JPH09106770A

JPH09106770A - 画像表示装置

Info

Publication number: JPH09106770A
Application number: JP26444195A
Authority: JP
Inventors: Seiji Mishima; 誠治三島
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1995-10-12
Filing date: 1995-10-12
Publication date: 1997-04-22

Abstract

(57)【要約】【課題】主ゲッタ室近傍の電子放出素子と、離れた素
子との間での圧力分布をなくすことにより表示装置全域
に均一な素子特性を提供する。【解決手段】電子放出素子と、前記電子放出素子から
放出される電子線の照射により画像が形成される画像形
成部材と、ゲッタ材とを有する画像表示装置において、
前記ゲッタ材が、装置内の放出ガスを排気するのに十分
な量のゲッタ材を配置した主ゲッタ室と、画像表示装置
内の圧力分布を是正する位置とに配置されている画像表
示装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子源およびその
応用である表示装置等の画像形成装置に関わり、特に表
面伝導型電子放出素子を多数個備える電子源及びその応
用である表示装置等の画像形成装置の製造技術に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来より、画像形成装置として蛍光表示
管、電界放出型及び表面伝導型の電子放出素子を用いた
表示装置など、主に蛍光体を励起して発光させる画像表
示装置は、平面でかつ明るく見易いなどの利点を有して
おり、産業上積極的に応用され、また期待されている。
例えば、電子ビームを発生源として、表面伝導型電子放
出素子を用い、電子ビームを加速して蛍光体に照射し、
発光させ画像を表示させる薄型の画像表示装置が出願さ
れている（特開平３−２６１０２４号公報）。

【０００３】図９及び図１０は、上記公報に開示されて
いる画像表示装置の斜視図及び断面図である。図９及び
図１０において、３００は蛍光表示管内部を排気するた
めの排気管（図では封じきり後の状態を示している）
で、３０１は電子放出素子を構成した青板ガラスからな
るバックプレート、３０２と３０３は一定の間隔を隔て
て設置された電極、３０４は電極３０２、３０３間に設
けられた電子放出部を含む薄膜、３０８はメタルバック
３０９及び蛍光体３１０が形成された青板ガラスからな
るフェイスプレート、３１１は外枠であり、３１４はゲ
ッタ材コンテナである。ゲッタ材コンテナ３１４はゲッ
タ材コンテナ固定ジグ３１３に固定されており、内部に
は表示装置内の真空を維持するという通常目的の蒸発型
ゲッタ材を収納するもので、蒸発型ゲッタ材はバックプ
レート３０１及びゲッタ材固定ジグ３１４に蒸着され
る。

【０００４】ここで、図９及び図１０を参照して、画像
表示装置の製造方法を説明する。気密容器内は排気管３
００を通して真空排気され、さらにベーキングによって
脱ガスを行った後、排気管の一部を加熱して熔融させ、
封じ切る（閉塞、切断）。最後に気密容器内部の一端に
設置された通常目的のゲッタ材が収納されたゲッタ材コ
ンテナ３１４を加熱して収納された蒸発型ゲッタ材をバ
ックプレート３０１に蒸着する事によって画像表示装置
を完成させる。一般にゲッタ材コンテナは一部が開放さ
れた金属管の内部にＢａ等を主成分とする蒸発型ゲッタ
材を収納したもので、形状として直線、リング状のもの
がある。通常のゲッタ材は、誘導加熱もしくは通電加熱
によってフラッシュし、ゲッタ材を画像表示装置内に付
着させ、ガスを吸着して、表示装置内真空維持作用をも
つ。

