JPH02177234A - 蛍光表示パネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野〕 本発明は１例えば計測塁１重搭載メータまたは自動事務
機器の端末機等に用いられて文字表示、グラフィック表
示する蛍光表示パネルの製造方法の改良に関し、特にパ
ネル内部を真空置市する方法の改良に関するものである
。

〔従来技術〕

本出願人は、先に、多数本の陽極電極を有するセル型蛍
光表示パネルを提案している（特願昭６３−１１１６３
３号参照）、この蛍光表示パネルは、内面に蛍光体層が
設けられた陽極基板と、この陽極基板の上にスペーサ板
を介して８１層された制御電極基板及び陰極基板を含む
電極基板群と、陰極基板の上にスペーサ板を介して設け
られたガラスまたはセラミラフの裏面基板とから成って
いるが、蛍光体層及び各種電極部品の薄膜は、透孔な有
し絶縁処理された金属基板の上に積層され、透孔の壁で
ある隔壁によって区分されたセル中に陰極（フィラメン
ト）、２つの制御電極（グソット）及び蛍光体層で覆わ
れた陽極を有している。この蛍光表示パネルは、従来の
蛍光表示管と異なり、セル構造を有するので大面積化が
可能であり、また陽極には常に一定の直流電圧を印加し
Ｉｔつグリッドには数１０ｖの低電圧パルスをかけるの
みであるの°Ｃ高価な駆動ＩＣが不要であり安価に製造
することができる。また、陽極に印加する直流電圧の電
圧レベルを変えることによって輝度の階調を付加するこ
とができる。−力、この蛍光表ｊ−、パネルは、裏面基
板とそれ以外の部品組立体、ｐＨｌち陽極基板を兼ねる
フェースガラス基板とスペーサ板を含む電極基板群との
組立体とに分けられ、この組立体と１面基板とはそれら
の間と組立体の部品相りの間に設けられたソリッドガラ
ス等の低融点シール材を用いて大気あるいは不活性ガス
中で封１１ニされ一体化されている。

裏面基板と部品組立体との間は１０−’〜１Ｏ−６Ｔｏ
ｒｒの高真空丁で部品表面に吸着されている水分、空気
等のガスを除去するために３５０〜４５０°Ｃの温度に
加熱され、封止面に設けられたシール材を加熱溶融して
封止し、その後パネル内部を従来の蛍光表示管に用いら
れるゲッター処理を施していた。このゲッター処理は、
部品組立体の内部でパネルの表示部外に配こされたリン
グ状のバリウムゲッター材料を高周波誘導または通電加
熱によって局部加熱しバリウムを飛散して蛍光表示パネ
ルを安定に動作するのに必要な１０　”’Ｔｏｒｒ以上
の真空度を得ていた。尚このゲッター材料は、数ｍｇの
Ｂ　ａ　Ａ　ｉ　ｓ合金粉末に還元性金属であるＮｉ粉
末を約１＝１の割合で混合したものを０．２〜０．３ｍ
ｍ厚みのニッケルメッキを施した鉄袈容器内に入れて形
成され、高周波発生源からのパワーは常温でフェースガ
ラス基板あるいは裏面基板を貫通するカーボンロッドな
通してゲッター材料のみに吸収されるように印加され、
これによってゲッター材料を８００〜１１００℃に加熱
しＢａＡ１．中のＡＩとＮｉとを反応させることにより
Ｂａを蒸発させ、裏面基板−ヒのＳｎＯ，またはフェー
スガラス基板上のＩ　Ｔｏ　（Ｉ　ｎ２　ｏｗｌ・５ｎ
Ｏ３）の如き導電性膜に堆積させる。このゲッター作用
には、Ｂａがゲッター容重から裏面基板に蒸着する行程
中にパネル（真空容器）内に残留している酸素、炭酸ガ
ス、水、外気等を吸着する分散ゲッター作用とＢａのＡ
着後に多孔性である膜がガスを吸着する接触ゲッター作
用とがあり、蛍光表示パネルを安定に動作するには前作
用を効果的に用いることが必要である。

