KR100378350B1 - 일체형 스페이서 조립체를 갖는 고전압용 전계 방출 표시장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

일체형 스페이서 조립체를 갖는 고전압용 전계 방출 표시장치 및 그 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100378350B1
KR100378350B1 KR10-2000-0045276A KR20000045276A KR100378350B1 KR 100378350 B1 KR100378350 B1 KR 100378350B1 KR 20000045276 A KR20000045276 A KR 20000045276A KR 100378350 B1 KR100378350 B1 KR 100378350B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
electrode plate
positive electrode
spacers
aspect ratio
negative electrode
Prior art date
Application number
KR10-2000-0045276A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20020011759A (ko
Inventor
박남신
Original Assignee
삼성에스디아이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성에스디아이 주식회사 filed Critical 삼성에스디아이 주식회사
Priority to KR10-2000-0045276A priority Critical patent/KR100378350B1/ko
Publication of KR20020011759A publication Critical patent/KR20020011759A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100378350B1 publication Critical patent/KR100378350B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J1/88—Mounting, supporting, spacing, or insulating of electrodes or of electrode assemblies
    • H01J1/96—Spacing members extending to the envelope
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
    • H01J9/18—Assembling together the component parts of electrode systems
    • H01J9/185—Assembling together the component parts of electrode systems of flat panel display devices, e.g. by using spacers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/86—Vessels; Containers; Vacuum locks
    • H01J29/864—Spacers between faceplate and backplate of flat panel cathode ray tubes

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
  • Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)

Abstract

본 발명은 정보전달 매체의 중요 부분인 표시 장치에서 스페이서(assembled spacer)와 스페이서 고정홀더(spacer holder)가 일체형으로 제작된 일체형 스페이서 조립체를 갖는 고전압 전계 방출 표시 장치 및 그 제조 방법을 기재한다. 본 발명에 따른 일체형 스페이서 조립체를 갖는 전계 방출 표시장치는 일정한 간격으로 원통 기둥 모양의 굵은 부위를 갖는 고 종횡비의 스페이서를 스페이서 홀더와 일체형으로 결합시켜 일체형 스페이서 조립체로 만든 다음, 일체형 스페이서 조립체의 스페이서 홀더에 형성된 스페이서 홀더 고정용 관통 구멍에 저융점 유리 페이스트를 삽입하고 양극판(혹은 음극판) 상에 정렬시켜 양극판(혹은 음극판)을 320℃∼350℃의 기본(base) 온도로 가열함과 동시에 레이저를 사용하여 저융점 유리 페이스트를 용융 소성시켜 일체형 스페이서 조립체를 양극판 상에 고정시키고 나서 이 양극판과 음극판 사이의 가장자리를 저융점 유리가 사전에 열용융된 측면 유리 막대(side glass bar)를 끼워서 밀봉하고 배기공정을 수행하여 전계 방출 소자를 완성한다.

Description

일체형 스페이서 조립체를 갖는 고전압용 전계 방출 표시 장치 및 그 제조 방법{Field emission display having an united spacer assembly for high voltage screen and manufacturing method thereof}
본 발명은 정보전달 매체의 중요 부분인 표시 장치에서 스페이서(assembled spacer)와 스페이서 고정홀더(spacer holder)가 일체형으로 제작된 일체형 스페이서 조립체를 갖는 고전압 전계 방출 표시 장치 및 그 제조 방법Field Emission Display having an united spacer assembly for high voltage screen and Manufacturing method thereof에 관한 것이다.
표시장치는 대표적인 응용 분야로서 개인용 컴퓨터의 모니터와 텔레비젼 수상기 등에 주로 적용되고 있으며, 최근에는 새로운 응용분야가 광범위하게 창출되고 있다. 현존하는 표시장치는 브라운관, 일명 CRT 표시장치와 최근 급속한 기술발전을 보이고 있는 평판표시소자로 크게 분류할수 있다.
특히, 최근 주목을 받고있는 평판표시소자로서는 액정표시장치(LCD:Liquid Crystal Display), 플라즈마 표시장치(PDP:Plasma Display Panel), 형광표시장치(VFD:Vacuum Fluorescent Display), 전계방출형 표시장치(FED:Field Emission Display)등이 활발하게 연구개발 되어지고 있다.