【０００５】ここで、表面伝導型電子放出素子について
述べる。このような表面伝導型電子放出素子としては、
電子放出を司る薄膜としてＡｕ薄膜によるもの［Ｇ．Ｄ
ｉｔｔｍｅｒ；”ＴｈｉｎＳｏｌｉｄＦｉｌｍ
ｓ”、９、３１７（１９７２）］，Ｉｎ₂０₃／ＳｎＯ₂
薄膜によるもの［Ｍ．ＨａｒｔｗｅｌｌａｎｄＣ．
Ｇ．Ｆｏｎｓｔａｄ：”ＩＥＥＥ．Ｔｒａｎｓ．Ｅ
ＤＣｏｎｆ．”，５１９（１９７５）］、カーボン薄
膜によるもの［荒木久他：真空、第２６巻、第１号、
２２頁（１９８３）］等が報告されている。これらの表
面伝導型電子放出素子の典型的な素子構成として前述の
Ｍ．ハートウェルらの素子構成を図８に示す。同図にお
いて１は絶縁性基板である。４は導電性薄膜で、Ｈ型形
状のパターンに、スパッタで形成された金属酸化物薄膜
等からなり、後述のフォーミングと呼ばれる通電処理に
より電子放出部３が形成される。尚、図中のＬは、０．
５〜１ｍｍ、Ｗは、０．１ｍｍで設定されている。

【０００６】従来、これらの表面伝導型電子放出素子に
おいては、電子放出を行う前に導電性薄膜４を予めフォ
ーミングと呼ばれる通電処理によって電子放出部３を形
成するのが一般的であった。即ち、フォーミングとは前
記導電性薄膜４の両端に電圧を印加通電し、導電性薄膜
４を局所的に破壊、変形もしくは変質せしめ、電気的に
高抵抗な状態にした電子放出部３を形成することであ
る。尚、電子放出部３は導電性薄膜４の一部に発生した
亀裂であり、その亀裂付近から電子放出が行われる。

【０００７】前記フォーミング処理をした表面伝導型電
子放出素子は、上述の導電性薄膜４に電圧を印加し、素
子に電流を流すことにより、上述の電子放出部３より電
子を放出せしめるものである。しかしながら、これら従
来の表面伝導型電子放出素子においては、実用化にあた
っては、様々の問題があったが、本出願人等は、後述す
る様な様々な改善を鋭意検討し、実用化上の様々な問題
点を解決してきた。

【０００８】上述の表面伝導型電子放出素子は、構造が
単純で製造も容易であることから、大面積にわたって多
数素子を配列形成できる利点がある。そこで、この特徴
を生かせるようないろいろな応用が可能であり、前述し
たような画像表示装置にも適している。すなわち、表示
装置等の画像表示装置においては、近年、液晶を用いた
平板型表示装置が、ＣＲＴに替わって普及してきたが、
自発光型でないためバックライト等を必要とする等の問
題点があり、自発光型の表示装置の開発が望まれてき
た。

【０００９】表面伝導型電子放出素子を多数配置した電
子源と、電子源より放出された電子によって可視光を発
光せしめる蛍光体とを組み合わせた表示装置である画像
形成装置は、大画面の装置でも比較的容易に製造できる
（例えば、ＵＳＰ５，０６６，８８３）。ただし、この
様な大画面表示装置において、図９及び１０に示したよ
うな構成を用いた場合、（１）表示装置の側面に排気管
を設置しているために排気時のコンダクタンスが小さく
なり、表示装置内の到達真空度が悪化する、（２）ゲッ
タ材の表面積が小さいためにゲッタの排気能力が小さ
く、排気管を封じ切った後の表示装置内の真空度を保つ
事が困難となる、（３）画面が大面積であるため、真空
排気後にフェイスプレートとバックプレートを保持する
のに最適なスペーサを配置する場合もある（不図示）。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図９及
び図１０に示した従来例では以下に示すような問題点が
あった。すなわち、ゲッタ室が表示装置内の一部に集中
しているのに対し、表示装置を形成する部材からの放出
ガスは基板全面からほぼ均一に放出されるので、表示装
置内に圧力の分布が生じてしまい、バックプレート上に
形成されている電子放出素子の特性が圧力分布に応じて
変化し、表示装置全域において均一な素子特性を得る事
ができない場合がある。

【００１１】すなわち、真空度の高い（よい）主ゲッタ
室近傍に配置されている電子放出素子と、真空度の低い
（悪い）主ゲッタ室から離れた位置に配置されている電
子放出素子との間に素子特性に差が出てしまうので、表
示装置全域を均一に表示する事が困難となる。

