JPS63181248A - 電子管の製造法 - Google Patents
電子管の製造法Info
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- JPS63181248A JPS63181248A JP62014512A JP1451287A JPS63181248A JP S63181248 A JPS63181248 A JP S63181248A JP 62014512 A JP62014512 A JP 62014512A JP 1451287 A JP1451287 A JP 1451287A JP S63181248 A JPS63181248 A JP S63181248A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2209/00—Apparatus and processes for manufacture of discharge tubes
- H01J2209/38—Control of maintenance of pressure in the vessel
- H01J2209/385—Gettering
Landscapes
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
- Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は電子管の製造法、特に電極の表面処理に関する
ものである。
ものである。
従来の技術
一般に電子管には、その中に入っている金属。
セラミック、ガラス等から放出されるガスを吸着し、管
内を高真空に保ちカソードを保護する為に、内部にゲッ
ターを使用している。
内を高真空に保ちカソードを保護する為に、内部にゲッ
ターを使用している。
第２図は平板画像表示管でのゲッターの使用の一例を示
す断面図であり、ここではバリウムゲッターを用いてお
り、２１ａ、２１ｂはゲッター、２２ａ、２２ｂはバリ
ウム膜、２３は容器、２４はバック電極、２６はアノー
ド、２７は線状カソード、２８は電極群を示す。
す断面図であり、ここではバリウムゲッターを用いてお
り、２１ａ、２１ｂはゲッター、２２ａ、２２ｂはバリ
ウム膜、２３は容器、２４はバック電極、２６はアノー
ド、２７は線状カソード、２８は電極群を示す。
バリウムゲッターには、通電加熱により、フラッシュす
る、ワイヤーゲッターと、高周波で加熱するリングゲッ
ターがある。
る、ワイヤーゲッターと、高周波で加熱するリングゲッ
ターがある。
ゲッター２１ａはワイヤーゲッターを外向きにリング状
にしたもので、高周波で加熱して容器２３の内面と、バ
ック電極２４の裏面にバリウム膜２２ａをフラッシュし
ている。
にしたもので、高周波で加熱して容器２３の内面と、バ
ック電極２４の裏面にバリウム膜２２ａをフラッシュし
ている。
またゲッター２１ｂは通電加熱により、容器２３の内壁
側面にバリウム膜２２ｂｉフラッシュする。
側面にバリウム膜２２ｂｉフラッシュする。
以上のようなフラッシュ方法により、１０インチ相当の
画面を表示する画像表示管の場合、バリウ４ム膜２２ａ
、２２ｂの面積は約３００ ＣｒＡになり、１００００
時間の寿命を保証できる吸着量を保持してきた。
画面を表示する画像表示管の場合、バリウ４ム膜２２ａ
、２２ｂの面積は約３００ ＣｒＡになり、１００００
時間の寿命を保証できる吸着量を保持してきた。
発明が解決しようとする問題点
第３図に他の画像表示管の例の断面図を示す。
３１はガラス容器、３３は電極群、３５は背面金属板、
３７ａ 、ｂ・・・・・・は線状カソード、３８はゲッ
ター、３９はバリウム膜を示す。
３７ａ 、ｂ・・・・・・は線状カソード、３８はゲッ
ター、３９はバリウム膜を示す。
大型化を図る場合、第２図に示すガラス容器では、全面
がガラスで構成されている為、大気圧に耐えるようにす
るには、４０吋の場合、厚みが２ｏｆｆｌｌｌ１以上に
なり、重量が重くなる。
がガラスで構成されている為、大気圧に耐えるようにす
るには、４０吋の場合、厚みが２ｏｆｆｌｌｌ１以上に
なり、重量が重くなる。
そのために、第３図に示すように、偏向電極３２、電極
群３３を、ガラス容器３１及び背面金属板３６で挾持す
ることにより、大気圧に耐える構造をとり、ガラスの厚
みを、５−程度に抑える。
群３３を、ガラス容器３１及び背面金属板３６で挾持す
ることにより、大気圧に耐える構造をとり、ガラスの厚
みを、５−程度に抑える。
しかし、この構造をとることで、ゲッター３８はガラス
容器側面にしかバリウム膜３９をフラッシュできなくな
り、寿命を１００００時間保証するだけの充分な吸着能
力を確保できない。また、カソード３７は断面０．４ｍ
ｍ Ｘ １６ ｍｍの部屋の中に設けてあり、カンード
３７近傍で発生したガスは、バリウム膜３９までの距離
が遠いことと狭い空間の為、なかなか吸着されず、カソ
ード３７がダメージを受けてしまうという問題点を有し
ていた。
容器側面にしかバリウム膜３９をフラッシュできなくな
り、寿命を１００００時間保証するだけの充分な吸着能
力を確保できない。また、カソード３７は断面０．４ｍ