이러한 평판표시소자들 중에서도 전계 방출 표시 장치는 향후 고정세 대형표시 장치로서 저소비전력 및 고휘도를 갖는 차세대 표시장치에 적용될 수 있는 대표적인 평판 표시 소자라 할 수 있으며, 전세계적으로 활발한 연구개발이 진행되고 있어서, 현재, 이의 실용화를 준비하는 단계에 있다. 그러나 전계방출 표시장치의 실용화를 위해서는 아직까지 많은 기술들의 제반 문제점을 극복하여야 하며, 이의 제조공정이 대량생산이 가능할수 있도록 공정의 단순화가 필요하고, 또한 장수명을 가질수 있는 신뢰성 확보가 필요한 문제점들을 가지고 있다.
전계방출형 표시장치의 실용화에 대한 연구는 크게 양극 스크린 판(anode screen plate)에 인가되는 전압이 3kV 이상인 고전압 FED 및 3kV 이하인 저전압 FED로 분류하여 개발되어 지고 있다. 고전압 FED의 경우 양극판(anode plate)에 고전압이 인가되며, 양극 스크린(anode screen)에 고전압용 형광체를 사용하여 발광 휘도가 매우 양호한 특징을 가지고 있다.
그러나, 진공 영역의 전자 방출원인 마이크로팁(micro-tip)이 집적된 음극판(cathode plate)과 양극 스크린판(anode screen plate)과의 간격이 1∼2mm 이상이 요구되어지며, 이 간격을 유지하기 위한 스페이서(spacer)를 형성시키기 위해서는 양극 스크린(anode screen)에서의 고정세 형광체 패턴 사이의 매우 미세한 간격, 즉 40∼70㎛의 선폭 내에 스페이서가 형성되어야 하므로 재료의 선정 및 구조적 제한이 따르는 문제점을 가지고 있다.
또한 스페이서는 고진공 내압에 견딜수 있는 충분한 강도를 가짐과 동시에 양극판과 음극판 사이에 1mm 이상의 간격(gap) 유지를 위해서 높은 종횡비(aspect ratio)의 스페이서 개발이 필요하다. 고정세의 표시장치 개발에 필요한 스페이서의폭은 70㎛이하가 요구되지만 스페이서 폭이 70㎛ 이하일 경우 스페이서가 휘는 문제점이 발생되며 이것을 극복하지 못하면 고정세 전계방출 표시 장치의 실용화가 어려운 실정이다.
도 1은 기존의 전계 방출 표시 소자의 개략적 구조를 나타내는 투시 평면도이다. 도시된 바와 같이, 기존의 전계 방출 표시소자에서는 스페이서(10)가 음극판(1)과 양극 스크린판(11) 사이의 일정한 간격을 유지하기 위하여 양극 스크린판(11)의 활용영역(active area)(19)의 양쪽 가장자리에 설치된 스페이서 홀더(20)에 끼워진다. 도 2는 이러한 스페이서(10)가 스페이서 홀더(20)에 끼워져 고정용 접착제(14)에 의해 고정된 모습을 확대하여 보여준다.
