JP2000200568A

JP2000200568A - 平面型表示装置

Info

Publication number: JP2000200568A
Application number: JP212199A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Hosokawa; 弘細川; Kazuo Kikuchi; 一夫菊地
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1999-01-07
Filing date: 1999-01-07
Publication date: 2000-07-18

Abstract

(57)【要約】【課題】電界放出現象を利用した平面型表示装置にお
いて、スペーサの自立配置を可能にして生産性の向上を
図ると共に、スペーサに影響されることなく表示画面の
安定化、画質の向上を図る。【解決手段】第１及び第２の基板１及び２が、スペー
サ２３を介して所要の間隔を保持して対向させ、第１及
び第２の基板１及び２の対向部の周辺部が気密的に封止
されて第１及び第２の基板１及び２間に気密的偏平空間
が形成され、第１の基板１側に電子放出部が配置され、
第２の基板２側に蛍光面５が形成され、電子放出部から
取り出された電子が、加速されて蛍光面５に照射されて
蛍光面５を励起発光して表示を行うようにした平面型表
示装置であって、スペーサ２３が、少なくとも２組の平
行格子２５及び２６を交差した構造を有し、交差した平
行格子２５及び２６により画素あるいは副画素が仕切ら
れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電界電子放出現象
を利用した平面型表示装置に関わる。

【０００２】

【従来の技術】従来の電界電子放出現象を利用した平面
型表示装置１５は、例えば図９にその一部を断面とする
斜視図に示すように、夫々例えばガラス基板によって構
成される第１及び第２の基板１及び２が、補強用のスペ
ーサ３を介して、互に所要の間隔を保持して対向され、
これら相対向する基板１及び２の周辺部がセラミック等
の絶縁性の外周枠１４を介して例えばガラスフリットに
て気密的に封着されて、両基板１及び２間に、気密的偏
平空間が形成され、第１の基板１側に電子放出部４が配
置され、第２の基板２側に蛍光面５が形成されて成る。

【０００３】第１の基板１上には、夫々例えばストライ
プ状の複数の第１の電極（いわゆるカソード電極となる
走査電極）１１及び第２の電極（いわゆる電子を引き出
すためのゲート電極となる制御電極）１２が、互に交叉
する方向に平行配列され、互いの交叉部が絶縁層７を介
して電気的に絶縁されて形成される。

【０００４】そして、例えばこれら第１及び第２の電極
１１及び１２の交叉部に対応して、夫々電子放出部４が
構成される。これら電子放出部４は、冷陰極構成を有
し、図１０Ａ，Ｂにその要部の一部を断面とする斜視図
及びその要部の拡大断面図を示すように、第１及び第２
の電極１１及び１２の交叉部に、絶縁層７と上層の第２
の電極１２とを貫通する透孔８が形成され、これら透孔
８内において、下層の第１の電極１１上に、例えば円錐
状のいわゆるスピント型の電界放出型のカソード（いわ
ゆるエミッタ）９が配置される。ここで、カラー蛍光面
としたときの各色蛍光体Ｒ，Ｇ，Ｂを夫々副画素とし、
３色の蛍光体Ｒ，Ｇ，Ｂで１画素を構成する場合、１副
画素に当たり、複数個のカソード９が配置される。

【０００５】第２の基板２側の蛍光面５上には、薄膜導
電層によるメタルバック層６が形成され、このメタルバ
ック層６に、高電圧の加速電圧の例えば５ＫＶが供給さ
れる。

【０００６】そして、第１及び第２の電極１１及び１２
の選択された電極間に所要の電圧が印加されることによ
って、この交叉部に配置された電子放出部４の各カソー
ド９から電子を取り出し、これを上述の加速電圧によっ
て加速させてメタルバック層６を突き抜けて蛍光面５に
衝撃させて、この部分を励起発光させて、目的とする発
光表示例えば画像表示を行なう。

