되어 위치하고, 제 1, 2 로봇암(130a, 130b) 각각의 제 1 및 2 놓임부(151a, 152a)와 제 3 및 4 놓임부(151b, 152b)에 액정표시장치 기판(100)이 놓여지게 된다.
액정표시장치용 기판(100)을 제 1 내지 제 4 놓임부(151a, 151b, 152a, 152b)에 올리놓거나 내려놓기 위해서 제 1, 2 로봇암(130a, 130b)의 이격 거리(A)는 조절된다. 액정표시장치용 기판(100)을 제 1 내지 제 4 놓임부(151a, 151b, 152a, 152b)에 올려놓기 위해서 제 1, 2 로봇암(130a, 130b)의 이격 거리(A)는 좁아지게 되고, 액정표시장치용 기판(100)을 내려놓기 위해서 제 1, 2 로봇암(130a, 130b)의 이격 거리(A)는 넓어지게 된다.
전술한 바와 같이, 종래의 로봇암은 액정표시장치용 기판이 놓여지는 놓임부가 지지부에 고정된 구조를 갖게 되고, 고정된 구조의 놓임부를 사용하여 다양한 크기의 액정표시장치를 이송하게 된다.
그런데, 고정된 구조의 놓임부를 사용하여 다양한 크기의 액정표시장치용 기판을 이송하는 경우에, 다양한 크기 중 일부 크기의 액정표시장치용 기판은 모서리 부분(도 2의 E 참조)이 놓임부에 놓여져서 이송되고, 액정표시장치용 기판이 틀어져서 놓여지게 되거나 두 개의 로봇암 사이의 이격 거리가 원하는 만큼 조절되지 않는 경우에 액정표시장치용 기판의 모서리 부분이 뜯어지거나 파손되는 문제가 발 생하게 된다.
특히, 액정표시장치용 기판의 모서리 부분에는 공정 진행시 위치 관계를 정렬하기 위한 얼라인 마크(align mark)가 위치하게 되므로, 얼라인 마크가 뜯어지거나 파손되어 공정이 진행되지 못하는 문제가 발생하게 된다.
전술한 바와 같은 문제를 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 모서리 부분의 뜯김이나 파손 없이 다양한 크기의 액정표시장치용 기판을 이송할 수 있는 로봇암을 포함하는 기판이송장치 및 이송방법을 제공함에 있다.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 일방향으로 연장된 하나 이상의 지지대와; 상기 지지대와 연결되고, 기판이 놓여지고, 상기 지지대가 연장된 방향을 따라 이동가능한 제 1, 2 놓임부를 포함하며, 상기 기판의 모서리 부분은 상기 제 1, 2 놓임부의 바깥에 위치하는 기판이송장치용 로봇암을 제공한다.
이때, 상기 지지대는 제 1, 2 지지대로 이루어지고, 상기 제 1, 2 놓임부는 상기 제 1, 2 지지대 사이에 위치하며, 상기 제 1, 2 놓임부는 돌출된 형상의 돌출단을 가지고, 상기 돌출단에 상기 기판이 놓여진다.
또한, 본 발명은 일방향으로 연장된 하나 이상의 지지대와, 상기 지지대와 연결되고 기판이 놓여지고 상기 지지대가 연장된 방향을 따라 이동가능한 제 1, 2 놓임부를 각각 갖고, 상기 기판을 사이에 두고 서로 마주보며 대칭되는 제 1, 2 로봇암과; 상기 제 1, 2 로봇암과 연결되고, 상기 제 1, 2 로봇암의 이동을 제어하는 몸체을 포함하며, 상기 기판의 모서리 부분은 상기 제 1, 2 놓임부의 바깥에 위치하는 기판이송장치를 제공한다.
여기서, 상기 지지대는 제 1, 2 지지대로 이루어지고, 상기 제 1, 2 놓임부는 상기 제 1, 2 지지대 사이에 위치하며, 상기 제 1, 2 놓임부는 돌출된 형상의 돌출단을 가지고, 상기 돌출단에 상기 기판이 놓여진다.
