JPH08167392A - 画像表示装置およびその製造方法 - Google Patents
画像表示装置およびその製造方法Info
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- JPH08167392A JPH08167392A JP30899894A JP30899894A JPH08167392A JP H08167392 A JPH08167392 A JP H08167392A JP 30899894 A JP30899894 A JP 30899894A JP 30899894 A JP30899894 A JP 30899894A JP H08167392 A JPH08167392 A JP H08167392A
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- display device
- electron
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2201/00—Electrodes common to discharge tubes
- H01J2201/30—Cold cathodes
- H01J2201/316—Cold cathodes having an electric field parallel to the surface thereof, e.g. thin film cathodes
- H01J2201/3165—Surface conduction emission type cathodes
Landscapes
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】表面伝導型電子放出素子の特性がばらつくこと
を防止でき、また長時間の超高真空維持が可能な画像表
示装置および製造方法を実現する。 【構成】電子源１０４と、電子源から放出される電子ビ
ームを変調または加速する電極１０７と、電子ビームの
照射により発光する蛍光面部材１１０と、内部真空を維
持するためのゲッタを少なくとも内装し、封止可能な排
気管１００を備える画像表示装置において、特定の種類
のガスに対する吸着能力の大きな第１のゲッタ１１４，
１２４と、該第１のゲッタよりも吸着能を有するガスの
種類が多い第２のゲッタ１３５を有する。
を防止でき、また長時間の超高真空維持が可能な画像表
示装置および製造方法を実現する。 【構成】電子源１０４と、電子源から放出される電子ビ
ームを変調または加速する電極１０７と、電子ビームの
照射により発光する蛍光面部材１１０と、内部真空を維
持するためのゲッタを少なくとも内装し、封止可能な排
気管１００を備える画像表示装置において、特定の種類
のガスに対する吸着能力の大きな第１のゲッタ１１４，
１２４と、該第１のゲッタよりも吸着能を有するガスの
種類が多い第２のゲッタ１３５を有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、表面伝導型電子放出素
子を用いた画像表示装置およびその製造方法に関し、特
に、装置内のゲッタの配置および装置内の真空排気方法
に関する。
子を用いた画像表示装置およびその製造方法に関し、特
に、装置内のゲッタの配置および装置内の真空排気方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】画像形成装置として蛍光表示管、電界放
出型および表面伝導型の電子放出素子を用いた表示装置
など、自発光型表示装置が挙げられる。このうち、特に
主に電子源からの電子ビームにより蛍光体を励起して発
光させる電界放出型素子を用いた画像表示装置は、平面
で、かつ、明るく、見やすいなどの利点を有しているこ
とから産業上積極的に応用され、また、期待されてい
る。
出型および表面伝導型の電子放出素子を用いた表示装置
など、自発光型表示装置が挙げられる。このうち、特に
主に電子源からの電子ビームにより蛍光体を励起して発
光させる電界放出型素子を用いた画像表示装置は、平面
で、かつ、明るく、見やすいなどの利点を有しているこ
とから産業上積極的に応用され、また、期待されてい
る。
【０００３】電子源として、表面伝導型電子放出素子を
用い、電子ビームを加速させて蛍光体に照射し、蛍光体
を発光させて画像を表示する薄型の画像表示装置が各種
提案されている。
用い、電子ビームを加速させて蛍光体に照射し、蛍光体
を発光させて画像を表示する薄型の画像表示装置が各種
提案されている。
【０００４】図９および図１０は、上述したような画像
表示装置の従来例の構成を示す断面図および斜視図であ
る。
表示装置の従来例の構成を示す断面図および斜視図であ
る。
【０００５】図９および図１０において、３００は画像
表示装置内部を排気するための排気管（図には封じ切り
された後の状態が示されている）であり、３０１は電子
放出素子を構成した青板ガラスからなるバックプレー
ト、３０２と３０３は一定の間隔を隔てて設置された電
極、３０４は電極３０２と３０３の間に設けられた電子
放出部を含む薄膜、３０６は電子通過孔、３０７はグリ
ッド、３０８はメタルバック３０９および蛍光体３１０
が形成された青板ガラスからなるフェイスプレート、３
１１は外枠であり、３１４はゲッタ材を内包したゲッタ
材コンテナである。ゲッタ材コンテナ３１４はゲッタ材
コンテナ固定治具３１３に固定され、内部にはパネル内
の真空維持を目的とする蒸発型ゲッタ材を収納してお
り、該蒸発型ゲッタ材はフェイスプレート３０８または
バックプレート３０１に蒸着される。
表示装置内部を排気するための排気管（図には封じ切り
された後の状態が示されている）であり、３０１は電子
放出素子を構成した青板ガラスからなるバックプレー
ト、３０２と３０３は一定の間隔を隔てて設置された電
極、３０４は電極３０２と３０３の間に設けられた電子
放出部を含む薄膜、３０６は電子通過孔、３０７はグリ
ッド、３０８はメタルバック３０９および蛍光体３１０
が形成された青板ガラスからなるフェイスプレート、３
１１は外枠であり、３１４はゲッタ材を内包したゲッタ
材コンテナである。ゲッタ材コンテナ３１４はゲッタ材
コンテナ固定治具３１３に固定され、内部にはパネル内
の真空維持を目的とする蒸発型ゲッタ材を収納してお
り、該蒸発型ゲッタ材はフェイスプレート３０８または
バックプレート３０１に蒸着される。
【０００６】ここで、図９および図１０を参照して画像
表示装置の製造方法を説明する。
表示装置の製造方法を説明する。
【０００７】気密容器内は排気管３００を通して真空排
気され、さらにベーキングによって脱ガスを行った後、
排気管の一部を加熱して溶融させ、封じ切る（閉塞、切
断）。最後に気密容器内部の一端に設置されたゲッタ材
コンテナ３１４を加熱し、その内部に収納された蒸発型
ゲッタ材をフェイスプレート３０８またはバックプレー
ト３０１に蒸着することによって画像表示装置とされ
る。
気され、さらにベーキングによって脱ガスを行った後、
排気管の一部を加熱して溶融させ、封じ切る（閉塞、切
断）。最後に気密容器内部の一端に設置されたゲッタ材
コンテナ３１４を加熱し、その内部に収納された蒸発型
ゲッタ材をフェイスプレート３０８またはバックプレー
ト３０１に蒸着することによって画像表示装置とされ
る。
【０００８】一般にゲッタ材コンテナは一部が開放され
た金属管の内部にＢａを主成分とする蒸発型ゲッタ材を
収納したもので、形状として直線状のものやリング状の
ものがある。蒸発型ゲッタ材は、誘導加熱もしくは通電
加熱によってフラッシュさせることにより、ゲッタ材を
画像表示装置内に付着させ、これがガスを吸着すること
でパネル内の真空維持作用を持つ。
た金属管の内部にＢａを主成分とする蒸発型ゲッタ材を
収納したもので、形状として直線状のものやリング状の
ものがある。蒸発型ゲッタ材は、誘導加熱もしくは通電
加熱によってフラッシュさせることにより、ゲッタ材を
画像表示装置内に付着させ、これがガスを吸着すること
でパネル内の真空維持作用を持つ。
【０００９】なお、ゲッタ材としては上記蒸発型の他
に、真空中高温下で一定時間活性化させた後にガス吸着
能が発現する非蒸発型もある。非蒸発型のゲッタ材とし
ては、Ｚｒ−Ａｌ合金やＺｒ−Ｖ−Ｆｅ合金等が知られ
ている。
に、真空中高温下で一定時間活性化させた後にガス吸着
能が発現する非蒸発型もある。非蒸発型のゲッタ材とし
ては、Ｚｒ−Ａｌ合金やＺｒ−Ｖ−Ｆｅ合金等が知られ
ている。
【００１０】ここで、表面伝導型電子放出素子について
述べる。
述べる。
【００１１】表面伝導型電子放出素子は、基板上に形成
された小面積の薄膜に、膜面に平行に電流を流すことに
より、電子放出が生じる現象を利用するものである。
された小面積の薄膜に、膜面に平行に電流を流すことに
より、電子放出が生じる現象を利用するものである。
【００１２】このような表面伝導型電子放出素子として
は、電子放出を司る薄膜として、Ａｕ薄膜によるもの
［G.Dittmer:"Thin solid films", 9,317(1972)参
照］、Ｉｎ2０3／ＳｎＯ2薄膜によるもの［M.Hartwell
and C.G. Fonstad:"IEEE Trans ED conf.".519(197
5)］、カーボン薄膜によるもの［荒木久 他：真空、第
２６巻、第１号、２２頁（１９８３）］等が報告されて
いる。
は、電子放出を司る薄膜として、Ａｕ薄膜によるもの
［G.Dittmer:"Thin solid films", 9,317(1972)参
照］、Ｉｎ2０3／ＳｎＯ2薄膜によるもの［M.Hartwell
and C.G. Fonstad:"IEEE Trans ED conf.".519(197
5)］、カーボン薄膜によるもの［荒木久 他：真空、第
２６巻、第１号、２２頁（１９８３）］等が報告されて
いる。