（発明か解決しようとする課題） しかし、セル型蛍光表示パネルに従来技術のゲッター処
理を行なうと、次のような欠点をイＩする。即ち、ゲッ
ター材料を表示部外に配置すると、パネルの面積に占め
る表示部の大きさが小さいためにスペースファクタか小
さく、また高周波誘導加熱を用いているのでカーボンロ
ッドを用いて加熱領域をゲッター材料付近に絞っても部
品１１１層体内の電極基板である絶縁処理された金属基
板が誘導加熱されるためにゲッター効果か不充分となり
、フェースガラス基板から裏面基板の間に隔壁があるの
でガスの拡散が悪いためにガス吸着効果が悪い欠点があ
った。

本発明の［１的は、上記の欠点を回避し、表示部の占め
る割合を小さくすることなく、１１つ高いゲッター効果
で内部を真空にすることかてきる蛍光表示パネルを製造
する方法を提供することにある。

（：Ｘ１題を解決するための手段） 本発明は、上記の課題を解決するために、内面に蛍光体
層が設けられた陽極基板と、この陽極基板の上にスペー
サ板を介して端層された制御電極基板及び陰極基板を含
む電極基板群と。

陰極基板の上にスペーサ板を介して設けられた裏面基板
とから成り、内部が真空封止された蛍光表示パネルを製
造する方法において、陰極基板と裏面基板との間に絶縁
して設けられた薄膜状または多数個の小片状ゲッタ材料
を配とし、このゲッター材料をレーザで局部的に加熱し
てゲッター材料中のＢａを裏面基板に蒸着させてゲラタ
ー処理することを特徴とする蛍光表示パネルの装造方法
を提供することにある。

（作用） このようゲッター材料を裏面基板と陰極電極との間に配
置したので高いゲッター作用を得ることができる上に表
示部の占める割合を小さくすることがなく、またレーザ
でゲッター材料を加熱するので加熱領域がゲッター材料
に限定され、従ってゲッター効果が充分で所定の真空度
を得ることができる。

（実施例） 本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明すると、Ｒ
１図及び第２図は本発明の方法によって蛍光表示パネル
１０を製造する方法の一実施例を示し、この蛍光表示パ
ネルｌＯは、内面に蛍光体層１２が設けられた陽極基板
１４と。

この陽極基板１４の上にスペーサ板１６を介して積層さ
れた２つの制御電極基板１８Ａ、１８Ｂ及び陰極基板２
０を含む電極基板群２２と。

陰極基板２０の上にスペーサ板２４を介して設けられた
裏面基板２６とから虞っている。蛍光体ｆｉ１２は、陽
極基板１４の上に設けられた複数本の陽極電極２８の七
に成膜して形成されている。制御電極基板１８Ａ、１８
Ｂは、厚みが１００μｍの４２６合金基板のトにリフト
オフ法によってＳｉｎ、の絶縁膜を形成した絶縁基板の
上にストライブ状メウシュパターンを有する導電箔を取
付けて形成される。また、陰極基板２０は、制御電極基
板と同様に金属基板を絶縁処理して形成された絶縁基板
にフィラメントパターンを有するタングステンを形成し
、フィラメントパターンに相応する絶縁基板の一部をエ
ツチングによって処理して透孔にフィラメントが懸架さ
れるようにして形成される。制御電極基板１８Ａ、１８
Ｂの間はスペーサ板２９によって相互に隔離されている
。スペーサ板１６．２４及び２９は厚さ１００終ｍの４
２６合金板をエツチング処理してストライブ状パターン
に形成し、その後その両面に約１．５μｍの厚みの５ｉ
ｆｔの絶縁膜を両面スパッタ法によって施して形成され
る。

本発明の方法では、陰極基板２０のスペーサ板２４と裏
面基板２６との間に絶縁して設けられた薄膜状のゲッタ
材料（ゲッター基板）３０Ａを配置する。陽極基板１４
、電極基板群２２及びこの電極基板群２２に薄膜状ゲッ
ター材料３０Ａを挟んで配置された裏面基板２６にはそ
の間の封止面にフリットガラス等の封止材を配置し、こ
の封止材を適宜に加熱して全体を封止し、その後ガラス
に吸収されることがないＹＡＧレーザを用いてゲッター
材＄４３ＯＡを局部的に加熱してゲッター材料３０Ａ中
のＢａ？裏面基板に蒸着させてゲッター処理する。この
ようにしてパネル内部をパネルの安定な動作に必要な１
Ｏ−６程度の真空度を得る。第１図の実施例では、ゲッ
ター材料（ゲッター基板）３０Ａは、厚みが１１００ｐ
Ｌの４２６合金板にフォトレジストをＰＩ３布し、５１
ｓ光と塩化第２鉄硝酸水溶液中でのエツチングとによっ
て直径が２ｍｍの透孔を形成し、その上にニッケルメッ
キを施し、次にこの基板の片面にＢ　ａ　Ａ　１　ａ金
属粉末とＮｉ粉末にニトロセルロース等を結合材として
ペースト化したものを第２図に示すように透孔のまわり
に円形パターンを描いて塗布してゲラター膜３０ａを形
成し、その後基板を４００〜４５０″Ｃの温度に加熱し
て結合材を昇華させて形成される。ゲッター材料３０Ａ
を裏面基板２６から隔離するためにスペーサ板１６．２
４及び２９と同様のゲッター用スペーサ板３２が用いら
れる。このゲッター用スペーサ板３２は、５ｍ　ｍ　ｘ
　５　ｍ　ｍで幅が１ｍｍの格子パターンを有し、ゲッ
ター膜３０ａはこの格子の間から露出するようになって
いる。

