JP3883809B2 - ガラスチャンバを減圧する方法と装置 - Google Patents

Description

【０００１】
発明の分野
本発明は、減圧を行うためのポートを備えたガラス壁によって形成（即ち、閉鎖）されるチャンバを、減圧するための方法と装置とに関する。本発明は、真空ドアおよび／又は窓ガラスパネル（「真空ガラスパネル」）との関連において開発されたものであり、以後、本発明をこの関連において記載する。しかしながら、本発明は、たとえばテレビのブラウン管をはじめとする陰極線管、真空フラスコ、ソーラーコレクターパネル、パネル状ディスプレイ装置等の、より広範囲の用途を有する。
【０００２】
発明の背景
一実施形態である真空ガラスパネルにおいては、二枚の平面離間ガラスシートが対面関係に配置され、かつ、そのエッジ周りにおいて、一般にハンダガラスと称される低融点ガラスによって気密シールされている。両シート間の間隙（即ち、チャンバ）が減圧され、複数の小さな支柱のネットワークによって両シート間の対面分離状態が維持されている。典型的な状況においては、前記ガラスパネルは、約０．０２〜４．００平方メートルの表面積と、約２．０〜５．０ミリメートルのシート厚と、約０．１０〜０．２０ミリメートルの対面間隙とを備えたガラスシートから構成することができる。
【０００３】
ガラスパネルの減圧には（多くの他のガラス物の減圧に対して）特殊な問題があり、それは、減圧が行われる領域が最終製品において目立つものとなってはならず、かつ、その減圧処理が、大きな表面積又は直線寸法を有するパネルに適したものでなければならないという問題である。減圧処理は、ガラスシート及び支柱の表面領域からガス成分を除去するために、（減圧されるチャンバを減圧システムに接続した状態で）ガラスパネルをいわゆるベーキング炉の中で高温加熱する工程を必要とする。
【０００４】
前記減圧処理を実行する一つの方法においては、小さな排気チューブを、一方のガラスシートの外面に、このガラスシートを貫通延出する開口部と連通した状態で接続（即ち、シール）する。前記チューブとガラスシートとの間の接続は、ハンダガラスを使用して、通常、ハンダガラスによるエッジシールを両シート間に形成するのと同時に、形成される。ハンダガラスによるシールは通常約４５０℃の温度で行われるが、この温度は、ハンダガラスを溶解させ、かつ漏出の無い接続部を形成するためには十分に高いが、両ガラスシートに大きな変形が発生する可能性のある温度よりも低い温度である。
【０００５】
前記ハンダガラスシール工程の完了後、この構造体を通常は室温まで冷却する。その後、金属製の減圧ヘッドを前記排気チューブ上に配置し、遠隔に配置された真空ポンプに接続する。前記減圧ヘッドは、前記排気チューブを受け入れるように寸法設定された中央キャビティを有し、この中央キャビティに対して前記真空ポンプが接続される。また、この減圧ヘッドの中央キャビティの周囲にはＯリングを備える溝が設けられ、このＯリングは、減圧工程中、ガラスシートのチューブ周辺領域をシールするように構成されている。
【０００６】
前記ガラスパネル構造体と減圧ヘッドとを前記ベーキング炉に投入し、ここで、完成した構造体をガス抜き温度に晒しながら減圧が行われる。その後、前記排気チューブの外端部を、このチューブをその溶解温度まで加熱することによって閉じる。
【０００７】
上述した減圧工程の問題点は、減圧ヘッドとガラスシートとの間のシールを実行するためにＯリングを使用することから生じる。構造体の全ての部材を、前記ベーキング炉内において実質的に同じ温度にまで加熱しなければならないが、実質的にすべてのエラストマ性（即ち、ポリマー性）のＯリング材は、２００℃以上の温度で分解し始めるので、ガス抜きを行うことができる温度は厳しく制限される。その結果、そのようなより低い温度において適切なガス抜きを達成するために、処理を長時間にわたって継続しなければならない。これによって製造速度が制限され、製造コストが増加する。