【０００７】このような平面型表示装置１５において
は、上述した第１及び第２の基板１及び２間に形成され
る気密的偏平空間内は、高真空度に保持されるものであ
り、第１及び第２の基板１及び２には、ほぼ大気圧が掛
かる。そこで、この大気圧に対して基板１及び２が耐圧
を有することができるように、補強用のスペーサを一定
の間隔で配置する必要がある。このスペーサとしては、
矩形や円形の断面形状をもち、薄板や柱状の微小な独立
した個別部品に仕上げられる。図９及び図１１では、長
い長方形薄板よりなる複数の補強用のスペーサ３を、そ
の板面方向が基板１及び２の板面方向と直交するように
平行配列して介在させる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述したスペ
ーサを配置するためには、多くの問題点があった。ま
ず、自立できない微小部品のスペーサを、画素と画素の
間に正確に垂直に配置するためには、スペーサ支持部材
を併用したり、また接着工程が必要になる。この接着剤
は、平面型表示装置を真空に封止した後に、ごみやガス
放出源になってはならない。

【０００９】また、図１１に示すような長い薄板のスペ
ーサ３は、温度膨張により湾曲して画素の発光部に影響
したり、メタルバック層６を含む、蛍光面５を損傷しか
ねない。一方、柱状のスペーサでは、機械的強度が弱い
ので、多数配列しなければならず、平面型表示装置の生
産性を落し、さらに、画質と品質を低下させる要因にな
る。

【００１０】スペーサの材料としては、例えば電気絶縁
性材料が用いられる。これは、電子放出部４と蛍光面５
（即ちメタルバック層６）との間に高電圧が印加されて
おり、電気的分離が必要になるためである。しかし、絶
縁性材料からなるスペーサ３は帯電しやすく、スペーサ
３近傍の電子軌道に影響して、画像ずれ、或は色ずれを
生じ、また、画面上に明線や暗線のすじ状模様が出現す
る等して、画質劣化を来す。

【００１１】この帯電を防ぐため、スペーサ３の表面に
高抵抗膜を設けたり、スペーサ材料に半導電性材料を用
いたりして、強制的に電位勾配を持たせて、表示画面へ
のスペーサの不可視化を図るが、困難な課題である。ス
ペーサの表面の高抵抗膜の抵抗値を下げれば不可視化に
は有利であるが、スペーサの発熱量と平面型表示装置の
消費電力が増加するという問題がある。

【００１２】このように、従来のスペーサ構造では、平
面型表示装置の製造工程の生産性が悪く、スペーサのコ
ストも高くなり、また表示画面上でのスペーサの不可視
化と高画質化が極めて困難であった。

【００１３】本発明は、上述の点に鑑み、スペーサの不
可視化と高画質化を図り、また生産性の向上を図った平
面型表示装置を提供するものである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明に係る平面型表示
装置は、電子放出部が配置された第１の基板と蛍光面が
形成された第２の基板との間に配置されるスペーサが、
少なくとも２組の平行格子が交差した構造を有して構成
される。

【００１５】本発明の構成においては、スペーサが少な
くとも２組の平行格子を交差した構造であるので、スペ
ーサの自立が可能となり、平面表示装置の組立工程にお
いて、スペーサの設置装置及び作業が極めて容易にな
る。スペーサの２組の平行格子によって各画素あるいは
各副画素を半独立的に仕切ることが可能となり、入射・
散乱電子や蛍光体発光が、隣接画素あるいは隣接副画素
へ侵入するのを遮断し、ハレーションの無い高画質化が
可能となる。

【発明の実施の形態】本発明に係る平面型表示装置は、
第１及び第２の基板が、スペーサを介して所要の間隔を
保持して対向され、第１及び第２の基板の対向部の周辺
部が気密的に封止されて第１及び第２の基板間に気密的
偏平空間が形成され、第１の基板側に電子放出部が配置
され、第２の基板側に蛍光面が形成され、電子放出部か
ら取り出された電子が、加速されて蛍光面に照射されて
蛍光面を励起発光して表示を行なうようにした平面型表
示装置があって、スペーサが少なくとも２組の平行格子
を交差した構造を有した構成とする。

