JP2003505690A - フォイル漏洩探知室 - Google Patents

フォイル漏洩探知室

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Abstract

(57)【要約】 本発明は、互いにヒンジ結合されたフレーム(2,3)と、該フレーム(2,3)に締込まれたフォイル(4,5)と、該フォイル(4,5)によって形成されたテスト室(8)と、前記フレーム(2,3)の間にあるシール装置(12,13,18)と、少なくとも1つの、有利には複数の、前記両方のフレーム(2,3)の少なくとも一方に設けられた、真空ポンプ(15,16,22)の入口に接続可能な孔(7)とを有するフォイル漏洩探知室に関する。前記フォイル漏洩探知室(1)の閉鎖動作を改善するためには、テスト室(8)とは無関係に排気可能な縁領域(14)が設けられ、この縁領域(14)に前記孔(7)が開口させられている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】 本発明は、互いにヒンジ結合されたフレームと、該フレームに締込まれたフォ
イルと、該フォイルによって形成されたテスト室と、前記フレームの間にあるシ
ール装置と、少なくとも1つの、有利には複数の、前記両方のフレームの少なく
とも一方に設けられた、真空ポンプの入口に接続可能な孔とを有するフォイル漏
洩探知室に関する。
【0002】 前記形式のフォイル漏洩探知室はDE−A−19642099号により公知で
ある。このフォイル漏洩探知室は、通常の手段(真空ポンプ、テストガスセンサ
、制御手段等)を有する漏洩探知装置の構成部分である。
【0003】 当該形式の漏洩探知装置においては、両方のフレームはほぼ水平に配置されて
いる。上方のフレームはヒンジに向き合った側にハンドグリップを備えている。
【0004】 フォイルにより形成されたテスト室を開くためには、上方のフレームが持上げ
られる。次いで漏洩について探知する必要のある試験品が下方のフォイルの上に
置かれる。テスト室の閉鎖は上方のフレームを下降させること、しかもフレーム
の間にあるシールが室の真空密な閉鎖を保証するまで上方のフレームを下降させ
ることで行なわれる。
【0005】 試験品は通常は、フォイルの伸びを多かれ少なかれ必要とする体積を有してい
る。このためには、上方のフレームの下降運動とは反対側に向けられ、テスト室
における負圧が十分に低くなってはじめて相殺される力を作用させることが必要
である。前記負圧に達するまで、フォイル探知装置を取扱う人は上方のフレーム
を固持しなければならない。この時間は、テスト室の弾性的な壁がまず撓み、次
いでフォイルが試験品に支えられ、まだ存在する自由空間がほぼ最小容積をとっ
てはじめて所定の負圧が発生するために、比較的に長い。
【0006】 当該形式の比較的に大きなフォイル探知装置の場合には、上方のフレームの閉
鎖運動とは反対に向けられた力を発揮するばねを備えることが公知である。この
ようなばねによっては、上方のフレームが注入の間、自動的に開くようにするか
もしくはこの時点で必要なフレームの開放運動が少なくとも助成されるようにす
ることが目的とされている。閉鎖運動とは反対に向けられた前記第2の力に基づ
き、上方のフレームを固持するために必要である、テスト室が確実に閉じられる
までに費やされる時間はさらに長くなる。
【0007】 本発明の課題は、当該形式のフォイル漏洩探知室の閉鎖動作を改善することで
ある。
【0008】 前記課題は請求項1の特徴によって解決された。
【0009】 本来のテスト室から独立した、排気可能な、比較的に容積の小さな縁領域が存
在することにより、この縁領域には、可能のフレームに向かって下降させられた
上方のフレームを固持するのに必要な負圧がきわめて迅速に発生するようになっ
た。テスト室自体における圧力はこの時点ではまだ著しく低減させられている必
要はない。
【0010】 本発明の別の利点と詳細は図1と図2とに概略的に示した実施例に基づき説明
することにする。
【0011】 実施例 図1と図2とにおいては、フォイル漏洩探知室は符号1で、両方のフレームは
符号2,3で、フレーム2,3に締込まれたフォイルは符号4,5で、上方のフ
レーム2に設けられたハンドグリップは符号6で、フレーム2,3の一方、有利
には下方のフレーム3における、真空ポンプに接続可能な孔は符号7で、本来の
テスト室は符号8で、有利には下方のフォイル5に設けられた、真空ポンプに接
続可能な接続部は符号9で、テスト室8内にある試験品は符号11で示されてい
る。
【0012】 図1の構成では、フレーム2,3はダブルシール装置を備えている。このダブ
ルシール装置は2つの同心的なシールリング12,13と中間室14とを有して
いる。この中間室14内には孔7が開口しているので中間室14は排気可能な縁
領域を形成している。
【0013】 孔7と接続部9とにはそれぞれ1つの真空ポンプ15,16が接続されている
。上方のフレーム2が下方のフレーム3の上へ下降させられたあとで、排気プロ
セスは開始する。中間室14のきわめて小さい容積に基づき、中間室14におい
てはきわめて迅速に、上方のフレーム2を固持する負圧が達成される。
【0014】 図2の実施例ではフレーム2,3の間には1つのシールリップ18しか存在し
ていない。付加的に上方のフレーム2は環状の突出部19を備えている。この突
出部19は上方のフレーム2に締込まれたフォイル4を下方のフレーム3に向か
って変形させる。突出部19の環状の自由な縁部21は、上方のフレーム2が下
降させられた状態で、フォイル4,5が互いに接触するような部位を有している
。これによってシールリップ18とフォイル4,5相互間の接触ラインとの間に
排気可能な所望の縁領域14が形成される。
【0015】 図2の実施例では、1つの真空ポンプ22しか設けられていない。真空ポンプ
22の入口は両方の導管23,24を介して孔7もしくは接続部9と接続されて
いる。導管23,24の各々は弁25,26を備えている。これによってまず、
縁領域14にて十分な負圧を生ぜしめるために排気可能な縁領域14が排気され
、次いでテスト室8の排気が行なわれるようになる。
【0016】 図2に示された解決策の重要な利点は、すでに完成したフォイル漏洩探知室1
のフレーム2又は3に突出部19をあとから設けることができることである。新
しいフォイル漏洩探知室1では、突出部19はフレーム2,3の一方と一体に結
合された突出成形部であると有利である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 ダブルシール装置を有する構成の部分断面図。
【図2】 フォイルの一方に作用する突出部を有する構成の部分断面図。
【符号の説明】
1 フォイル漏洩探知室、 2,3 フレーム、 4,5 フォイル、 6
ハンドグリップ、 7 孔、 8 テスト室、 9 接続部、 11 試験品、
12,13 シールリング、 14 中間室、 15,16 真空ポンプ、
18 シールリップ、 19 突出部、 21 縁部、 22 真空ポンプ、
23,24 導管、 25,26 弁