또한, 스페이서 두께가 70㎛ 이하로 되면서 스페이서가 일직선을 유지하지 못하고 휘는 문제점이 발생되어 고정세 영상표시에 적용하기 힘든 문제점이 발생되고, 스페이서는 개별로 설치되므로 패널 제작 공정에 긴 시간이 소요되며, 스페이서 제작 공정에는 별도의 열소성공정이 필요하므로 공정 단계가 증가한다. 여기서, 스페이서를 고정할 때 사용되는 접착제의 경우 470℃ 이상의 고온에서 열소성하여 고정시키게됨에 따른 음극판(배면기판) 및 양극판(전면기판)의 열변형의 문제가 발생된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하고자 창안한 것으로, 저소비 전력 및 고휘도를 갖는 고정세 대형 표시 장치로의 활용에 필수적인 고강도의 고 종횡비 스페이서(assembled spacer)와 스페이서 고정홀더(spacer holder)가 일체형으로 제작된 일체형 스페이서 조립체를 갖는 고전압용 전계 방출 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 종래의 전계 방출 표시 장치에 채용된 스페이서의 배치 관계를 나타내는 투시 평면도,
도 2는 도 1에서 스페이서 홀더에 스페이스가 조립된 모습을 상세하게 나타내는 평면도,
도 3은 본 발명에 따른 고 종횡비 스페이서와 스페이서 홀더가 일체형으로 형성된 스페이서 조립체를 갖는 고전압용 전계 방출 표시 장치의 개략적 구조는 나타내는 수직 단면도,
도 4a는 도 3의 일체형 스페이서 조립체가 채용된 전계 방출 표시 장치의 투시 평면도,
도 4b는 도 3의 A-A'라인을 따라 절개한 부분을 보여주는 수직 단면도,
도 4c는 도 4a에서 활용 영역의 스페이서 배치 관계를 확대하여 보여주는 도면,
도 5는 도 3의 전계 방출 표시장치에 채용된 일체형 스페이서 조립체의 스페이서 조립 형상을 나타내는 평면도,
도 6은 도 3의 전계 방출 표시장치에 채용된 스페이서들의 외형을 나타낸 사시도,
도 7은 도 3의 전계 방출 표시장치에 채용된 일체형 스페이서 조립체를 고정하기 위하여 화소 영역 외곽의 양극판 상에 배치된 스페이서 홀더의 형상을 나타내는 사시도,
도 8은 도 7의 스페이서 홀더에 고정된 스페이서들의 배치 모습을 나타낸 사시도,
그리고 도 9는 도 3의 전계 방출 표시장치에 채용된 일체형 스페이서 조립체에서 스페이서들이 교차 배치된 형상을 나타내는 사시도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1. 음극판 10.스페이서(Spacer)
11. 양극판 14. 스페이서 고정용 홈
17. 측면 유리 막대, 유리 페이스트 20. 스페이서 홀더
100. 음극판 102. 음극
103. 절연층 104. 마이크로팁
105. 진공영역 106. 절연층 홀(hole)
107. 게이트 108. 게이트 개구부
110.스페이서(Spacer) 111. 양극판
112.양극 113. 칼라 형광체층
114. 측면 유리 막대 115. 스트라이프형 게터 홀더
116. 스트라이프형 게터 117. 프릿(유리 페이스트)
118. 배기 튜브 119. 배기홀
120. 스페이서 홀더 121. 관통 구멍
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 일체형 스페이서 조립체를 갖는 전계 방출 표시 장치는, 소정 거리 이상의 일정한 간격으로 서로 대향되게 배치된 양극판 및 음극판; 상기 음극판에 형성된 스트라이프상의 음극들; 상기 음극들과 상기 음극들에 의해 노출된 상기 음극판 상에 일정한 간격으로 형성된 홀들을 갖도록 적층된 절연층; 상기 절연층의 홀들에 의해 노출된 음극 상에 형성된 마이크로팁들; 상기 절연층 상에 상기 음극들과 교차하는 방향의 스트라이프 상으로 상기 홀들에 대응하는 개구부를 갖도록 형성된 게이트들; 상기 양극판 상에 상기 음극과 나란한 방향의 스트라이프 상으로 형성된 양극들; 상기 양극들 상에 도포된 형광체층; 및 상기 양극판과 음극판 사이의 사방 가장자리를 