JPWO2004035500A1 - ガラスパネル及び減圧処理装置 - Google Patents

ガラスパネル及び減圧処理装置 Download PDF

Info

Publication number
JPWO2004035500A1
JPWO2004035500A1 JP2004544931A JP2004544931A JPWO2004035500A1 JP WO2004035500 A1 JPWO2004035500 A1 JP WO2004035500A1 JP 2004544931 A JP2004544931 A JP 2004544931A JP 2004544931 A JP2004544931 A JP 2004544931A JP WO2004035500 A1 JPWO2004035500 A1 JP WO2004035500A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
decompression
exhaust
glass
processing apparatus
glass panel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2004544931A
Other languages
English (en)
Inventor
浅野　修
修 浅野
嗣久 高本
嗣久 高本
水野　俊明
俊明 水野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Sheet Glass Co Ltd
Original Assignee
Nippon Sheet Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Sheet Glass Co Ltd filed Critical Nippon Sheet Glass Co Ltd
Publication of JPWO2004035500A1 publication Critical patent/JPWO2004035500A1/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
    • H01J9/241—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases the vessel being for a flat panel display
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C27/00—Joining pieces of glass to pieces of other inorganic material; Joining glass to glass other than by fusing
    • C03C27/06—Joining glass to glass by processes other than fusing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
    • B01J3/02—Feed or outlet devices therefor
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E06—DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
    • E06B—FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
    • E06B3/00—Window sashes, door leaves, or like elements for closing wall or like openings; Layout of fixed or moving closures, e.g. windows in wall or like openings; Features of rigidly-mounted outer frames relating to the mounting of wing frames
    • E06B3/66—Units comprising two or more parallel glass or like panes permanently secured together
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E06—DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
    • E06B—FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
    • E06B3/00—Window sashes, door leaves, or like elements for closing wall or like openings; Layout of fixed or moving closures, e.g. windows in wall or like openings; Features of rigidly-mounted outer frames relating to the mounting of wing frames
    • E06B3/66—Units comprising two or more parallel glass or like panes permanently secured together
    • E06B3/6612—Evacuated glazing units
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E06—DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
    • E06B—FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
    • E06B3/00—Window sashes, door leaves, or like elements for closing wall or like openings; Layout of fixed or moving closures, e.g. windows in wall or like openings; Features of rigidly-mounted outer frames relating to the mounting of wing frames
    • E06B3/66—Units comprising two or more parallel glass or like panes permanently secured together
    • E06B3/677—Evacuating or filling the gap between the panes ; Equilibration of inside and outside pressure; Preventing condensation in the gap between the panes; Cleaning the gap between the panes
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E06—DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
    • E06B—FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
    • E06B3/00—Window sashes, door leaves, or like elements for closing wall or like openings; Layout of fixed or moving closures, e.g. windows in wall or like openings; Features of rigidly-mounted outer frames relating to the mounting of wing frames
    • E06B3/66—Units comprising two or more parallel glass or like panes permanently secured together
    • E06B3/677—Evacuating or filling the gap between the panes ; Equilibration of inside and outside pressure; Preventing condensation in the gap between the panes; Cleaning the gap between the panes
    • E06B3/6775—Evacuating or filling the gap during assembly
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/38—Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
    • H01J9/385—Exhausting vessels
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
    • Y02A30/00—Adapting or protecting infrastructure or their operation
    • Y02A30/24—Structural elements or technologies for improving thermal insulation
    • Y02A30/249—Glazing, e.g. vacuum glazing
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02B—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
    • Y02B80/00—Architectural or constructional elements improving the thermal performance of buildings
    • Y02B80/22—Glazing, e.g. vaccum glazing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Civil Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)

Abstract

ガラスパネル１６は、対向する複数の板ガラス１０，１１と、複数の板ガラス１０，１１の間に設けられた減圧層１２とを有し、複数の板板ガラス１０，１１のうち少なくとも１枚に装着されたステンレス製の排気カップ１７が減圧層１２を減圧し、板ガラス１０の膨張係数と排気カップ１７に使用されるステンレスの膨張係数との差の絶対値が２０×１０−６／℃以下である。