ｍ Ｘ １６ ｍｍの部屋の中に設けてあり、カンード
３７近傍で発生したガスは、バリウム膜３９までの距離
が遠いことと狭い空間の為、なかなか吸着されず、カソ
ード３７がダメージを受けてしまうという問題点を有し
ていた。
本発明は上記問題点に鑑み、ゲラタル能力を有する膜及
び物質を設けるのに必要な面積がガラス容器内面に確保
できない場合でも、残留ガス及び駆動中に発生するガス
を吸着し、電子管を長寿命化するための電極の表面処理
を提供するものである。
び物質を設けるのに必要な面積がガラス容器内面に確保
できない場合でも、残留ガス及び駆動中に発生するガス
を吸着し、電子管を長寿命化するための電極の表面処理
を提供するものである。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明６は、電極表面に、
真空中で室温以上の温度に加熱することにより化学的に
活性になり、ガスを吸着する物質を、膜状に設ける工程
を備えたものである。
真空中で室温以上の温度に加熱することにより化学的に
活性になり、ガスを吸着する物質を、膜状に設ける工程
を備えたものである。
作 用
本発明は上記した構成によって、真空中で加熱するベー
キング工程により、電極表面に設けたゲッター物質に吸
着能力をもたせ、電極構体内で発生したガスをすみやか
に吸着し、管内を高真空に保ち長寿命を図ることとなる
。
キング工程により、電極表面に設けたゲッター物質に吸
着能力をもたせ、電極構体内で発生したガスをすみやか
に吸着し、管内を高真空に保ち長寿命を図ることとなる
。
実施例
以下本発明の一実施例の電極の表面処理について、図面
を参照しながら説明する。第１図は本発明の実施例にお
ける表面処理をした電極及びその近傍を示すものである
。１は線状カソード、２は絶縁スペーサ、３はＧ１電極
、４は背面電極、６はゲッター膜であり、線状カソード
１は、絶縁スペーサ２を介して、４００μｍの間隔でＧ
１電極３と背面電極４に挾持されている。また、Ｇ１電
極３には、ゲッター膜６が組立て前から設けられている
。ゲッター膜６は、本実施例においては真空蒸着により
設けたが、スパッタリング、イオンブレーティング或い
は、塗布で設けても、同様な効果を得ることができる。
を参照しながら説明する。第１図は本発明の実施例にお
ける表面処理をした電極及びその近傍を示すものである
。１は線状カソード、２は絶縁スペーサ、３はＧ１電極
、４は背面電極、６はゲッター膜であり、線状カソード
１は、絶縁スペーサ２を介して、４００μｍの間隔でＧ
１電極３と背面電極４に挾持されている。また、Ｇ１電
極３には、ゲッター膜６が組立て前から設けられている
。ゲッター膜６は、本実施例においては真空蒸着により
設けたが、スパッタリング、イオンブレーティング或い
は、塗布で設けても、同様な効果を得ることができる。
ゲッター膜５として、ここではＺｒ８４’ｌｒ Ａ（
１１ａチ合金を蒸着したものを用いた。この合金は、真
空中で３００’Ｃ以上で保持することで、吸着能力を有
している。そこで、組立て工程後のベーキング工程にお
いて真空中で画像表示管を３６０’Ｃ迄加熱し、ゲッタ
ー膜６に吸着能力をもたせた後、封じ切りを行なう。以
上のような工程を経たゲッター膜６は、画像表示管を動
作させることにより発生するガスを吸着する。
１１ａチ合金を蒸着したものを用いた。この合金は、真
空中で３００’Ｃ以上で保持することで、吸着能力を有
している。そこで、組立て工程後のベーキング工程にお
いて真空中で画像表示管を３６０’Ｃ迄加熱し、ゲッタ
ー膜６に吸着能力をもたせた後、封じ切りを行なう。以
上のような工程を経たゲッター膜６は、画像表示管を動
作させることにより発生するガスを吸着する。
以上のように本実施例によれば、Ｇ１電極６０表面に、
室温以上の温度で活性になるゲッター膜６を設け、ベー
キング工程を経ることにより、電極構体６中、特に線状
カソード１の近傍で発生するガスをゲッター膜５がすみ
やかに吸着し、高真空の長寿命な電子管を提供すること
ができる。
室温以上の温度で活性になるゲッター膜６を設け、ベー
キング工程を経ることにより、電極構体６中、特に線状
カソード１の近傍で発生するガスをゲッター膜５がすみ
やかに吸着し、高真空の長寿命な電子管を提供すること
ができる。
また、ゲッター膜６を蒸着する場合、真空度を０．ＩＴ
ｏｒｒで行なうと、膜質がポーラスになり、実表面積が
増加しゲッター膜６の吸着スピードがアップし、よシ良
い真空特性を得ることができる。
ｏｒｒで行なうと、膜質がポーラスになり、実表面積が
増加しゲッター膜６の吸着スピードがアップし、よシ良
い真空特性を得ることができる。
発明の効果
以上のように本発明は、電極の表面に室温以上で活性に
なる物質を設け、真空中で加熱することでゲッター作用
をもたせることにより、電子管内を高真空にし、長寿命
にすることができる。
なる物質を設け、真空中で加熱することでゲッター作用
をもたせることにより、電子管内を高真空にし、長寿命
にすることができる。
第１図は本発明の実施例における表面処理をした電極を
用いた画像表示管の構成図、第２図は従来の画像表示管
の断面図、第３図は従来の別の画像表示管の断面図であ
る。 １・・・・・・線状カソード、２・・・・・絶縁スペー