밀봉하는 측면 막대;를 구비하고, 상기 양극판 및 음극판의 간격에 따라 상기 마이크로팁들에서 전자를 방출할 수 있도록 하는 강전계를 인가하여 구동하는 전계 방출 표시소자에 있어서, 상기 양극판과 음극판 사이의 간격을 유지하기 위한 소정값 이상의 종횡비를 갖는 고 종횡비 스페이서들; 및 상기 스페이서들이 끼워져 고정되는 홈들 및 상기 기판에 고정하기 위한 관통 구멍들이 형성된 스페이서 홀더;가 일체형으로 조립된 일체형 스페이서 조립체;가 구비되고, 상기 일체형 스페이서 조립체는 상기 스페이서 홀더가 상기 양극판과 음극판 사이의 상기 측면 막대 내측에서 상기 마이크로팁들이 배치된 활용 영역 외측 사이의 상기 양극판 상에 상기 관통 구멍들에 채워진 유리 페이스트에 의해 상기 양극판에 고정됨으로써 고정되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 양극판, 음극판 및 측면 프레임은 각각 유리로 형성되고, 상기 유리 프레임의 상하부에 도포된 프릿 분말에 의해 상기 음극판 및 양극판의 가장자리가 용융접합되어 밀봉되며, 상기 음극판 및 양극판을 1mm 이상의 간격을 갖도록 형성되며, 상기 고 종횡비 스페이서들의 종횡비는 높이:폭이 10:1 이상이고, 상기 고 종횡비 스페이서들은 상기 양극들이 형성되지 않은 블랙 매트릭스 영역 상에 상기 양극들과 나란한 방향으로 배치되는 동시에 상기 게이트들이 형성되지 않은 절연층 상에 상기 게이트들과 나란한 방향으로 배치되며, 상기 고 종횡비 스페이서들은 일정한 간격으로 상기 고 종횡비 스페이서의 두께 보다 굵은 원통 기둥 모양의 굵은 부분을 가지는 동시에 일정한 간격으로 높이 방향으로 요철부를 갖도록 형성되며, 상기 고 종횡비 스페이서들의 측면에는 전하가 축적되는 것을 방지하기 위한 금속 배선이 더 형성되며, 상기 양극판과 음극판 사이의 상기 측면 막대 내측에서 상기 스페이서 홀더외측 사이의 상기 양극판 혹은 음극판 상에 스트라이프 형태의 게터;가 더 형성된 것이 바람직하다.
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 일체형 스페이서 조립체를 갖는 전계 방출 표시 장치의 제조 방법은, 소정 거리 이상의 일정한 간격으로 서로 대향되게 배치된 양극판 및 음극판; 상기 음극판에 형성된 스트라이프상의 음극들; 상기 음극들과 상기 음극들에 의해 노출된 상기 음극판 상에 일정한 간격으로 형성된 홀들을 갖도록 적층된 절연층; 상기 절연층의 홀들에 의해 노출된음극 상에 형성된 마이크로팁들; 상기 절연층 상에 상기 음극들과 교차하는 방향의 스트라이프 상으로 상기 홀들에 대응하는 개구부를 갖도록 형성된 게이트들; 상기 양극판 상에 상기 음극과 나란한 방향의 스트라이프 상으로 형성된 양극들; 상기 양극들 상에 도포된 형광체층들; 상기 양극판과 음극판 사이의 사방 가장자리를 밀봉하는 측면 막대; 및 상기 양극판과 음극판 사이의 간격을 유지하기 위한 소정값 이상의 종횡비를 갖는 고 종횡비 스페이서들; 및 상기 스페이서들이 끼워져 고정되는 홈들 및 상기 기판에 고정하기 위한 관통 구멍들이 형성된 스페이서 홀더;가 일체형으로 조립된 일체형 스페이서 조립체;가 구비된 일체형 스페이서 조립체를 갖는 전계 방출 표시장치의 제작 방법에 있어서, 상기 음극판 상에 상기 음극들, 절연층, 마이크로팁들 및 게이트들을 형성하는 단계; 상기 양극판 상에 상기 양극들 및 형광체층들을 형성하는 단계; 상기 일체형 스페이서 조립체를 형성하는 단계; 상기 일체형 스페이서 조립체를 상기 스페이서 홀더가 상기 양극판과 음극판 사이의 상기 측면 막대 내측에서 상기 마이크로팁들이 배치된 활용 영역 외측 사이의 상기 양극판 상에 위치하도록 정렬시키고, 이 양극판을 320℃내지 350℃로 가열함과 동시에 상기 관통 구멍에 삽입된 상기 저융점 글래스 페이스트를 레이저로 용융 소성하여 상기 일체형 스페이서 조립체를 상기 양극판 상에 고정시키는 단계; 및 상기 일체형 스페이서 