또한, 본 발명은 기판의 크기에 따라 기판이 놓여지는 제 1 및 2 놓임부 사이와 제 3 및 4 놓임부 사이의 거리를 조절하는 단계와; 상기 제 1, 2, 3, 4 놓임부에 상기 기판을 올려놓고 이동하는 단계와; 상기 기판을 상기 상기 제 1, 2, 3, 4 놓임부에서 내려놓는 단계를 포함하며, 상기 기판의 모서리 부분은 상기 제 1, 2, 3, 4 놓임부의 바깥에 위치하는 기판이송방법을 제공한다.
이때, 상기 기판을 상기 제 1, 2, 3, 4 놓임부에 올려놓는 단계는, 상기 제 1 및 2 놓임부와 상기 제 3 및 4 놓임부 사이의 거리를 좁혀서 상기 기판을 올려놓는 단계이며, 상기 기판을 상기 제 1, 2, 3, 4 놓임부에서 내려놓는 단계는, 상기 제 1 및 2 놓임부와 상기 제 3 및 4 놓임부 사이의 거리를 넓혀서 상기 기판을 내려놓는 단계이다.
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이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 기판의 이송장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 이송장치의 로봇암을 도시한 도면이다.
도시한 바와 같이, 액정표시장치용 기판(200)의 이송장치(300)는 몸체(310)와, 몸체(310)와 연결되고 서로 마주보는 제 1, 2 로봇암(330a, 330b)을 포함한다.
몸체(310)는 제 1, 2 로봇암(330a, 330b)을 지지하고, 제 1, 2 로봇암(330a, 330b)을 제어하게 된다. 몸체(310)는 제 1, 2 로봇암(330a, 330b) 사이의 이격거리(A)를 조절하고, 제 1, 2 로봇암(330a, 330b) 각각의 놓임부(351a, 351b, 352a, 352b)의 수평 이동을 조절하게 된다.
제 1 로봇암(330a)은 일방향으로 연장된 제 1, 2 지지부(341a, 342a)와, 제 1, 2 지지부(341a, 342a)에 연결되고 액정표시장치용 기판(200)이 놓여지는 제 1, 2 놓임부(351a, 352a)로 이루어진다.
제 1, 2 지지부(341a, 342a)는 일방향을 따라 연장되어 있다. 제 1, 2 놓임부(351a, 352a)는 제 1, 2 지지부(341a, 342a) 사이에 위치하여 제 1, 2 지지부(341a, 342a)의 길이 방향을 따라 자유롭게 이동이 가능하다. 제 1, 2 놓임부(351a, 352a)의 하단에는 돌출된 형상의 돌출단(353)이 형성되어 있다. 돌출단(353)에 액정표시장치용 기판(200)이 놓여지게 된다.
제 2 로봇암(330b)은 제 1 로봇암(330a)과 서로 대칭되는 구조를 갖게 된다. 제 2 로봇암(330b)은 일방향으로 연장된 제 3, 4 지지부(341b, 342b)와, 제 3, 4 지지부(341b, 342b)에 연결되고 액정표시장치용 기판(200)이 놓여지는 제 3, 4 놓임부(351b, 352b)로 이루어진다. 제 3, 4 놓임부(351b, 352b)의 하단에는 돌출된 형상의 돌출단(353)이 형성되어 있다. 돌출단(353)에 액정표시장치용 기판(200)이 놓여지게 된다.
도 5와 6은 본 발명의 실시예에 따른 로봇암을 사용하여 액정표시장치용 기판을 이송하는 것을 도시한 도면이다.
도시한 바와 같이, 서로 마주보는 제 1, 2 로봇암(330a, 330b)이 이격되어 위치하고, 제 1, 2 로봇암(330a, 330b) 각각의 제 1 및 2 놓임부(351a, 352a)와 제 3 및 4 에 놓임부(351b, 352b)에 액정표시장치 기판(200)이 놓여지게 된다.