【０００８】
上記方法のもう一つの問題は、二つの工程が必要なことにある。即ち、高温（約４５０℃）での工程と、チャンバの減圧を行う時のより低温（約２００℃）でのもう一つの工程とが必要なことにある。このような二段階の方法によって、ガラスパネル中に過度の機械的応力がかかることを避けるために温度変化が発生する速度を制限する必要性から、製造時間が更に増加する。更に、前記二段階の方法は、単一段階の方法が採用された場合と比較して、より大きなエネルギ消費量を必要とする。
【０００９】
発明の要旨
本発明は、減圧ヘッドとガラス面との間のシールを行うためにエラストマ材を使用する必要の無い、チャンバの減圧方法及び装置を提供するものである。
【００１０】
本発明は、広義においては、減圧ポートを備えるガラス壁によって少なくとも部分的に包囲されたチャンバを減圧する方法を提供するものである。この方法は以下の工程、即ち、
（ａ）前記ポートと、前記ガラス壁のうちポート周囲の部分とを、（ｉ）前記ポートに連通する第１キャビティと、（ｉｉ）この第１キャビティの周囲に位置し、前記ガラス壁のうちポート周囲の部分によって閉じられた少なくとも一つの第２キャビティと、を有する減圧ヘッドによってカバーする工程、
（ｂ）前記減圧ヘッドの、単数の前記閉じられた第２キャビティ、又はこれが複数設けられる場合にはそのそれぞれを減圧する工程、並びに、
（ｃ）前記減圧ヘッドの前記第１キャビティを介して前記チャンバを減圧する工程、
を有する。
【００１１】
本発明は、更に、減圧ポートを備えるガラス壁によって少なくとも部分的に包囲されたチャンバを減圧するのに使用される装置を提供するものとして定義される。この装置は、
（ａ）前記ポートと、前記ガラス壁のうちポート周囲の部分とをカバーするように構成され、使用時において、前記ポートに連通するように構成された第１キャビティと、この第１キャビティの周囲の少なくとも一つの第２キャビティとを備える減圧ヘッド、
（ｂ）前記第１キャビティに連通されるとともに、真空ポンプを前記第１キャビティに接続するように構成された第１管路、並びに、
（ｃ）単数の前記第２キャビティ又はこれが複数設けられる場合にはそのそれぞれに接続され、真空ポンプを単数又は複数の第２キャビティのそれぞれに接続するように構成された第２管路、
を有する。
【００１２】
本発明の好適な特徴構成
本発明の種々の態様においては、好ましくは、前記減圧ヘッドの前記第１キャビティ及び第２キャビティそれぞれへの接続用として、別々の真空ポンプシステムが提供される。しかしながら、単数の第２キャビティ又は複数の第２キャビティそれぞれの減圧は、前記第１キャビティに対するよりも遥かに低いレベルで（即ち、低い完全度の真空を形成するために）行うことができる。
【００１３】
前述したように、本発明は真空ガラスパネルにその用途を有するが、この用途においては、減圧対象の前記チャンバが、エッジシールされた２枚のガラスシートによって形成される空間である。両シートの一方には、減圧を行うための前記ポートを形成する排気チューブが備えられ、前記減圧ヘッドの第１キャビティは、前記排気チューブを受け入れるように形状設定及び寸法設定されることになる。
【００１４】
本発明のこのような好適態様を念頭に置けば、本発明はまた、真空ガラスパネルの形成方法としても定義することができるのであり、ここでは前記減圧工程が、前記チャンバの熱によるガス抜き工程を同時に行いながら行われる。前記ガス抜き工程は、きわめて好ましくは、両ガラスシートのエッジシールが完了する温度よりも僅かに低い温度（典型的には５０℃〜１００℃ほど低い温度）から開始される。
【００１５】
本発明は、本発明を実施するための装置と方法との好適実施例に関する以下の説明から、より完全に理解されるであろう。この説明を、添付の図面を参照して行う。
【００１６】
発明の詳細な説明