【００１２】本発明は、このような圧力分布の不均一を
解消した画像表示装置を提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】以上の問題点を解決する
本発明の画像表示装置においては、電子放出素子と、前
記電子放出素子から放出される電子線の照射により画像
が形成される画像形成部材と、ゲッタ材とを有する画像
表示装置において、前記ゲッタ材が、装置内の放出ガス
を排気するのに十分な量のゲッタ材を配置した主ゲッタ
室と、該画像表示装置内の圧力分布を是正する位置とに
配置されている事を特徴としている。

【００１４】上記のゲッタ材は蒸発型ゲッタ、もしくは
該画像表示装置作製工程中の最高温度以下で活性化可能
な非蒸発型ゲッタのうちの一つまたは複数（同一型ゲッ
タの複数使用を含む）である。

【００１５】蒸発型ゲッタの主成分としては、Ｂａ，Ｔ
ｉ，Ｚｒ，Ｃａ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍｏ，
Ｗ，Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｏ，Ｒｈ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ａｌ，Ｍ
ｎ，Ｃｕ，Ｋ，Ａｇ，Ｚｎのなかから選ばれる１種類も
しくは２種類以上であることが好ましい。

【００１６】また、非蒸発型ゲッタは、Ｚｒ−Ａｌ合金
及びＺｒ−Ｖ−Ｆｅ合金のどちらかまたはその両者であ
ることが好ましい。

【００１７】

【発明の実施の形態】本発明において、「画像表示装置
内の圧力分布を是正する位置」とは主ゲッタ室とは離れ
た画像表示装置内であって、この位置に配置されるゲッ
タ材（以下、補助ゲッタと称す）の材質、表面積等によ
り適宜決定すればよく、実質的に画像表示装置内の圧力
分布の不均一を是正できるのであれば、どのように配置
されても良いが、電子放出素子から放出される電子を遮
蔽しないよう考慮して配置されることが重要である。こ
の時、複数の補助ゲッタを用いる場合、主ゲッタ室から
離れた補助ゲッタほど、表面積を大きくしてゲッタの排
気能力を高めることは、本発明の実施に際して好ましい
態様である。

【００１８】

【実施例】

実施例１図１（ａ）は本発明の第一実施例の構成を示す平面図で
あり、図１（ｂ）はその断面図、図１（ｃ）はゲッタの
排気能力を示すグラフである。

【００１９】図１において、４０１はフェイスプレート
であり、電子放出素子側には蛍光膜及びメタルバックが
形成されている（不図示）。４０２はバックプレート、
４０３は外枠、４０５はゲッタ材コンテナである。ゲッ
タ材コンテナ４０５はゲッタ材コンテナ固定ジグ４０６
に固定されており、図９及び１０で示した構成と同じ効
果を示す。また、４０７は排気管であり、電子放出素子
４０８はバックプレート４０２上にマトリックス状に配
置されている。また、６０１はゲッタフラッシュ時にゲ
ッタ材が素子４０８の形成されている側に飛散しないた
めの遮蔽板である。

【００２０】また、５０１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はゲ
ッタ材コンテナであり、コンテナのサイズ、すなわちコ
ンテナに搭載されているゲッタ材の量を調整する事によ
ってゲッタの排気能力を制限してあり、その排気能力が
図１（ｃ）にあるようにゲッタ材４０５≧５０１（ａ）
≧５０１（ｂ）≧５０１（ｃ）としてある。また、ゲッ
タ材の種類はＢａを主成分とした蒸発型ゲッタ、５０１
に関してはＺｒ−Ｖ−Ｆｅ合金を主成分とした非蒸発型
を用いてある。

【００２１】次に、本実施例の具体的な製造手順につい
て以下に説明する。まず、図２〜６を参照して表面伝導
型電子放出素子の製造方法につき説明する。

【００２２】図２は本実施例で製造した素子の構成図で
あり、図３〜図５はその製造方法を示した説明図であ
る。尚、図２〜６で同一の符号を用いたものは同一のも
のを指す。