サ、３・・・・・・Ｇ１電極、４・・・・・・背面電極
、６・・・・・・ゲッター膜、２１ ａ 、 ２１ ｂ
、 ３Ｂ＝−−−−ゲッター、２２ａ。 ２２ｂ、３９・・・・・・バリウム膜、２３．３１・・
・・・・ガラス容器、３６・・・・・・背面金属板。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名！−
１泉状Ａンード ？−絶縁スベ−ブ ３−＆ ／電」致 こ３−＊、器 ２４−バッグ電糧 δ−＠子 ２６− アノード １７−一珠状カソード 第２１１！ＪＺδ・−琶模群 ３を−名襞器 ３２−鳴ＰＩ覧範 ３３−’を極群 ３％−カソード Ｊ８− ゲッター ３９− バリウム 第３図
用いた画像表示管の構成図、第２図は従来の画像表示管
の断面図、第３図は従来の別の画像表示管の断面図であ
る。 １・・・・・・線状カソード、２・・・・・絶縁スペー
サ、３・・・・・・Ｇ１電極、４・・・・・・背面電極
、６・・・・・・ゲッター膜、２１ ａ 、 ２１ ｂ
、 ３Ｂ＝−−−−ゲッター、２２ａ。 ２２ｂ、３９・・・・・・バリウム膜、２３．３１・・
・・・・ガラス容器、３６・・・・・・背面金属板。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名！−
１泉状Ａンード ？−絶縁スベ−ブ ３−＆ ／電」致 こ３−＊、器 ２４−バッグ電糧 δ−＠子 ２６− アノード １７−一珠状カソード 第２１１！ＪＺδ・−琶模群 ３を−名襞器 ３２−鳴ＰＩ覧範 ３３−’を極群 ３％−カソード Ｊ８− ゲッター ３９− バリウム 第３図
Claims (6)
- （１）真空中に封入した電極を有する電子管の製造法に
おいて、室温以上で化学的に活性になる物質の薄膜を前
記電極面に製膜することを特徴とする電子管の製造法。 - （２）真空中で製膜することを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の電子管の製造法。 - （３）電極に設ける薄膜に、Ｚｒを含む合金を用いるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の電子管の製
造法。 - （４）製膜を真空度１〜１０＾−＾３Ｔｏｒｒで行なう
ことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の電子管の
製造法。 - （５）製膜をＨ＿２、Ｎ＿２或いは不活性ガス中で行な
うことを特徴とする特許請求の範囲第４項記載の電子管
の製造法。 - （６）製膜終了後、Ｈ＿２雰囲気中で冷却大気圧にした
後、大気中に取り出すことを特徴とする特許請求の範囲
第３項記載の電子管の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62014512A JPS63181248A (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 | 電子管の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62014512A JPS63181248A (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 | 電子管の製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63181248A true JPS63181248A (ja) | 1988-07-26 |
Family
ID=11863132
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62014512A Pending JPS63181248A (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 | 電子管の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63181248A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0254832A (ja) * | 1988-08-18 | 1990-02-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子管の製造方法 |
| US5936342A (en) * | 1994-12-14 | 1999-08-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Image display apparatus and method of activating getter |
| EP1100107A2 (en) * | 1999-11-12 | 2001-05-16 | Sony Corporation | Getter, flat-panel display and method of production thereof |