【００１３】これらの表面伝導型電子放出素子の典型的
な素子構成として前述のＭ．ハートウェルの素子構成を
図１１に示す。
な素子構成として前述のＭ．ハートウェルの素子構成を
図１１に示す。
【００１４】同図において１は絶縁性基板である。２は
電子放出部形成用薄膜で、Ｈ型形状のパターンに、スパ
ッタで形成された金属酸化物薄膜等からなり、後述のフ
ォーミングと呼ばれる通電処理により電子放出部３が形
成される。４は電子放出部を含む薄膜と呼ぶことにす
る。なお、図中のＬは、０．５〜１ｍｍ、Ｗは、０．１
ｍｍで設定されている。
電子放出部形成用薄膜で、Ｈ型形状のパターンに、スパ
ッタで形成された金属酸化物薄膜等からなり、後述のフ
ォーミングと呼ばれる通電処理により電子放出部３が形
成される。４は電子放出部を含む薄膜と呼ぶことにす
る。なお、図中のＬは、０．５〜１ｍｍ、Ｗは、０．１
ｍｍで設定されている。
【００１５】従来、これらの表面伝導型電子放出素子に
おいては、電子放出を行う前に電子放出部形成用薄膜２
を予めフォーミングと呼ばれる通電処理によって電子放
出部３を形成するのが一般的であった。ここで、フォー
ミングとは前記電子放出部形成用薄膜２の両端に電圧を
印加して通電し、電子放出部形成用薄膜を局所的に破
壊、変形もしくは変質せしめ、電気的に高抵抗な状態に
した電子放出部３を形成することである。なお、電子放
出部３は電子放出部形成用薄膜２の一部に亀裂が発生
し、その亀裂付近から電子放出が行われる。以下、フォ
ーミングにより形成した電子放出部を含む電子放出部形
成用薄膜２を電子放出部を含む薄膜４と呼ぶ。前記フォ
ーミング処理をした表面伝導型電子放出素子は、上述電
子放出部を含む薄膜４に電圧を印加し、素子に電流を流
すことにより、上述した電子放出部３より電子を放出さ
せるものである。
おいては、電子放出を行う前に電子放出部形成用薄膜２
を予めフォーミングと呼ばれる通電処理によって電子放
出部３を形成するのが一般的であった。ここで、フォー
ミングとは前記電子放出部形成用薄膜２の両端に電圧を
印加して通電し、電子放出部形成用薄膜を局所的に破
壊、変形もしくは変質せしめ、電気的に高抵抗な状態に
した電子放出部３を形成することである。なお、電子放
出部３は電子放出部形成用薄膜２の一部に亀裂が発生
し、その亀裂付近から電子放出が行われる。以下、フォ
ーミングにより形成した電子放出部を含む電子放出部形
成用薄膜２を電子放出部を含む薄膜４と呼ぶ。前記フォ
ーミング処理をした表面伝導型電子放出素子は、上述電
子放出部を含む薄膜４に電圧を印加し、素子に電流を流
すことにより、上述した電子放出部３より電子を放出さ
せるものである。
【００１６】上述の表面伝導型放出素子は、構造が単純
で製造も容易であることから、大面積に渡って多数素子
を配列形成できる利点がある。したがって、この特徴を
生かした様々な応用が可能であり、前述したような画像
表示装置にも適している。すなわち、近年、液晶を用い
た平板型表示装置がＣＲＴに替わって普及してきたが、
自発光型でないためバックライト等を持たなければなら
ない等の問題点があり、自発光型の表示装置の開発が望
まれてきた。
で製造も容易であることから、大面積に渡って多数素子
を配列形成できる利点がある。したがって、この特徴を
生かした様々な応用が可能であり、前述したような画像
表示装置にも適している。すなわち、近年、液晶を用い
た平板型表示装置がＣＲＴに替わって普及してきたが、
自発光型でないためバックライト等を持たなければなら
ない等の問題点があり、自発光型の表示装置の開発が望
まれてきた。
【００１７】液晶を用いた平板型表示装置に対し、表面
伝導型放出素子を多数配置した電子源と、該電子源より
放出された電子によって可視光を発光せしめる蛍光体と
を組み合わせた表示装置である画像表示装置は、大画面
の装置としても比較的容易に製造できる自発光型表示装
置である（例えば、ＵＳＰ５０６８８３号参照）。
伝導型放出素子を多数配置した電子源と、該電子源より
放出された電子によって可視光を発光せしめる蛍光体と
を組み合わせた表示装置である画像表示装置は、大画面
の装置としても比較的容易に製造できる自発光型表示装
置である（例えば、ＵＳＰ５０６８８３号参照）。
【００１８】また、表面伝導型電子放出素子を用いた大
画面表示装置の実現のため、真空にされた画像表示装置
の内部空間を画像表示部と、真空排気および真空維持部
を電子源等が形成される基板材にて分割した構成の画像
表示装置等も提案されている（特開平４−１３２１４７
号公報参照）。
画面表示装置の実現のため、真空にされた画像表示装置
の内部空間を画像表示部と、真空排気および真空維持部
を電子源等が形成される基板材にて分割した構成の画像
表示装置等も提案されている（特開平４−１３２１４７
号公報参照）。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
表面伝導型電子放出素子を用いた大画面画像表示装置に
おいては、以下のような問題点があった。
表面伝導型電子放出素子を用いた大画面画像表示装置に
おいては、以下のような問題点があった。
【００２０】（１）表面伝導型電子放出素子は、上述し
たように、一般的に電子放出を行う前にフォーミングと
呼ばれる通電処理によって電子放出部形成用薄膜を局所
的に破壊、変形もしくは変質させ、電気的に高抵抗な状
態にした電子放出部を形成することが必要である。この
ような電気的に高抵抗な状態とされた電子放出部を有す
る表面伝導型電子放出素子は、後のエージング等の過程
で発生する酸素や水蒸気の影響を受け易く、パネル封着
（フェイスプレートとバックプレートを外枠を介して接
着する工程）後の上記装置内において上記の酸素や水蒸
気のガス分圧が高いときには上記表面伝導型電子放出素
子の特性がばらつく場合があった。
たように、一般的に電子放出を行う前にフォーミングと
呼ばれる通電処理によって電子放出部形成用薄膜を局所
的に破壊、変形もしくは変質させ、電気的に高抵抗な状
態にした電子放出部を形成することが必要である。この
ような電気的に高抵抗な状態とされた電子放出部を有す
る表面伝導型電子放出素子は、後のエージング等の過程
で発生する酸素や水蒸気の影響を受け易く、パネル封着
（フェイスプレートとバックプレートを外枠を介して接
着する工程）後の上記装置内において上記の酸素や水蒸
気のガス分圧が高いときには上記表面伝導型電子放出素
子の特性がばらつく場合があった。
【００２１】（２）大画面装置とした場合、長時間の超
高真空維持の点で十分でない場合があった。
高真空維持の点で十分でない場合があった。
【００２２】したがって、本発明の目的とするところ
は、上述のような問題点、すなわち、表面伝導型電子放
出素子を用いた画像表示装置固有の問題点と超高真空維
持に係る問題点を解消し得る画像表示装置を提供するこ
とにある。具体的には、表面伝導型電子放出素子の特性
のばらつきを防止することができ、また、長時間の超高
真空維持が可能な画像表示装置および製造方法を実現す
ることを目的とする。
は、上述のような問題点、すなわち、表面伝導型電子放
出素子を用いた画像表示装置固有の問題点と超高真空維
持に係る問題点を解消し得る画像表示装置を提供するこ
とにある。具体的には、表面伝導型電子放出素子の特性
のばらつきを防止することができ、また、長時間の超高
真空維持が可能な画像表示装置および製造方法を実現す
ることを目的とする。
【００２３】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴とするとこ
ろは、電子源と、該電子源から放出される電子ビームを
変調または加速する電極と、電子ビームの照射により発
光する蛍光面部材と、内部真空を維持するためのゲッタ
を少なくとも内装し、封止可能な排気管を備える画像表
示装置において、特定の種類のガスに対する吸着能力の
大きな（排気速度の大きな）第１のゲッタと、該第１の
ゲッタよりも吸着能を有するガスの種類が多い第２のゲ
ッタを有する点にある。
ろは、電子源と、該電子源から放出される電子ビームを
変調または加速する電極と、電子ビームの照射により発
光する蛍光面部材と、内部真空を維持するためのゲッタ
を少なくとも内装し、封止可能な排気管を備える画像表
示装置において、特定の種類のガスに対する吸着能力の
大きな（排気速度の大きな）第１のゲッタと、該第１の
ゲッタよりも吸着能を有するガスの種類が多い第２のゲ
ッタを有する点にある。
【００２４】ここで、第１のゲッタにより排気される速
度が大きな一定のガスとは、酸素および水蒸気である。
度が大きな一定のガスとは、酸素および水蒸気である。
【００２５】また、上記の酸素および水蒸気に対する排
気速度の大きな第１のゲッタが、蒸発型ゲッタまたは上
記画像表示装置作製工程中の最高温度以下で活性化可能
な非蒸発型ゲッタである（複数使用を含む）ことも本発
明の特徴とするところである。
気速度の大きな第１のゲッタが、蒸発型ゲッタまたは上
記画像表示装置作製工程中の最高温度以下で活性化可能
な非蒸発型ゲッタである（複数使用を含む）ことも本発
明の特徴とするところである。
【００２６】さらに、上記蒸発型ゲッタの主成分が、Ｃ
ａ，Ｓｒ，Ｂａ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｚｎ，Ｓｉ，Ｇｅ，Ｓ
ｂ，Ｍｇ，Ａｇの中から選ばれる１種または２種以上で
ある（複数使用を含む）ことも本発明の特徴とするとこ
ろである。
ａ，Ｓｒ，Ｂａ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｚｎ，Ｓｉ，Ｇｅ，Ｓ
ｂ，Ｍｇ，Ａｇの中から選ばれる１種または２種以上で
ある（複数使用を含む）ことも本発明の特徴とするとこ
ろである。
【００２７】B.M.W Trapnell [Proc. Roy Soc.,A218,56
6(1953)]、 D.Brennanら[Proc. RoySoc., A256,81(196