【００１６】スペーサは、その一方の平行格子を画素間
あるいは副画素間の間隙に対応させ、その他方の平行格
子を電子放出部の走査電極間の間隙に対応させるように
して配置することができる。

【００１７】スペーサは、その第２の基板側の平行格子
を各画素間あるいは各副画素間の間隙毎に対応させ、そ
の第１の基板側の平行格子を電子放出部の走査電極間の
間隙毎に対応させて配置することができる。

【００１８】スペーサは、その第２の基板側の平行格子
を電子放出部の走査電極間の間隙毎に対応させ、その第
１の基板側の平行格子を各画素間あるいは各副画素間の
間隙毎に対応させて配置することができる。

【００１９】スペーサは、絶縁材料で形成することがで
きる。スペーサは、感光性ガラスで形成することができ
る。スペーサは、２組の平行格子を交差して自己融着で
一体化して構成することができる。

【００２０】スペーサは、絶縁性スペーサ本体の表面に
高抵抗被膜を形成した構成を有し、高抵抗被膜の表面抵
抗を１０⁹〜１０¹²Ω／□として構成することができ
る。このとき、スペーサの電子放出部、及び蛍光面に加
速電圧を与えるための加速電極との接触部の面に導電性
被膜を形成する。

【００２１】本発明の実施の形態を図面を参照して説明
するが、本発明は、この形態に限られるものではない。

【００２２】図１は、本発明の電界電子放出現象を利用
した平面型表示装置の一実施の形態を示す要部の一部を
断面とした斜視図、図２はその要部の断面図である。本
実施の形態に係る平面型表示装置３５１は、夫々例えば
ガラス基板によって構成される第１及び第２の基板１及
び２が、所要の高さを有する補強用のスペーサ２３を介
して、互に所要の間隔を保持して対向され、これら相対
向する基板１及び２の周辺部がセラミック等の絶縁性の
外周枠１４を介して例えばガラスフリット（図示せず）
にて気密的に封着されて、両基板１及び２間に気密的偏
平空間が形成され、第１の基板１側に電子放出部４が配
置され、第２の基板２側に蛍光面５が形成されて成る。
第２の基板２側の蛍光面５は、例えばカラー表示による
平面型表示装置を構成する場合には、例えば赤、緑及び
青の各蛍光体Ｒ，Ｇ及びＢが、所定の配列順序をもって
形成され、例えばこれら蛍光体Ｒ，Ｇ，Ｂ間に光吸収層
によるブラックマトリックス１０が形成される。この場
合、蛍光体Ｒ，Ｇ及びＢを夫々副画素として３つの副画
素、即ち、３色の蛍光体Ｒ，Ｇ及びＢで１画素が構成さ
れる。この画素が複数個マトリックス状に配列される。

【００２３】第１の基板１上には、夫々例えばストライ
プ状の複数の第１の電極（いわゆるカソード電極となる
走査電極）１１及び第２の電極（いわゆる電子を引き出
すためのゲート電極となる制御電極）１２が、互に交叉
する方向、本例では直交する方向に平行配列され、互い
の交叉部が絶縁層７を介して電気的に絶縁されて形成さ
れる。各第２の電極１２〔１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂ〕
は、夫々副画素、即ち蛍光面５の蛍光体Ｒ，Ｇ及びＢの
各列に対応して設けられる。

【００２４】そして、例えばこれら第１及び第２の電極
１１及び１２の各交叉部に対応して、夫々冷陰極構成を
有する電子放出部４が構成される。これら電子放出部４
は、例えばよく知られている各電子放出素子によって構
成される。例えば導電薄膜に通電がなされて形成された
表面伝導型放出素子構成とするか、あるいは前述の図１
０Ａ，Ｂで説明した例えば円錐状の尖鋭形状としたいわ
ゆるスピント型の電界放出型素子（即ちカソード９）構
成とするか、あるいは金属／絶縁層／金属構成によるい
わゆるＭＩＭ型の電子放出素子構成とすることができ
る。なお、前述の図１０Ａ，Ｂに示すように副画素当た
り、複数個の電子放出素子（カソード）９を配置するを
可とする。