図１には、純金属製の減圧ヘッド１０が減圧対象のガラスパネル１１に取り付けられた状態が示されている。前記ガラスパネルは、離間対面関係に維持された二枚の平面ガラスシート１２，１３を有している。これらガラスシートは、通常はソーダ石灰ガラスから形成され、それらのエッジに沿って、エッジシール用のハンダガラスからなるビード１４によって相互接続されているものである。
【００１７】
前記二枚のガラスシート１２，１３によってチャンバ１５が形成され、これらシートは、複数の支柱１６から成るネットワーク又はアレイによって離間関係に維持されている。前記チャンバ１５は、１０^-3Ｔｏｒｒ以下のレベルにまで減圧され、これによって、両シート間の熱伝導率を他の熱流機構と比較して無視可能なガスコンダクタンスを達成している。
【００１８】
前記ガラスシート１２には開口部１７が形成され、この開口部１７内にはガラス製の排気チューブ１８が配設され、開口部１７から外に突設されている。この排気チューブは、ハンダガラスのビード１９によって前記ガラスシートに対してシールされる。
【００１９】
前記排気チューブ１８を包囲する状態で金属フィラメント２０が示されており、これは、前記チャンバ１５の減圧後に、前記排気チューブを溶解し閉じるために使用することができる。但し、この目的のためにその他の技術を使用することも可能である。
【００２０】
前記減圧ヘッド１０は、金属製の本体２１を有し、これは、中央の第１キャビティ２２を有するか又は形成している。この第１キャビティ２２は、前記排気チューブ１８を受け入れ、前記チャンバ１５の減圧とガス抜きの間、ガスの移動を規制するように形状及び寸法設定されている。
【００２１】
前記第１キャビティ２２は、ポート２３と管路２４とを介して、図２に略示されているように、ベーキングチャンバ３２の外側に位置する真空ポンプ２５に接続されている。
【００２２】
前記減圧ヘッドの前記本体２１内には、更に、環状の第２キャビティ２６が設けられている。この第２キャビティ２６は、前記第１キャビティ２２を包囲するように配置され、使用時においては、前記排気チューブ１８を取り巻く前記ガラスシート１２の表面によって閉じられるように構成されている。前記第１キャビティ２２及び第２キャビティ２６の間には第１環状ランド２７が配置され、第２環状ランド２８が環状の前記第２キャビティ２６を包囲している。両ランド２７，２８は、小さな面積で前記ガラスシート１２の表面と接触し、これによって前記第２キャビティ２６内、及び前記二つのキャビティ２２、２６間へのガス流れを規制する。
【００２３】
前記第２キャビティ２６は、図２に示されているように、ポート２８と管路３０とを介して、別の真空ポンプ３１に接続されている。
【００２４】
前記減圧ヘッド１０は、通常、５０ｍｍ〜１００ｍｍの外径とされ、前記第１の中央キャビティ２２は、通常約１０ｍｍ〜２０ｍｍの直径とされる。前記両ランド２７，２８は、それぞれ、約１ｍｍの径方向の幅を有するものとされるが、これは０．１０ｍｍ〜１０ｍｍの範囲であってもよい。
【００２５】
図３は、真空ガラスパネルユニットの製造の逐次工程を示す。
【００２６】
先ず、両シート１２，１３が（前述したように）離間関係で組み付けられ、未溶融のハンダガラスのビード１４を、シート１３のエッジの周りに堆積させる。同様に、未溶融ハンダガラスのビード１９を、シート１２の開口部１７内に位置する前記排気チューブ１８の周囲に堆積させる。
【００２７】
次に、単一段階の加熱工程によって、その後の製造工程を行うことができる。二枚のガラスシートを組み付け、ハンダガラスの前記ビードを堆積させた後、前記減圧ヘッド１０を、前記排気チューブ１８を包囲するように前記シート１２の表面に取り付け、前記二つの環状ランド２７，２８の間の環状キャビティ２６を前記ポンプ３１によって減圧する。この最初の工程中は、二枚のガラスシート間の前記チャンバ１５は減圧されない。
【００２８】