액정표시장치용 기판(200)을 놓임부(351a, 351b, 352a, 352b)에 올리놓거나 내려놓기 위해서 제 1, 2 로봇암(330a, 330b)의 이격 거리(A)는 조절된다. 액정표시장치용 기판(200)을 놓임부(351a, 351b, 352a, 352b)에 올려놓기 위해서 제 1, 2 로봇암(330a, 330b)의 이격 거리(A)는 좁아지게 되고, 액정표시장치용 기판(200)을 내려놓기 위해서 제 1, 2 로봇암(330a, 330b)의 이격 거리(A)는 넓어지게 된다. 제 1, 2 로봇암(330a, 330b) 사이의 이격 거리(A)는 몸체(도 3의 310 참조)에 의해 제 어된다.
먼저, 도 5에 도시한 바와 같이, 제 1 면적(S1)을 갖는 제 1 액정표시장치용 기판(200a)을 이송하기 위해 제 1 및 2 놓임부(351a, 352a)와 제 3 및 4 놓임부(351b, 352b) 사이의 거리는 조절되는데, 제 1, 2 놓임부(351a, 352a) 사이와 제 3, 4 놓임부(351b, 352b) 사이는 각각 L1 만큼의 거리로 이격된다. 특히, 제 1 액정표시장치용 기판(200a)의 모서리 부분(E)이 놓임부(351a, 351b, 352a, 352b)의 바깥에 위치하도록 놓임부(351a, 351b, 352a, 352b) 사이의 거리는 조절되는데, 놓임부(351a, 351b, 352a, 352b)에 놓여지는 액정표시장치용 기판(200a)의 변의 길이가 놓임부(351a, 351b, 352a, 352b)의 바깥쪽 끝단 사이의 거리에 비해 길도록 조절된다.
다음으로, 도 6에 도시한 바와 같이, 제 1 면적(도 5의 S1 참조)보다 큰 제 2 면적(S2)을 갖는 제 2 액정표시장치용 기판(200b)을 이송하기 위해 놓임부(351a, 351b, 352a, 352b)의 거리는 조절된다. 제 2 액정표시장치용 기판(200b)의 제 2 면적(S2)은 제 1 액정표시장치용 기판(도 5의 200a 참조)의 제 1 면적보다 크기 때문에, 제 1, 2 놓임부(351a, 352a) 사이와 제 3, 4 놓임부(351b, 352b) 사이는 L1보다 큰 L2 만큼의 거리로 이격된다. 특히, 제 2 액정표시장치용 기판(200b)의 모서리 부분(E)이 놓임부(351a, 351b, 352a, 352b)의 바깥에 위치하도록 놓임부(351a, 351b, 352a, 352b) 사이의 거리는 조절된다.
본 발명은 위와 같이 액정표시장치용 기판의 크기에 따라 놓임부 사이의 거리를 조절하게 된다. 특히, 액정표시장치용 기판의 모서리가 놓임부 바깥에 위치하 도록 놓임부 사이의 거리는 조절된다.
따라서, 본 발명은 액정표시장치용 기판의 모서리 부분이 뜯거지거나 파손되지 않고 다양한 크기의 액정표시장치용 기판을 이송할 수 있게 된다.
한편, 본 발명은 액정표시장치용 기판 뿐만 아니라, 박막이 증착 공정이 진행되는 기판에 모두 적용할 수 있다.
전술한 바와 같은 본 발명의 실시예는 본 발명의 일예로서, 이에 대한 다양한 변형이 가능하다. 이와 같은 변형이 본 발명의 정신에 포함되는 범위 내에서, 본 발명의 권리 범위에 속한다 함은 당업자에게 자명한 사실이다.
본 발명은 액정표시장치용 기판의 크기에 따라 놓임부 사이의 거리를 조절하게 된다. 특히, 액정표시장치용 기판의 모서리가 놓임부 바깥에 위치하도록 놓임부 사이의 거리는 조절된다.
