JP2000204465A - カソ―ド室排気部シ―ル方法及びスパッタ装置 - Google Patents
カソ―ド室排気部シ―ル方法及びスパッタ装置Info
- Publication number
- JP2000204465A JP2000204465A JP11004763A JP476399A JP2000204465A JP 2000204465 A JP2000204465 A JP 2000204465A JP 11004763 A JP11004763 A JP 11004763A JP 476399 A JP476399 A JP 476399A JP 2000204465 A JP2000204465 A JP 2000204465A
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- JP
- Japan
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- cathode chamber
- chamber
- sealing
- exhaust
- bellows
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 メンテナンスを行う際には、作業者に排気配
管を着脱させる負担をかけずにカソード室を開閉でき、
真空引きまでできるようにしたカソード室排気部シール
方法及びスパッタ装置を提供する。 【解決手段】 ターゲット３を隔壁とした成膜室１とカ
ソード室２を有し、カソード室２を開閉動作して成膜室
１のメンテナンスを行う際に、カソード室排気用の配管
５は、着脱せずに、シール面をフローティングさせて排
気のシールを行う。排気用の配管をそのままにして、カ
ソード室の閉動作のみで真空シールを確実に行うことが
できる。
管を着脱させる負担をかけずにカソード室を開閉でき、
真空引きまでできるようにしたカソード室排気部シール
方法及びスパッタ装置を提供する。 【解決手段】 ターゲット３を隔壁とした成膜室１とカ
ソード室２を有し、カソード室２を開閉動作して成膜室
１のメンテナンスを行う際に、カソード室排気用の配管
５は、着脱せずに、シール面をフローティングさせて排
気のシールを行う。排気用の配管をそのままにして、カ
ソード室の閉動作のみで真空シールを確実に行うことが
できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ターゲットを隔壁
とした成膜室とカソード室を有し、このカソード室を開
閉して成膜室のメンテナンスを行うスパッタ装置におけ
るカソード室排気部シール方法及びスパッタ装置に関す
るものである。
とした成膜室とカソード室を有し、このカソード室を開
閉して成膜室のメンテナンスを行うスパッタ装置におけ
るカソード室排気部シール方法及びスパッタ装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のスパッタ装置において、カソード
室の排気配管部のシール方法について図３を参照して説
明する。
室の排気配管部のシール方法について図３を参照して説
明する。
【０００３】図３において、２１は成膜室、２２はカソ
ード室であり、両室２１，２２はターゲット２３を隔壁
として配置される。そして、前記カソード室２２には排
気配管２４が設けられている。
ード室であり、両室２１，２２はターゲット２３を隔壁
として配置される。そして、前記カソード室２２には排
気配管２４が設けられている。
【０００４】このような従来の構成において、成膜室２
１をメンテナンスする際には、排気配管２４をカソード
室２２から一旦切り離した上で、カソード室２２を開
く。逆にメンテナンスが終わり元に戻す場合は、カソー
ド室２２を閉じた後、このカソード室２２に排気配管２
４を取り付け、真空引きを行う。
１をメンテナンスする際には、排気配管２４をカソード
室２２から一旦切り離した上で、カソード室２２を開
く。逆にメンテナンスが終わり元に戻す場合は、カソー
ド室２２を閉じた後、このカソード室２２に排気配管２
４を取り付け、真空引きを行う。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の方法では、カソード室２２を開閉Ｂしてメンテナン