【００２３】絶縁性基板１として石英基板を用い、これ
を洗剤、純水および有機溶剤により十分に洗浄（図３
（ａ））後、レジスト材ＲＤ−２０００Ｎ（日立化成社
製）を２５００ｒｐｍ、４０秒でスピンナー塗布し、８
０℃、２５分加熱してプリベークした（図３（ｂ））。
次に、素子電極間隔Ｌ１は２μｍ、素子電極長さＷ１は
３００μｍの素子電極形状に対応するマスク２１を用い
て密着露光し、ＲＤ−２０００Ｎ用現像液で現像した
（図２、図３（ｃ））。その後、１２０℃、２０分加熱
してポストベークした。

【００２４】素子電極５、６の材料としては導電性を有
するものであればどのようなものであっても構わない
が、本実施例ではニッケル金属を用いた。抵抗加熱蒸着
機を用いてニッケルを毎秒３オングストロームで膜厚が
１０００オングストロームになるまで蒸着した（図３
（ｄ））。アセトンでリフトオフし、アセトン、イソプ
ロピルアルコール、続いて酢酸ブチルで洗浄後、乾燥
し、素子電極５、６を形成した（図３（ｅ））。

【００２５】次に、クロムを基板全面に５００オングス
トローム蒸着した（図４（ａ））。その後、レジスト材
ＡＺ１３７０（ヘキスト社製）を２５００ｒｐｍ、３０
秒スピンナー塗布し、９０℃、３０分加熱しプリベーク
した（図４（ｂ））。

【００２６】次に導電性薄膜材料を塗布するパターンを
有するマスクを用いて露光し（図４（ｃ））、現像液Ｍ
ＩＦ３１２で現像した（図４（ｄ））。その後、１２０
℃、３０分加熱しポストベークした。

【００２７】次に、（ＮＨ₄）Ｃｅ（ＮＯ₃）₆／ＨＣｌ
Ｏ₄／Ｈ₂Ｏ＝１７ｇ／５ｃｃ／１００ｃｃの組成の溶液
に３０秒浸漬し、クロムをエッチングした（図４
（ｅ））。その後、アセトン中、１０分間超音波攪拌し
てレジストを剥離した（図４（ｆ））。

【００２８】続いて、１２０℃、１０分加熱した。次
に、有機パラジウム（奥野製薬（株）製、ｃｃｐ−４２
３０）含有溶液を８００ｒｐｍ、３０秒スピンナー塗布
した。その後、３００℃、２０分焼成して、酸化パラジ
ウム（ＰｄＯ）微粒子（粒径：１０オングストローム〜
１５０オングストローム）を主体とする微粒子状の導電
性薄膜４を形成した（図５（ａ））。

【００２９】続いて、クロムをリフトオフすることで、
素子電極５および６上に一部かかった導電性薄膜４を作
製した（図５（ｂ））。

【００３０】以下は図１を用いて説明する。

【００３１】上記素子電極５、６と導電性薄膜４が形成
されたバックプレート４０２に、ゲッタ材コンテナ４０
５を固定したゲッタ材コンテナ固定ジグ４０６、補助ゲ
ッタ５０１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）を所定の位置に固定
したゲッタ材コンテナ固定ジグを接着し、次に、フェイ
スプレート４０１とバックプレート４０２を外枠４０３
を介して接着させた。接着（封着）には、主として低融
点ガラス（日本電子硝子（株）製、ＬＳ−３０８１）を
用い、上方からおもりにより加圧し、大気中で封着熱処
理温度４１０℃、封着熱処理時間６０分の条件下で焼成
し、画像表示装置を形成した。

【００３２】次に図示しない真空排気装置により排気管
４０７から上記装置内を真空排気した。

【００３３】続いて、真空排気下、画像表示装置内の部
材の脱ガスを目的としたプリベークを、ベーキング温度
２００℃、ベーキング時間２０分の条件下で行った。な
お、このプリベークは、１５０℃〜３００℃の温度範囲
で行うことが好ましい。