Description

本発明は、複数の板ガラスから成り、当該複数の板ガラスの間に層状空間を有するガラスパネル及び当該ガラスパネルの減圧処理装置に関する。
従来、図８（ａ）及び（ｂ）に示すような対向する２枚の板ガラス９０，９１と、該板ガラス９０及び９１の間に形成される減圧層９２と、該減圧層９２の周縁をシールする低融点ガラスからなる周縁シール材９３と、減圧層９２に配設され、板ガラス９０及び９１の間隔を所定値に保つ複数の柱状のピラー９４と、板ガラス９０を貫通する穴に一端が埋め込まれ、他端が封止されている排気管９５とを備えるガラスパネル９６が知られている。このようなガラスパネル９６は真空ガラス、例えばスペーシア（登録商標）等に好適に用いられる。また、このガラスパネル９６の基本構造は、プラズマディスプレイパネル（以下「ＰＤＰ」という。）等にも適用可能である。
このガラスパネル９６における減圧層９２に存在する気体を排出して減圧層９２を減圧する装置として、以下に説明する排気カップ１００が知られている。
図９は、排気カップ１００の概略構成を示す断面図である。
図９において、排気カップ１００は金属製の円柱であって、その中心軸上を穿孔して形成された本排気部１０１と、該本排気部１０１と連通するポート１０２と、該ポート１０２と接続する管状の本排気系１０３と、上記中心軸と同心円上に形成された溝状の差動排気部１０４と、該差動排気部１０４と連通するポート１０５と、該ポート１０５と接続する管状の差動排気系１０６と、本排気部１０１内に配設される筒状のフィラメント１０７とを備える。
排気カップ１００は、フィラメント１０７が排気管９５をその筒内に内包するように、板ガラス９０上に装着される。このとき、差動排気部１０４は後述するロータリーポンプ（ＲＰ）１１２によって減圧されるので、排気カップ１００は板ガラス９０に吸着する。
図１０は、ガラスパネル９６における減圧層９２を減圧する際の環境を示す図である。
図１０において、ガラスパネル９６及び排気カップ１００は、内部の昇温、降温が自在である炉１１０に収容される。本排気系１０３は炉１１０の外に配設されているターボ分子ポンプ（ＴＭＰ）１１１に接続され、差動排気系１０６は炉１１０の外部に配設されているＲＰ１１２に接続される。ＴＭＰ１１１は本排気系１０３を介して本排気部１０１及び減圧層９２を減圧し、ＲＰ１１２は差動排気系１０６を介して差動排気部１０４を減圧する。
次に、ガラスパネル９６における減圧層９２の減圧処理について説明する。
図１１は、ガラスパネル９６における減圧層９２の減圧処理のフローチャートである。
まず、板ガラス９１上に複数のピラー９４を所定の規則に従って配列し、配列されたピラー９４の上に板ガラス９０を載置することによって板ガラス９０及び９１をペアリングする（ステップＳ１２０１）。
次いで、ペアリングされた板ガラス９０及び９１の全周縁に周縁シール材９３を塗布し（ステップＳ１２０２）（図１２Ａ）、排気カップ１００をフィラメント１０７が排気管９５をその筒内に内包するように、板ガラス９０に装着する（ステップＳ１２０３）（図１２Ｂ）。その後、排気カップ１００が装着された板ガラス９０及び９１を炉１１０の内部で焼成して周縁シール材９３を溶融させた後、当該板ガラス９０及び９１を冷却して周縁シール材９３を凝固させることによって板ガラス９０及び９１を封着する（ステップＳ１２０４）（図１２Ｃ）。これにより、板ガラス９０及び９１の間に減圧層９２が形成され、板ガラス９０，９１、周縁シール材９３及びピラー９４の組み合わせはガラスパネル９６となるが、上述した処理は大気中で実行されるので、この時点における減圧層９２の圧力は大気圧である。
次いで、炉１１０内の温度を一定時間維持することによって減圧層９２に存在する水分、有機物、油脂等をガス化させると共に、ＴＭＰ１１１を稼働させて上記ガス及び空気を減圧層９２から排出することによって減圧層９２を減圧するベーキングを行い（ステップＳ１２０５）、減圧層９２の圧力が所定の値を下回ると、ガラスパネル９６の冷却を開始し（ステップＳ１２０６）、ガラスパネル９６の温度がほぼ室温と等しくなると、フィラメント１０７に通電し、これを発熱させる。これにより、フィラメント１０７が内包する排気管９５の端部を溶融させて減圧層９２を封止する（ステップＳ１２０７）（図１２Ｄ）（例えば、日本国特許公表２００２−５３０１８４号公報参照。）。
図１１の減圧処理におけるステップＳ１２０４〜Ｓ１２０７において、ＲＰ１１２は常に稼働され、差動排気部１０４を減圧することによって排気カップ１００を板ガラス９０に吸着させると共に、本排気部１０１へ排気カップ１００の外から空気の侵入を防止する。
図１３は、図１１の減圧処理における時間と温度の関係を示す図である。
ステップＳ１２０１〜Ｓ１２０３の各工程はｔ１までに実行され、ステップＳ１２０４の封着はｔ１〜ｔ４において実行され、ステップＳ１２０５のベーキングはｔ４〜ｔ５において実行され、ステップＳ１２０６の冷却はｔ５〜ｔ６において実行され、ステップＳ１２０７の封止はｔ６〜ｔ７において実行される。
しかしながら、図１１の減圧処理において、排気カップ１００は室温雰囲気及び低融点ガラスが溶融する高温雰囲気のいずれにおいても板ガラス９０に吸着する必要があるが、排気カップ１００を構成する金属の膨張係数と板ガラス９０の膨張係数とが大幅に異なると、炉１１０の雰囲気が室温から高温へ変化したとき、これらの膨張係数の差に起因して、板ガラス９０に対する排気カップ１００の相対的な動きが発生し、板ガラス９０と排気カップ１００との間に隙間が生じるため、ガラスパネル９６における減圧層９２の真空度が低下するという問題がある。
この発明は、以上のような問題点に着目してなされたものである。その目的とするところは、真空層の真空度の低下を防止するガラスパネル及び減圧処理装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明の第１の態様によれば、対向する複数の板ガラスと、前記複数の板ガラスの間に設けられた層状空間とを有し、前記複数の板ガラスのうち少なくとも１枚に装着された排気装置が前記層状空間に存在する気体を排出するガラスパネルにおいて、前記板ガラスの膨張係数と前記排気装置の構成材料の膨張係数との差の絶対値が所定値以下であるガラスパネルが提供される。
本第１の態様において、前記層状空間は、前記気体の排出後にガスが導入されるガス導入層であることが好ましい。
本第１の態様において、前記所定値が２０×１０−６／℃であることが好ましい。
本第１の態様において、前記層状空間に存在する気体を排出する際に、前記排気装置が装着される板ガラスの部分において発生する応力は、前記板ガラスの短期許容応力以下であることが好ましい。
本第１の態様において、上記ガラスパネルは、前記板ガラスの端部から５〜１００ｍｍの範囲内に配設され且つ前記層状空間と外部とを連通する連通部を備えることが好ましい。
本第１の態様において、前記排気装置は、前記板ガラスとの接触面において開口する溝を有し、該溝の断面積は０．５ｍｍ２以上であることが好ましい。
本第１の態様において、前記連通部は、前記ガラスパネルが表示装置として用いられたときに、前記表示装置の裏面に相当する面に設けられることが好ましい。
上記目的を達成するために、本発明の第２の態様によれば、対向する複数の板ガラスと、前記複数の板ガラスの間に設けられた層状空間とを有するガラスパネルに装着されると共に前記層状空間に存在する気体を排出する排気装置を備える減圧処理装置において、前記板ガラスの膨張係数と前記排気装置の構成材料の膨張係数との差の絶対値が所定値以下である減圧処理装置が提供される。
本第２の態様において、前記所定値は２０×１０−６／℃であることが好ましい。
本第２の態様において、前記層状空間に存在する気体の排出の際、前記排気装置が前記板ガラスの部分において発生させる応力は、前記板ガラスの短期許容応力以下であることが好ましい。
本第２の態様において、前記板ガラスは前記層状空間と外部とを連通する連通部を有し、前記排気装置は、前記板ガラスとの接触面において開口すると共に前記連通部を収容する密封室を有し、前記接触面における前記密封室周りのシール部の少なくとも１部はその幅が５ｍｍであることが好ましい。
本第２の態様において、前記排気装置は、前記板ガラスとの前記接触面において開口する溝を有し、該溝の断面積は０．５ｍｍ２以上であることが好ましい。