조립체가 고정된 양극판을 상기 음극판과 맞대어 상기 측면 막대를 이용하여 밀봉하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 일체형 스페이서 조립체를 형성하는 단계는, 상기 고 종횡비 스페이서들을 수평방향의 스페이서들과 수직방향의 스페이서들로 나누어제작하는 단계; 서로 대향하는 1쌍의 제1막대 상에 수평방향의 스페이서를 고정하기 위한 홈들 및 관통 구멍을 형성하는 단계; 서로 대향하는 1쌍의 제2막대 상에 수직방향의 스페이서를 고정하기 위한 홈들 및 관통구멍을 형성하는 단계; 및 상기 제1막대 및 제2막대를 4각형 모양으로 배치하고, 상기 제1막대 및 제2막대들에 형성된 홈들에 상기 수평방향의 스페이서들 및 수직방향의 스페이서들을 끼우고 저융점 글래스 페이스트를 삽입하여 레이저로 용융 소성 하는 단계;를 포함한다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 음극판 및 양극판을 1mm 이상의 간격을 갖도록 형성되고, 상기 고 종횡비 스페이서들의 종횡비는 높이:폭이 10:1 이상이며, 상기 고 종횡비 스페이서들은 일정한 간격으로 상기 고 종횡비 스페이서의 두께 보다 굵은 원통 기둥 모양의 굵은 부분과 일정한 간격으로 높이 방향으로 요철부를 갖도록 형성되며, 상기 고 종횡비 스페이서들의 측면에는 전하가 축적되는 것을 방지하기 위한 금속 배선을 더 형성하며, 상기 양극판과 음극판 사이의 상기 측면 막대 내측에서 상기 스페이서 홀더외측 사이의 상기 양극판 혹은 음극판 상에 스트라이프 형태의 게터를 형성하는 단계;를 더 포함하는 것이 바람직하다.
이하 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 일체형 스페이서 조립체를 갖는 전계 방출 표시 장치 및 그 제조 방법을 상세하게 설명한다.
본 발명에 따른 일체형 스페이서 조립체를 갖는 전계 방출 표시 장치에 일체형 스페이서 조립체는 저소비 전력 및 고휘도를 갖는 고정세 대형 평판 표시 장치에 필수적인 고강도의 고 종횡비 스페이서(assembled spacer)와 스페이서 고정홀더(spacer holder)가 일체형으로 제작된 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 고 종횡비 스페이서와 스페이서 홀더가 일체형으로 조립된 일체형 스페이서 조립체를 갖는 고전압용 전계 방출 표시장치의 개략적 구성을 보여주는 수직 단면도이다. 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 일체형 스페이서 조립체를 갖는 전계 방출 표시장치는 서로 대향하는 음극판(100)과 양극 스크린판(111) 사이에 고 종횡비(high aspect ratio)를 갖는 스페이서(110)가 고정세의 화소(pixel)들 사이에 배치되어 고해상도의 화상을 표시하면서도 고진공 상태의 내부 공간을 유지할 수 있도록 두 전극판(100, 111) 사이의 간격을 유지하는 역할을 하고 있다. 이 고종횡비 스페이서(110)들은 스페이서 홀더(미표시)에 조립되어 일체형 스페이서 조립체(도 5 참조)를 이룬다. 고정세 화소들은 음극판(100) 상에 스트라이프 상으로 형성된 음극(102) 라인들 상에 어레이 형태로 형성된 마이크로 팁(104)들과 이에 대응하여 양극판(111) 상에 스트라이프 상으로 형성된 양극(112) 라인들 상에 도포된 형광체(113)들에 의해 형성된다. 즉, 마이크로팁(104)들에서는 방출되는 전자들이 형광체(113)에 충돌함으로써 빛이 생성된다. 이러한 전자 방출을 위해서는 마이크로팁(104)들을 음극(102) 라인과 교차하는 방향의 스트라이프 상으로 배치된 게이트(107)들이 절연층(103) 상에 형성된다. 이 절연층(103)의 홀(106) 내에 마이크로팁(104)이 배치되고, 게이트(107)에는 이 홀(106)에 대응하는 개구부(108)가 형성되어 전자들이 방출될 수 있도록 한다.