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 互いにヒンジ結合されたフレーム(2,3)と、該フレーム
    (2,3)に締込まれたフォイル(4,5)と、該フォイル(4,5)によって
    形成されたテスト室(8)と、前記フレーム(2,3)の間にあるシール装置(
    12,13,18)と、少なくとも1つの、有利には複数の、前記両方のフレー
    ム(2,3)の少なくとも一方に設けられた、真空ポンプ(15,16,22)
    の入口に接続可能な孔(7)とを有するフォイル漏洩探知室において、前記テス
    ト室(8)とは無関係に排気可能な縁領域(14)が設けられており、該縁領域
    (14)に前記孔(7)が開口していることを特徴とする、フォイル漏洩探知室
  2. 【請求項2】 前記フレーム(2,3)の間に2つの同心的なシール装置(
    12,13)があり、該シール装置(12,13)の間の中間室が前記縁領域(
    14)を形成している、請求項1記載のフォイル漏洩探知室。
  3. 【請求項3】 前記フレーム(2,3)の一方が内側の、環状の突出部(1
    9)を備えており、該突出部(19)の環状の縁(21)が所属のフォイル(4
    ,5)に接触し、前記フレーム(2,3)が互いに相上下し定置している状態で
    両方のフォイル(4,5)が互いに接触する部位を有している、請求項1記載の
    フォイル漏洩探知室。
  4. 【請求項4】 前記突出部(19)が前記フレーム(2,3)と一体に結合
    された突出成形部として構成されている、請求項3記載のフォイル漏洩探知室。
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WO (1) WO2001007887A1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101402994B1 (ko) 2014-02-28 2014-06-03 주식회사 나노하이테크 진공 리크 검사장치
JP2015506472A (ja) * 2012-01-03 2015-03-02 インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングInficon GmbH 非剛体の被試験物の漏れを検出する方法
JP2017529534A (ja) * 2014-09-25 2017-10-05 インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングInficon GmbH 保持プロファイル付フィルムチャンバ