本第２の態様において、前記板ガラスは前記層状空間と外部とを連通する連通部を有し、前記排気装置は、前記板ガラスとの接触面において、前記連通部を収容する密封室及び該密封室を囲う溝状の他の密封室を有し、前記密封室を減圧する減圧ポンプは減圧系統を介して前記密封室と接続され、前記他の密封室を減圧する他の減圧ポンプは他の減圧系統を介して前記他の密封室と接続されることが好ましい。
本第２の態様において、前記排気装置、前記減圧系統、及び前記他の減圧系統の構成材料は、金属又は金属及びセラミックの組み合わせからなることが好ましい。
本第２の態様において、前記減圧系統は大気開放弁を有することが好ましい。
本第２の態様において、前記他の減圧系統は、前記他の密封室及び前記他の減圧ポンプの間に配設された真空計と、前記他の減圧ポンプの近傍に配設された他の真空計とを有することが好ましい。
本第２の態様において、前記排気装置は焼鈍処理が施されることが好ましい。
本第２の態様において、前記排気装置は、前記連通部に対向し且つ該連通部と所定の間隙を維持して配設された発熱体を前記密封室に有することが好ましい。
本第２の態様において、前記発熱体の前記連通部への対向面積が、前記連通部の前記発熱体への対向面積の３倍以上であることが好ましい。
本第２の態様において、前記発熱体に定電流を供給する定電流装置を有することが好ましい。
本第２の態様において高温雰囲気を実現する炉を備え、前記複数のガラスパネルはその周縁に塗布された封着材を前記高温雰囲気で溶融することによって互いに封着され、前記発熱体と前記定電流装置とを接続する電流導入端子は前記炉の外に設けられることが好ましい。
本第２の態様において、前記排気装置を複数有し、該複数の排気装置における前記発熱体の夫々に順次電流を供給する電流供給装置を有することが好ましい。
本第２の態様において、前記炉は循環空気を供給する供給口を有し、該供給口に対向する位置において前記循環空気を整流する整流板を有することが好ましい。
本第２の態様において、群をなす複数の前記排気装置が複数の箇所に配設されることが好ましい。
本第２の態様において、前記ガラスパネルの封着後、前記炉内の徐冷の際に、前記発熱体の発熱により前記連通部を溶融することが好ましい。
本第２の態様において、前記ガラスパネルは前記連通部を複数有し、該複数の連通部のうち一の連通部を介して前記層状空間に存在する気体を排出すると共に、他の連通部を介して前記層状空間へガスを導入することが好ましい。
本第２の態様において、前記連通部を介して前記層状空間に存在する気体を排出した後に、前記連通部を介して前記層状空間へガスを導入することが好ましい。
図１は、本発明の実施の形態に係るガラスパネルの概略構成を示す図である。
図２は、本発明の実施の形態に係る減圧処理装置の概略構成を示す図である。
図３は、図１のガラスパネルにおける減圧層の減圧処理のフローチャートである。
図４Ａ〜Ｄは、図１のガラスパネルにおける減圧層の減圧処理の手順を示す図である。
図５は、図３の減圧処理における時間と温度の関係を示す図である。
図６は、図２の減圧処理装置における電気回路の概略構成を示す図である。
図７は、図２の減圧処理装置の概略構成を示す斜視図である。
図８は、従来の減圧層を有するガラスパネルの概略構成を示す図である。
図９は、排気カップの概略構成を示す断面図である。
図１０は、図８のガラスパネルにおける減圧層を減圧する際の環境を示す図である。
図１１は、図８のガラスパネルにおける減圧層の減圧処理のフローチャートである。
図１２Ａ〜Ｄは、図８のガラスパネルにおける減圧層の減圧処理の手順を示す図である。
図１３は、図１１の減圧処理における時間と温度の関係を示す図である。
以下、本発明の実施の形態に係るガラスパネル及び減圧処理装置について図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の実施の形態に係るガラスパネルの概略構成を示す図であり、図２は、本発明の実施の形態に係る減圧処理装置の概略構成を示す図である。
図１において、ガラスパネル１６は、対向する２枚の板ガラス１０，１１と、該板ガラス１０及び１１の間に形成される減圧層１２（層状空間）と、該減圧層１２の周縁をシールする低融点ガラスからなる周縁シール材１３（封着材）と、減圧層１２に配設され、板ガラス１０及び１１の間隔を所定値に保つ複数の柱状のピラー１４と、板ガラス１０を貫通する穴に一端が埋め込まれている排気管１５（連通部）とを備える。
板ガラス１０に装着される排気カップ１７（排気装置）は円柱状であって、その中心軸上を穿孔して形成された本排気部１８（密封室）と、該本排気部１８と連通するポート１９と、該ポート１９と接続する管状の本排気系２０（減圧系統）と、上記中心軸と同心円上に形成された溝状の差動排気部２１（他の密封室）と、該差動排気部２１と連通するポート２２と、該ポート２２と接続する管状の差動排気系２３（他の減圧系統）と、本排気部１８内に配設される横置きのコイル状のフィラメント２４（発熱体）とを備える。
また、排気カップ１７の構成材料はステンレスであり、特に、０〜５００℃の間において板ガラス１０の膨張係数（８．５×１０−６／℃）と排気カップ１７の構成材料の膨張係数との差の絶対値が２０×１０− ６／℃以下となるステンレス、例えばＳＵＳ３０４等が用いられ、本排気系２０及び差動排気系２３の構成材料は金属である。また、排気カップ１７は本排気部１８や差動排気部２１を形成するための溶接加工の後、真空中において焼鈍処理が施される。
排気カップ１７は、フィラメント２４がガラスパネル１６の排気管１５に対向し、且つ排気管１５と一定の間隔を維持するように、板ガラス１０上に装着される。このとき、差動排気部２１は後述するＲＰ２７（他の減圧ポンプ）によって減圧されるので、排気カップ１７は板ガラス１０に吸着する。板ガラス１０に接触する接触面には、そのほぼ中央に本排気部１８が設けられ、本排気部１８を囲うように排気カップ１７の中心軸と同心円上に溝状の差動排気部２１が設けられる。この溝状の差動排気部２１は、接触面において開口し且つその断面積は０．５ｍｍ２以上、望ましくは１．０ｍｍ２以上である。また、接触面における本排気部１８周りのシール部の幅、すなわち接触面における本排気部１８から排気カップ１７の外部までの経路距離は５ｍｍ以上である。
ここで、排気カップ１７の外部から本排気部１８を密封するためには、上記経路距離が０ｍｍより大きければよいが、上記経路距離が小さいと、当該経路距離に応じて排気管１５が配置される位置から板ガラス１０の端部までの距離も小さくなる場合がある。この場合、板ガラス１０の端部強度が低下し、後述する減圧層１２の減圧処理における焼成工程やベーキング、若しくは市場環境におけるガラスパネル１６の昇温時等において、板ガラス１０の当該端部に応力が集中して板ガラス１０が破損するおそれがある。従って、排気管１５が配置される位置から板ガラス１０の端部までの距離は所定の距離、例えば少なくとも５ｍｍ以上確保する必要があり、それ故、上記経路距離も５ｍｍ以上であるのがよい。
また、図２において、減圧処理装置２５は、複数の排気カップ１７と、各々の差動排気系２３に排気カップ１７の直下流において設けられたアナログ真空計２８（真空計）と、各差動排気系２３が集合された集合差動排気系２９と、該集合差動排気系２９にＲＰ２７の直上流において設けられたデジタル真空計３０（他の真空計）と、各本排気系２０が集合された集合本排気系３１と、該集合本排気系３１にＴＭＰ２６（減圧ポンプ）の上流において設けられた大気開放弁３２とを備える。
ＴＭＰ２６は、集合本排気系３１、本排気系２０、ポート１９及び本排気部１８を介して減圧層１２を減圧し、ＲＰ２７は、集合差動排気系２９、差動排気系２３及びポート２２を介して差動排気部２１を減圧する。各アナログ真空計２８は対応する本排気系２０の真空度を測定し、デジタル真空計３０は集合差動排気系２９の真空度を測定する。また、ガラスパネル１６及び排気カップ１７は、内部の昇温、降温が自在である炉（不図示）に収容される。
排気カップ１７によれば、板ガラス１０に接触する接触面には、そのほぼ中央に本排気部１８が設けられ、本排気部１８を囲うように排気カップ１７の中心軸と同心円上に溝状の差動排気部２１が設けられるので、減圧層１２に存在する気体、例えば空気を減圧層１２から排出する際に、減圧された差動排気部２１が排気カップ１７の外部から本排気部１８への空気の侵入を防止することができ、減圧層１２の真空度の低下を効率的に防止することができる。
