JPH01283754A - 蛍光表示パネル - Google Patents

蛍光表示パネル

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Publication number
JPH01283754A
JPH01283754A JP11163388A JP11163388A JPH01283754A JP H01283754 A JPH01283754 A JP H01283754A JP 11163388 A JP11163388 A JP 11163388A JP 11163388 A JP11163388 A JP 11163388A JP H01283754 A JPH01283754 A JP H01283754A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
phosphor layer
display panel
filament
glass substrate
sheet
Prior art date
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Pending
Application number
JP11163388A
Other languages
English (en)
Inventor
Seishi Takagi
清史 高木
Yoji Hataoka
畑岡 洋二
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Furukawa Electric Co Ltd filed Critical Furukawa Electric Co Ltd
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  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は9例えば計測器、車搭佐メータまたは自動事務
機器の端末機等に用いられて文字表示、グラフィック表
示するセル型蛍光表示パネルに関するものである。
〔従来技術〕
一般に、セル型蛍光表示パネルは、2つの相対するガラ
ス基板の間に配置され蛍光体層と。
この蛍光体層を画素毎に選択的に駆動する蛍光体層駆動
手段とから成っている。従来技術では、蛍光体層駆動手
段は、一方のガラス基板の内側てこのガラス基板と蛍光
体層との間に設けられた透明な陽極電極と、他方のガラ
ス基板の内側に支柱を介して設けられたタングステンフ
ィラメントと9両ガラス基板の間に挟んて支持されたl
乃至複数枚のグリッド制御電極とから成っている(例え
ば、実公昭58−10284号公報参照)。表側及び表
側のガラス基板はフォトリングラフィな用いたエツチン
グによって内面を蝕刻するかフリットガラスペーストの
塗!Iと焼成の工程を数回縁り返しガラスストライプを
積上げて隔壁を形成する作業を行なってから上記部品の
組立を行なっている。
(発明か解決しようとする11題〕 しかし、ガラス基板の隔壁をエラチンつて形成する場合
には蛍光体層及び陽極′、セ極を隔壁の溝の間にスクリ
ーン印刷するかスパッタリングしてストライブ状に形成
するか、溝の存在によってこれらの層をコーティングす
る際に特殊な治几を必要とし、またガラスノ、(板に陽
極′I[極及びQi光体層を形成した後に、フリットガ
ラスを用いてスクリーン印刷の−にね塗りか必要である
か、厚膜スクリーン印刷では格子幅を制御することか困
難であるトにクラックを生し易く、また1回の塗りか1
5〜30鉢mか限界であるため通常セル型蛍光表示パネ
ルに必要な隔壁高さである0゜3〜0.5mmにするに
は20〜50回の塗!貼乾煙工程か必安どなって作業性
か低い1;にこの工程中に蛍光体層か汚損する傾向かあ
って歩留まり及び製造性か低い欠点かあった。また、ガ
ラス基板の隔壁にガラス等の絶縁材料を用いると、フィ
ラメントからの゛重子放射によって隔壁か負に帯電する
ためセル内の′It位分4iか変化し9画素輝度の分布
か一様でなくなる欠点かあった。更に、フィラメントを
プラズマやCVD法の如き薄膜技術を用いて形成すると
、フィラメント形成蒔の基板温度か通常300〜500
℃となるか、フィラメントから電子か放散される温度か
600〜700℃であるためにタングステンフィラメン
トを蒸着したままであると、タングステンフィラメント
か変形することかあり、このためフィラメント膜を−g
1700°C以上の温度で焼鈍する必要かあるか。
この工程か困難てあり、またフィラメントか既に支柱と
一体であるために電子放射性物質である(Ba、Sr、