【００３４】次に、真空排気下、上記非蒸発型ゲッタが
室温まで下がるのを待って、素子電極５、６の間に電圧
を印加し、導電性薄膜４を通電処理（フォーミング処
理）することにより、電子放出部３を形成させた（図５
（ｃ）参照）。なお、本実施例では、表示装置封着後に
フォーミング処理を行ったが、これは該表示装置封着前
に行うことも可能である。

【００３５】次に、真空排気下、上記画像表示装置のフ
ェースプレート４０１の形成したメタルバック（不図
示）に５ｋＶを印加し、該装置を全面表示の状態になる
ようにＴＶレートで駆動電圧を印加し、駆動、動作時間
４時間の条件で表示部に電子線を照射し、画像表示させ
ることにより表示部の脱ガス（エージング）を行った。

【００３６】続いて、真空排気下、上記画像表示装置を
熱処理温度１２０℃、熱処理時間１０時間の条件下で加
熱し、該装置内のベーキングを行った。

【００３７】最後に１×１０^-6Ｔｏｒｒ程度の真空度
で、排気管４０７をガスバーナーで熱することで溶着し
画像表示装置の封止を行った。この後、画像表示装置か
らの放出ガスを排気するために、蒸発型ゲッタ材コンテ
ナ４０５を図示しない電源からの抵抗加熱を行い、Ｂａ
の蒸着を行うことで封子後の表示装置内を排気する。

【００３８】ここで、本表示装置を封止後も十分な真空
度に保つために必要なＢａゲッタの量をＣＯについて考
えてみると、ＣＯにおけるＢａゲッタの排気能力が5×1
0^-3Torr・l/s程度であることから、表示領域に比して比
較的大きい面積が必要（例えば表示面積を１１インチと
すると、Ｂａの蒸発面積が50〜100cm²程度必要）であ
り、ゲッタ材コンテナ４０５のゲッタ材のみで画像表示
装置内を排気しようとすると、先に述べたように画像表
示内に圧力差が生じてしまうので、補助用のゲッタ材コ
ンテナ５０１（ａ），（ｂ），（ｃ）を図示しない電源
から通電加熱し、ゲッタを活性化させることによって真
空度の低い（悪い）部位を選択的に排気し、本実施例の
画像表示装置を完成させる。

【００３９】そうする事によって表示装置内の圧力分布
を是正する事が可能となり、表面伝導型電子放出素子の
特性のばらつきが小さくなった。また、超高真空を維持
するのに十分な量のゲッタを使用する事によって該画像
表示装置内を長時間、超高真空下に維持できた。

【００４０】また、補助用のゲッタ材コンテナ５０１
（ａ），（ｂ），（ｃ）のゲッタ材として蒸発型ゲッタ
（Ｂａ等を主成分とする）を用いてもよい。この材料を
用いたゲッタを機能させるには図示しない電源からの抵
抗加熱を行い、Ｂａを蒸着すれば可能である。但し、補
助用のゲッタ材コンテナ５０１（ａ），（ｂ），（ｃ）
のゲッタ材として蒸発型ゲッタを用いた場合、蒸発した
Ｂａ等が素子及び配線に付着してしまう虞があるので注
意が必要であり、主ゲッタ室同様に有効画面への飛散防
止板６０１を設けた方が好ましい。また、ここではゲッ
タ材としてＢａを主成分とした蒸発型ゲッタを用いた
が、Ｔｉに代表される他の成分からなる蒸発型ゲッタを
用いても同様な作用が期待できる。またこれらの成分が
２種類以上混在した蒸発型ゲッタを用いてもよい事は言
うまでもない。

【００４１】なお、以上述べた構成は、画像表示装置を
作製する上で必要な概略構成であり、例えば各部材の材
料等、詳細な部分は上述内容に限られるものではなく、
画像表示装置の用途に適するよう適宜選択すればよい。

