CN219956824U - 一种用于薄膜设备的检漏装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种用于薄膜设备的检漏装置，检漏装置包括真空检测部、密封盘以及密封圈，真空检测部与密封盘连接，用于对密封盘抽真空并检测真空值，密封盘与薄膜设备的腔体通过密封圈密封连接，密封盘上开设有一个或多个通孔，通孔与密封盘的中空腔体连通，密封圈设置于通孔的内部以密封通孔。本实用新型能够避免使用氦气检漏仪作为检测装置，简化了检漏方法，节省了检测时间，提高漏率检测效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体设备技术领域，特别是涉及一种用于薄膜设备的检漏装置。
背景技术
在半导体制造工艺中，硅片在薄膜设备中被加工出各种微观结构，通过薄膜引入非硅材料，以实现不同功能。在对薄膜设备进行保养或者维修的时候，常常需要对薄膜设备的腔体进行漏率检测。现有技术采用以下方式检漏：将检漏仪管道接口与机台进行连接，并启动检漏仪，对机台进行抽真空处理，然后用氦气枪对机台的各个部位进行逐个喷射，若显示屏出现数值偏大，则表明存在漏点，但这种方案存在以下弊端：氦气检漏仪本体笨重，且利用氮气检漏仪检漏要对机台进行拆解连接，这会导致机台产生二次泄露的风险；不易操作、检测效率低；此外，在机台外部喷射氦气，其他气体会对氦气造成干扰，造成检漏效果不佳。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于薄膜设备的检漏装置，以避免使用氦气检漏仪作为检测装置，简化了检漏方法，节省检测时间，提高漏率检测效率。
本实用新型的目的是采用以下的技术方案来实现的。依据本实用新型提出的一种用于薄膜设备的检漏装置，包括真空检测部、密封盘以及密封圈，所述真空检测部与所述密封盘连接，用于对所述密封盘抽真空并检测真空值，所述密封盘与所述薄膜设备的腔体通过所述密封圈密封连接，所述密封盘上开设有一个或多个通孔，所述通孔与所述密封盘的中空腔体连通，所述密封圈设置于所述通孔的内部以密封所述通孔。
在一些实施方式中，所述密封盘的底部开设有凹槽，所述密封圈设置于所述凹槽的内部，且部分所述密封圈伸出于所述凹槽，所述密封圈伸出于所述凹槽的部分与所述薄膜设备的腔体密封连接。
在一些实施方式中，所述通孔开设于所述凹槽的底壁。
在一些实施方式中，所述通孔开设于所述凹槽的侧壁。
在一些实施方式中，所述凹槽被构造成环形。
在一些实施方式中，所述真空检测部包括真空泵、真空压力表以及连接管，所述真空泵通过所述连接管与所述密封盘连接，用于对所述密封盘抽真空，所述真空压力表设置在所述连接管上，用于检测真空值。
在一些实施方式中，所述密封盘被构造成圆形。
在一些实施方式中，所述密封盘由金属材料制成。
本实用新型的有益效果至少包括：
本实用新型通过真空检测部与密封盘连接，用于对密封盘抽真空并检测真空值、密封盘与薄膜设备的腔体通过密封圈密封连接、密封盘上开设有一个或多个通孔且通孔与密封盘的中空腔体连通、密封圈设置于通孔的内部以密封通孔，能够使得密封盘通过密封圈形成封闭的腔体，若真空检测部对密封盘抽真空并检测所得的真空值小于标准值，则可证明密封圈出现破损或安装不到位，从而可检测密封盘与薄膜设备的腔体之间的密封性，从而能够避免使用氦气检漏仪作为检测装置，简化了检漏方法，节省了检测时间，提高漏率检测效率。
上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
附图说明
图1示出了根据本实用新型的一个实施例的用于薄膜设备的检漏装置的结构示意图；
图2示出了根据本实用新型的一个实施例的用于薄膜设备的检漏装置的密封盘、密封圈以及凹槽的部分结构示意图。
具体实施方式
为更进一步阐述本实用新型的技术手段，以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的一种用于薄膜设备的检漏装置的具体实施方式详细说明。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本申请的保护范围。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同；本文中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请；本申请的说明书和权利要求书及上述附图说明中的术语“包括”以及其任何变形。
在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。“多个”的含义是两个或两个以上。