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10353033A1 (de) * 2003-11-13 2005-06-09 Inficon Gmbh Verfahren zum Betrieb eines Wasserstoff-Testlecks
DE102011086486B4 (de) * 2011-11-16 2023-01-19 Inficon Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur schnellen Lecksuche an formsteifen/schlaffen Verpackungen ohne Zusatz von Prüfgas
CN102494852B (zh) * 2011-12-06 2014-05-28 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 一种校准氦质谱检漏仪的方法
DE102013219464A1 (de) * 2013-09-26 2015-03-26 Inficon Gmbh Evakuierung einer Folienkammer
DE102014218399A1 (de) 2014-09-15 2016-03-17 Inficon Gmbh Folienkammer mit Messvolumen zur Grobleckerkennung
CN104330222A (zh) * 2014-11-21 2015-02-04 山西新华化工有限责任公司 面具水下气密检测系统
DE102014224799A1 (de) * 2014-12-03 2016-06-09 Inficon Gmbh Dichtheitsprüfung mit Trägergas in Folienkammer
CN105241619A (zh) * 2015-10-30 2016-01-13 南京化工特种设备检验检测研究所 压力容器泄露的检测装置
DE102016201359A1 (de) 2016-01-29 2017-08-03 Inficon Gmbh Lecksuche an einem flexiblen Prüfling in einer Folienkammer
DE102017201004A1 (de) * 2017-01-23 2018-07-26 Inficon Gmbh Folienkammer mit Doppelfolie
DE102018201313A1 (de) * 2018-01-29 2019-08-01 Inficon Gmbh Verfahren zur Leckprüfung mit einer Folienkammer mit belüftetem Messvolumen
WO2019224475A2 (fr) * 2018-05-22 2019-11-28 Gaztransport Et Technigaz Dispositif de detection de fuite
US10914652B2 (en) * 2018-05-31 2021-02-09 Wcr, Inc. Leak detection for heat exchanger plate
US11624672B2 (en) * 2020-06-23 2023-04-11 Ateq Apparatus and method for automatic leak detection
DE102021100147A1 (de) * 2021-01-07 2022-07-07 Inficon Gmbh Folienkammer mit Trägergaszufuhr und Verfahren
EP4080183B1 (en) * 2021-04-19 2023-10-25 Sartorius Stedim Fmt Sas Sealing device and method for detecting a possible gas leak at a fitting connection for biopharmaceutical product

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50109785A (ja) * 1974-02-04 1975-08-29
JPS50128707U (ja) * 1974-04-07 1975-10-22
JPS5983096A (ja) * 1982-11-02 1984-05-14 木村化工機株式会社 放射性物質輸送容器
JPS6090649U (ja) * 1983-11-27 1985-06-21 株式会社島津製作所 リ−クテスト装置
JPH03100383A (ja) * 1989-09-11 1991-04-25 Anelva Corp クライオポンプおよび真空排気装置
JPH0697094A (ja) * 1992-09-11 1994-04-08 Sumitomo Metal Ind Ltd 気相成長装置
JPH0640571U (ja) * 1992-11-06 1994-05-31 石川島播磨重工業株式会社 真空用フランジ継手
JPH0659466U (ja) * 1993-01-28 1994-08-19 株式会社神戸製鋼所 真空成膜装置用仕切弁
JPH07201754A (ja) * 1993-12-28 1995-08-04 Ebara Corp 半導体製造装置
JPH10185752A (ja) * 1996-12-26 1998-07-14 Teijin Seiki Co Ltd 密封体の漏れ検査方法および装置
JP2001508536A (ja) * 1996-10-12 2001-06-26 ライボルト ヴァクーム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 包装材のシール性の検査