【００２５】そして、第１及び第２の基板１及び２間
に、両基板１及び２間の間隔を所定の間隔に保持した状
態で、両基板１及び２間の気密的空間を、外圧（大気
圧）に抗して保持する補強用のスペーサ２３を介在させ
る。

【００２６】このスペーサ２３は、少なくとも２組の平
行格子２５及び２６を交差、例えば直交して重ねられた
構造に形成される。この交差する２組の平行格子２５及
び２６は互に一体化された構成とすることができる。ス
ペーサ２３は、そのいずれか一方の平行格子２６（又は
２５）が画素間あるいは副画素間の間隙に対応し、その
いずれか他方の平行格子２５（又は２６）が電子放出部
４が形成された第１の電極（即ち走査電極）１１間の間
隙に対応するようにして配置される。

【００２７】図１の本実施の形態では、スペーサ２３が
２組の平行格子２６及び２５を直交して重ねて一体化し
た形状で構成される。そして、一方の第１の基板１側の
平行格子２５が配列された第１の電極（走査電極）１１
間の各間隙上に対応して配置され、他方の第２の基板２
側の平行格子２６が配列された副画素Ｒ，Ｇ及びＢ間の
各間隙上に対応して配置される。この場合、平行格子２
６は、非発光部であるブラックマトリックス１３の位置
に対応して重ねられる。また、蛍光体Ｒ，Ｇ，Ｂがスト
ライプでなく、副画素毎に分離されて構成される場合に
は、平行格子２６もブラックマトリックス１０の位置に
対応して重ねられる。

【００２８】このスペーサ２３は、絶縁材料で形成する
を可とし、例えばフォトエッチング可能な感光性ガラス
によって形成することができる。感光ガラスとは、ガラ
ス自体をある程度結晶化しやすい組成にしておき、金
属、例えばリチウムのコロイドを結晶成長の出発点とし
て、紫外線で露光された部分にだけ１ケイ酸リチウムの
微結晶を析出させることができ、この部分の希フッ酸に
対する溶解速度が透明なガラス部分に比べて約６０倍も
大きくなる特徴を有する。この性質を利用してフォトエ
ッチングによりガラス板に機械加工では困難な形状の切
断、穴、溝等の加工が可能となる。板厚と最小加工穴径
の比は、１０乃至２０にも及ぶといわれている。この感
光性ガラスは、いわゆるポジ型の性質を有する感光性ガ
ラスである。さらに、この感光性ガラスは全面露光し
て、一ケイ酸リチウム結晶が析出する温度より高温で加
熱すると、ガラス全体に二ケイ酸リチウムの細かい結晶
が析出し、強度がガラスの３倍にもなる。またガラス板
を重ねて加熱すれば結晶化と同時に融着（いわゆる自己
融着）できるので、複雑な形状のトンネルや多層構造も
作ることができる特徴も有する（文献：ガラスあれこれ
／ＨＯＹＡ編／東洋経済新報社、参照）。

【００２９】図１に示す本実施の形態に係るスペーサ２
３は、感光性ガラスの特徴、即ちフォトエッチングで深
い穴や溝加工ができること、熱処理で自己融着すること
を利用して、形成できる。

【００３０】図４及び図５にスペーサ２３の具体的な作
成方法を示す。まず、図４に示すように、必要な板厚の
２枚の感光性ガラス３１ａ及び３１ｂと、２種類の平行
格子のマスク３２ａ及び３２ｂを用いて、夫々の感光性
ガラス３１ａ及び３１ｂに対し、マスク３２ａ及び３２
ｂを介して露光処理し（工程ａ ₁，ｂ₁）、エッチング
処理して（工程ａ₂，ｂ₂）夫々所望パターンの平行格
子２６及び２５を有する第１及び第２のスペーサ素体２
３ａ及び２３ｂを形成する。この時点では、各スペーサ
素体２３ａ及び２３ｂは、パターニングされた複数の平
行格子が互に分離されないように余白分、すなわち連結
部３３により連結された状態で形成される。