スを行う際に、一回一回排気配管２４を着脱しなければ
ならず、作業者に負担を与えるという問題があった。ま
た、作業者のミスで排気配管２４を取り外すのをうっか
り忘れてカソード室２２を開けた場合、装置を破損させ
る恐れがあるという問題があった。
来の方法では、カソード室２２を開閉Ｂしてメンテナン
スを行う際に、一回一回排気配管２４を着脱しなければ
ならず、作業者に負担を与えるという問題があった。ま
た、作業者のミスで排気配管２４を取り外すのをうっか
り忘れてカソード室２２を開けた場合、装置を破損させ
る恐れがあるという問題があった。
【０００６】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、メン
テナンスを行う際には、作業者に排気配管を着脱させる
負担をかけずにカソード室を開閉し得、しかも真空引き
までできるようにしたカソード室排気部シール方法及び
スパッタ装置を提供することを目的としている。
テナンスを行う際には、作業者に排気配管を着脱させる
負担をかけずにカソード室を開閉し得、しかも真空引き
までできるようにしたカソード室排気部シール方法及び
スパッタ装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のカソード室排気
部シール方法は、ターゲットを隔壁とした成膜室とカソ
ード室を有し、カソード室を開閉動作して成膜室のメン
テナンスを行う際に、カソード室排気用の配管は、着脱
せずに、シール面をフローティングさせて排気のシール
を行うものである。
部シール方法は、ターゲットを隔壁とした成膜室とカソ
ード室を有し、カソード室を開閉動作して成膜室のメン
テナンスを行う際に、カソード室排気用の配管は、着脱
せずに、シール面をフローティングさせて排気のシール
を行うものである。
【０００８】この発明によれば、排気用の配管をそのま
まにして、カソード室の閉動作のみで真空シールを確実
に行うことができる。
まにして、カソード室の閉動作のみで真空シールを確実
に行うことができる。
【０００９】また、本発明のスパッタ装置は、成膜が行
われる成膜室と、マグネットを収納したカソード室と、
両室の隔壁となるターゲットと、排気配管部にてフロー
ティングが可能なベローズと、ターゲットとベローズ間
を封止するシールと、ベローズをカソード室シール面に
対して押圧させる弾性体と、ベローズの反押圧方向への
フローティングを制限するストッパーとを備えたもので
ある。
われる成膜室と、マグネットを収納したカソード室と、
両室の隔壁となるターゲットと、排気配管部にてフロー
ティングが可能なベローズと、ターゲットとベローズ間
を封止するシールと、ベローズをカソード室シール面に
対して押圧させる弾性体と、ベローズの反押圧方向への
フローティングを制限するストッパーとを備えたもので
ある。
【００１０】この発明によれば、排気用の配管を着脱せ
ずにカソード室の開閉動作が可能となり、排気用の配管
をそのままにして、カソード室の閉動作のみで真空シー
ルを確実に行うことができる。
ずにカソード室の開閉動作が可能となり、排気用の配管
をそのままにして、カソード室の閉動作のみで真空シー
ルを確実に行うことができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明のカソード室排気部
シール方法を適用したスパッタ装置の一実施の形態につ
いて、図１、図２を参照して説明する。
シール方法を適用したスパッタ装置の一実施の形態につ
いて、図１、図２を参照して説明する。
【００１２】図１において、１は成膜が行われる成膜
室、２はマグネットを収納したカソード室、３は両室
１，２の隔壁になっているターゲットである。ここでカ
ソード室２ならびにターゲット３は成膜室１に対して側
方に突出形成され、その突出部分においてターゲット３
には排気口４が形成されている。５はカソード室２を排
気する配管で、前記排気口４に対向して配置され、この
対向部分が排気配管部６に形成される。
室、２はマグネットを収納したカソード室、３は両室
１，２の隔壁になっているターゲットである。ここでカ
ソード室２ならびにターゲット３は成膜室１に対して側
方に突出形成され、その突出部分においてターゲット３