図１では、本排気部１８の外周に設けられた差動排気部２１は、１重の溝構造であるが、これに限られるものでなく、接触面の面積が許す限りであれば、２重、３重の溝構造であってもよい。
また、減圧処理装置２５によれば、各々の差動排気系２３の排気カップ１７の直下流においてアナログ真空計２８が設けられ、集合差動排気系２９のＲＰ２７の直上流においてデジタル真空計３０が設けられるので、差動排気部２１への空気の侵入があったときに、直ちに異常が感知できる。
当該異常の感知方法としては、アナログ真空計２８及びデジタル真空計３０の表示値の差分が大となるか否かで判断する方法が用いられる。この方法において基準となる表示値の差分は、ほぼ１０００Ｐａである。
当該異常の感知方法では、表示値の差分をデータとして取り込んだコンピュータ（不図示）が異常を判断してもよく、作業者が目視によって異常を判断してもよい。
表示値の差分で判断する場合は、配管抵抗が小さいと差分の値が小さくなるので、アナログ真空計２８とデジタル真空計３０とをできる限り離して配置する必要があり、そのため、減圧処理装置２５では、アナログ真空計２８を排気カップ１７の直下流に設け、且つデジタル真空計３０をＲＰ２７の直上流に設けている。また、アナログ真空計２８は高温雰囲気では使用できないので、アナログ真空計２８は炉の外に設けられるのが好ましい。
複数のガラスパネル１６に順次、排気カップ１７を装着するときには、ガラスパネル１６に装着された排気カップ１７の数が少ない場合、未だガラスパネル１６に装着されていない排気カップ１７の差動排気系２３はベント（不図示）によって閉鎖されているので、デジタル真空計３０の表示値は総じて小さくなる。従って、デジタル真空計３０の表示値としては、全てのガラスパネル１６に排気カップ１７が装着された後の表示値を用いるのが好ましい。
さらに、減圧処理装置２５によれば、排気カップ１７は、本排気部１８内に横置きのコイル状のフィラメント２４を排気管１５と一定の間隔を維持するように収容するので、排気管１５の位置に注意を払うことなく、排気カップ１７を設置することができ、もって作業効率を向上できる。このとき、フィラメント２４は単なる横置きのコイル状のものに限られず、横置きのコイル状のものを水平方向に潰したもの、シート状のもの若しくは水平面内において渦巻き状を呈するものであってもよく、いずれのものも、その排気管１５に対向する面の面積が、排気管１５におけるフィラメント２４に対向する断面の面積のほぼ３倍以上であるのが好ましい。これにより、作業者の手作業に起因する排気管１５とフィラメント２４の相対位置のずれを吸収できる。
また、ガラスパネル１６において、排気管１５は板ガラス１０の端部から５〜１００ｍｍの範囲内に配設されるのが好ましい。
ここで、排気カップ１７において、接触面における本排気部１８周りのシール部の幅が５ｍｍ確保できていれば、板ガラス１０における排気管１５の近傍の端部において応力が当該端部に集中することがなく、板ガラス１０の破損を防止することが可能であると共に、ガラスパネル１６に排気カップ１７を装着して本排気部１８を密封することができ、もって作業効率を向上できる。また、排気カップ１７の接触面における本排気部１８周りの少なくとも１部においてシール部の幅が５ｍｍであれば、ガラスパネル１６における排気管１５の配置可能領域が増え、排気管１５の配置を自由に行なうことができる。
溝状の差動排気部２１の断面積は０．５ｍｍ２以上、望ましくは１．０ｍｍ２以上であるので、該溝内を容易に減圧することができる。さらに、ガラスパネル１６をＰＤＰ（表示装置）として使用する場合、排気管１５は、ガラスパネル１６においてＰＤＰの裏面に相当する面に設けられるのが好ましく、これにより、ＰＤＰの表面を平滑にすることができ、もって当該ＰＤＰの意匠性を向上できる。
次に、ガラスパネル１６における減圧層１２の減圧処理について説明する。
図３は、ガラスパネル１６における減圧層１２の減圧処理のフローチャートである。
まず、板ガラス１１上に複数のピラー１４を所定の規則に従って配列し、配列されたピラー１４の上に板ガラス１０を載置することによって板ガラス１０及び１１をペアリングする（ステップＳ３０１）。
次いで、ペアリングされた板ガラス１０及び１１の全周縁に周縁シール材１３を塗布し（ステップＳ３０２）（図４Ａ）、排気カップ１７を、フィラメント２４がガラスパネル１６の排気管１５に対向し且つ排気管１５と一定の間隔を維持するように、板ガラス１０上に装着する（ステップＳ３０３）（図４Ｂ）。その後、排気カップ１７が装着された板ガラス１０及び１１を炉の内部で焼成して周縁シール材１３を溶融させた後、当該板ガラス１０及び１１を冷却して周縁シール材１３を凝固させることによって板ガラス１０及び１１を封着する（ステップＳ３０４）（図４Ｃ）。これにより、板ガラス１０及び１１の間に減圧層１２が形成され、板ガラス１０，１１、周縁シール材１３及びピラー１４の組み合わせはガラスパネル１６となるが、上述した処理は大気中で実行されるので、減圧層１２の圧力は大気圧である。
次いで、炉内の温度を一定時間維持することによって減圧層１２に存在する水分、有機物、油脂等をガス化させると共に、ＴＭＰ２６を稼働させて上記ガス及び空気を減圧層１２から排出することによって減圧層１２を減圧するベーキングを行い（ステップＳ３０５）、減圧層１２の圧力が所定の値を下回ると、ガラスパネル１６の冷却を開始すると共に、フィラメント２４に通電して、これを発熱させる。これにより、フィラメント２４が対向する排気管１５の端部を溶融させて減圧層１２を封止する（ステップＳ３０６）（図４Ｄ）。
図３の減圧処理におけるステップＳ３０４〜Ｓ３０６において、ＲＰ２７は、常に稼働され、差動排気部２１を減圧することによって排気カップ１７を板ガラス１０に吸着させるだけでなく、本排気部１８への排気カップ１７の外からの空気の侵入を防止する。
図５は、図３の減圧処理における時間と温度の関係を示す図である。ステップＳ３０１〜Ｓ３０３の各工程はＴ１までに実行され、ステップＳ３０４の封着はＴ１〜Ｔ４において実行され、ステップＳ３０５のベーキングはＴ４〜Ｔ５において実行され、ステップＳ３０６の冷却・封止はＴ５〜Ｔ６（炉内の徐冷）において実行される。
すなわち、Ｔ１〜Ｔ２において炉の内部の雰囲気温度を周縁シール材１３の溶融温度まで高め、Ｔ２〜Ｔ３において上記溶融温度まで高められた上記雰囲気温度を維持し、Ｔ３〜Ｔ４において炉の内部の雰囲気温度を周縁シール材１３の溶融温度を幾分下回る所定の温度まで降下させ、Ｔ４〜Ｔ５において上記雰囲気温度を上記所定の温度に維持し、Ｔ５〜Ｔ６において上記雰囲気温度を室温まで徐々に降下させるが、雰囲気温度がほぼ２５０℃まで降下した際、フィラメント２４に通電して減圧層１２を封止する。
図３の減圧処理によれば、ベーキング（ステップＳ３０５）の後、ガラスパネル１６の冷却を開始すると共に、フィラメント２４が対向する排気管１５の端部を溶融させて減圧層１２を封止する（ステップＳ３０６）ので、ベーキング時の高温から若干冷却されただけの雰囲気（ほぼ２５０℃）の熱エネルギーを排気管１５の端部の溶融に利用することができ、フィラメント２４の発熱量を削減することにより、エネルギーを削減できると共に、排気管１５の封止を安定して行うことができる。さらには、ガラスパネル１６を冷却しながら排気管１５の封止ができるので、工数の削減も行うことができる。
ここで、Ｔ５〜Ｔ６において、排気管１５の封止を安定して行える理由は、フィラメント２４が排気管１５の端部に加える熱エネルギーが小さくてすむため、例え、加える熱エネルギーがばらついたとしても、そのばらつきの絶対量が小さいためと推察される。従って、例えば、フィラメント２４に供給される電圧や電流が変動しても安定して排気管１５の封止を行うことができる。
図３の減圧処理において、ガラスパネル１６をＰＤＰとして使用する場合であって、ガラスパネル１６が排気管１５を複数有している場合、減圧処理装置２５は一の排気管１５を介して減圧層１２に存在する気体を排出すると共に、他の排気管１５を介して減圧層１２へガス（例えば、キセノン等の希ガス）を導入してもよく、これにより、ガスの充填の効率を向上できる。また、ガラスパネル１６が排気管１５を１つのみ有している場合、排気管１５を介して減圧層１２を減圧した後に、排気管１５を介して減圧層１２にガスを導入してもよく、これにより、減圧とガスの充填とを連続して行うことができ、もって作業効率を向上できる。このとき、ガスが導入された減圧層１２はガス導入層を形成する。