【００３１】次に、２つのスペーサ素体２３ａ及び２３
ｂを互いの平行格子が直交するように重ね合わせる（工
程Ｃ₁）。そして、図５に示すように、高温下で加圧し
自己融着させた（工程Ｃ₂）後、両スペーサ素体２３ａ
及び２３ｂの夫々の連結部３３を切除、即ちトリミング
する（工程Ｃ₃）。これによって互いの平行格子が直交
するように段差をもって重ね合され一体化された（いわ
ゆる直交段差平行格子として一体化された）感光性ガラ
スによるスペーサ２３が得られる。

【００３２】このスペーサ２３は、その表面の抵抗値が
１０⁹〜１０¹²Ω／□となるように構成することができ
る。例えば、このスペーサ２３は、図３に示すように絶
縁性のスペーサ本体２３１の表面に抵抗値が１０⁹〜１
０¹²Ω／□の高抵抗被膜２３２が形成された構成とする
ことができる。さらに、このスペーサ２３の両端面に
は、高抵抗被膜２３２と接続される例えばＡｌ，Ｃｒ等
の導電性被膜２２を形成し、スペーサ２３を、両基板１
及び２間に挟み込んだ状態で、これら導電性被膜２２
が、例えばメタルバック層６及び電子放出部４を構成す
る第２の電極１２に電気的に接続するようになされる。

【００３３】この高抵抗被膜２３２及び導電性被膜２２
を有するスペーサ２３を形成するときは、図５に示すよ
うに、工程Ｃ₃でトリミングが完了し両スペーサ素体２
３ａ及び２３ｂが一体化されたスペーサを形成した後、
スペーサの壁面に１０⁹〜１０¹²Ω／□の高抵抗被膜２
３２を形成する（工程Ｃ₄）。この高抵抗被膜２３２の
形成方法は、スパッタ等の方法により金属あるいは金属
酸化膜を形成した後、炉等で酸化させる。使用する金属
としては、例えばＮｉ，Ｃｒ，Ｔｉ等がある。また、高
抵抗被膜２３２は、例えば湿式のコーティングで形成す
ることも可能である。なお、スペーサ２３は、表面の抵
抗値が１０⁹〜１０¹²Ω／□となるように、それ自体高
抵抗材料で形成することもできる。

【００３４】さらに、工程Ｃ₅においては、スペーサ２
３の電子放出部４及びメタルバック層６と接触する上下
端面に、例えばスパッタ等の方法でＡｌ，Ｃｒ等の金属
薄膜による導電性被膜２２を形成する。導電性被膜２２
は、湿式コーティングで形成することも可能である。こ
のようにして、最終的に表面に高抵抗被膜２３２を有す
ると共に、この高抵抗被膜２３２の上下端に接続するよ
うに上下端面に導電性被膜２２を有した、スペーサ２３
を得る。

【００３５】本実施の形態に係る平面型表示装置３５１
においても、第１及び第２の電極１１及び１２の選択さ
れた電極間に所要の電圧が印加されることによって、こ
の交叉部に配置された電子放出部４から電子を取り出
し、これを上述の加速電圧によって加速させてメタルバ
ック層６を突き抜けて蛍光面５に衝撃させて、この部分
を励起発光させて、目的とする発光表示、例えば画像表
示を行う。

【００３６】なお、メタルバック層６には、加速電源を
通して例えば５ＫＶ程度、又はそれ以上の加速電圧が供
給される。第２の電極１２には、制御回路を通して制御
電圧が供給され、選択時には例えば５０Ｖ〜１００Ｖ程
度の電圧が供給される。第１の電極１１には、走査回路
を通してカソード電圧が供給され、選択時には例えば０
Ｖが供給される。