0)]、 G.C,Bond ["Catalysis by Metals",p.66 Academic
Press, N. Y. (1962)]らの報告によれば、以下の金属
は酸素もしくは水蒸気に対して大きな排気速度を有して
いる。
6(1953)]、 D.Brennanら[Proc. RoySoc., A256,81(196
0)]、 G.C,Bond ["Catalysis by Metals",p.66 Academic
Press, N. Y. (1962)]らの報告によれば、以下の金属
は酸素もしくは水蒸気に対して大きな排気速度を有して
いる。
【００２８】（１）あらゆるガスまたは大部分のガスを
化学吸着するが、中でも酸素もしくは水蒸気に対する大
きな排気速度を有するもの Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ （２）酸素もしくは水蒸気だけをほぼ選択的に化学吸着
するもの Ｚｎ、Ｃｄ、Ｉｎ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ａｓ、Ｓ
ｂ、Ｂｉ、（Ｍｇ、Ａｇ） これらの金属を上記第１のゲッタ（蒸発型）として使用
すれば上記目的を達成できるが、該金属の融点が極端に
低いもの（具体的には４００℃以下のもの）や該金属に
昇華性のあるもの等は、ベーキング時やパネル駆動時に
悪影響を与えるために使用することができない。このよ
うな理由で、上記金属のうち、Ｃｄ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｐ
ｂ、Ａｓ、Ｂｉは単独元素としては使用できない。
化学吸着するが、中でも酸素もしくは水蒸気に対する大
きな排気速度を有するもの Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ （２）酸素もしくは水蒸気だけをほぼ選択的に化学吸着
するもの Ｚｎ、Ｃｄ、Ｉｎ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ａｓ、Ｓ
ｂ、Ｂｉ、（Ｍｇ、Ａｇ） これらの金属を上記第１のゲッタ（蒸発型）として使用
すれば上記目的を達成できるが、該金属の融点が極端に
低いもの（具体的には４００℃以下のもの）や該金属に
昇華性のあるもの等は、ベーキング時やパネル駆動時に
悪影響を与えるために使用することができない。このよ
うな理由で、上記金属のうち、Ｃｄ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｐ
ｂ、Ａｓ、Ｂｉは単独元素としては使用できない。
【００２９】また、上記金属のうち、融点が極端に高い
もの（具体的には４０００℃以上のもの）はパネル内で
蒸発させることが難しく、または、蒸発時の熱がパネル
内部の電子源等に悪影響を与えるため使用できない。こ
の理由で、上記金属のうちＨｆは、単独元素としては使
用できない。
もの（具体的には４０００℃以上のもの）はパネル内で
蒸発させることが難しく、または、蒸発時の熱がパネル
内部の電子源等に悪影響を与えるため使用できない。こ
の理由で、上記金属のうちＨｆは、単独元素としては使
用できない。
【００３０】したがって、上記金属のうち、上記画像表
示装置内で上記第１のゲッタの目的を達成できる（単
独）金属は、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｚｎ、Ｓ
ｉ、Ｇｅ、Ｓｂ、Ｍｇ、Ａｇである。つまり、上記第１
のゲッタ（蒸発型）としては、その主成分が、Ｃａ、Ｓ
ｒ、Ｂａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｚｎ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｂ、Ｍ
ｇ、Ａｇの中から選ばれる１種または２種以上であるこ
とが好ましい。なお、これらは複数使用してもよい。
示装置内で上記第１のゲッタの目的を達成できる（単
独）金属は、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｚｎ、Ｓ
ｉ、Ｇｅ、Ｓｂ、Ｍｇ、Ａｇである。つまり、上記第１
のゲッタ（蒸発型）としては、その主成分が、Ｃａ、Ｓ
ｒ、Ｂａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｚｎ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｂ、Ｍ
ｇ、Ａｇの中から選ばれる１種または２種以上であるこ
とが好ましい。なお、これらは複数使用してもよい。
【００３１】これらの中ではＴｉが特に好ましいが、こ
れは、A. K. Guptaらが報告しているように、金属Ｔｉ
の清浄表面では酸素が優先的に付着する[A. K. Gupta a
nd J. H. Leck、 Vacuum, 25, 362(1975)]からである。
れは、A. K. Guptaらが報告しているように、金属Ｔｉ
の清浄表面では酸素が優先的に付着する[A. K. Gupta a
nd J. H. Leck、 Vacuum, 25, 362(1975)]からである。
【００３２】なお、上記以外の元素や化合物であって
も、上記条件を満たし、かつ、上記目的を達成できるも
のであれば、第１のゲッタ（蒸発型）として当然使用で
きる。
も、上記条件を満たし、かつ、上記目的を達成できるも
のであれば、第１のゲッタ（蒸発型）として当然使用で
きる。
【００３３】また、上記第１のゲッタが非蒸発型ゲッタ
である場合は、上記画像表示装置を構成する各部品に対
する活性化時の幅射熱の影響を小さくするために、画像
表示装置の作製工程中の最高温度以下で活性化可能なも
のを使う必要があり、より低い温度で活性化可能な非蒸
発型ゲッタが好ましい。該非蒸発型ゲッタの例として
は、Ｚｒ−Ａｌ合金、Ｚｒ−Ｆｅ合金、Ｚｒ−Ｎｉ合
金、Ｚｒ−Ｎｂ−Ｆｅ合金、Ｚｒ−Ｔｉ−Ｆｅ合金、Ｚ
ｒ−Ｖ−Ｆｅ合金等を挙げることができ、この中では、
真空中３００℃付近で活性化でき、かつ、酸素や水蒸気
に対する排気速度が比較的大きなＺｒ−Ｖ−Ｆｅ合金が
特に好ましい。なお、上記の第１のゲッタとして用いる
非蒸発型ゲッタも、１種類のみの使用に限られず、複数
のものを複数箇所へ設置してもよい。該非蒸発型ゲッタ
の活性化はいずれを用いた場合も、真空排気下での該非
蒸発型ゲッタの加熱により行われる。なお、該非蒸発型
ゲッタは、予め別の真空容器内で加熱活性化を行ってお
けば、上記活性化時間が短縮され、該活性化時の幅射熱
の影響を小さく抑えられるのでより好ましい。
である場合は、上記画像表示装置を構成する各部品に対
する活性化時の幅射熱の影響を小さくするために、画像
表示装置の作製工程中の最高温度以下で活性化可能なも
のを使う必要があり、より低い温度で活性化可能な非蒸
発型ゲッタが好ましい。該非蒸発型ゲッタの例として
は、Ｚｒ−Ａｌ合金、Ｚｒ−Ｆｅ合金、Ｚｒ−Ｎｉ合
金、Ｚｒ−Ｎｂ−Ｆｅ合金、Ｚｒ−Ｔｉ−Ｆｅ合金、Ｚ
ｒ−Ｖ−Ｆｅ合金等を挙げることができ、この中では、
真空中３００℃付近で活性化でき、かつ、酸素や水蒸気
に対する排気速度が比較的大きなＺｒ−Ｖ−Ｆｅ合金が
特に好ましい。なお、上記の第１のゲッタとして用いる
非蒸発型ゲッタも、１種類のみの使用に限られず、複数
のものを複数箇所へ設置してもよい。該非蒸発型ゲッタ
の活性化はいずれを用いた場合も、真空排気下での該非
蒸発型ゲッタの加熱により行われる。なお、該非蒸発型
ゲッタは、予め別の真空容器内で加熱活性化を行ってお
けば、上記活性化時間が短縮され、該活性化時の幅射熱
の影響を小さく抑えられるのでより好ましい。
【００３４】さらに、上記のあらゆるガスに対して吸着
能を有し超高真空が維持できる第２のゲッタが、蒸発型
ゲッタまたは上記画像表示装置作製工程中の最高温度以
下で活性化可能な非蒸発型ゲッタである（複数使用を含
む）ことも本発明の特徴とするところである。
能を有し超高真空が維持できる第２のゲッタが、蒸発型
ゲッタまたは上記画像表示装置作製工程中の最高温度以
下で活性化可能な非蒸発型ゲッタである（複数使用を含
む）ことも本発明の特徴とするところである。
【００３５】上記第２の蒸発型ゲッタとしては、例え
ば、その主成分が、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｔｉ、Ｚｒ、
Ｖ、Ｎｂ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏであるもの等が挙げ
られる。これらの金属は、あらゆるガスまたは大部分の
ガスに対し高い排気速度を有していることが、S. Wagen
er [4th Nat'l Conf. Tube Techniques 1 (1958)]、 B.
M.WTrapnell [Proc. Roy Soc.,A218,566(1953)]、 G.C,B
ond ["Catalysis by Metals",p.66 Academic Press, N.
Y. (1962)]らから報告されている。これらの中では価
格、動作性等の点でＢａが上記第２の蒸発型ゲッタとし
て好ましい。なお、該蒸発型ゲッタは、上記の中の１種
を単独で用いてもよいが、２種以上（複数使用を含む）
を用いてもよい。
ば、その主成分が、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｔｉ、Ｚｒ、
Ｖ、Ｎｂ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏであるもの等が挙げ
られる。これらの金属は、あらゆるガスまたは大部分の
ガスに対し高い排気速度を有していることが、S. Wagen
er [4th Nat'l Conf. Tube Techniques 1 (1958)]、 B.