減圧処理装置２５によれば、０〜５００℃の間において板ガラス１０の膨張係数と排気カップ１７の構成材料の膨張係数との差の絶対値が２０×１０−６／℃以下であるので、図３の減圧処理の間、板ガラス１０に対する排気カップ１７の相対的な動きを防止でき、板ガラス１０と排気カップ１７との間に隙間が生じず、減圧層１２の真空度の低下を防止することができる。
上述したように、図３の減圧処理におけるステップＳ３０４〜Ｓ３０６において、排気カップ１７を板ガラス１０に吸着させるため、ＲＰ２７は差動排気部２１を減圧するが、特にガラスパネル１６の封着（ステップＳ３０４）において、ＲＰ２７が、差動排気部２１と本排気部１８との間における板ガラス１０及び排気カップ１７の微小な隙間を介して本排気部１８を減圧することがあり、その結果、減圧層１２が減圧されるため、溶融した周縁シール材１３が減圧層１２へ約２０ｍｍ程度引き込まれるという問題がある。
しかしながら、減圧処理装置２５によれば、本排気系２０は大気開放弁３２を有するので、ＲＰ２７が差動排気部２１を減圧していても、大気開放弁３２を開放することによって本排気部１８を大気圧に保つことができ、減圧層１２が減圧されることがなく、もって溶融した周縁シール材１３を減圧層１２に引き込むことを抑制できる。大気開放弁３２を開放した場合、ガラスパネル１６の封着後における周縁シール材１３の減圧層１２への侵入量は６〜７ｍｍ程度である。
また、図３の減圧処理では、板ガラス１０及び１１を封着したとき（ステップＳ３０４）、減圧層１２の圧力は大気圧であり、その後、ベーキング（ステップＳ３０５）において減圧層１２の減圧を開始すると、本排気部１８はほぼ真空の状態に直ちに到達するが、減圧層１２は排気管１５の管路抵抗により依然、大気圧に保たれる。従って、ベーキングの初期において板ガラス１０における排気カップ１７が装着される部分、特に、本排気部１８に対向する部分には、本排気部１８の負圧によって曲げ応力（排気装置が装着される板ガラスの部分において発生する応力）が発生する。このとき、当該曲げ応力が板ガラス１０の短期許容応力以下となるガラスパネル１６を用いるのが好ましく、これにより、板ガラス１０のクラックの発生を防止できる。特に、本排気部１８の開口部の径であるφ３８ｍｍの範囲において、負圧として大気圧の絶対値相当の圧力が負荷されたとき、板ガラス１０に発生する曲げ応力が板ガラス１０の短期許容応力以下であることが好ましい。
さらに、図３の減圧処理において、排気カップ１７はステンレス製であり、本排気系２０、及び差動排気系２３は金属製であるので、高温雰囲気に耐えることができ、ガラスパネル１６の封着（ステップＳ３０３）からベーキング（ステップＳ３０４）にかけて、ガラスパネル１６に排気カップ１７、本排気系２０、及び差動排気系２３を装着したまま処理することができ、工数を削減できると共に、排気カップ１７、本排気系２０及び差動排気系２３の脱着のためにガラスパネル１６を冷却する必要がないので、エネルギーの削減もできる。但し、排気カップ１７、本排気系２０及び差動排気系２３は金属からのみなるものに限られず、金属及びセラミックの組み合わせからなるものであってもよい。
減圧処理装置２５によれば、排気カップ１７は焼鈍処理が施されるので、排気カップ１７の溶接加工の際に生じる加工歪みを除去でき、ガラスパネル１６の封着（ステップＳ３０４）やベーキング（ステップＳ３０５）において、排気カップ１７に熱歪みが発生しても、排気カップ１７が変形しない。その結果、板ガラス１０と排気カップ１７との間に隙間が生じることがなく、減圧層１２の真空度の低下を確実に防止することができる。また、排気カップ１７は真空中において処理されるので、その表面が酸化することがなく、焼鈍処理後の本排気系２０や差動排気系２３の溶接を容易に行うことができる。
図６は、図２の減圧処理装置２５における電気回路の概略構成を示す図である。
図６において、電源７０は定電流装置７１（電流供給装置）に接続され、定電流装置７１は複数の分岐配線７２，７３，７４を有し、複数の分岐配線７２，７３，７４の各々は、対応する排気カップ１７におけるフィラメント２４へ接続され、各フィラメント２４は本排気系２０を利用する戻り回路７５に接続され、戻り回路７５は減圧処理装置２５が有する床面７６へ接続され、そして、床面７６はアース線７７を介してアースされる。床面７６は減圧処理装置２５の構成部品であるが、上述した炉の床面も兼ねる。従って、フィラメント２４は炉内に収容されるが、定電流装置７１及び電源７０は炉外に配置される。また、分岐配線７２，７３，７４を炉内部分と炉外部分に仕切る電流導入端子７８は、炉外且つ床面７６から所定の距離だけ離れた位置に設置される。また、分岐配線７２，７３，７４の各々は、対応する排気カップ１７の本排気系２０に収容される。
定電流装置７１は、分岐配線７２，７３，７４の夫々に一定の電流を供給するだけでなく、分岐配線７２，７３，７４への電流の供給の順序を制御し、分岐配線７２，７３，７４へ順次電流を供給する。
フィラメント２４の発熱量を制御するためには、通常、フィラメント２４に負荷される電圧を制御すればよい。しかしながら、各フィラメント２４に接続される分岐配線７２，７３，７４の長さは夫々異なるので、分岐配線７２，７３，７４の回路抵抗ｒ１，ｒ２，ｒ３は夫々異なる値となり、電源７０を共有する場合、各フィラメント２４に負荷される電圧を同じにするのは困難であり、電圧を負荷するフィラメント２４を変更する度に回路抵抗を考慮に入れて電圧の調整を行う必要がある。
減圧処理装置２５によれば、定電流装置７１がフィラメント２４に一定の電流を供給するので、分岐配線７２，７３，７４の回路抵抗ｒ１，ｒ２，ｒ３を考慮に入れる必要が無く、もってフィラメント２４の発熱量を容易に制御することができる。
また、通常、電流導入端子７８は、構成材料としてのセラミックからなり、分岐配線７２，７３，７４の夫々に対応して設けられた貫通孔を有する。貫通孔に分岐配線を通した際に発生する貫通孔の壁と分岐配線との隙間にはろう材が充填されるが、ろう材を炉内の高温雰囲気に直接暴露するとろう材が酸化するという問題がある。
減圧処理装置２５によれば、炉外且つ床面７６から所定の距離だけ離れた位置に設置されるので、電流導入端子７８で使用されるろう材が高温雰囲気に暴露させることがなく、ろう材の酸化を防止することができ、もって電流導入端子７８の耐久性を向上できる。
また、分岐配線７２，７３，７４の各々は、対応する排気カップ１７の本排気系２０に収容されるので、炉内の構成を簡素なものにすることができる。
さらに、減圧処理装置２５によれば、定電流装置７１は、分岐配線７２，７３，７４への電流の供給の順序を制御し、分岐配線７２，７３，７４へ順次電流を供給するので、フィラメント２４の数に一対一で対応した数の電源７０を備える必要が無く、もって減圧処理装置２５のコストを削減し、且つ減圧処理装置２５の大きさを縮小することができる。
尚、図６において、電源７０には３個のフィラメント２４が接続されるが、接続されるフィラメント２４の数はこれに限られず、例えば、電源７０に１５個のフィラメント２４が接続されてもよく、減圧処理装置２５が有する電源７０の数も１つに限られず、複数、例えば、４つであってもよい。電源７０を増やすことによって１つの電源７０が電流を供給するフィラメント２４の数を削減することができ、もって封止に要する時間を低減することができる。
図７は、図２の減圧処理装置２５の概略構成を示す斜視図である。
図７において、減圧処理装置２５は、床面７６を有する台車状の基部８０と、基部８０における床面７６の端部近傍に配設された４つの排気塔８１と、ガラスパネル１６を積層して載置可能なラック（不図示）とを備える。
また、炉はその内部を昇温、降温させるための循環空気を供給する供給口を有するが、減圧処理装置２５は、供給口に対向する位置において排気塔８１に支持されたパンチングメタルからなる整流板８２を備える。
排気塔８１の各々には、群をなす複数の排気カップ１７が本排気系２０及び差動排気系２３を介して接続され、これら複数の排気カップ１７は、本排気系２０及び差動排気系２３がフレキシブルチューブ構造を有するので、基部８０の四隅の夫々に対応した位置（複数の箇所）まで移動可能である。