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3027753A (en) * 1960-04-29 1962-04-03 Gen Electric Leak detection device
US3572096A (en) * 1968-12-23 1971-03-23 North American Rockwell Method and apparatus for inspecting sealed packages for leaks
US3813923A (en) * 1972-05-23 1974-06-04 Universal Sales Eng Inc Adaptive fixture for leak testing of containers
US3884818A (en) * 1973-09-17 1975-05-20 Hitachi Medical Corp Film cassette for radiographic apparatus
DE2348319A1 (de) 1973-09-26 1975-04-03 Hitachi Medical Corp Filmkassette fuer ein radiographisches geraet
US3864960A (en) * 1973-10-02 1975-02-11 Nasa Vacuum leak detector
DE2533830A1 (de) * 1975-07-29 1977-02-10 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Einrichtung zur lecksuche an prueflingen mit leicht verformbaren wandungen
JPS54158346A (en) * 1978-06-05 1979-12-14 Hitachi Ltd Welding method
JPS56161539A (en) * 1980-05-16 1981-12-11 Fujitsu Ltd Feeding method for photoresist solution
NL8400398A (nl) * 1984-02-08 1985-09-02 Product Suppliers Ag Lekdetectie.
US4584877A (en) * 1984-06-07 1986-04-29 Semyon Brayman Method and fixture for leak detection
FR2577164B1 (fr) * 1985-02-12 1987-05-29 Flonic Sa Procede de realisation de membranes synthetiques pour compteur a gaz et compteur a gaz comportant une membrane obtenue par la mise en oeuvre dudit procede
US4934180A (en) * 1986-06-26 1990-06-19 Benthos, Inc. Testing container seals
US4774830A (en) * 1986-06-26 1988-10-04 Benthos, Inc. Testing container seals
JPS63215932A (ja) * 1987-03-04 1988-09-08 Toshiba Corp 漏洩検出装置
US5199296A (en) * 1989-01-27 1993-04-06 Martin Lehmann Method for reducing test cycle time and for improving measuring accuracy at a leak testing process
FR2666440B1 (fr) * 1990-08-28 1992-12-11 Framatome Sa Procede de controle de la mise en place d'un element transportable et de l'etancheite de la liaison avec une structure fixe et utilisation de ce procede.
FR2666654B1 (fr) * 1990-09-12 1994-12-23 Cit Alcatel Dispositif de controle d'etancheite d'une piece.
US5111684A (en) * 1990-11-21 1992-05-12 Pack Systems Method and apparatus for leak testing packages
US5513516A (en) * 1992-05-01 1996-05-07 Visi-Pack, Inc. Method and apparatus for leak testing a container
FR2703782B1 (fr) * 1993-04-08 1995-05-12 Cit Alcatel Installation de détection de fuites pour le contrôle d'étanchéité d'emballages scellés.
US5894225A (en) 1996-10-31 1999-04-13 Coffin; Harry S. Test fixture
DE19721845A1 (de) * 1997-05-26 1998-12-03 Peter Maeckel Belastungsvorrichtung zur Materialprüfung
JPH11156896A (ja) * 1997-11-28 1999-06-15 Nok Corp 射出成形方法及び射出成形装置
JPH11230352A (ja) * 1998-02-10 1999-08-27 Nec Corp 密閉容器及びその試験方法
US6321589B1 (en) * 1999-06-25 2001-11-27 Instrotek, Inc. Methods and apparatus for sealing a porous material sample for density determination using water displacement methods and associated surface conformal resilient compressible bags

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50109785A (ja) * 1974-02-04 1975-08-29
JPS50128707U (ja) * 1974-04-07 1975-10-22
JPS5983096A (ja) * 1982-11-02 1984-05-14 木村化工機株式会社 放射性物質輸送容器
JPS6090649U (ja) * 1983-11-27 1985-06-21 株式会社島津製作所 リ−クテスト装置
JPH03100383A (ja) * 1989-09-11 1991-04-25 Anelva Corp クライオポンプおよび真空排気装置
JPH0697094A (ja) * 1992-09-11 1994-04-08 Sumitomo Metal Ind Ltd 気相成長装置
JPH0640571U (ja) * 1992-11-06 1994-05-31 石川島播磨重工業株式会社 真空用フランジ継手
JPH0659466U (ja) * 1993-01-28 1994-08-19 株式会社神戸製鋼所 真空成膜装置用仕切弁
JPH07201754A (ja) * 1993-12-28 1995-08-04 Ebara Corp 半導体製造装置
JP2001508536A (ja) * 1996-10-12 2001-06-26 ライボルト ヴァクーム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 包装材のシール性の検査
JPH10185752A (ja) * 1996-12-26 1998-07-14 Teijin Seiki Co Ltd 密封体の漏れ検査方法および装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015506472A (ja) * 2012-01-03 2015-03-02 インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングInficon GmbH 非剛体の被試験物の漏れを検出する方法
KR101402994B1 (ko) 2014-02-28 2014-06-03 주식회사 나노하이테크 진공 리크 검사장치
JP2017529534A (ja) * 2014-09-25 2017-10-05 インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングInficon GmbH 保持プロファイル付フィルムチャンバ

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