M.WTrapnell [Proc. Roy Soc.,A218,566(1953)]、 G.C,B
ond ["Catalysis by Metals",p.66 Academic Press, N.
Y. (1962)]らから報告されている。これらの中では価
格、動作性等の点でＢａが上記第２の蒸発型ゲッタとし
て好ましい。なお、該蒸発型ゲッタは、上記の中の１種
を単独で用いてもよいが、２種以上（複数使用を含む）
を用いてもよい。
【００３６】上記報告の中では、Ｈｆ、Ｔａ、Ｍｏ、
Ｗ、Ｒｅ等の金属も、あらゆるガスまたは大部分のガス
に対して高い排気速度を有しているとされているが、い
ずれの金属も融点が４０００℃以上と高いため、第２の
ゲッタとして単独元素で使用することは難しい。
Ｗ、Ｒｅ等の金属も、あらゆるガスまたは大部分のガス
に対して高い排気速度を有しているとされているが、い
ずれの金属も融点が４０００℃以上と高いため、第２の
ゲッタとして単独元素で使用することは難しい。
【００３７】なお、上記以外の元素や化合物であって
も、上記条件を満たし、かつ、上記目的を達成できるも
のであれば、第２のゲッタ（蒸発型）として当然使用で
きる。
も、上記条件を満たし、かつ、上記目的を達成できるも
のであれば、第２のゲッタ（蒸発型）として当然使用で
きる。
【００３８】また、上記第２のゲッタが非蒸発型ゲッタ
である場合は、上記画像表示装置の作製工程中の最高温
度以下で活性化可能なものを使う必要があり、より低い
温度で活性化可能な非蒸発型ゲッタが好ましい。該非蒸
発型ゲッタの例としては、Ｚｒ−Ａｌ合金、Ｚｒ−Ｆｅ
合金、Ｚｒ−Ｎｉ合金、Ｚｒ−Ｎｂ−Ｆｅ合金、Ｚｒ−
Ｔｉ−Ｆｅ合金、Ｚｒ−Ｖ−Ｆｅ合金等を挙げることが
でき、この中では、真空中３００℃付近で活性化できる
Ｚｒ−Ｖ−Ｆｅ合金が特に好ましい。なお、上記の第２
のゲッタとして用いる非蒸発型ゲッタも、１種類のみの
使用に限られず、複数のものを複数箇所へ設置してもよ
い。なお、該非蒸発型ゲッタの活性化はいずれを用いた
場合も、真空排気下での該非蒸発型ゲッタの加熱により
行われる。
である場合は、上記画像表示装置の作製工程中の最高温
度以下で活性化可能なものを使う必要があり、より低い
温度で活性化可能な非蒸発型ゲッタが好ましい。該非蒸
発型ゲッタの例としては、Ｚｒ−Ａｌ合金、Ｚｒ−Ｆｅ
合金、Ｚｒ−Ｎｉ合金、Ｚｒ−Ｎｂ−Ｆｅ合金、Ｚｒ−
Ｔｉ−Ｆｅ合金、Ｚｒ−Ｖ−Ｆｅ合金等を挙げることが
でき、この中では、真空中３００℃付近で活性化できる
Ｚｒ−Ｖ−Ｆｅ合金が特に好ましい。なお、上記の第２
のゲッタとして用いる非蒸発型ゲッタも、１種類のみの
使用に限られず、複数のものを複数箇所へ設置してもよ
い。なお、該非蒸発型ゲッタの活性化はいずれを用いた
場合も、真空排気下での該非蒸発型ゲッタの加熱により
行われる。
【００３９】次に、表面伝導型電子放出素子から構成さ
れた電子源を設置したプレートの下部、すなわち、蛍光
体等を構成したフェイスプレートとは反対側の空間にゲ
ッタ室を設けた構成の画像表示装置において、該ゲッタ
室に、上述の第１のゲッタ、かつ／または、上記第２の
ゲッタを配置したことも本発明の特徴である。
れた電子源を設置したプレートの下部、すなわち、蛍光
体等を構成したフェイスプレートとは反対側の空間にゲ
ッタ室を設けた構成の画像表示装置において、該ゲッタ
室に、上述の第１のゲッタ、かつ／または、上記第２の
ゲッタを配置したことも本発明の特徴である。
【００４０】また、上記電子源を構成したプレートに、
上下空間を連通する穴を設けた画像表示装置において
は、上記ゲッタ室に、上記第１のゲッタ、かつ／また
は、上記第２ゲッタを配置してもよい。なお、該ゲッタ
室に蒸発型ゲッタを配置する場合は、該上下空間を連通
する穴を設け、上記の蛍光体等を構成したフェイスプレ
ート側に該蒸発型ゲッタが拡散しないような構成とす
る、例えば、該上下空間を連通する穴側に非蒸発型ゲッ
タを配置し、その反対側（バックプレート側）に蒸発型
ゲッタを配置することが好ましい。
上下空間を連通する穴を設けた画像表示装置において
は、上記ゲッタ室に、上記第１のゲッタ、かつ／また
は、上記第２ゲッタを配置してもよい。なお、該ゲッタ
室に蒸発型ゲッタを配置する場合は、該上下空間を連通
する穴を設け、上記の蛍光体等を構成したフェイスプレ
ート側に該蒸発型ゲッタが拡散しないような構成とす
る、例えば、該上下空間を連通する穴側に非蒸発型ゲッ
タを配置し、その反対側（バックプレート側）に蒸発型
ゲッタを配置することが好ましい。
【００４１】上記電子源を構成したプレートがバックプ
レートとなっている（すなわち、該プレートの下部には
ゲッタ室がない）画像表示装置においては、画像表示部
以外の側面空間に、上記第１のゲッタ、かつ／または、
上記第２のゲッタを配置してもよい。
レートとなっている（すなわち、該プレートの下部には
ゲッタ室がない）画像表示装置においては、画像表示部
以外の側面空間に、上記第１のゲッタ、かつ／または、
上記第２のゲッタを配置してもよい。
【００４２】さらに、上記第１のゲッタおよび第２のゲ
ッタの使用法（蒸発型ゲッタにあってはフラッシュ（加
熱による側壁面等への蒸着）を指し、非蒸発型ゲッタに
あっては真空中での加熱活性化を指す）に関し、本発明
の特徴とするところは、次のとおりである。
ッタの使用法（蒸発型ゲッタにあってはフラッシュ（加
熱による側壁面等への蒸着）を指し、非蒸発型ゲッタに
あっては真空中での加熱活性化を指す）に関し、本発明
の特徴とするところは、次のとおりである。
【００４３】まず、上記第１のゲッタは、パネル封着
（フェイスプレートとバックプレートを外枠を介して接
着する工程）時またはその直後に使用することを特徴と
する。
（フェイスプレートとバックプレートを外枠を介して接
着する工程）時またはその直後に使用することを特徴と
する。
【００４４】一方、上記第２のゲッタは、非蒸発型ゲッ
タについては上記画像表示装置のベーキング時に、ま
た、蒸発型ゲッタについては上記画像表示装置をベーキ
ングし真空排気管を封じ切った後（パネル封止後）に使
用することを特徴とする。
タについては上記画像表示装置のベーキング時に、ま
た、蒸発型ゲッタについては上記画像表示装置をベーキ
ングし真空排気管を封じ切った後（パネル封止後）に使
用することを特徴とする。
【００４５】なお、非蒸発型ゲッタを、上記第１のゲッ
タおよび第２のゲッタとして用いることもでき、この場
合、該非蒸発型ゲッタを、パネル封着（フェイスプレー
トとバックプレートを外枠を介して接着する工程）時ま
たはその直後に活性化させ（第１回目）、かつ、上記画
像表示装置のベーキング時に再活性化させる（第２回
目）ことになる。この際、該非蒸発型ゲッタの上記第２
回目の活性化は、上記画像表示装置のベーキング時の熱
を利用してもよい。
タおよび第２のゲッタとして用いることもでき、この場
合、該非蒸発型ゲッタを、パネル封着（フェイスプレー
トとバックプレートを外枠を介して接着する工程）時ま
たはその直後に活性化させ（第１回目）、かつ、上記画
像表示装置のベーキング時に再活性化させる（第２回
目）ことになる。この際、該非蒸発型ゲッタの上記第２
回目の活性化は、上記画像表示装置のベーキング時の熱
を利用してもよい。
【００４６】同様に、同一の蒸発型ゲッタを上記第１の
ゲッタおよび第２のゲッタとして用いる場合（例えばＢ
ａを用いた場合）は、上記画像表示装置の作製工程中に
少なくとも２回以上使用することになる。
ゲッタおよび第２のゲッタとして用いる場合（例えばＢ
ａを用いた場合）は、上記画像表示装置の作製工程中に
少なくとも２回以上使用することになる。
【００４７】
【作用】パネル封着（フェイスプレートとバックプレー
トを外枠を介して接着する工程）時またはその直後に、
ある一定のガス、すなわち、酸素および水蒸気に対して
排気速度の大きな第１のゲッタを使用（蒸発型ゲッタに
あってはフラッシュ（加熱による側壁面等への蒸着）を
指し、非蒸発型ゲッタにあっては真空中での加熱活性化
を指す）することで、画像装置内の酸素や水蒸気の分圧
が低減する。その結果、電子放出部やその他のパネル内
の部材への酸素や水蒸気の吸着速度が減少する。これに
より、該電子放出部の劣化や抵抗変化等が抑えられ、表
面伝導型電子放出素子の特性のばらつきが小さくなる。
トを外枠を介して接着する工程）時またはその直後に、
ある一定のガス、すなわち、酸素および水蒸気に対して
排気速度の大きな第１のゲッタを使用（蒸発型ゲッタに
あってはフラッシュ（加熱による側壁面等への蒸着）を
指し、非蒸発型ゲッタにあっては真空中での加熱活性化
を指す）することで、画像装置内の酸素や水蒸気の分圧
が低減する。その結果、電子放出部やその他のパネル内
の部材への酸素や水蒸気の吸着速度が減少する。これに
より、該電子放出部の劣化や抵抗変化等が抑えられ、表
面伝導型電子放出素子の特性のばらつきが小さくなる。
【００４８】次に、あらゆるガスに対して吸着能を有し