従来、炉の供給口から供給された循環空気は、供給口に対応した位置に載置されたガラスパネル１６にのみ吹き付けられるため、供給口に対応した位置に載置されたガラスパネル１６のみ封着、ベーキングが適切に行われ、供給口から離れた位置に載置されたガラスパネル１６は封着、ベーキングが適切に行われないという問題がある。
しかしながら、減圧処理装置２５によれば、供給口に対向する位置において循環空気を整流する整流板８２を備えるので、供給口に対向した位置において処理されるガラスパネル１６のみに循環空気が吹き付けられることがなく、もって炉内の全てのガラスパネル１６にほぼ均一に循環空気を吹き付けることができ、全てのガラスパネル１６に封着、ベーキングを適切に行うことができる。尚、整流板８２としては、上述したパンチングメタルに限られるものでなく、スリットが設けられた平板や網などであってもよい。
また、減圧処理装置２５によれば、群をなす複数の排気カップ１７は、基部８０の四隅の夫々に対応した位置まで移動可能であるので、複数のガラスパネル１６の配置を自由に行うことができ、また、ラックの積み卸しの支障になることがなく、もって作業効率を向上できる。
上述した減圧処理装置２５は、複数のガラスパネル１６をバッチ処理する構成であるが、排気カップ１７、本排気系２０、差動排気系２３、ＲＰ２７、ＴＭＰ２６及び電源７０を１つずつ備え、１枚のガラスパネル１６につき、１つの減圧処理装置２５が対応する構成にしてもよく、これにより、ガラスパネル１６を個別に減圧処理できるので、上述したバッチ処理でなく、連続処理（連続プロセス）が可能となる。
また、ガラスパネル１６における減圧層１２の真空度は任意であり、完全真空でも、ガスが導入されたことに起因する低真空でもよく。例えば、当該ガラスパネル１６をＰＤＰに用いる際には、ガス導入層である減圧層１２の真空度が約１００Ｔｏｒｒから約６００Ｔｏｒｒ、望ましくは４５０Ｔｏｒｒであるのがよく、これにより、ガラスパネル１６をＰＤＰ等に好適に用いることができる。
以上、詳細に説明したように、本発明のガラスパネル及び減圧処理装置によれば、板ガラスの膨張係数と排気装置の構成材料の膨張係数との差の絶対値が所定値以下であるので、板ガラスに対する排気装置の相対的な動きを防止でき、板ガラスと排気装置との間に隙間が生じず、層状空間の真空度の低下を防止することができる。
本発明のガラスパネルによれば、層状空間は、気体の排出後にガスが導入されるガス導入層であるので、当該ガラスパネルをＰＤＰ等に好適に用いることができる。
本発明のガラスパネル及び減圧処理装置によれば、所定値は２０×１０−６／℃であるので、層状空間の真空度の低下をより防止することができる。
本発明のガラスパネル及び減圧処理装置によれば、層状空間に存在する気体を排出する際に、排気装置が装着される板ガラスの部分において発生する応力が板ガラスの短期許容応力以下であるので、板ガラスのクラックの発生を防止できる。
本発明のガラスパネルによれば、板ガラスの端部から５〜１００ｍｍの範囲内に配設され且つ層状空間と外部とを連通する連通部を備えるので、板ガラスにおける連通部の近傍の端部において応力が当該端部に集中することがなく、板ガラスの破損を防止することが可能であると共に、排気装置を装着して減圧層を減圧することができ、もって、作業効率を向上できる。
本発明のガラスパネル及び減圧処理装置によれば、板ガラスとの接触面において開口する溝を有し、該溝の断面積は０．５ｍｍ２以上であるので、該溝内を容易に減圧することができる。
本発明のガラスパネルによれば、連通部は、ガラスパネルが表示装置として用いられたときに、表示装置の裏面に相当する面に設けられるので、表示装置の表面を平滑にすることができ、もって当該表示装置の意匠性を向上できる。
本発明の減圧処理装置によれば、板ガラスは層状空間と外部とを連通する連通部を有し、排気装置は、板ガラスとの接触面において開口すると共に連通部を収容する密封室を有し、接触面における密封室周りのシール部の少なくとも１部はその幅が５ｍｍであるので、ガラスパネルにおける連通管の配置を自由に行なうことができる。
本発明の減圧処理装置によれば、板ガラスは層状空間と外部とを連通する連通部を有し、排気装置は、板ガラスとの接触面において、連通部を収容する密封室及び該密封室を囲う溝状の他の密封室を有するので、層状空間に存在する気体を排出する際に、排気装置の外部から密封室への空気の侵入を防止することができ、層状空間の真空度の低下を効率的に防止することができる。
本発明の減圧処理装置によれば、排気装置、減圧系統、及び他の減圧系統の構成材料は、金属又は金属及びセラミックの組み合わせからなるので、ガラスパネルを高温雰囲気で複数回処理する際に、排気装置、減圧系統、及び他の減圧系統を装着したまま処理することができ、工数を削減できると共に、排気装置、減圧系統、及び他の減圧系統の脱着のためにガラスパネルを冷却する必要がないので、エネルギーの削減もできる。
本発明の減圧処理装置によれば、減圧系統は大気開放弁を有するので、ガラスパネルの周縁に塗布された封着材を溶融する際に、他の密封室を減圧していても、密封室が減圧されることがなく、これにより、溶融した封着材が層状空間に侵入することを防止できる。
本発明の減圧処理装置によれば、他の減圧系統は、他の密封室及び他の減圧ポンプの間に配設された真空計と、他の減圧ポンプの近傍に配設された他の真空計とを有するので、他の密封室への空気の侵入があったときに、直ちに異常が感知できる。
本発明の減圧処理装置によれば、排気装置は焼鈍処理が施されるので、排気装置の溶接加工の際に生じる加工歪みを除去でき、ガラスパネルが高温雰囲気で処理される際、板ガラスと排気装置との間に隙間が生じることがなく、層状空間の真空度の低下を確実に防止することができる。
本発明の減圧処理装置によれば、排気装置は、連通部に対向し且つ該連通部と所定の間隙を維持して配設された発熱体を密封室に有するので、連通部の位置に注意を払うことなく、排気装置を装着することができ、もって作業効率を向上できる。
本発明の減圧処理装置によれば、発熱体の連通部への対向面積が、連通部の発熱体への対向面積の３倍以上であるので、連通部の位置に注意を払うことなく排気装置を装着しても確実に発熱体を連通部に対向させることができる。
本発明の減圧処理装置によれば、発熱体には定電流装置によって定電流を供給するので、定電流装置から発熱体までの配線における回路抵抗を考慮する必要をなくすことができ、もって発熱体の発熱量を容易に制御することができる。
本発明の減圧処理装置によれば、発熱体と定電流装置とを接続する電流導入端子は、炉の外に設けられるので、電流導入端子は炉内の高温雰囲気に暴露されることがなく、電流導入端子で使用されるろう材の酸化を防止することができ、もって電流導入端子の耐久性を向上できる。
本発明の減圧処理装置によれば、排気装置を複数有し、該複数の排気装置における発熱体の夫々に順次電流を供給する電流供給装置を備えるので、発熱体の数に一対一で対応した数の電流供給装置を備える必要が無く、もって減圧処理装置のコストを削減し、且つ減圧処理装置の大きさを縮小することができる。
本発明の減圧処理装置によれば、炉は循環空気の供給口を有し、該供給口に対向する位置において循環空気を整流する整流板を有するので、供給口に対向した位置において処理されるガラスパネルのみが高温雰囲気に晒されることがなく、もって炉内のガラスパネルの全てをほぼ均一の高温雰囲気に晒すことができ、ガラスパネルの品質を安定させることができる。
本発明の減圧処理装置によれば、群をなす複数の排気装置が複数の箇所に配設されるので、複数のガラスパネルの配置を自由に行うことができ、もって作業効率を向上できる。
本発明の減圧処理装置によれば、ガラスパネルの封着後、炉内の徐冷の際に、発熱体の発熱により連通部を溶融することによって封止するので、高温から若干冷却されただけの雰囲気の熱エネルギーを利用することによって、発熱体の発熱量を削減することができ、もってエネルギーを削減できると共に、連通部を安定して封止できる。
本発明の減圧処理装置によれば、ガラスパネルは連通部を複数有し、該複数の連通部のうち一の連通部を介して層状空間に存在する気体を排出すると共に、他の連通部を介して層状空間へガスを導入するので、ガスの充填の効率を向上できる。
本発明の減圧処理装置によれば、連通部を介して層状空間に存在する気体を排出した後に、連通部を介して層状空間へガスを導入するので、層状空間の減圧とガスの充填を連続して行うことができ、もって作業効率を向上できる。