前記減圧ヘッド１０を含む完全なアセンブリを炉３２内で約４５０℃まで加熱し、この工程の間に、前記ハンダガラスが溶解し、ガラスパネルのエッジの周囲と排気チューブの周囲とにシールを形成する。次に、ガラスパネルと減圧ヘッドとを、ハンダガラスが凝固する温度（約３８０℃）にまで冷却し、その後、前記高度真空システム２５を前記減圧ヘッドの中央キャビティ２２に接続することによって、両ガラスシート１２間の前記チャンバ１５の減圧を開始する。このキャビティの減圧は、ガラスパネルと減圧ヘッドとが冷却されている間、継続される。この冷却期間中に使用される具体的な温度／時間スケジュールは、ガラスパネルの内側面の適切なガス抜きを達成するのに必要な時間に依存したものとなる。
【００２９】
ガス抜きと減圧とが完了すると、前記フィラメント部材２０を使用して、前記排気チューブ１８を溶解させ、溶融閉鎖する。
【００３０】
前記真空ポンプ３１は、約１０^-3Ｔｏｒｒの最終真空度を達成することが可能な、一般にバッキングポンプと称されている機械式真空ポンプであってよい。しかしながら、図示した構成の場合、外側のランド２８を超えてガスの多少の漏出が発生するため、前記第２キャビティ２６内で達成される真空のレベルは、その漏出の量と、減圧ヘッドを前記ポンプ３１に接続する前記管路３０の減圧速度とに依存したものとなるであろう。
【００３１】
前記第２キャビティ２６内において１Ｔｏｒｒよりも遥かに低い真空レベルを達成することは比較的簡単であることが確認されており、そのような真空レベルは、ガラスパネルチャンバ１５の減圧のためには十分に低いものではないが、そのシール真空は、前記第１キャビティが真空ポンプ２５によって減圧される場合に、ガラスパネルチャンバ内で必要な真空状態を達成することを容易にするためには十分なものである。
【００３２】
前記高い真空レベルを作り出すために使用される前記真空ポンプシステム２５は、拡散ポンプ又はターボモレキュラーポンプを含むものとすることができる。そのような真空システムによって、１０^-5Ｔｏｒｒ又はそれ以下の規定圧を容易に達成することが可能である。
【００３３】
前記第２キャビティ２６から第１キャビティ２２へは或る程度のガス漏出が発生するであろうが、前記減圧ヘッドの構造のために、この漏出の量は、減圧装置の第１キャビティ内の圧力に対して非常に僅かな又は無視可能な程度の影響しかない、十分に低いものとなる。
【００３４】
上述した減圧処理を有効なものとするためには、前記ガラスシートと減圧ヘッドとの対向表面は、許容値近くまでフラットで、かつ、大きな掻き傷の無いものでなければならない。しかしながら、フロート処理によって発生するソーダ石灰ガラスの平面性からの偏差は極めて僅かなものであり、約５０〜１００ｍｍという減圧装置の典型的な外寸にわたり、平面性からの偏差は通常数ミクロン以下であることが判っている。同様に、前記減圧ヘッドは、高品質の旋盤で加工されることによって、製造されるガラスシートに見られるのと同じオーダーの平坦性を備えるランド２７，２８のシール表面を提供するように製造することができる。
【００３５】
その結果、減圧ヘッドの環状の第２キャビティ２６が減圧される時、この減圧ヘッドは、大気圧によってガラスシートに対して押し付けられる。表面同士は互いに十分に密着接触されることになるため、前記シールランド２７，２８を通過する漏出が許容可能に僅かなものとなる。
【００３６】
図４は、前記減圧ヘッド１０を３ｍｍ厚のソーダ石灰ガラスに取り付けた時の、環状の第２キャビティ２６内における圧力（Ｐ_annular）と中央の第１キャビティ２２内における圧力（Ｐ_centre）と、内側ランド２７を介したガスコンダクタンス（Ｃ_gap）との実験測定結果を示す。これらの結果は、ガラスシートと減圧ヘッド１０との温度を４５０℃まで上昇させ、その後、低下させた処理サイクル中に得られたものである。これらの測定に使用した減圧ヘッド１０は、それぞれ１６ｍｍと８０ｍｍの外径のシールランド２７，２８を有している。各シールランド２７，２８の幅は１ｍｍである。
【００３７】