には排気口４が形成されている。５はカソード室２を排
気する配管で、前記排気口４に対向して配置され、この
対向部分が排気配管部６に形成される。
【００１３】ベローズ７の両端にはフランジ部８が溶接
されていて、その一端のフランジ部８は前記配管５に連
結され、また他端のフランジ部８は自由端となってい
る。９はターゲット３とベローズ７との間を封止するＯ
リング（シールの一例）で、前記ターゲット３の外面に
より形成されるカソード室シール面１０に当接可能とし
て、前記フランジ部８に配設されている。
されていて、その一端のフランジ部８は前記配管５に連
結され、また他端のフランジ部８は自由端となってい
る。９はターゲット３とベローズ７との間を封止するＯ
リング（シールの一例）で、前記ターゲット３の外面に
より形成されるカソード室シール面１０に当接可能とし
て、前記フランジ部８に配設されている。
【００１４】１１はベローズ７の自由端側のフランジ部
８を受けているレバー、１２はレバー１１の直線運動を
案内するリニアガイドである。１３はスプリング（弾性
体の一例）で、レバー１１を介してベローズ７のフラン
ジ部８をカソード室シール面１０に対して押圧させるよ
うに配設されている。１４はメカストッパー（ストッパ
ー）で、ベローズ７の反押圧方向へのフローティング
（本実施の形態では縮み）を制限する位置に配設されて
いる。なお、１５は成膜室１とターゲット３との間をシ
ールするＯリングである。
８を受けているレバー、１２はレバー１１の直線運動を
案内するリニアガイドである。１３はスプリング（弾性
体の一例）で、レバー１１を介してベローズ７のフラン
ジ部８をカソード室シール面１０に対して押圧させるよ
うに配設されている。１４はメカストッパー（ストッパ
ー）で、ベローズ７の反押圧方向へのフローティング
（本実施の形態では縮み）を制限する位置に配設されて
いる。なお、１５は成膜室１とターゲット３との間をシ
ールするＯリングである。
【００１５】以上の構成において、成膜室１をメンテナ
ンスするためには、カソード室２を開く（開閉Ａする）
必要があり、このときターゲット３はカソード室２と共
に動作する。ここでは、配管５を取り外すことなく（着
脱せずに）カソード室２を開けるようにするため、配管
５とベローズ７の排気配管部６をカソード室２の開く方
向とは反対方向に配置させる。
ンスするためには、カソード室２を開く（開閉Ａする）
必要があり、このときターゲット３はカソード室２と共
に動作する。ここでは、配管５を取り外すことなく（着
脱せずに）カソード室２を開けるようにするため、配管
５とベローズ７の排気配管部６をカソード室２の開く方
向とは反対方向に配置させる。
【００１６】次にカソード室２を閉じて、ターゲット３
とベローズ７をシールさせる方法について、図２を用い
て説明する。図２の（Ａ）に示すように、カソード室２
を開いている状態では、成膜室１に装着されているＯリ
ング１５よりも、ベローズ７側に装着しているＯリング
９が僅か出るようにしておく。
とベローズ７をシールさせる方法について、図２を用い
て説明する。図２の（Ａ）に示すように、カソード室２
を開いている状態では、成膜室１に装着されているＯリ
ング１５よりも、ベローズ７側に装着しているＯリング
９が僅か出るようにしておく。
【００１７】これによりカソード室２を閉じた時、まず
ターゲット３のカソード室シール面１０がＯリング９に
当たり、次に成膜室１のＯリング１５に当たるまで、ベ
ローズ７とスプリング１３はたわみ、以て図２の（Ｂ）
に示すように、カソード室シール面１０が成膜室１のＯ
リング１５に当たる。このとき、ベローズ７とスプリン
グ１３との二つの弾性力によって、Ｏリング９はターゲ
ット３のカソード室シール面１０に対して押圧される。
ターゲット３のカソード室シール面１０がＯリング９に
当たり、次に成膜室１のＯリング１５に当たるまで、ベ
ローズ７とスプリング１３はたわみ、以て図２の（Ｂ）
に示すように、カソード室シール面１０が成膜室１のＯ
リング１５に当たる。このとき、ベローズ７とスプリン
グ１３との二つの弾性力によって、Ｏリング９はターゲ
ット３のカソード室シール面１０に対して押圧される。
【００１８】ここで成膜室１とターゲット３の当たり面
間距離をａとし、ベローズ５とターゲット３の当たり面
間距離をｂとすると、一般的にａ＞ｂであり、メカスト