| US6383050B1 (en) | 1999-01-13 | 2002-05-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for forming non-evaporative getter and method of producing image forming apparatus |
| US6396207B1 (en) | 1998-10-20 | 2002-05-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Image display apparatus and method for producing the same |
| US6489720B1 (en) | 1998-09-07 | 2002-12-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Image-forming apparatus and fabrication method therefor |
| US7091662B2 (en) | 2002-07-23 | 2006-08-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Image display device and method of manufacturing the same |
| US7315115B1 (en) | 2000-10-27 | 2008-01-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Light-emitting and electron-emitting devices having getter regions |
-
1987
- 1987-01-23 JP JP62014512A patent/JPS63181248A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0254832A (ja) * | 1988-08-18 | 1990-02-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子管の製造方法 |
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| US6652343B2 (en) | 1998-10-20 | 2003-11-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for gettering an image display apparatus |
| US6383050B1 (en) | 1999-01-13 | 2002-05-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for forming non-evaporative getter and method of producing image forming apparatus |
| EP1100107A2 (en) * | 1999-11-12 | 2001-05-16 | Sony Corporation | Getter, flat-panel display and method of production thereof |
| JP2001210225A (ja) * | 1999-11-12 | 2001-08-03 | Sony Corp | ゲッター、平面型表示装置及び平面型表示装置の製造方法 |
| EP1100107A3 (en) * | 1999-11-12 | 2004-06-02 | Sony Corporation | Getter, flat-panel display and method of production thereof |
| US7315115B1 (en) | 2000-10-27 | 2008-01-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Light-emitting and electron-emitting devices having getter regions |
| US7091662B2 (en) | 2002-07-23 | 2006-08-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Image display device and method of manufacturing the same |
| US7500897B2 (en) | 2002-07-23 | 2009-03-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing image display device by stacking an evaporating getter and a non-evaporating getter on an image display member |
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