【００４２】実施例２図６（ａ）は本発明の第二の実施例の構成を示す平面図
であり、図６（ｂ）はゲッタの排気能力を示す。

【００４３】本実施例は、本発明における主ゲッタ室
を、マトリックス状に配置された電子放出素子４０８に
対して対称な位置にも設けている。

【００４４】図６は図１を基本としたものであり、従っ
て、図１に示した部材と同様のものは同じ番号を付し
た。

【００４５】図６において、電子放出素子４０８はマト
リックス状に配置されており、ゲッタ材コンテナ固定ジ
グ４０６に固定されたゲッタ材コンテナ４０５はマトリ
ックス状に配置された電子放出素子領域の両端に配置し
てある。

【００４６】また、５０１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はゲ
ッタ材コンテナであり、図１同様、コンテナのサイズ、
すなわちコンテナに搭載されているゲッタ材の量を調整
する事によってゲッタを蒸発させた時のゲッタ材の表面
積を変え、排気能力を制限しており、その排気能力が図
６（ｃ）にあるように、ゲッタ材４０５≧５０１（ｂ）
≧５０１（ａ），（ｃ）としてある。

【００４７】また、実施例１と同様に、素子及び配線へ
のゲッタ材の飛散を防止できるのであれば、ゲッタ材の
種類は蒸発型ゲッタでも非蒸発型ゲッタでもどちらでも
よいが、本実施例では、４０５はＢａを主成分とする蒸
発型ゲッタを用い、５０１（ａ），（ｂ），（ｃ）では
Ｚｒ−Ｖ−Ｆｅ合金を主成分とした非蒸発型ゲッタを用
いた。

【００４８】本実施例のように、主ゲッタ室を画像表示
装置の対称な位置に複数設けたような構成にすると、画
像表示装置内の圧力分布の差を小さくすることができる
ので、補助用のゲッタ５０１（ａ），（ｂ），（ｃ）の
負荷を小さくすることができる。

【００４９】実施例３図７（ａ）は本発明の第３の実施例の構成を示す平面図
であり、図７（ｂ）は図７（ａ）のａ−ａ’線での断面
図である。

【００５０】本実施例は、本発明における補助ゲッタ
を、素子が形成されている基板の下部に配置した構成と
したものである。

【００５１】図７は図１を基本としたものであり、従っ
て、図１に示した部材と同様のものは同じ番号を付し
た。

【００５２】図７において、４０１はフェイスプレー
ト、４０３は外枠、４０５はゲッタ材コンテナである。
ゲッタ材コンテナ４０５はゲッタ材コンテナ固定ジグ４
０６に固定されており、図９、１０で示した構成を同じ
効果を示す。また、４０７は排気管である。

【００５３】電子放出素子４０８は素子基板６０３上に
マトリックス状に配置されている。素子基板６０３はゲ
ッタ材コンテナ固定ジグ４０６を介してバックプレート
４０２と、フェイスプレート４０１は外枠６０２を介し
てバックプレート４０２と接着されている。

【００５４】また、５０１（ａ），（ｂ），（ｃ）はゲ
ッタ材コンテナであり、素子基板６０３とバックプレー
ト４０２との空間に設置されている。図１同様、コンテ
ナのサイズ、即ちコンテナに搭載されているゲッタ材の
量を調整することによってゲッタを蒸発させた時のゲッ
タ材の量を調整することによってゲッタを蒸発させた時
のゲッタ材の表面積を変え、排気能力を制限してあり、
その排気能力が図７（ｃ）にあるように、ゲッタ材４０
５≧５０１（ａ）≧５０１（ｂ）≧５０１（ｃ）として
ある。また、ゲッタ材の種類は蒸発型ゲッタでも非蒸発
型ゲッタでもどちらでも良い。

【００５５】本実施例のように、素子基板の下部に補助
ゲッタを設置すると、蒸発型ゲッタを用いた場合、蒸発
したゲッタの素子への影響をほとんど無くすことができ
る。即ち、素子基板６０３が遮蔽板の役割を担うからで
ある。また、ゲッタ材の被着面積も多くとれる。