超高真空が維持できる第２のゲッタを、非蒸発型ゲッタ
については上記画像表示装置のベ―キング時に、また、
蒸発型ゲッタについては上記画像表示装置をベーキング
し真空排気管を封じ切った後（パネル封止後）に使用す
ることで、該画像表示装置内が長時間、超高真空下に維
持される。その結果、上記画像表示装置の寿命が長くな
る。
超高真空が維持できる第２のゲッタを、非蒸発型ゲッタ
については上記画像表示装置のベ―キング時に、また、
蒸発型ゲッタについては上記画像表示装置をベーキング
し真空排気管を封じ切った後（パネル封止後）に使用す
ることで、該画像表示装置内が長時間、超高真空下に維
持される。その結果、上記画像表示装置の寿命が長くな
る。
【００４９】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００５０】［実施例１］本発明の第１実施例として、
表面伝導型電子放出素子を用いた薄型の画像表示装置に
おいて、第１のゲッタに、蒸発型ゲッタであるＴｉおよ
び非蒸発型ゲッタであるＺｒ−Ｖ−Ｆｅ合金を用い、第
２のゲッタに、蒸発型ゲッタであるＢａおよび非蒸発型
ゲッタであるＺｒ−Ｖ−Ｆｅ合金を用いた例について説
明する。
表面伝導型電子放出素子を用いた薄型の画像表示装置に
おいて、第１のゲッタに、蒸発型ゲッタであるＴｉおよ
び非蒸発型ゲッタであるＺｒ−Ｖ−Ｆｅ合金を用い、第
２のゲッタに、蒸発型ゲッタであるＢａおよび非蒸発型
ゲッタであるＺｒ−Ｖ−Ｆｅ合金を用いた例について説
明する。
【００５１】図１は、本発明の第１実施例の構成を示す
断面図であり、図９に示した従来例を基本としている。
断面図であり、図９に示した従来例を基本としている。
【００５２】図１において、１００は画像表示装置内部
を排気するための排気管（図では封じ切り後の状態を示
している）であり、１０１はバックプレート、１４０は
電子放出素子を構成した青板ガラスからなるプレート、
１０２と１０３は一定の間隔を隔てて設置された電極、
１０４は電極１０２と１０３の間に設けられた電子放出
部を含む薄膜、１０６は電子通過孔、１０７はグリッ
ド、１０８はメタルバック１０９および蛍光体１１０が
形成された青板ガラスからなるフェイスプレート、１１
１は外枠であり、１１４および１２４は蒸発型ゲッタ材
を内包した蒸発型ゲッタ材コンテナである。蒸発型ゲッ
タ材コンテナ１１４および１２４は蒸発型ゲッタ材コン
テナ固定治具１１３および１２３に固定されている。
を排気するための排気管（図では封じ切り後の状態を示
している）であり、１０１はバックプレート、１４０は
電子放出素子を構成した青板ガラスからなるプレート、
１０２と１０３は一定の間隔を隔てて設置された電極、
１０４は電極１０２と１０３の間に設けられた電子放出
部を含む薄膜、１０６は電子通過孔、１０７はグリッ
ド、１０８はメタルバック１０９および蛍光体１１０が
形成された青板ガラスからなるフェイスプレート、１１
１は外枠であり、１１４および１２４は蒸発型ゲッタ材
を内包した蒸発型ゲッタ材コンテナである。蒸発型ゲッ
タ材コンテナ１１４および１２４は蒸発型ゲッタ材コン
テナ固定治具１１３および１２３に固定されている。
【００５３】本実施例では、蒸発型ゲッタ材コンテナ１
１４にＢａを主成分とする蒸発型ゲッタ材を、また、蒸
発型ゲッタ材コンテナ１２４にＴｉを主成分とする蒸発
型ゲッタ材を用いた。
１４にＢａを主成分とする蒸発型ゲッタ材を、また、蒸
発型ゲッタ材コンテナ１２４にＴｉを主成分とする蒸発
型ゲッタ材を用いた。
【００５４】１３４は非蒸発型ゲッタ１３５を支持する
金属プレートで、本実施例では、非蒸発型ゲッタ１３５
にＺｒ−Ｖ−Ｆｅ合金を用いた。なお、非蒸発型ゲッタ
１３５および金属プレート１３４は、非蒸発型ゲッタ固
定治具１３３に固定されている。また、１４１は上下空
間の連通穴である。
金属プレートで、本実施例では、非蒸発型ゲッタ１３５
にＺｒ−Ｖ−Ｆｅ合金を用いた。なお、非蒸発型ゲッタ
１３５および金属プレート１３４は、非蒸発型ゲッタ固
定治具１３３に固定されている。また、１４１は上下空
間の連通穴である。
【００５５】次に、本実施例の具体的な製造手順につい
て以下に説明する。
て以下に説明する。
【００５６】まず、図２〜６を参照して表面伝導型電子
放出素子の製造方法について説明する。
放出素子の製造方法について説明する。
【００５７】図２は本実施例で製造した素子の構成図で
あり、図３〜図６はその製造方法を示した説明図であ
る。
あり、図３〜図６はその製造方法を示した説明図であ
る。
【００５８】絶縁性基板２０１として石英基板を用い、
これを洗剤、純水および有機溶剤により十分に洗浄（図
３（ａ）参照）した後、レジスト材ＲＤ−２０００Ｎ
（日立化成社製）を２５００ｒｐｍ、４０秒間でスピン
ナー塗布し８０℃、２５分間加熱してプリベークした
（図３（ｂ）参照）。次に、電極間隔Ｌ１は２μｍ、電
極長さＷ１は３００μｍの電極形状に対応するマスク２
００を用いて密着露光し、ＲＤ−２０００Ｎ用の現像液
で現像した（図３（ｃ）参照）。その後、１２０℃、２
０分加熱してポストベークした。
これを洗剤、純水および有機溶剤により十分に洗浄（図
３（ａ）参照）した後、レジスト材ＲＤ−２０００Ｎ
（日立化成社製）を２５００ｒｐｍ、４０秒間でスピン
ナー塗布し８０℃、２５分間加熱してプリベークした
（図３（ｂ）参照）。次に、電極間隔Ｌ１は２μｍ、電
極長さＷ１は３００μｍの電極形状に対応するマスク２
００を用いて密着露光し、ＲＤ−２０００Ｎ用の現像液
で現像した（図３（ｃ）参照）。その後、１２０℃、２
０分加熱してポストベークした。
【００５９】電極２０５，２０６の材料としては導電性
を有するものであればどのようなものであっても構わな
いが、本実施例ではニッケル金属を用いた。抵抗加熱蒸
着機を用いてニッケルを膜厚が１０００Åになるまで毎
秒３Åで蒸着した（図３（ｄ）参照）。その後、アセト
ンでリフトオフし、アセトン、イソプロピルアルコー
ル、続いて酢酸ブチルで洗浄後、乾燥した（図３（ｅ）
参照）。
を有するものであればどのようなものであっても構わな
いが、本実施例ではニッケル金属を用いた。抵抗加熱蒸
着機を用いてニッケルを膜厚が１０００Åになるまで毎
秒３Åで蒸着した（図３（ｄ）参照）。その後、アセト
ンでリフトオフし、アセトン、イソプロピルアルコー
ル、続いて酢酸ブチルで洗浄後、乾燥した（図３（ｅ）
参照）。
【００６０】次に、クロム２２４を基板全面に５００Å
蒸着した（図４（ｆ）参照）。その後、レジスト材ＡＺ
１３７０（ヘキスト社製）であるレジスト２２５を２５
００ｒｐｍ、３０秒間スピンナー塗布し、９０℃、３０
分間加熱してプリベークした（図４（ｇ）参照）。
蒸着した（図４（ｆ）参照）。その後、レジスト材ＡＺ
１３７０（ヘキスト社製）であるレジスト２２５を２５
００ｒｐｍ、３０秒間スピンナー塗布し、９０℃、３０
分間加熱してプリベークした（図４（ｇ）参照）。
【００６１】次に、電子源材料を塗布するパターンを有
するマスク４０１を用いて露光し（図４（ｈ）参照）、
現像液ＭＩＦ３１２で現像した（図５（ｉ）参照）。そ
の後、１２０℃、３０分間加熱してポストベークした。
するマスク４０１を用いて露光し（図４（ｈ）参照）、
現像液ＭＩＦ３１２で現像した（図５（ｉ）参照）。そ
の後、１２０℃、３０分間加熱してポストベークした。
【００６２】次に、（ＮＨ4）Ｃｅ（ＮＯ3）6／ＨＣｌ
Ｏ4／Ｈ2Ｏ＝１７ｇ／５ｃｃ／１００ｃｃの組成の溶液
に３０秒間浸漬し、クロム２２４をエッチングした（図
５（ｊ）参照）。その後、アセトン中で１０分間超音波
攪拌してレジスト２２５を剥離した（図５（ｋ）参
照）。
Ｏ4／Ｈ2Ｏ＝１７ｇ／５ｃｃ／１００ｃｃの組成の溶液
に３０秒間浸漬し、クロム２２４をエッチングした（図
５（ｊ）参照）。その後、アセトン中で１０分間超音波
攪拌してレジスト２２５を剥離した（図５（ｋ）参
照）。
【００６３】続いて、１２０℃、１０分加熱した。次
に、有機パラジウム（奥野製薬（株）製、ｃｃｐ−４２
３０）含有溶液を８００ｒｐｍ、３０秒間スピンナー塗
布した。その後、３００℃、２０分焼成して、酸化パラ
ジウム（ＰｄＯ）微粒子（粒径：１０Å〜１５０Å）を
主体とする微粒子状の電子放出部形成用薄膜２０２を形
成した（図５（ｌ）参照）。
に、有機パラジウム（奥野製薬（株）製、ｃｃｐ−４２
３０）含有溶液を８００ｒｐｍ、３０秒間スピンナー塗
布した。その後、３００℃、２０分焼成して、酸化パラ
ジウム（ＰｄＯ）微粒子（粒径：１０Å〜１５０Å）を
主体とする微粒子状の電子放出部形成用薄膜２０２を形
成した（図５（ｌ）参照）。
【００６４】続いて、クロム２２４をリフトオフするこ
とで、素子電極２０５および２０６上に一部かかった電
子放出部形成用薄膜２０２を作製した（図６（ｍ）参
照）。
とで、素子電極２０５および２０６上に一部かかった電
子放出部形成用薄膜２０２を作製した（図６（ｍ）参
照）。