따라서, 본 발명은 액정표시장치용 기판의 모서리 부분이 뜯거지거나 파손되지 않고 다양한 크기의 액정표시장치용 기판을 이송할 수 있는 효과가 있다.

Claims (10)

  1. 일방향으로 연장된 하나 이상의 지지대와;
    상기 지지대와 연결되고, 기판이 놓여지고, 상기 지지대가 연장된 방향을 따라 이동가능한 제 1, 2 놓임부
    를 포함하며, 상기 기판의 모서리 부분은 상기 제 1, 2 놓임부의 바깥에 위치하는 기판이송장치용 로봇암.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지대는 제 1, 2 지지대로 이루어지고, 상기 제 1, 2 놓임부는 상기 제 1, 2 지지대 사이에 위치하는 기판이송장치용 로봇암.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1, 2 놓임부는 돌출된 형상의 돌출단을 가지고, 상기 돌출단에 상기 기판이 놓여지는 기판이송장치용 로봇암.
  4. 일방향으로 연장된 하나 이상의 지지대와, 상기 지지대와 연결되고 기판이 놓여지고 상기 지지대가 연장된 방향을 따라 이동가능한 제 1, 2 놓임부를 각각 갖고, 상기 기판을 사이에 두고 서로 마주보며 대칭되는 제 1, 2 로봇암과;
    상기 제 1, 2 로봇암과 연결되고, 상기 제 1, 2 로봇암의 이동을 제어하는 몸체
    을 포함하며, 상기 기판의 모서리 부분은 상기 제 1, 2 놓임부의 바깥에 위치하는 기판이송장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 지지대는 제 1, 2 지지대로 이루어지고, 상기 제 1, 2 놓임부는 상기 제 1, 2 지지대 사이에 위치하는 기판이송장치.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1, 2 놓임부는 돌출된 형상의 돌출단을 가지고, 상기 돌출단에 상기 기판이 놓여지는 기판이송장치.
  7. 기판의 크기에 따라 기판이 놓여지는 제 1 및 2 놓임부 사이와 제 3 및 4 놓임부 사이의 거리를 조절하는 단계와;
    상기 제 1, 2, 3, 4 놓임부에 상기 기판을 올려놓고 이동하는 단계와;
    상기 기판을 상기 상기 제 1, 2, 3, 4 놓임부에서 내려놓는 단계
    를 포함하며, 상기 기판의 모서리 부분은 상기 제 1, 2, 3, 4 놓임부의 바깥에 위치하는 기판이송방법.
  8. 삭제
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 기판을 상기 제 1, 2, 3, 4 놓임부에 올려놓는 단계는, 상기 제 1 및 2 놓임부와 상기 제 3 및 4 놓임부 사이의 거리를 좁혀서 상기 기판을 올려놓는 단계인 기판이송방법.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 기판을 상기 제 1, 2, 3, 4 놓임부에서 내려놓는 단계는, 상기 제 1 및 2 놓임부와 상기 제 3 및 4 놓임부 사이의 거리를 넓혀서 상기 기판을 내려놓는 단계인 기판이송방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR19990081018A (ko) * 1998-04-24 1999-11-15 윤종용 액정 표시 장치용 유리 기판 이송 장치의 유리 기판 탑재부
KR20030093999A (ko) * 2002-05-30 2003-12-11 동경 엘렉트론 주식회사 기판반송장치 및 기판처리장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980087322A (ko) * 1997-05-23 1998-12-05 이시다 아키라 기판반송장치
KR19990081018A (ko) * 1998-04-24 1999-11-15 윤종용 액정 표시 장치용 유리 기판 이송 장치의 유리 기판 탑재부
KR20030093999A (ko) * 2002-05-30 2003-12-11 동경 엘렉트론 주식회사 기판반송장치 및 기판처리장치

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