특히, 특징부인 고종횡비 스페이서(110)들과 스페이서 홀더(120)가 일체형으로 조립된 일체형 스페이서 조립체는 도 4a에 도시된 바와 같이 배치된다. 즉, 일체형 스페이서 조립체는 활용영역(active area) 즉 화소영역(190) 외곽의양극판(111) 상에 형성된 측면 유리 프레임(side glass frame)(117)의 내측면에 도 4b에 도시된 바와 같이 고정된다. 도 4b는 도 3에서 A-A'라인 즉 도 4a에서 하나의 스페이서를 따라 절개한 부분의 단면도이다. 또한, 도 4c는 도 4a의 화소영역의 일부를 확대하여 나타내는 도면으로서 스페이서(110)의 배치관계를 보다 확실하게 보여준다. 이를 참조하면 스페이서(110)들은 전극들 사이에 배치됨을 명확히 알 수 있다.
또한, 양극판(111)과 음극판(100) 사이의 측면 막대(114) 내측에서 스페이서 홀더(120) 외측 사이의 양극판(111) 혹은 음극판(100) 상에 스트라이프 형태의 게터(116)들이 더 배치되어 게터 홀더(115)에 의해 지지된다.
도 5는 본 발명에 따른 고전압용 전계 방출 표시장치에 채용된 일체형 스페이서 조립체의 형성을 나타내는 평면도이다. 도시된 바와 같이, 스페이서(110)는 가로 방향 뿐 만 아니라 세로 방향으로도 배치되는 교차 배치가 이루어져서 두 전극판(도 4b의 100, 111 참조)의 내부 간격을 더욱 견고하게 유지한다. 그리고 스페이서(110)는 측면 유리 막대(117)에 미리 열소성된 유리 페이스트(120')에 의해 고정된다.
도 6은 본 발명의 전계 방출 표시장치에 채용된 일체형 스페이서 조립체의 스페이서들의 외형을 나타낸 사시도이다. 도시된 바와 같이, 스페이서(110)의 측면에는 스페이서에 전하가 충전되는 것을 억제하기 위한 도전성 금속 전극(110')이 형성되어 있다.
도 7은 본 발명의 전계 방출 표시장치에 채용된 일체형 스페이서 조립체의 스페이서 홀더(120)의 형상을 나타내는 사시도이다. 도시된 바와 같이, 스페이서 홀더(120)에는 스페이서(110)를 끼워 고정하기 위한 고정용 홈(120a)들이 형성되어 있다. 그리고, 접착제로서 저융점 유리 페이스트(도 5의 120' 참조)가 상하부에 미리 열소성되어 있다. 이와 같은 스페이서 홀더(120)에 고정된 스페이서(110)들의 배치 모습이 도 8에 나타나 있다.
도 9는 본 발명의 전계 방출 표시장치에 채용된 스페이서들이 교차 배치된 형상을 나타내는 사시도이다. 이 도면은 도 4a, 도 4c 및 도 5에서 스페이서들이 교차 조립된 부분을 상세하게 나타내고 있으며, 도 4c에 도시된 바와 같이, 스페이서(110)에는 일정한 개수의 화소 간격으로 원통형의 굵은 부위(110a)가 있어서 두 전극판의 간격 유지 강도를 높이고 있으며, 또한 스페이서(110)는 일정한 간격의 요철부가 형성된 구조를 갖는다. 이들 원통형 굵은 부위(110a)는 조립시 도 4a에 도시된 바와 같이 전극들이 형성되지 않는 부분이 교차하는 영역에 배치된다.
이상과 같이 구성된 고 종횡비 스페이서와 스페이서 홀더를 일체형으로 조립한 일체형 스페이서 조립체를 채용한 전계 방출 표시장치의 제조공정은 다음과 같다.