【００６５】以下は図１を用いて説明する。
【００６６】上記素子電極と電子放出部形成用薄膜およ
び蒸発型ゲッタ材コンテナ１１４が形成されたプレート
１４０と、蒸発型ゲッタ材コンテナ１２４が形成された
バックプレート１０１を非蒸発型ゲッタ固定治具１３３
を介して接着させ、次に、フェイスプレート１０８とバ
ックプレート１０１を外枠１１１を介して接着させた。
接着（封着）には、主として低融点ガラス（日本電子硝
子（株）製、ＬＳ−３０８１）を用い、上方からおもり
により加圧し、大気中で封着熱処理温度４１０℃、封着
熱処理時間６０分の条件下で焼成し、画像表示装置を形
成した。
び蒸発型ゲッタ材コンテナ１１４が形成されたプレート
１４０と、蒸発型ゲッタ材コンテナ１２４が形成された
バックプレート１０１を非蒸発型ゲッタ固定治具１３３
を介して接着させ、次に、フェイスプレート１０８とバ
ックプレート１０１を外枠１１１を介して接着させた。
接着（封着）には、主として低融点ガラス（日本電子硝
子（株）製、ＬＳ−３０８１）を用い、上方からおもり
により加圧し、大気中で封着熱処理温度４１０℃、封着
熱処理時間６０分の条件下で焼成し、画像表示装置を形
成した。
【００６７】次に、図示しない真空排気装置により排気
管１００から上記装置内を真空排気した。本実施例で
は、この真空排気工程中に、第１のゲッタである非蒸発
型ゲッタ１３５（Ｚｒ−Ｖ−Ｆｅ合金）の加熱による活
性化、および蒸発型ゲッタ材コンテナ１２４の加熱によ
るＴｉの蒸着を行った。
管１００から上記装置内を真空排気した。本実施例で
は、この真空排気工程中に、第１のゲッタである非蒸発
型ゲッタ１３５（Ｚｒ−Ｖ−Ｆｅ合金）の加熱による活
性化、および蒸発型ゲッタ材コンテナ１２４の加熱によ
るＴｉの蒸着を行った。
【００６８】次に、真空排気下、上記非蒸発型ゲッタが
室温まで下がるのを待って、素子電極２０５，２０６３
の間に電圧を印加し、微粒子膜である薄膜２０２を通電
処理（フォーミング処理）することにより、電子放出部
２０３を形成させ、また、ｈ句膜２０４を形成した（図
６（ｎ）参照）。なお、本実施例では、フォーミング処
理をフェイスプレート１０８とバックプレート１０１を
外枠１１１を介して接着させるパネル封着後に行った
が、これは該パネル封着前に行ってもよい。
室温まで下がるのを待って、素子電極２０５，２０６３
の間に電圧を印加し、微粒子膜である薄膜２０２を通電
処理（フォーミング処理）することにより、電子放出部
２０３を形成させ、また、ｈ句膜２０４を形成した（図
６（ｎ）参照）。なお、本実施例では、フォーミング処
理をフェイスプレート１０８とバックプレート１０１を
外枠１１１を介して接着させるパネル封着後に行った
が、これは該パネル封着前に行ってもよい。
【００６９】次に、真空排気下、上記画像表示装置の表
示部に１０ｋＶを印加し、該装置を全面表示の状態にな
るようにＴＶレートで駆動電圧を印加し、駆動、動作時
間４時間の条件で表示部に電子線を照射し、画像表示さ
せることにより表示部の脱ガス（エージング）を行っ
た。
示部に１０ｋＶを印加し、該装置を全面表示の状態にな
るようにＴＶレートで駆動電圧を印加し、駆動、動作時
間４時間の条件で表示部に電子線を照射し、画像表示さ
せることにより表示部の脱ガス（エージング）を行っ
た。
【００７０】続いて、真空排気下、上記画像表示装置を
熱処理温度１２０℃、熱処理時間１０時間の条件下で加
熱し、該装置内のベ―キングを行った。このとき、同時
に上記非蒸発型ゲッタ５０８（Ｚｒ−Ｖ−Ｆｅ合金）の
加熱による再活性化も行った。
熱処理温度１２０℃、熱処理時間１０時間の条件下で加
熱し、該装置内のベ―キングを行った。このとき、同時
に上記非蒸発型ゲッタ５０８（Ｚｒ−Ｖ−Ｆｅ合金）の
加熱による再活性化も行った。
【００７１】最後に１×１０-6Ｔｏｒｒ程度の真空度
で、排気管１００をガスバーナーで熱することで溶着し
て外囲器の封止を行い、続いて、蒸発型ゲッタ材コンテ
ナ１１４の加熱によりＢａの蒸着を行うことで画像表示
装置を完成させた。
で、排気管１００をガスバーナーで熱することで溶着し
て外囲器の封止を行い、続いて、蒸発型ゲッタ材コンテ
ナ１１４の加熱によりＢａの蒸着を行うことで画像表示
装置を完成させた。
【００７２】このように、パネル封着直後に、酸素およ
び水蒸気に対して排気速度の大きな第１のゲッタを使用
することで、画像装置内の酸素や水蒸気の分圧が低減さ
れ、表面伝導型電子放出素子の特性のばらつきが小さく
なった。
び水蒸気に対して排気速度の大きな第１のゲッタを使用
することで、画像装置内の酸素や水蒸気の分圧が低減さ
れ、表面伝導型電子放出素子の特性のばらつきが小さく
なった。
【００７３】また、あらゆるガスに対して吸着能を有し
超高真空が維持できる第２のゲッタを使用することで、
該画像表示装置内を長時間、超高真空下に維持できた。
超高真空が維持できる第２のゲッタを使用することで、
該画像表示装置内を長時間、超高真空下に維持できた。
【００７４】なお、以上述べた構成は、画像表示装置を
作製する上で必要な概略構成であり、例えば各部材の材
料等、詳細な部分は上述した内容に限られるものではな
く、画像表示装置の用途に適するよう適宣選択すればよ
い。
作製する上で必要な概略構成であり、例えば各部材の材
料等、詳細な部分は上述した内容に限られるものではな
く、画像表示装置の用途に適するよう適宣選択すればよ
い。
【００７５】［実施例２］本発明の第２実施例は、第１
実施例で用いた第１のゲッタＴｉの代わりにＳｂを用い
て第１実施例と同様の画像表示装置を作製した（構成は
図１に示したものと同様）。その結果、第１実施例とほ
ぼ同様の効果が得られた。
実施例で用いた第１のゲッタＴｉの代わりにＳｂを用い
て第１実施例と同様の画像表示装置を作製した（構成は
図１に示したものと同様）。その結果、第１実施例とほ
ぼ同様の効果が得られた。
【００７６】［実施例３］本発明の第３実施例は、第１
実施例で用いた第１のゲッタＴｉの代わりにＢａを用い
て第１実施例と同様の画像表示装置を作製した（構成は
図１に示したものと同様）。その結果、第１実施例とほ
ぼ同様の効果が得られた。
実施例で用いた第１のゲッタＴｉの代わりにＢａを用い
て第１実施例と同様の画像表示装置を作製した（構成は
図１に示したものと同様）。その結果、第１実施例とほ
ぼ同様の効果が得られた。
【００７７】［実施例４］本発明の第４実施例として、
表面伝導型電子放出素子を用いた薄型の画像表示装置に
おいて、第１のゲッタに非蒸発型ゲッタであるＺｒ−Ｖ
−Ｆｅ合金を用い、第２のゲッタに蒸発型ゲッタである
Ｂａおよび非蒸発型ゲッタであるＺｒ−Ｖ−Ｆｅ合金を
用いた例について説明する。
表面伝導型電子放出素子を用いた薄型の画像表示装置に
おいて、第１のゲッタに非蒸発型ゲッタであるＺｒ−Ｖ
−Ｆｅ合金を用い、第２のゲッタに蒸発型ゲッタである
Ｂａおよび非蒸発型ゲッタであるＺｒ−Ｖ−Ｆｅ合金を
用いた例について説明する。
【００７８】図７は、本発明の第４実施例の構成を示す
断面図である。
断面図である。
【００７９】図７に示す本実施例は、図１に示した第１
実施例の第１のゲッタＴｉを用いずに、金属プレート１
３４の両面に非蒸発型ゲッタ１３５および１３６を配置
し、蒸発型ゲッタ材コンテナ固定治具１２３および蒸発
型ゲッタ材コンテナ１２４を省略したものであり、この
こと以外は構成、作製方法とも図１に示した第１実施例
と同様である。本実施例においても、第１実施例とほぼ
同様の効果が得られた。
実施例の第１のゲッタＴｉを用いずに、金属プレート１
３４の両面に非蒸発型ゲッタ１３５および１３６を配置
し、蒸発型ゲッタ材コンテナ固定治具１２３および蒸発
型ゲッタ材コンテナ１２４を省略したものであり、この
こと以外は構成、作製方法とも図１に示した第１実施例
と同様である。本実施例においても、第１実施例とほぼ
同様の効果が得られた。
【００８０】［実施例５］本発明の第５実施例として、
表面伝導型電子放出素子を用いた図８に示すような薄型
の画像表示装置において、第１のゲッタに非蒸発型ゲッ
タであるＺｒ−Ｖ−Ｆｅ合金を用い、第２のゲッタに蒸
発型ゲッタであるＢａおよび非蒸発型ゲッタであるＺｒ
−Ｖ−Ｆｅ合金を用いた例について説明する。
表面伝導型電子放出素子を用いた図８に示すような薄型
の画像表示装置において、第１のゲッタに非蒸発型ゲッ
タであるＺｒ−Ｖ−Ｆｅ合金を用い、第２のゲッタに蒸
発型ゲッタであるＢａおよび非蒸発型ゲッタであるＺｒ
−Ｖ−Ｆｅ合金を用いた例について説明する。
【００８１】図８は、本発明の第５実施例の構成を示す
断面図である。
断面図である。
【００８２】本実施例は、図１に示した第１実施例を基
本とするものである。図８中、８００は画像表示装置内
部を排気するための排気管（図では封じ切り後の状態を
示している）であり、８０１はバックプレート、８０２
と８０３は一定の間隔を隔てて設置された電極、８０４
は電極８０２と８０３の間に設けられた電子放出部を含