ッパ１４は、レバー１１との隙間がａ−ｂとなるように
調整しておく。
間距離をａとし、ベローズ５とターゲット３の当たり面
間距離をｂとすると、一般的にａ＞ｂであり、メカスト
ッパ１４は、レバー１１との隙間がａ−ｂとなるように
調整しておく。
【００１９】この状態で、成膜室１とカソード室２の真
空引きを行う場合を考える。通常ターゲット３に無理な
力をかけないようにするため、両室１，２を同時に真空
引きさせる。成膜室１側のＯリング１５、ベローズ７側
のＯリング９のいずれもターゲット３のカソード室シー
ル面１０に当接しているので、リークすることなく排気
することが可能である。そして真空度が高くなるにつれ
て、両者のＯリング９，１５はつぶされてくる。
空引きを行う場合を考える。通常ターゲット３に無理な
力をかけないようにするため、両室１，２を同時に真空
引きさせる。成膜室１側のＯリング１５、ベローズ７側
のＯリング９のいずれもターゲット３のカソード室シー
ル面１０に当接しているので、リークすることなく排気
することが可能である。そして真空度が高くなるにつれ
て、両者のＯリング９，１５はつぶされてくる。
【００２０】このとき、通常Ｏリング９のつぶし力はス
プリング１３の弾性力より大きく、成膜室１のＯリング
１５がつぶされてくると、ターゲット３はつぶされた
分、閉じ側に下がり、ベローズ７もその分たわみ始め
る。ａ−ｂだけたわむと、ベローズ７を支えるレバー１
１がメカストッパ１４に当たり、その瞬間からＯリング
９がつぶされる。
プリング１３の弾性力より大きく、成膜室１のＯリング
１５がつぶされてくると、ターゲット３はつぶされた
分、閉じ側に下がり、ベローズ７もその分たわみ始め
る。ａ−ｂだけたわむと、ベローズ７を支えるレバー１
１がメカストッパ１４に当たり、その瞬間からＯリング
９がつぶされる。
【００２１】ベローズ７の方は、メカストッパ１４に当
たるまでは、スプリング１３の弾性力のみでＯリング９
がつぶされていて、この間もターゲット３とのシール性
が確保されている。このようにして作業者の手を借りる
ことなく、ターゲット３側の閉動作で、図２の（Ｃ）に
示すように、カソード室２の排気配管部６を完全にシー
ルし、リークすることなく真空引きすることができる。
たるまでは、スプリング１３の弾性力のみでＯリング９
がつぶされていて、この間もターゲット３とのシール性
が確保されている。このようにして作業者の手を借りる
ことなく、ターゲット３側の閉動作で、図２の（Ｃ）に
示すように、カソード室２の排気配管部６を完全にシー
ルし、リークすることなく真空引きすることができる。
【００２２】上記した実施の形態において、ベローズ７
の反押圧方向へのフローティングを制限するメカストッ
パー１４は、たとえばねじ軸形式とすることで、その制
限位置を任意に調整することができる。
の反押圧方向へのフローティングを制限するメカストッ
パー１４は、たとえばねじ軸形式とすることで、その制
限位置を任意に調整することができる。
【００２３】
【発明の効果】本発明のカソード室排気部シール方法に
よれば、カソード室を開閉動作して成膜室のメンテナン
スを行う際に、カソード室排気用の配管は、着脱せず
に、シール面をフローティングさせて排気のシールを行
うものであり、排気用の配管をそのままにして、カソー
ド室の閉動作のみで真空シールを確実に行うことができ
る。
よれば、カソード室を開閉動作して成膜室のメンテナン
スを行う際に、カソード室排気用の配管は、着脱せず
に、シール面をフローティングさせて排気のシールを行
うものであり、排気用の配管をそのままにして、カソー
ド室の閉動作のみで真空シールを確実に行うことができ
る。
【００２４】また、本発明のスパッタ装置によれば、成
膜が行われる成膜室と、マグネットを収納したカソード
室と、両室の隔壁となるターゲットと、排気配管部にて
フローティングが可能なベローズと、ターゲットとベロ
ーズ間を封止するシールと、ベローズをカソード室シー
ル面に対して押圧させる弾性体と、ベローズの反押圧方
向へのフローティングを制限するストッパーとを備えて
いるので、排気用の配管を着脱せずにカソード室の開閉
動作が可能となり、排気用の配管をそのままにして、カ
ソード室の閉動作のみで真空シールを確実に行うことが
できる。