먼저, 도 3에 도시된 바와 같이, 유리 기판(100) 위에 음극(102), 절연체층(103) 및 게이트용 크롬층(107)(이하, 크롬 게이트(107)라 한다)을 형성시킨다. 이 때 음극(102) 및 크롬 게이트(107)는 중간에 절연체층(103)을 사이에 두고 서로 대향직각이 되면서 x-y 매트릭스(matrix) 형상의 다수의 선전극 형태로 형성되게 된다.
다음에, 감광성 물질인 포토레지스트층을 사용하여 마이크로팁(104)이 형성될 부분에 원형의 개구부 패턴(미도시) 마스크를 형성하여 게이트의 개구부(108)를 형성할 준비를 한다. 이 때 게이트의 개구부(108)의 직경이 1.2㎛ 정도로 형성되도록 개구부 패턴의 직경을 형성한다.
다음에, 크롬 게이트(107)의 개구부(108)를 마스크를 이용하여 RIE(Reactive Ion Etching)법으로 건식 에칭하여 형성한다. 크롬 게이트(107)의 에칭 가스로는 Cl2와 O2를 사용한다. 그리고 절연체층(103)에 홀(hole)(106)을 습식 식각으로 형성한다.
다음에, 알루미늄을 사용하여 리프트-오프(lift-off)용 분리층(미도시)을 기판을 회전시키면서 전자빔 증착기로 기판 표면에서 전자빔이 일정각도(θ≤15。)를 갖도록 하여 경사층착을 수행하면서 게이트 개구부(108)의 직경이 0.2㎛ 정도로 줄어드는 두께가 될 때까지 증착시킨다.
다음에, 몰리브데늄 팁을 형성시키는 공정으로서 진공증착기 안에서 진공상태를 유지시킨 상태에서 전자빔 증착용 몰리브데늄 소스(source)를 사용하여 기판이 회전하는 상태에서 수직방향의 증착을 수행한다. 이와 같이 하면, 알루미늄의 분리층(미도시) 상에 불필요한 몰리브데늄층이 증착됨과 동시에 절연층(103)의 홀(106) 내부에 매우 예리한 선단을 갖는 몰리브데늄 팁(104)이 형성된다.
다음에, 알루미늄 분리층을 리프트 오프(lift-off) 공정을 사용하여 엣칭공정을 수행하면 전계방출용 마이크로 팁(104)이 집적된 음극판(100)의 제작이 완성된다.
그 다음 양극 스크린판(111)의 제작이 다음과 같이 이루어진다.
먼저, 선전극 패턴의 양극(112)을 포토리소그래피 공정을 사용하여 형성한다. 양극 재료는 스크린 위에 형성되므로 투명한 재질이 사용되며 대표적인 물질로서는 인듐틴옥사이드(ITO)가 있다. 양극 사이에 블랙 매트릭스(black matrix)를 형성시킨다.
다음에, 양극판(111) 상에 CRT(cathode ray tube) 제조 공정에서 사용되는 슬러리(slurry) 공정을 사용하여 R(red), G(green), B(blue)의 칼라 형광체층(113)을 형성하여 스크린을 만든다.
다음에, 양극판(111)과 음극판(100) 사이의 측면 막대(114) 내측에서 스페이서 홀더(120) 외측 사이의 양극판(111) 혹은 음극판(100) 상에 스트라이프 형태의 게터(116)들이 더 형성하여 게터 홀더(115)에 의해 지지되도록 하기도 한다.
다음에, 본 발명의 특징인 일체형 스페이서 조립체의 조립 단계로서, 도 5에 도시된 바와 같은 사각형의 스페이서 홀더의 수평방향 및 수직 방향에 도 7에 도시된 바와 같은 스페이서 고정 홈(120a)이 가공된 상태에서 고종횡비 스페이서(110)를 조립한 후에 접착제로 저융점 유리 페이스트(glass paste)(도 5의 120' 참조)를 삽입하고 레이저로 용융시켜 조립하여 스페이서(110)와 스페이서 홀더(120)을 완성 시킨다. 이와 같이 완성된 것이 도 5에 도시된 바와 같은 일체형 스페이서 조립체이다. 실제로 조립된 모습이 도 8 및 도 9에 부분적으로 나타나 있다.