む薄膜、８０６は電子通過孔、８０７はグリッド、８０
８はメタルバック８０９および蛍光体８１０が形成され
た青板ガラスからなるフェイスプレート、８１１は外枠
であり、８１４は蒸発型ゲッタ材を内包した蒸発型ゲッ
タ材コンテナである。蒸発型ゲッタ材コンテナ８１４は
蒸発型ゲッタ材コンテナ固定治具８１３に固定されてい
る。
本とするものである。図８中、８００は画像表示装置内
部を排気するための排気管（図では封じ切り後の状態を
示している）であり、８０１はバックプレート、８０２
と８０３は一定の間隔を隔てて設置された電極、８０４
は電極８０２と８０３の間に設けられた電子放出部を含
む薄膜、８０６は電子通過孔、８０７はグリッド、８０
８はメタルバック８０９および蛍光体８１０が形成され
た青板ガラスからなるフェイスプレート、８１１は外枠
であり、８１４は蒸発型ゲッタ材を内包した蒸発型ゲッ
タ材コンテナである。蒸発型ゲッタ材コンテナ８１４は
蒸発型ゲッタ材コンテナ固定治具８１３に固定されてい
る。
【００８３】本実施例が第１実施例と異なる点は、電極
８０２と８０３および薄膜８０４からなる電子放出部を
搭載する板がバックプレート２０１とされている点と、
電子放出部と蒸発型ゲッタ材コンテナ８１４との間に金
属プレート８３４に固定した非蒸発型ゲッタ８３５およ
び８３６が配置されている点である。
８０２と８０３および薄膜８０４からなる電子放出部を
搭載する板がバックプレート２０１とされている点と、
電子放出部と蒸発型ゲッタ材コンテナ８１４との間に金
属プレート８３４に固定した非蒸発型ゲッタ８３５およ
び８３６が配置されている点である。
【００８４】第１のゲッタと第２のゲッタの使用法は、
上記第４実施例と同様である。
上記第４実施例と同様である。
【００８５】本実施例では、表面伝導型電子放出素子の
特性のばらつきが、従来のものに比べれば小さかった
が、上記第１〜４実施例に比べればやや大きかった。
特性のばらつきが、従来のものに比べれば小さかった
が、上記第１〜４実施例に比べればやや大きかった。
【００８６】
【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するような効果を奏する。
いるので、以下に記載するような効果を奏する。
【００８７】表面伝導型電子放出素子を用いた画像表示
装置において、パネル封着時またはその直後に、酸素お
よび水蒸気に対して排気速度の大きな第１のゲッタを使
用することで、画像装置内の酸素や水蒸気の分圧が低減
でき、表面伝導型電子放出素子の特性のばらつきを小さ
くすることができる効果がある。
装置において、パネル封着時またはその直後に、酸素お
よび水蒸気に対して排気速度の大きな第１のゲッタを使
用することで、画像装置内の酸素や水蒸気の分圧が低減
でき、表面伝導型電子放出素子の特性のばらつきを小さ
くすることができる効果がある。
【００８８】また、あらゆるガスに対して吸着能を有し
超高真空が維持できる第２のゲッタを使用することで、
該画像表示装置内を長時間、超高真空下に維持すること
ができる効果がある。
超高真空が維持できる第２のゲッタを使用することで、
該画像表示装置内を長時間、超高真空下に維持すること
ができる効果がある。
【図１】本発明の第１乃至第３の実施例の構成を示す断
面図である。
面図である。
【図２】本発明の実施例で製造した表面伝導型電子放出
素子の構成を示す説明図である。
素子の構成を示す説明図である。
【図３】（ａ）〜（ｅ）のそれぞれは電子放出素子の製
造方法の第一の部分の工程を示す工程図である。
造方法の第一の部分の工程を示す工程図である。
【図４】（ｆ）〜（ｈ）のそれぞれは電子放出素子の製
造方法の第二の部分の工程を示す工程図である。
造方法の第二の部分の工程を示す工程図である。
【図５】（ｉ）〜（ｌ）のそれぞれは電子放出素子の製
造方法の第三の部分の工程を示す工程図である。
造方法の第三の部分の工程を示す工程図である。
【図６】（ｍ），（ｎ）のそれぞれは電子放出素子の製
造方法の第四の部分の工程を示す工程図である。
造方法の第四の部分の工程を示す工程図である。
【図７】本発明の第４の実施例の構成を示す断面図であ
る。
る。
【図８】本発明の第５の実施例の構成を示す断面図であ
る。
る。
【図９】電子放出素子を用いた従来の画像表示装置の構
成を示す断面図である。
成を示す断面図である。
【図１０】電子放出素子を用いた従来の画像表示装置の
構成を示す斜視図である。
構成を示す斜視図である。
【図１１】表面伝導型電子放出素子の一般的な構成を示
す説明図である。
す説明図である。
２００，４０１ マスク ２０１ 絶縁性基板 ２０２ 電子放出部形成用薄膜 ２０３ 電子放出部 ２０４ 電子放出部を含む薄膜 ２０５，２０６，２２，２３ 素子電極 ２２４ クロム ２２５ レジスト １００，８００ 排気管 １０１，８０１ バックプレート １０２，１０３，８０２，８０３ 電極 １０４，８０４ 電子放出部を含む薄膜 １０６，８０６ 電子通過孔 １０７，８０７ グリッド １０８，８０８ フェイスプレート １０９，８０９ メタルバック １１０，８１０ 蛍光体 １１１，８１１ 外枠 １１３，８１３ 蒸発型ゲッタ材コンテナ固定治具 １１４，８１４ 蒸発型ゲッタ材コンテナ １３３ 非蒸発型ゲッタ固定治具 １３４，８３５ 金属プレート １３５，１３６，８３５，８３６ 非蒸発型ゲッタ １４０ 電子放出素子を構成したプレート １４１ 上下空間連通穴
Claims (26)
- 【請求項１】 電子源と、該電子源から放出される電子
ビームを変調または加速する電極と、電子ビームの照射
により発光する蛍光面部材と、内部真空を維持するため
のゲッタを少なくとも内装し、封止可能な排気管を備え
る画像表示装置において、 特定の種類のガスに対する吸着能力の大きな第１のゲッ
タと、該第１のゲッタよりも吸着能を有するガスの種類
が多い第２のゲッタを有することを特徴とする画像表示
装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の画像表示装置において、 第１のゲッタおよび第２のゲッタのそれぞれが蒸発型ゲ
ッタであることを特徴とする画像表示装置。 - 【請求項３】 請求項１記載の画像表示装置において、 第１のゲッタおよび第２のゲッタのそれぞれが装置作製
工程中の最高温度以下で活性化可能な非蒸発型ゲッタで
あることを特徴とする画像表示装置。 - 【請求項４】 請求項１記載の画像表示装置において、 第１のゲッタおよび第２のゲッタとして、蒸発型ゲッタ
と装置作製工程中の最高温度以下で活性化可能な非蒸発
型ゲッタとが組み合わされて用いられることを特徴とす
る画像表示装置。 - 【請求項５】 請求項１乃至請求項４のいずれかに記載
の画像表示装置の製造方法であって、 第１のゲッタおよび第２のゲッタの使用が、それぞれ、
画像表示装置作製工程中の異なる時点でなされることを
特徴とする画像表示装置の製造方法。 - 【請求項６】 請求項１乃至請求項４のいずれかに記載
の画像表示装置の製造方法であって、 第１のゲッタの使用を、蛍光面部材が形成されたフェイ
スプレートと電子源が形成されたバックプレートとを外
枠を介して接着するパネル封着時に行うことを特徴とす
る画像表示装置の製造方法。 - 【請求項７】 請求項１乃至請求項４のいずれかに記載
の画像表示装置の製造方法であって、 第１のゲッタの使用を、蛍光面部材が形成されたフェイ
スプレートと電子源が形成されたバックプレートとを外
枠を介して接着するパネル封着後に行うことを特徴とす
る画像表示装置の製造方法。 - 【請求項８】 請求項１乃至請求項４のいずれかに記載
の画像表示装置の製造方法であって、 第２のゲッタとして非蒸発型ゲッタが用いられている場
合にはその使用を画像表示装置を加熱処理するベーキン
グ時に行い、また、第２のゲッタとして蒸発型ゲッタが
用いられている場合にはその使用を画像表示装置をベー
キングし、真空排気管を封じ切った後に行うことを特徴
とする画像表示装置の製造方法。 - 【請求項９】 請求項１乃至請求項４のいずれかに記載
の画像表示装置において、 電子源が、対向する電極間に電子放出部を有する表面伝
導型電子放出素子から構成されていることを特徴とする
画像表示装置。 - 【請求項１０】 請求項１乃至請求項４のいずれかに記
載の画像表示装置において、 電子源が、対向する電極問に電子放出部を有する表面伝
導型電子放出素子から構成されており、かつ、第１のゲ
ッタにより吸着されるガスが、酸素および水蒸気である
ことを特徴とする画像表示装置。 - 【請求項１１】 請求項１０に記載の画像表示装置にお
いて、 第１のゲッタが、蒸発型ゲッタであることを特徴とする
画像表示装置。 - 【請求項１２】 請求項１０に記載の画像表示装置にお
いて、 第１のゲッタが、画像表示装置作製工程中の最高温度以
下で活性化可能な非蒸発型ゲッタであることを特徴とす
る画像表示装置。 - 【請求項１３】 請求項１０に記載の画像表示装置にお