これらの測定結果を得るに当たっては、前記環状空間２６を、１０ｍｍの内径を有し、前記減圧ヘッド１０に接続された長さ１ｍの導管３０を介して減圧した。
【００３８】
１〜１０ｍｍの範囲の様々な幅を有するシールランドを備え、５０〜１００ｍｍの範囲の様々な外径を有する種々の減圧ヘッド１０を使用して多数の実験を行い、これら種々の減圧ヘッドのＰ_annularを測定した。
【００３９】
前記減圧ヘッド１０の外側シールランド２８を介したガスの漏出率（一般に「スループット」と称される）は、真空技術に関する標準的参考文献に記載されている関連式から決定することができる。前記環状空間２２に接続された真空システムのガスのスループットに関しては、次の式の通りである。
【００４０】
【数１】
スループット＝Ｓ_pipe（Ｐ_annular−Ｐ_{pumping end}） （１）
【００４１】
この式において、Ｓ_pipeは前記パイプ３４を通る排気速度（単位Ｌ．ｓ^-1）であり、Ｐ_{pumping end}は、前記環状キャビティ２６に接続された真空システムの排出端部の圧力である。典型的な回転ポンプの場合、Ｐ_{pumping end}は無視することができるため、式（１）を以下のように簡略化しても、十分な精度で求めることが可能である。
【００４２】
【数２】
スループット＝Ｓ_pipeＰ_annular （２）
【００４３】
実験的に達成された（第２環状キャビティ２６内の）圧力においては、分子間衝突の平均自由行程は、前記パイプ３４の直径よりも遥かに小さい。これらの条件下において、Ｓ_pipeは、真空技術に関する標準的参考文献に記載されている次の関連式によって求められる。
【００４４】
【数３】
Ｓ_pipe＝９０（ｄ⁴／ｌ）Ｐ_annular （３）
【００４５】
ここで、ｄとｌはｃｍ単位であり、Ｐ_annularはＴｏｒｒ単位である。
上記式（３）は、空気の主要構成要素である窒素の分子量（２８）及び酸素の分子量（３２）に近い分子量３０のガスに関して導かれたものである。その他のガスの場合には排出速度が僅かに異なるであろうが、大幅に異なることはない。
【００４６】
上記式（２）及び（３）を使用して、Ｐ_annularの関数としての前記スループットは、以下によって求められる。
【００４７】
【数４】
スループット＝９０（ｄ⁴／ｌ）Ｐ_annular ² （４）
【００４８】
この式は、真空システムの分子間衝突の平均自由行程がパイプ３０の直径よりも遥かに小さく、Ｐ_{pumping end}が無視可能である時にのみ適用できる。式（４）から、接触表面からダスト又は粒子を除去するのに十分注意することを条件として、スループットは常規的に０．０１ ＴｏｒｒＬ．ｓ^-1であることが判った。
【００４９】
従って、０．０１ ＴｏｒｒＬ．ｓ^-1という数字を、外側シールランド２８を通過する可能漏出率の上限と見做すならば、環状キャビティ２６内の特定の所望圧力Ｐ_annularに対して式（４）を使用することによって、この環状キャビティ２６に接続される減圧導管３０の適切な直径を選択することが可能である。一般には、広範囲の径の減圧管路３０にわたって、適切に低い圧力を得ることが可能であることが判っている。
【００５０】
図４に示した結果から、環状キャビティ２６内の圧力と、内側シール面２７の伝導率との両方が、前記減圧ヘッドの加熱冷却中、僅かに変動することが観察される。これらの変動は、高温におけるガラスの僅かな軟化と、それらの熱膨張係数の差に関連する金属面とガラスの面との間の非常に小さな相対移動に依るものである。
【００５１】
本発明のいくつかの用途においては、たとえば、ガラスパネル内に、装置の使用寿命にわたって内部空間から放出されるなんらかのガス成分を掃気するために熱活性化反応性の金属ゲッターを設けることが望ましい場合等においては、２段階の加熱工程を採用することが好ましいかもしれない。そのような金属ゲッターは、それらが化学的に活性となるためには真空中において高温まで加熱される必要があり、かつ、空気中で４５０℃まで加熱されれば不可逆的に劣化する。従って、もしもそのようなゲッターが必要な場合には、そのゲッターのガラスパネル中への取り付けは、前記エッジシール処理の完了後に初めて可能であろう。その後、第２段階の加熱工程の前に、ガラスパネルの減圧が開始され、前記ゲッターは、それが真空中にあるため、約３５０℃への第２段階の加熱工程中、劣化から保護されるであろう。