Ca)Oの塗布は通常よく用いられるm線フィラメント
・枕着法、電気泳動法等が用いられないて多元ターゲッ
トを右するスパッタ法等の真空へ着法を用いる必要かあ
って工程か面倒となる欠点かあった。
木9:川の目的は、上記の製造上及び性濠上の欠点を回
避し、製造性かよく5品質の良好な蛍光表示パネルを提
供することにある。
(3題を解決するための手段〕 本発明は、上記の課題を解決するために1表側のガラス
基板と裏側の絶縁基板とガラス基板の内面に設けられた
蛍光体層とこの蛍光体層を画素毎に選択的に駆動する蛍
光体層駆動手段とから成っている蛍光表示パネルにおい
て、蛍光体層駆動手段はガラス基板と蛍光体層との間に
設けられた透明な陽極電極と、ガラス基板と絶縁基板と
の間にそれぞれスペーサを介して配置されたシート状の
フィラメント及び制御電極とから成り、シート状フィラ
メント及び制御゛電極はスリット付き電極枠にフィラメ
ント線または制御グリッドを支持して形成されているこ
とを特徴とする蛍光表示パネルを提供するものである。
〔作用〕
このように、ガラス基板、絶縁基板、制御J1電極及び
フィラメントをそれぞれ別工程でシート状に形成してM
」み立てるのてそれぞれの品質管理か容易となる上に製
造性かよくなり、特にフィラメントは他の部品とは独立
して形成されるのてフィラメントは別王程て焼鈍すれば
よいから変形を生ずることかなく、またスペーサによっ
て各電極間の間隔を容易に調整することかてさ、セルを
形成する隔壁はスペーサによって形成されるのて工程が
増すことかなく9品質の良好な蛍光表示パネルを高い製
造性て得ることかてきる。
〔実施例〕
本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明すると、第
1図及び第2図は本発明に係る蛍光表示パネルlOを示
し、この蛍光表示パネルlOは9表側のガラス基板12
と、裏側の絶縁基板12°と、ガラス基板12の内面に
設けられた例えばZnO: Znの蛍光体層14と、こ
の蛍光体層14を画素毎に選択的に駆動する蛍光体層駆
動手段16とから成っている。絶縁基板12“は、ガラ
ス、アルミナ等の無機物の外に1アルマイトの如き絶縁
皮膜処理を施したアルミニウム等の金属板を用いること
かてき、この絶縁基板12’はその表面に酸化錫、アル
ミニウム等の導電性fM膜を形成し、このドル膜は図示
しないその端子にスペーサ電極を介してアース電位に接
続されて外部′−せ磁場の影響を受けることかないよう
にし、また表面の帯電−を防止することができる。
蛍光体層駆動手段16は、ガラス基板12と蛍光体層1
4との間に設けられたITC)(In20ff ・5n
O2)等の透明な陽極電極18と、ガラス基−&i l
 2と絶縁基板12°との間にそれ−ぞれスペーサ20
.20’ 、20”を介して配置されたシート状のフィ
ラメント22及び制御電極24とから成っている。尚、
陽極″I[極18の端子18aはNi/Cr112をス
パッタ法によって付けて補強するのか好ましい。
図示の実施例では、制御゛、シ極24は、スペーサ20
′を介して相互に直交するように配置された第1と第2
とのM14電極24A、24Bから成っている。スペー
サ20.20″、20″はフィラメント、 H制御電極
及び陽極電極の適正な間隔を制σ蓼性よく設定するため
に用いられ。
これらのスペーサは例えば5US426’Vの金1ぶて
形成されるが、第1のスペーサ20の下面及び第3のス
ペーサ20−”の1−面のように′1に極端子と接触す
る部分は表面をフリットガラス。
シリカ薄膜によって絶縁処理することか必要である。
シート状フィラメント22は、第2図に示すように、予
めスリット加工された5US426合金板に例えばゾル
ゲル法によってシリカ(S102)薄膜の如き絶縁層な
形成したフィラメントi[極枠26に別王程てエツチン
グ加工して形成された厚みか50pmの支持翼28 a
を予めイ1するタングステンフィラメント線28を載せ
、その支持’A 28 aをフリットガラスペースト2
9等をスクリーン印刷して91H5L/焼成することに
よって固定して形成する。゛重子放射性物質は゛上極端
子22aをテープ等でマスキングした状yEてフィラメ
ントの七に選択的に91Hiするシート状制御電極24
は、第3図に示すように、フィラメント20と同様の方
法で形成されるか、予め絶縁処理されたスリット付きの
電極枠30にメツシュ状の制御グリッド32を支持して
フリットガラス33て絶縁して固定して形成される。
このようにして形成された各部品は裏側の絶縁基板12
°を除いてシートの各周縁にフリットガラスペーストを
塗布し、乾煙し、その上に酸化インジウムまたはガラス