【００３７】本実施の形態に係る平面型表示素子３５１
によれば、スペーサ２３を２組の平行格子２５及び２６
を段差を有するように直交させて一体化し、しかも、格
子配列が蛍光面５の副画素配列、即ち蛍光体Ｒ，Ｇ，Ｂ
の配列、及び電子放出部４の配列と一致した構造に形成
されるのでスペーサ２３の自立が可能になると共に、第
１の基板１、スペーサ２３及び第２の基板２の３者を重
ね合せる工程での作業性が向上し、電界放出型の表面型
表示装置の製造組立が容易になる。

【００３８】そして、スペーサ２３の表面に所要の高抵
抗（１０⁹〜１０¹²Ω／□程度）を有する導電性を付与
することによって、スペーサ２３の帯電を防止すること
ができる。さらに、このスペーサ２３の両端面に導電性
被膜２２を形成し、これをメタルバック層６及び電子放
出部４を構成する第２の電極１２に電気的に接触するよ
うになすことによって、気密的偏平空間での電位分布の
不均一が生じにくくなり、即ち、均一な電界分布（いわ
ゆる斉一電界）が得られる。

【００３９】従って、スペーサ２３が電子の軌道に影響
を与えることがなく、加速された電子は、加速電圧が印
加された蛍光面５に衝突し、所定の画素を発光する。こ
のとき、衝突した電子と画素の発光は、散乱して隣接画
素まで侵入して発光させてハレーションになることがあ
るが、本実施の形態では、スペーサ２３の平行格子２５
及び２６がこれらを遮断できるので、高品質の画像が得
られる。

【００４０】即ち、直交する２組の平行格子２５及び２
６によるスペーサ２３によって、各副画素（即ち蛍光体
Ｒ，Ｇ及びＢ）が半独立的に仕切されるために、入射電
子や散乱電子、あるいは副画素の発光が、隣接する画素
や副画素に侵入してこれを光らせてしまうことが著しく
低減し、ハレーションの無い高品質の画面を得ることが
できる。さらに、電子ビーム軌道とスペーサ２３の位置
関係が、全画面において全画素、全副画素で同一条件に
なるので、スペーサ２３の不可視化を実現できる。

【００４１】また、スペーサ２３を介して第１及び第２
の基板１及び２を封着した後、更に真空度を上げるため
にゲッタフラッシュを行い、残留ガスの吸着を行ってい
るが、本発明のスペーサ２３は段差をもって２組の平行
格子２５及び２６が重ね合わされて一体化されている構
造であるため、偏平空間内は、各部連通した状態にな
り、空間内の残量ガスの吸着を良好に行うことができ
る。

【００４２】図６は、本発明の平面型表示装置の他の実
施の形態を示す。本実施の形態では、特に２組の直交す
る平行格子２５及び２６からなるスペーサ２３が、その
第１の基板１側の平行格子２５を電子放出部４の第１の
電極（いわゆる走査電極）１１間の各間隙毎に対応させ
ると共に、その第２の基板２側の平行格子２６を各画素
間の間隙毎に対応させるようにして構成される。１画素
は、３色の副画素（Ｒ，Ｇ，Ｂ）で構成される。

【００４３】スペーサ２３の表面、上下端面の高抵抗被
膜２３２、導電性被膜２２の処理を含めて、その他の構
成は、前述の図１〜図３と同様であるので、同一符号を
付して重複説明を省略する。

【００４４】本実施の形態に係る平面型表示装置３５２
によれば、スペーサ２３を構成する一方の平行格子２６
が画素間の間隙に対応して設けられるので、前述の平面
型表示装置３５１でのスペーサ２３に比べて、微細パタ
ーン加工を必要としないこと、真空空間の共有性で有利
である。また、スペーサ２３の平行格子２５及び２６が
各画素を半独立に仕切るため、前述の平面型表示装置３
５１と同様にハレーションの無い高品質の画面が得られ
る。その他、前述の平面型表示装置３５１と同様の効果
を奏する。