【００５２】
前記減圧ヘッドが２段階の加熱処理に使用される場合には、ガラス１２の表面に対する内側ランド面２７のシールが不十分となる可能性があることが判った。その理由は、前記ハンダガラスを溶解し前記エッジシールを形成するために必要な温度が非常に高いため、ガラスシートに僅かな変形が発生する可能性があるからである。このことによって生じる、前記排気チューブ周囲のガラスシートの面の平面性からの偏差によって、内側金属シールランド２７とガラスとの間に大きな間隙が形成される可能性がある。
【００５３】
このような問題は、１０μｍ〜５０μｍの厚みのアルミホイルガスケットを使用し、このガスケットを内側シールランド２７とガラス表面との間に設置することによって解決することが可能である。前記アルミガスケットは大気圧に依る力によって湾曲し、これによって、前記内側シールランド２７とガラス表面との間にシールを形成する。
【００５４】
図５は、前記減圧ヘッド１０を使用した２段階プロセスによって製造された真空ガラスパネルのサンプルから得られた実験データを示している。この図５には、前記ガラスパネルの温度を３００℃以上に上昇させた後に低下させた減圧サイクル中の、環状の第２キャビティ２６の圧力（Ｐ_annular）と、中央の第１キャビティ２２の圧力（Ｐ_main）と、ガラスパネル内の圧力（Ｐ_glazing）とが示されている。図５（Ａ）は、アルミガスケットを使用しない場合のデータを示している。図５（Ｂ）は、同じサンプルを１８μｍのアルミガスケットを設けて使用した場合のデータを示しており、内側ランド２７を通した漏出が低下したことに依って、中央キャビティ２２の圧力が大幅に改善されていることが判る。
【００５５】
図６に示す減圧ヘッドの別実施例においては、この減圧ヘッド１０は、第２及び第３の同心配置された環状キャビティ２６，３３を備えている。この構成によって、第１、第２及び第３のシールランド２７，２８，３４が形成される。
【００５６】
環状の第２キャビティ２６は管路３０を介して、環状の第３キャビティ３３は管路３５を介して、減圧システム（図示せず）に別々に接続されている。これら環状の第２キャビティ２６及び第３キャビティ３３のそれぞれに別々の減圧システムを設けてもよいし、或いは、両環状キャビティに対して単一共通の減圧システムを設けてもよい。しかしながら、いずれの場合においても、前記中央の第１キャビティ２２用には、別の（遥かに低い圧力の）真空システムが設けられることになる。
【００５７】
この構成に依り、前記内側環状キャビティ２６内の真空レベルは、外側の第３環状キャビティ３３の圧力によって比較的影響されなくなる。
【００５８】
図７は、前記減圧ヘッドの別構成であって、前記排気チューブ１８がガラスシート１２の一つのエッジの非常に近くに配設される場合に適した構成を示している。この図７に示されている構成は、第１キャビティ２２がその周囲の第２キャビティ２６に対して偏心配置されていることを除けば、図１に示した構成に幾分類似している。この例においては、第２キャビティ２６の断面積を、このキャビティの周方向に可変のものにする必要がある。
【００５９】
上述した本発明に関しては、その他の変形及び改造が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】減圧対象のガラスパネルの一部に取り付けられた減圧ヘッドの断面を示す図
【図２】ベーキング炉内に配置され、かつ、前記減圧ヘッドを介して外部の真空ポンプに接続されたガラスパネルの概略図