はんだを塗り、これを熱圧着して竿状に組み立て、更に
真空中て佼体と絶縁基板とを加熱し9両者の間にシール
材を塗布し、加熱して封止する。この場合の加熱手段と
しては例えばビーム径を数mm程度に拡げたレーザビー
ムを用い、このビームてガラスはんだを溶かして接着す
ることができる。
第4図は本発明の他の実施例を示し、この実施例では、
4つのスペーサ20.20’ 、20”、20’ ”か
用いられ、第2と第3との中間の2つのスペーサ20’
 、20″は他のスペーサの格子孔よりも大きな格子孔
として数セルに亙って隔壁を省略した状態とし、第1の
制御電極24Aの両側には第2と第3のスペーサ20゛
、20”とか請層され、第1のスペーサ20は第2のス
ペーサ20′の真下に配tされている。このようにする
と、全部品を組み立てて真空引きする際に、排気効率が
よくなるのて好ましい、尚、この場合、大きな格子孔で
排気作業中にセル内ての耐圧壊特性が低下するのを防止
するために各部品間にフリットガラスの封石材を塗布し
、400°C以上の高温で圧着してリブ補強してもよい
また、この実施例では、制御電極24の端子24aを形
成する際に、第5図に示すように。
メツシュ状制御グリッド32の上て端子24aを形成す
る部分を除いてスクリーン印刷法によってフリットガラ
スをQ 11j L/ 、焼成して絶縁膜33を形成す
るが、端子となる部分32aから縁の部分32bを切り
落として端子24aを形成する。
〔発明の効果〕
本発明によれば、上記のように、ガラス基板、絶縁基板
、制御電極及びフィラメントをそれぞれ別工程でシート
状に形成して組み立てるのてそれぞれの品質管理が容易
となる上に製造性かよくなり、従って良質の蛍光表示パ
ネルを安価に製造することかできる実益かある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る蛍光表示パネルの分解状態の斜視
図、第2図及び第3図はそれぞれ本発明に用いられるフ
ィラメントとル制御電極との要部の拡大斜視図、第4図
は本発明の蛍光表示パネルの他の実施例の分解斜視図、
第5図は第4LAのパネルに用いられる制御電極の拡大
斜視図である。 10−−−−一蛍光表示パネル、12−−−−一ガラス
基板、12’−−−−−絶縁基板、14−−−−一蛍光
体層、16−−−−−蛍光体層駆動手段、1s−−−−
一透明陽極電極、20.20“、20” 、20’ ”
 −−一−−スペーサ、22−−−一一フィラメント、
24−−−−−制御電極。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 表側のガラス基板と裏側の絶縁基板とのガラス基板の内
    面に設けられた蛍光体層と前記蛍光体層を画素毎に選択
    的に駆動する蛍光体層駆動手段とから成っている蛍光表
    示パネルにおいて、前記蛍光体層駆動手段はガラス基板
    と蛍光体層との間に設けられた透明な陽極電極と前記ガ
    ラス基板と絶縁基板との間にそれぞれスペーサを介して
    配置されたシート状のフィラメント及び制御電極とから
    成り、前記シート状フィラメント及び制御電極はスリッ
    ト付き電極枠にフィラメント線または制御グリッドを支
    持して形成されていることを特徴とする蛍光表示パネル
JP11163388A 1988-05-10 1988-05-10 蛍光表示パネル Pending JPH01283754A (ja)

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JP11163388A JPH01283754A (ja) 1988-05-10 1988-05-10 蛍光表示パネル

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JPH01283754A true JPH01283754A (ja) 1989-11-15

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100252781B1 (ko) * 1996-06-14 2000-04-15 김덕중 격자형스페이서를이용한전계방출표시소자의제조방법

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100252781B1 (ko) * 1996-06-14 2000-04-15 김덕중 격자형스페이서를이용한전계방출표시소자의제조방법

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