このよう基板上に薄膜状に形成されたゲッター材料（ゲ
ッター基板）３０Ａを裏面基板２６と陰極型ａｉ２０と
の間に配置すると、高いゲラター作用を得ることができ
、またこのゲッター材料３０の加熱は、高周波誘導加熱
ではなくレーザによって行なうので加熱領域がゲッター
材料に限定され、従ってゲッター効果が充分で所定の真
空度を得ることができる。

！１１３図は本発明の他の実施例を示し、この実施例で
は、ゲッター材料はゲッタｍｍスペーサ３２の透孔３２
ａ内に配ａされた多数個の小片状スペーサ材＄４３０　
Ｂから成っていることを除いて第１１Ａの実施例と全く
同じである。このゲッター材料３０Ｂの各小片は、第４
図に示すように１例えば、厚みか０．２ｍｍで外径が４
ｍｍのの縁＋１きの鉄製リング３４にニッケルメッキを
施し、ＢａＡ１＜とＮｉ粉末とのペースト３０ｂを縁の
間の環状空間内に塗布し、４００〜４５０℃の温度に加
熱してペーストの結合材を飛散して形成される。ゲッタ
ー用スペーサ板３２は、厚みが１ｍｍのアルミナ基板か
ら成り２この基板に５ｍｍｘ５ｒｎｒｎで幅か２ｍｍの
格子を形成して得られる。この実施例でも部品全体の封
ｌ・ｖｋ２　　レーザによってゲッター材料３０Ｂを加
熱して処理される。

〔発明の効果〕

Ａ：発明によれば、ｌ二足のように、薄膜状または小片
状のゲッター材料を裏面基板と陰極電極との間に配置し
たので高いゲッター作用を得ることができる上に表示部
の占める割合を小さくすることがなく、またレーザでゲ
ッター材料を加熱するので加熱望域がゲッター材料に限
定され、従ってゲッター効果が充分で所定の真空度を得
ることかできる実益がある。

【図面の簡単な説明】

第１ＵＡは本発明の方法によって製造される蛍光表示パ
ネルの製造途中の分解側視図、ｆｆ１２図はゲッター基
板とゲッター用スペーサの一部の拡大分解斜視図、第３
図は第１図と同様であるが本発明の他の実施例の分解斜
視図である。 １０−−−−一蛍光表示パネル、１２−−−−−蛍光体
層、１４−一−−−陽極基板、１６゜２４．２９−−−
−−スペーサ板、１８Ａ、１８Ｂ−−−−一制ａｔ極基
板、２０−−−−−陰極基板、２２−−−−一電極基板
群、２６−−−−−裏面基板、２８−−一−−陽極電極
、３０Ａ、３０Ｂ−−−−−ゲッター材車ヰ、３２−一
一一一ゲツター用スペーサ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 内面に蛍光体層が設けられた陽極基板と前記陽極基板の
   上にスペーサ板を介して積層された制御電極基板及び陰
   極基板を含む電極基板群と前記陰極基板の上にスペーサ
   板を介して設けられた裏面基板とから成り内部が真空に
   封止された蛍光表示パネルを製造する方法において、前
   記陰極基板と裏面基板との間に絶縁して設けられた薄膜
   状または多数個の小片状ゲッタ材料を配置し、前記ゲッ
   ター材料をレーザで局部的に加熱してゲッター材料中の
   Ｂａを裏面基板に蒸着させてゲッター処理することを特
   徴とする蛍光表示パネルの製造方法。