膜が行われる成膜室と、マグネットを収納したカソード
室と、両室の隔壁となるターゲットと、排気配管部にて
フローティングが可能なベローズと、ターゲットとベロ
ーズ間を封止するシールと、ベローズをカソード室シー
ル面に対して押圧させる弾性体と、ベローズの反押圧方
向へのフローティングを制限するストッパーとを備えて
いるので、排気用の配管を着脱せずにカソード室の開閉
動作が可能となり、排気用の配管をそのままにして、カ
ソード室の閉動作のみで真空シールを確実に行うことが
できる。
【図１】本発明のスパッタ装置の一実施形態の要部の概
略構成図である。
略構成図である。
【図２】同実施形態のカソード室排気配管部の動作及び
排気過程の説明図で、（Ａ）はカソード室を開いた状態
での要部の断面図、（Ｂ）はカソード室を閉じた状態で
の要部の断面図、（Ｃ）は真空引きした状態での要部の
断面図である。
排気過程の説明図で、（Ａ）はカソード室を開いた状態
での要部の断面図、（Ｂ）はカソード室を閉じた状態で
の要部の断面図、（Ｃ）は真空引きした状態での要部の
断面図である。
【図３】従来例のスパッタ装置の要部の概略構成図であ
る。
る。
１ 成膜室 ２ カソード室 ３ ターゲット ５ 配管 ６ 排気配管部 ７ ベローズ ９ Ｏリング（シール） １０ カソード室シール面 １１ レバー １３ スプリング（弾性体） １４ メカストッパー Ａ 開閉
Claims (2)
- 【請求項１】 ターゲットを隔壁とした成膜室とカソー
ド室を有し、カソード室を開閉動作して成膜室のメンテ
ナンスを行う際に、カソード室排気用の配管は、着脱せ
ずに、シール面をフローティングさせて排気のシールを
行うことを特徴とするカソード室排気部シール方法。 - 【請求項２】 成膜が行われる成膜室と、マグネットを
収納したカソード室と、両室の隔壁となるターゲット
と、排気配管部にてフローティングが可能なベローズ
と、ターゲットとベローズ間を封止するシールと、ベロ
ーズをカソード室シール面に対して押圧させる弾性体
と、ベローズの反押圧方向へのフローティングを制限す
るストッパーとを備えたことを特徴とするスパッタ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11004763A JP2000204465A (ja) | 1999-01-12 | 1999-01-12 | カソ―ド室排気部シ―ル方法及びスパッタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11004763A JP2000204465A (ja) | 1999-01-12 | 1999-01-12 | カソ―ド室排気部シ―ル方法及びスパッタ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000204465A true JP2000204465A (ja) | 2000-07-25 |
Family
ID=11592926
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11004763A Pending JP2000204465A (ja) | 1999-01-12 | 1999-01-12 | カソ―ド室排気部シ―ル方法及びスパッタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000204465A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111850516A (zh) * | 2020-07-28 | 2020-10-30 | 光驰科技(上海)有限公司 | 一种原子层沉积镀膜设备的上下片系统 |
-
1999
- 1999-01-12 JP JP11004763A patent/JP2000204465A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111850516A (zh) * | 2020-07-28 | 2020-10-30 | 光驰科技(上海)有限公司 | 一种原子层沉积镀膜设备的上下片系统 |
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