Claims (27)

  1. 対向する複数の板ガラスと、前記複数の板ガラスの間に設けられた層状空間とを有し、前記複数の板ガラスのうち少なくとも１枚に装着された排気装置が前記層状空間に存在する気体を排出するガラスパネルにおいて、
    前記板ガラスの膨張係数と前記排気装置の構成材料の膨張係数との差の絶対値が所定値以下であることを特徴とするガラスパネル。
  2. 前記層状空間は、前記気体の排出後にガスが導入されるガス導入層であることを特徴とする請求の範囲第１項記載のガラスパネル。
  3. 前記所定値は２０×１０−６／℃であることを特徴とする請求の範囲第１項記載のガラスパネル。
  4. 前記層状空間に存在する気体を排出する際に、前記排気装置が装着される板ガラスの部分において発生する応力は、前記板ガラスの短期許容応力以下であることを特徴とする請求の範囲第１項記載のガラスパネル。
  5. 前記板ガラスの端部から５〜１００ｍｍの範囲内に配設され且つ前記層状空間と外部とを連通する連通部を備えることを特徴とする請求の範囲第１項記載のガラスパネル。
  6. 前記排気装置は、前記板ガラスとの接触面において開口する溝を有し、該溝の断面積は０．５ｍｍ２以上であることを特徴とする請求の範囲第１項記載のガラスパネル。
  7. 前記連通部は、前記ガラスパネルが表示装置として用いられたときに、前記表示装置の裏面に相当する面に設けられることを特徴とする請求の範囲第５項記載のガラスパネル。
  8. 対向する複数の板ガラスと、前記複数の板ガラスの間に設けられた層状空間とを有するガラスパネルに装着されると共に前記層状空間に存在する気体を排出する排気装置を備える減圧処理装置において、
    前記板ガラスの膨張係数と前記排気装置の構成材料の膨張係数との差の絶対値が所定値以下であることを特徴とする減圧処理装置。
  9. 前記所定値は２０×１０−６／℃であることを特徴とする請求の範囲第８項記載の減圧処理装置。
  10. 前記層状空間に存在する気体の排出の際、前記排気装置が前記板ガラスの部分において発生させる応力は、前記板ガラスの短期許容応力以下であることを特徴とする請求の範囲第８項記載の減圧処理装置。
  11. 前記板ガラスは前記層状空間と外部とを連通する連通部を有し、前記排気装置は、前記板ガラスとの接触面において開口すると共に前記連通部を収容する密封室を有し、前記接触面における前記密封室周りのシール部の少なくとも１部はその幅が５ｍｍであることを特徴とする請求の範囲第８項の減圧処理装置。
  12. 前記排気装置は、前記板ガラスとの前記接触面において開口する溝を有し、該溝の断面積は０．５ｍｍ２以上であることを特徴とする請求の範囲第８項記載の減圧処理装置。
  13. 前記板ガラスは前記層状空間と外部とを連通する連通部を有し、前記排気装置は、前記板ガラスとの接触面において、前記連通部を収容する密封室及び該密封室を囲う溝状の他の密封室を有し、前記密封室を減圧する減圧ポンプは減圧系統を介して前記密封室と接続され、前記他の密封室を減圧する他の減圧ポンプは他の減圧系統を介して前記他の密封室と接続されることを特徴とする請求の範囲第８項記載の減圧処理装置。
  14. 前記排気装置、前記減圧系統、及び前記他の減圧系統の構成材料は、金属又は金属及びセラミックの組み合わせからなることを特徴とする請求の範囲第１３項記載の減圧処理装置。
  15. 前記減圧系統は大気開放弁を有することを特徴とする請求の範囲第１３項記載の減圧処理装置。
  16. 前記他の減圧系統は、前記他の密封室及び前記他の減圧ポンプの間に配設された真空計と、前記他の減圧ポンプの近傍に配設された他の真空計とを有することを特徴とする請求の範囲第１３項記載の減圧処理装置。
  17. 前記排気装置は焼鈍処理が施されることを特徴とする請求の範囲第８項記載の減圧処理装置。
  18. 前記排気装置は、前記連通部に対向し且つ該連通部と所定の間隙を維持して配設された発熱体を前記密封室に有することを特徴とする請求の範囲第１３項記載の減圧処理装置。
  19. 前記発熱体の前記連通部への対向面積が、前記連通部の前記発熱体への対向面積の３倍以上であることを特徴とする請求の範囲第１８項記載の減圧処理装置。
  20. 前記発熱体に定電流を供給する定電流装置を有することを特徴とする請求の範囲第１８項記載の減圧処理装置。
  21. 高温雰囲気を実現する炉を備え、前記複数のガラスパネルはその周縁に塗布された封着材を前記高温雰囲気で溶融することによって互いに封着され、前記発熱体と前記定電流装置とを接続する電流導入端子は前記炉の外に設けられることを特徴とする請求の範囲第２０項記載の減圧処理装置。
  22. 前記排気装置を複数有し、該複数の排気装置における前記発熱体の夫々に順次電流を供給する電流供給装置を有することを特徴とする請求の範囲第１８項記載の減圧処理装置。
  23. 前記炉は循環空気を供給する供給口を有し、該供給口に対向する位置において前記循環空気を整流する整流板を有することを特徴とする請求の範囲第２１項記載の減圧処理装置。
  24. 群をなす複数の前記排気装置が複数の箇所に配設されることを特徴とする請求の範囲第８項記載の減圧処理装置。
  25. 前記ガラスパネルの封着後、前記炉内の徐冷の際に、前記発熱体の発熱により前記連通部を溶融することを特徴とする請求の範囲第２１項記載の減圧処理装置。
  26. 前記ガラスパネルは前記連通部を複数有し、該複数の連通部のうち一の連通部を介して前記層状空間に存在する気体を排出すると共に、他の連通部を介して前記層状空間へガスを導入することを特徴とする請求の範囲第１３項記載の減圧処理装置。
  27. 前記連通部を介して前記層状空間に存在する気体を排出した後に、前記連通部を介して前記層状空間へガスを導入することを特徴とする請求の範囲第１３項記載の減圧処理装置。
JP2004544931A 2002-10-15 2003-10-10 ガラスパネル及び減圧処理装置 Withdrawn JPWO2004035500A1 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002300982 2002-10-15
JP2002300982 2002-10-15
PCT/JP2003/013080 WO2004035500A1 (ja) 2002-10-15 2003-10-10 ガラスパネル及び減圧処理装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPWO2004035500A1 true JPWO2004035500A1 (ja) 2006-02-16