いて、 第１のゲッタが、蒸発型ゲッタと画像表示装置作製工程
中の最高温度以下で活性化可能な非蒸発型ゲッタとが組
み合わされたものであることを特徴とする画像表示装
置。 - 【請求項１４】 請求項１１または請求項１３に記載の
画像表示装置において、 蒸発型ゲッタの主成分が、Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ，Ｔｉ，Ｚ
ｒ，Ｚｎ，Ｓｉ，Ｇｅ，Ｓｂ，Ｍｇ，Ａｇの中から選ば
れる１種または２種以上であることを特徴とする画像表
示装置。 - 【請求項１５】 請求項１２または請求項１３に記載の
画像表示装置において、 非蒸発型ゲッタが、Ｚｒ−Ａｌ合金、Ｚｒ−Ｆｅ合金、
Ｚｒ−Ｎｉ合金、Ｚｒ−Ｎｂ−Ｆｅ合金、Ｚｒ−Ｔｉ−
Ｆｅ合金、Ｚｒ−Ｖ−Ｆｅ合金の中から選ばれる１種ま
たは２種以上であることを特徴とする画像表示装置。 - 【請求項１６】 請求項９または請求項１０に記載の画
像表示装置において、 第２のゲッタが、蒸発型ゲッタであることを特徴とする
画像表示装置。 - 【請求項１７】 請求項９または請求項１０に記載の画
像表示装置において、 第２のゲッタが、画像表示装置作製工程中の最高温度以
下で活性化可能な非蒸発型ゲッタであることを特徴とす
る画像表示装置。 - 【請求項１８】 請求項９または請求項１０に記載の画
像表示装置において、 第２のゲッタが、蒸発型ゲッタと画像表示装置作製工程
中の最高温度以下で活性化可能な非蒸発型ゲッタとが組
み合わされたものであることを特徴とする画像表示装
置。 - 【請求項１９】 請求項１６または請求項１８に記載の
画像表示装置において、 蒸発型ゲッタの主成分が、Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ，Ｔｉ，Ｚ
ｒ，Ｖ，Ｎｂ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｏの中から選ばれ
る１種または２種以上であることを特徴とする画像表示
装置。 - 【請求項２０】 請求項１７または請求項１８に記載の
画像表示装置において、 非蒸発型ゲッタが、Ｚｒ−Ａｌ合金、Ｚｒ−Ｆｅ合金、
Ｚｒ−Ｎｉ合金、Ｚｒ−Ｎｂ−Ｆｅ合金、Ｚｒ−Ｔｉ−
Ｆｅ合金、Ｚｒ−Ｖ−Ｆｅ合金の中から選ばれる１種ま
たは２種以上であることを特徴とする画像表示装置。 - 【請求項２１】 電子源を構成したプレートの下部、す
なわち蛍光体等を構成したフェイスプレートとは反対側
の空間にゲッタ室を設けた構成の画像表示装置におい
て、該ゲッタ室に、請求項１、請求項２または請求項６
〜１３のいずれかに記載のゲッタを少なくとも１つ以上
配置したことを特徴とする画像表示装置。 - 【請求項２２】 請求項１乃至請求項４または請求項９
乃至請求項２１のいずれかに記載の画像表示装置におい
て、 電子源が構成されたプレートに、上下空間を連通する穴
を設けてゲッタ室とし、第１のゲッタまたは第２のゲッ
タの少なくとも一方を１つ以上配置したことを特徴とす
る画像表示装置。 - 【請求項２３】 請求項１乃至請求項４または請求項９
乃至請求項２１のいずれかに記載の画像表示装置におい
て、 電子源が構成されたプレートをバックプレートとし、画
像表示部以外の側面空間に、第１のゲッタまたは第２の
ゲッタの少なくとも一方を１つ以上配置したことを特徴
とする画像表示装置。 - 【請求項２４】 請求項９乃至請求項１５または請求項
２１乃至請求項２３のいずれかに記載の画像表示装置の
製造方法であって、 第１のゲッタの使用を、蛍光面部材が形成されたフェイ
スプレートと電子源が形成されたバックプレートとを外
枠を介して接着するパネル封着時に行うことを特徴とす
る画像表示装置の製造方法。 - 【請求項２５】 請求項９乃至請求項１５または請求項
２１乃至請求項２３のいずれかに記載の画像表示装置の
製造方法であって、 第１のゲッタの使用を、蛍光面部材が形成されたフェイ
スプレートと電子源が形成されたバックプレートとを外
枠を介して接着するパネル封着後に行うことを特徴とす
る画像表示装置の製造方法。 - 【請求項２６】 請求項９乃至請求項１５または請求項
２１乃至請求項２３のいずれかに記載の画像表示装置の
製造方法であって、 第２のゲッタとして非蒸発型ゲッタが用いられている場
合にはその使用を画像表示装置を加熱処理するベーキン
グ時に行い、また、第２のゲッタとして蒸発型ゲッタが
用いられている場合にはその使用を画像表示装置をベー
キングし、真空排気管を封じ切った後に行うことを特徴
とする画像表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30899894A JPH08167392A (ja) | 1994-12-13 | 1994-12-13 | 画像表示装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30899894A JPH08167392A (ja) | 1994-12-13 | 1994-12-13 | 画像表示装置およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08167392A true JPH08167392A (ja) | 1996-06-25 |
Family
ID=17987694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30899894A Pending JPH08167392A (ja) | 1994-12-13 | 1994-12-13 | 画像表示装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08167392A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000031539A (ja) * | 1998-06-05 | 2000-01-28 | Hewlett Packard Co <Hp> | 発光ダイオ―ドおよびその製造方法 |
| US6396207B1 (en) | 1998-10-20 | 2002-05-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Image display apparatus and method for producing the same |
| WO2004039742A1 (ja) * | 2002-10-29 | 2004-05-13 | Nippon Sheet Glass Company, Limited | ガラスパネルの製法とその製法によるガラスパネル |
| JP2007157682A (ja) * | 2005-11-10 | 2007-06-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
-
1994
- 1994-12-13 JP JP30899894A patent/JPH08167392A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000031539A (ja) * | 1998-06-05 | 2000-01-28 | Hewlett Packard Co <Hp> | 発光ダイオ―ドおよびその製造方法 |
| JP4677065B2 (ja) * | 1998-06-05 | 2011-04-27 | フィリップス ルミレッズ ライティング カンパニー リミテッド ライアビリティ カンパニー | 発光ダイオードおよびその製造方法 |
| US6396207B1 (en) | 1998-10-20 | 2002-05-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Image display apparatus and method for producing the same |
| US6652343B2 (en) | 1998-10-20 | 2003-11-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for gettering an image display apparatus |
| WO2004039742A1 (ja) * | 2002-10-29 | 2004-05-13 | Nippon Sheet Glass Company, Limited | ガラスパネルの製法とその製法によるガラスパネル |
| JP2007157682A (ja) * | 2005-11-10 | 2007-06-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
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