【図３】特定のガラスパネル構造に適用したときの、本発明の減圧方法を使用したガラスパネルの製造の逐次工程Ａ〜Ｄを示す図
【図４】本発明の減圧方法の実施例によって得られた測定結果のプロットを示す図
【図５】本発明の減圧方法の別実施例によって得られた測定結果のプロットを示す図
【図６】減圧対象のガラスパネルの一部分に取り付けられた別構成の減圧ヘッドの断面図
【図７】減圧対象のガラスパネルの一部分に取り付けられた更に別構成の減圧ヘッドの断面図

Claims (9)

1. 減圧ポートを備えるガラス壁によって少なくとも部分的に包囲されたチャンバを減圧する方法であって、
   （ａ）前記ポートと、前記ガラス壁のうちポート周囲の部分とを、（ｉ）前記ポートに連通する第１キャビティと、（ｉｉ）この第１キャビティの周囲に位置し、前記ガラス壁のうちポート周囲の部分によって閉じられた少なくとも一つの第２キャビティと、を有する減圧ヘッドによってカバーする工程、
   （ｂ）前記減圧ヘッドの、単数の前記閉じられた第２キャビティ、又はこれが複数設けられる場合にはそのそれぞれを減圧する工程、及び
   （ｃ）前記減圧ヘッドの前記第１キャビティを介して前記チャンバを減圧する工程、
   を有することを特徴とする方法。
2. 請求項１の方法であって、前記第１キャビティが第１真空ポンプによって、前記第２キャビティが第２真空ポンプによって減圧されることを特徴とする方法。
3. 請求項２の方法であって、前記チャンバと前記第１キャビティとが、単数又は複数の前記閉じられた第２キャビティよりも低い圧力レベルへ減圧されることを特徴とする方法。
4. 請求項３の方法であって、単数又は複数の前記第２キャビティが約１０⁰〜１０^-3Ｔｏｒｒのレベルまで減圧され、前記チャンバと前記第１キャビティとが約１０^-3〜１０^-5Ｔｏｒｒのレベルまで減圧されることを特徴とする方法。
5. 請求項１〜４のいずれかの方法であって、二枚の離間配置されエッジシールされたガラスシートによって形成した前記チャンバが真空ガラスパネルに適用される場合には、前記第１キャビティと前記第２キャビティとの減圧が、前記チャンバの熱によるガス抜きを同時に行いながら行われることを特徴とする方法。
6. 減圧ポートを備えるガラス壁によって少なくとも部分的に包囲されたチャンバを減圧するための装置であって、
   （ａ）前記ポートと前記ガラス壁のうちこのポート周囲の部分とをカバーするように構成され、使用時において前記ポートに連通する第１キャビティと、このキャビティの周囲の少なくとも一つの第２キャビティとを備える減圧ヘッド、
   （ｂ）前記第１キャビティに連通するとともに、真空ポンプを前記第１キャビティに接続するように構成された第１管路、並びに、
   （ｃ）単数の第２キャビティ又はこれが複数設けられる場合にはそのそれぞれと接続され、真空ポンプを単数又は複数の前記第２キャビティのそれぞれに接続するように構成された第２管路、
   を有することを特徴とする装置。
7. 請求項６の装置であって、前記第１キャビティ周囲の別のキャビティ（即ち第２キャビティ）を一つのみ有し、かつ、
   前記減圧ヘッドが、
   （ｉ）前記第１キャビティ及び第２キャビティ間に位置するとともに、使用時において、前記ガラス壁のうちポート周囲の部分に接触するように構成された内側環状ランド、並びに、
   （ｉｉ）第２キャビティを包囲するとともに、使用時において、これも前記ガラス壁のうちポート周囲の部分に接触するように構成された外側環状ランド、
   を有することを特徴とする装置。
8. 請求項６又は請求項７の装置であって、前記第１キャビティと前記第２キャビティとが同心配置されていることを特徴とする装置。
9. 請求項７の装置であって、前記第１キャビティ及び第２キャビティが偏心配置され、かつ、前記第２キャビティの断面積がキャビティ周方向において変化することを特徴とする装置。

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