Family

ID=32105002

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004544931A Withdrawn JPWO2004035500A1 (ja) 2002-10-15 2003-10-10 ガラスパネル及び減圧処理装置

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JPWO2004035500A1 (ja)
KR (1) KR20050083766A (ja)
TW (1) TW200415133A (ja)
WO (1) WO2004035500A1 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI499015B (zh) * 2012-08-29 2015-09-01 Archers Inc 降溫裝置及其操作方法
EP3805174B1 (en) * 2018-05-30 2022-03-23 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Glass panel unit manufacturing method

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AUPP712198A0 (en) * 1998-11-13 1998-12-10 University Of Sydney, The Method of and apparatus for evacuating a glass chamber
JP2000264683A (ja) * 1999-03-16 2000-09-26 Central Glass Co Ltd 低圧複層ガラスおよびその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR20050083766A (ko) 2005-08-26
WO2004035500A1 (ja) 2004-04-29
TW200415133A (en) 2004-08-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2009054871A (ja) 載置台構造及び処理装置
JP4893474B2 (ja) フィラメントランプおよび光照射式加熱処理装置
JPWO2004095560A1 (ja) 半導体製造装置および半導体装置の製造方法
KR20110027621A (ko) 탑재대 구조체 및 처리 장치
KR100839250B1 (ko) 플라즈마 발생용 전극 및 플라즈마처리장치
JP2011165891A (ja) 載置台構造及び処理装置
JP2001325880A (ja) 電子源及び画像表示装置の製造装置及び方法、並びに基板処理装置及び方法
JP4794360B2 (ja) 基板処理装置
TW201633363A (zh) 電漿處理裝置
JP2011054838A (ja) 載置台構造及び処理装置
JPWO2004035500A1 (ja) ガラスパネル及び減圧処理装置
TWI463103B (zh) 熱處理裝置
JP2001208478A (ja) 熱処理装置
JP2006066265A (ja) 画像表示装置
JP3667256B2 (ja) 電子源の製造装置
JP2007026981A (ja) プラズマ処理装置
JP2003212610A (ja) ガラスパネルのゲッター加熱方法とその加熱装置
JP2004335194A (ja) 加熱装置及び加熱方法
CN104517797B (zh) 等离子体处理装置
JP2006186189A (ja) ガス処理製造装置、ガス処理製造方法
RU2356126C1 (ru) Герметичный корпус высоковакуумного прецизионного прибора и способ его изготовления
JP2005038692A (ja) 電子源の製造装置及び方法
KR20020083135A (ko) 배기 카트식 연속 배기 처리에 있어서의 불량품 패널의검지 방법
JP2006019185A (ja) ガス交換装置及びランプ製造装置
JP2006049483A (ja) 静電吸着装置および電子源の製造装置

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050805

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20060424

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060525

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060602

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060525

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20080425