【００４５】図７は、本発明の平面型表示装置の他の実
施の形態を示す。本実施の形態では、特に、スペーサ２
３を構成する２組の直交する平行格子２５及び２６が、
図１の場合と逆に形成される。即ち、スペーサ２３は、
一方の第１の基板１側の平行格子２５が配列された副画
素（Ｒ，Ｇ，Ｂ）間の各間隙毎に対応し、他方の第２の
基板２側の平行格子２６が配列された第１の電極（いわ
ゆる走査電極）１１間の各間隙毎に対応するようにして
構成される。

【００４６】スペーサ２３の表面、上下端面の高抵抗被
膜２３２、導電性被膜２２の処理を含めて、その他の構
成は、前述の図１〜図３と同様であるので、同一符号を
付して重複説明を省略する。

【００４７】本実施の形態に係る平面型表示装置３５３
においても、前述の平面型表示装置３５１と同様の効果
を奏する。

【００４８】図８は、本発明の平面型表示装置のさらに
他の実施の形態を示す。本実施の形態では、特に、スペ
ーサ２３を構成する２組の直交する平行格子が図６の場
合と逆に形成される。即ち、スペーサ２３は、一方の第
１の基板１側の平行格子２５が画素間の各間隙毎に対応
すると共に、他方の第２の基板２側の平行格子２６が第
１の電極（いわゆる走査電極）１１間の各間隙毎に対応
するようにして構成される。

【００４９】スペーサ２３の表面、上下端面の高抵抗被
膜２３２、導電性被膜２２の処理を含めて、その他の構
成は、前述の図１〜図３と同様であるので、同一符号を
付して重複説明を説明する。

【００５０】本実施の形態に係る平面型表示装置３５４
においても、前述の平面型表示装置３５２と同様の効果
を奏する。

【００５１】尚、上述の実施の形態においては、スペー
サ２３を２組の平行格子を重ね合せるようにして形成し
たが、その他３組以上の平行格子を重ね合せるようにス
ペーサ２３を形成することもできる。

【００５２】

【発明の効果】本発明に係る平面型表示装置によれば、
スペーサを少なくとも２組の平行格子を交差した構造と
することによって、スペーサの自立が可能となり、且つ
電子放出部側の第１の基板と蛍光面側の第２の基板間へ
のスペーサの配設が容易となり、平面型表示装置の製造
組立を容易にすることができる。

【００５３】スペーサが少なくとも２組の平行格子を交
差した構造であるので、両平行格子で仕切られた各空間
は互に連通した状態になる。従って、ゲッタによる偏平
空間内の残留ガスの吸着が良好に行え偏平空間内の高真
空度を各部均一にすることができる。

【００５４】スペーサを構成する少なくとも２組の平行
格子によって、各画素あるいは各副画素が半独立的に仕
切られるので、入射電子、散乱電子と、画素の発光が隣
接画素に侵入して之を光らせることを防止することがで
き、ハレーションの無い高品質の画面を得ることができ
る。

【００５５】スペーサの平行格子の表面に１０⁹〜１０
¹²Ω／□の高抵抗被膜を形成するときは、このスペーサ
に電子が衝撃し、これによる帯電を防止することができ
るので、この帯電による電界の乱れを回避することがで
き、スペーサ近傍の電子軌道に影響を与えず、表示画面
の安定化、画質の向上を図ることができる。

【００５６】さらに、スペーサと加速電極及び電子放出
部との接触部の面に導電性被膜を形成するときは、気密
的偏平空間内に電位的不均一を生じにくくし、即ち電子
放出部から加速電極に向って均一な電位勾配（いわゆる
歪みのない斉一電界）が形成され、電子軌道に影響を与
えず、表示画面の安定化、画質の向上を図ることができ
る。

【００５７】スペーサを感光性ガラスで形成するとき
は、精度の良い目的とするスペーサが得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の平面型表示装置の一実施の形態を示す
要部の一部を断面とした斜視図である。