【００５６】

【発明の効果】本発明における平面型画像表示装置にお
いては、電子放出素子と、前記電子放出素子から放出さ
れる電子線の照射により画像が形成される画像形成部材
と、ゲッタ材とを有する画像表示装置において、前記ゲ
ッタ材が、装置内の放出ガスを排気するのに十分な量の
ゲッタ材を配置した主ゲッタ室と、該画像表示装置内の
圧力分布を是正する位置とに配置することにより、主ゲ
ッタ室近傍に配置されている電子放出素子と、主ゲッタ
室から離れた位置に配置されている電子放出素子との間
での圧力の分布をほとんど無くす事が可能となり、画像
表示装置全域に均一な素子特性を得る事が可能となっ
た。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例を示す図であり、（ａ）は
平面図、（ｂ）はａ−ａ’線での部分断面図、（ｃ）は
ゲッタの排気能力を示す。

【図２】本発明の実施例で製造した表面伝導型電子放出
素子の構成を示す説明図であり、（ａ）は平面図、
（ｂ）はＢ−Ｂ線での断面図である。

【図３】電子放出素子の製造方法の第一の部分の工程を
示す工程図である。

【図４】電子放出素子の製造方法の第二の部分の工程を
示す工程図である。

【図５】電子放出素子の製造方法の第三の部分の工程を
示す工程図である。

【図６】本発明の第２実施例の構成を示す図であり、
（ａ）は平面図、（ｂ）はゲッタの排気能力を示す。

【図７】電子放出素子を用いた従来の画像表示装置の構
成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は部分断面
図、（ｃ）はゲッタの排気能力を示す。

【図８】表面伝導型電子放出素子の一般的な構成を示す
説明図である。

【図９】電子放出素子を用いた従来の画像表示装置の構
成を示す斜視図である。

【図１０】電子放出素子を用いた従来の画像表示装置の
構成を示す断面図である。

【符号の説明】

１絶縁性基板３電子放出部４導電性薄膜５、６素子電極３００、４０７排気管４０２バックプレート５０２、６０３素子基板３０２、３０３電極３０４電子放出部を含む薄膜３０８、４０１フェイスプレート３０９メタルバック３１０蛍光体３１１、４０３、６０２外枠３１３、４０６蒸発型ゲッタ材コンテナ固定治具３１４、４０５、５０１、６０１ゲッタ材コンテナ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電子放出素子と、前記電子放出素子から
放出される電子線の照射により画像が形成される画像形
成部材と、ゲッタ材とを有する画像表示装置において、
前記ゲッタ材が、装置内の放出ガスを排気するのに十分
な量のゲッタ材を配置した主ゲッタ室と、該画像表示装
置内の圧力分布を是正する位置とに配置されている事を
特徴とする画像表示装置。
【請求項２】前記ゲッタ材が、蒸発型ゲッタ、もしく
は該画像表示装置作製工程中の最高温度以下で活性化可
能な非蒸発型ゲッタのうちの、一つまたは同一ゲッタの
複数使用を含む複数である事を特徴とする請求項１記載
の画像表示装置。
【請求項３】蒸発型ゲッタの主成分が、Ｂａ，Ｔｉ，
Ｚｒ，Ｃａ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，
Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｏ，Ｒｈ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ａｌ，Ｍｎ，Ｃ
ｕ，Ｋ，Ａｇ，Ｚｎのなかから選ばれる１種類もしくは
２種類以上である事を特徴とする請求項２記載の画像表
示装置。
【請求項４】非蒸発型ゲッタが、Ｚｒ−Ａｌ合金及び
Ｚｒ−Ｖ−Ｆｅ合金のどちらか一方またはその両者であ
る事を特徴とする請求項２記載の画像表示装置。
【請求項５】画像表示装置内の圧力分布を是正する位
置に配置されているゲッタ材が、電子放出素子が形成さ
れている基板の下部に設けられた、前記基板板上の空間
に連通する空間内に配置されていることを特徴とする請
求項１〜４のいずれかに記載の画像表示装置。
【請求項６】画像表示装置内の圧力分布を是正する位
置に配置されているゲッタ材の表面積が、主ゲッタ室か
ら離れるほど大きくなることを特徴とする請求項１〜５
のいずれかに記載の画像表示装置。