如图1以及图2所示，本实用新型所述的用于薄膜设备的检漏装置包括真空检测部1、密封盘2以及密封圈3，其中，真空检测部1与密封盘2连接，用于对密封盘2抽真空并检测真空值，密封盘2盖合于薄膜设备的腔体的顶部，密封圈3设置于密封盘2的底部，密封圈3与密封盘2的底部以及腔体的顶部均接触，密封盘2与薄膜设备的腔体通过密封圈3密封连接。密封盘2上开设有一个或多个通孔211，密封盘2的内部被构造成中空，通孔211与密封盘2的中空腔体连通，部分密封圈3设置于通孔211的内部，以密封通孔211。密封盘2的形状可与腔体的形状适配，在一个或多个实施例中，密封盘2可被构造成圆形。在一个或多个实施例中，密封盘2由金属材料制成，例如不锈钢。
在一个或多个实施例中，密封盘2的底部开设有凹槽21，部分密封圈3设置于凹槽21的内部，且部分密封圈3伸出于凹槽21，密封圈3伸出于凹槽21的部分与薄膜设备的腔体密封连接。在一个或多个实施例中，凹槽21被构造成环形，凹槽21具有的深度应保证密封圈3可以紧密地塞入。
凹槽21具有底壁和侧壁，凹槽21的侧壁的第一端靠近腔体的顶部，凹槽21的侧壁的第二端与底壁连接，密封圈3与底壁和侧壁均接触。在一个或多个实施例中，凹槽21的底壁上开设有通孔211，通孔211与密封盘2的中空腔体连通，部分密封圈3设置于通孔211内部，以将通孔211密封。在一些其他实施例中，凹槽21的侧壁上开设有通孔211，通孔211与密封盘2的中空腔体连通，部分密封圈3设置于通孔211内部，以将通孔211密封。在一个或多个实施例中，凹槽21上开设两个通孔211，且两个通孔211关于环形凹槽21的对称轴对称。
在一个或多个实施例中，真空检测部1包括真空泵11、真空压力表12以及连接管13，真空泵11通过连接管13与密封盘2连接，用于对密封盘2抽真空，示例地，连接管13的第一端通过第一接头连接真空泵11，连接管13的第二端通过第二接头连接密封盘2，其中，第一接头可以为互锁接头，例如世伟洛克接头，第二接头可以为螺纹焊接头。在一个或多个实施例中，连接管3由金属材料制成，例如不锈钢。真空压力表12设置在连接管13上，用于检测真空值。
需要说明的是，在密封圈3安装到位且未破损的情况下，真空压力表12所检测的真空值为一标准值(示例地，-25ps i)，该标准值与密封盘2的中空腔体的大小相关，如果密封圈3安装不到位或出现破损，真空压力表12所检测的真空值小于标准值。
本实用新型通过真空检测部1与密封盘2连接，用于对密封盘2抽真空并检测真空值、密封盘2与薄膜设备的腔体通过密封圈3密封连接、密封盘2上开设有一个或多个通孔211且通孔211与密封盘2的中空腔体连通、密封圈3设置于通孔211的内部以密封通孔211，能够使得密封盘2通过密封圈3形成封闭的腔体，若真空检测部1对密封盘2抽真空并检测所得的真空值小于标准值，则可证明密封圈3出现破损或安装不到位，从而可检测密封盘2与薄膜设备的腔体之间的密封性，可直接更换密封圈3或重新安装密封圈3，若在更换密封圈3或重新安装密封圈3后，真空检测部1所测得的真空值仍小于标准值，则可证明密封盘2本身存在漏点，可直接更换密封盘2，从而能够避免使用氦气检漏仪作为检测装置，简化了检漏方法，节省了检测时间，提高漏率检测效率。
提供所公开的方面的以上描述以使本领域的任何技术人员能够实施本实用新型。对这些方面的各种修改对于本领域技术人员而言是显而易见的，并且在此定义的一般原理可以应用于其他方面而不脱离本实用新型的范围。因此，本实用新型不意图被限制到在此示出的方面，而是按照与在此公开的原理和新颖的特征一致的最宽范围。
Claims (8)
1.一种用于薄膜设备的检漏装置，其特征在于，包括真空检测部、密封盘以及密封圈，所述真空检测部与所述密封盘连接，用于对所述密封盘抽真空并检测真空值，所述密封盘与所述薄膜设备的腔体通过所述密封圈密封连接，所述密封盘上开设有一个或多个通孔，所述通孔与所述密封盘的中空腔体连通，所述密封圈设置于所述通孔的内部以密封所述通孔。
2.根据权利要求1所述的用于薄膜设备的检漏装置，其特征在于，所述密封盘的底部开设有凹槽，所述密封圈设置于所述凹槽的内部，且部分所述密封圈伸出于所述凹槽，所述密封圈伸出于所述凹槽的部分与所述薄膜设备的腔体密封连接。
3.根据权利要求2所述的用于薄膜设备的检漏装置，其特征在于，所述通孔开设于所述凹槽的底壁。
4.根据权利要求2所述的用于薄膜设备的检漏装置，其特征在于，所述通孔开设于所述凹槽的侧壁。
5.根据权利要求2所述的用于薄膜设备的检漏装置，其特征在于，所述凹槽被构造成环形。
6.根据权利要求1所述的用于薄膜设备的检漏装置，其特征在于，所述真空检测部包括真空泵、真空压力表以及连接管，所述真空泵通过所述连接管与所述密封盘连接，用于对所述密封盘抽真空，所述真空压力表设置在所述连接管上，用于检测真空值。
7.根据权利要求1所述的用于薄膜设备的检漏装置，其特征在于，所述密封盘被构造成圆形。
8.根据权利要求1所述的用于薄膜设备的检漏装置，其特征在于，所述密封盘由金属材料制成。
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