【図２】図１の平面型表示装置の要部の断面図である。

【図３】図１の平面型表示装置のスペーサの要部の一部
を断面とする斜視図である。

【図４】本発明に係るスペーサの製法の一実施の形態を
示す工程図である。

【図５】本発明に係るスペーサの製法の一実施の形態を
示す工程図である。

【図６】本発明の平面型表示装置の他の実施の形態を示
す要部の一部を断面とした斜視図である。

【図７】本発明の平面型表示装置の他の実施の形態を示
す要部の一部を断面とした斜視図である。

【図８】本発明の平面型表示装置の他の実施の形態を示
す要部の一部を断面とした斜視図である。

【図９】従来の平面型表示装置の要部の一部を断面とし
た斜視図である。

【図１０】Ａ平面型表示装置の電子放出部を示す斜視
図である。Ｂその要部の断面図である。

【図１１】従来の平面型表示装置のスペーサの配置を示
す斜視図である。

【符号の説明】

１，２‥‥基板、３，２３‥‥スペーサ、４‥‥電子放
出部、５‥‥蛍光面、６‥‥メタルバック、１１‥‥第
１の電極（走査電極）、１２‥‥第２の電極（制御電
極）、１５，３５１，３５２，３５３，３５４‥‥平面
型表示装置、２３１‥‥絶縁性スペーサ本体、２３２‥
‥高抵抗被膜、２２‥‥導電性被膜、２５，２６‥‥平
行格子

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 5C032 AA01 CC10 CD06 5C036 EF01 EF06 EG02 EG50 5C094 AA02 AA43 BA34 CA19 CA24 DA12 EA04 EB02 EC04 FB02 FB15 FB18

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１及び第２の基板が、スペーサを介し
て所要の間隔を保持して対向され、上記第１及び第２の
基板の対向部の周辺部が気密的に封止されて該第１及び
第２の基板間に気密的偏平空間が形成され、上記第１の
基板側に電子放出部が配置され、上記第２の基板側に蛍
光面が形成され、上記電子放出部から取り出された電子
が、加速されて上記蛍光面に照射されて該蛍光面を励起
発光して表示を行うようにした平面型表示装置であっ
て、上記スペーサが、少なくとも２組の平行格子を交差した
構造を有して成ることを特徴とする平面型表示装置。
【請求項２】上記スペーサは、一方の平行格子が画素
間あるいは副画素間の間隙に対応し、他方の平行格子が
上記電子放出部の走査電極間の間隙に対応するようにし
て配置されて成ることを特徴とする請求項１に記載の平
面型表示装置。
【請求項３】上記スペーサは、上記第２の基板側の平
行格子が各画素間あるいは各副画素間の間隙毎に対応
し、上記第１の基板側の平行格子が上記電子放出部の走
査電極間の間隙毎に対応するようにして配置されて成る
ことを特徴とする請求項１に記載の平面型表示装置。
【請求項４】上記スペーサは、上記第２の基板側の平
行格子が上記電子放出部の走査電極間の間隙毎に対応
し、上記第１の基板側の平行格子が各画素間あるいは各
副画素間の間隙毎に対応するようにして配置されて成る
ことを特徴とする請求項１に記載の平面型表示装置。
【請求項５】上記スペーサが絶縁材料で形成されて成
ることを特徴とする請求項１に記載の平面型表示装置。
【請求項６】上記スペーサが感光性ガラスで形成され
て成ることを特徴とする請求項１に記載の平面型表示装
置。
【請求項７】上記スペーサが２組の平行格子を自己融
着で一体化されて成ることを特徴とする請求項１に記載
の平面型表示装置。
【請求項８】上記スペーサが絶縁性スペーサ本体の表
面に高抵抗被膜を形成した構成を有し、該高抵抗被膜の表面抵抗が１０⁹〜１０¹²Ω／□とされ
たことを特徴とする請求項１に記載の平面型表示装置。
【請求項９】上記スペーサの、上記電子放出部及び上
記蛍光面に加速電圧を与えるための加速電極との接触部
の面に導電性被膜が形成されて成ることを特徴とする請
求項８に記載の平面型表示装置。