다음에, 음극판(100) 또는 양극판(111) 상에 앞서 완성된 일체형 스페이서 조립체를 정렬시킨다. 이 때 일체형 스페이서 조립체의 스페이서 홀더(120)에 형성된 다수의 관통 구멍(도 5의 121 참조)들에 저융점 유리 페이스트를 삽입하고 음극판(100) 또는 양극판(111)을 320℃∼350℃의 기본(base) 온도로 가열함과 동시에 레이저를 사용하여 저융점 유리 페이스트를 용융 소성시킨다.
다음에, 도 3에 도시된 바와 같이, 음극판(100)과 양극판(111) 사이의 외각에 저융점 유리(117)가 사전에 열용융된 측면 유리 막대(side glass bar)(114)를 조립한 후에 전계방출 표시 장치의 봉착 공정 및 가열 배기 공정을 수행하여 전계방출표시 장치를 완성하게 된다. 이때 전계 방출 표시장치의 진공영역 내부에 잔류기체 흡착 물질인 게터(116)가 스트라이프형 게터 홀더(115)에 장착되어 있고 이 게터(116)는 가열배기 공정의 최종 단계에서 활성화를 시켜주게 된다.
이상과 같이 제작된 전계방출형 표시소자를 구동시키기 위해서는 먼저 음극과 게이트 전극 간에 약 70V ∼100V 정도의 전압을 인가하고 음극(102)과 양극(anode)(112) 간에 약 3kV 정도의 전위차를 유지시키면 마이크로 팁(104)으로부터 전자들이 방출되어 진공영역을 통과하여 양극(112) 위의 형광체층(113)의 스크린에 충돌되면서 원하는 부분이 빛을 발하기 시작한다. 여기서, 음극, 게이트는 일정 간격 및 선폭을 갖는 선전극 형태로서 서로 절연체(103)를 사이에 두고 대향되어 마주보는 X-Y 매트릭스(matrix) 구조를 갖고 있으므로 선택된 영역만이 빛을 발하게 된다. 이 때 전계 방출 어레이(field emitter array)가 형성된 유리 음극판(100)과 형광체 스크린이 형성되어있는 양극판(anode plate)(111) 사이의 간격은 고정세 스페이서(110)에 의해서 일정 간격을 유지할수 있게되며, 이 때의 유지간격은 약 1㎜ 정도로 형성된다. 여기서, 마이크로 팁(104)에서 전자가 방출되기 시작하는 게이트 전극의 전압은 마이크로 팁(104)의 선단 직경이 약 ≤ 400Å 정도의 차이 및 게이트 전극에 형성되어 있는 개구부(108) 단면과 마이크로팁 선단과의 거리(약 0.5㎛)의 차이에 의해서 주로 결정되어 진다.
그리고 마이크로팁(104)으로부터의 전자방출에 의한 전류밀도의 균일성은 마이크로팁(104)의 선단 직경 및 게이트(107)의 개구부(108) 단면과 마이크로팁 선단과의 거리 차에 의해서 크게 좌우 되게 된다. 여기서 전자 방출 전류밀도의 균일성은 바로 양극(anode)(112) 위의 형광체(113) 스크린에서의 휘도차로서 나타나게 되므로 전자방출에 의한 전류밀도의 영역별 균일성 확보가 매우 중요한 요소로서 표시소자의 표시품질을 좌우하게 된다. 또한 표시소자의 내구성 측면에서 신뢰성을 갖는 전계방출표시소자를 제작하기 위해서는 패널 내부가 고진공이 유지됨에 따른 외압이 작용하므로 충분한 강도를 갖는 스페이서의 설치가 매우 중요하다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 고 종횡비 스페이서와 스페이서 홀더를 일체형으로 조립한 일체형 스페이서 조립체를 갖는 전계 방출 표시장치는 일정한 간격으로 원통 기둥 모양의 굵은 부위를 갖는 고 종횡비의 스페이서를 스페이서 홀더와 일체형으로 결합시켜 일체형 스페이서 조립체로 만든 다음, 일체형 스페이서 조립체의 스페이서 홀더에 형성된 스페이서 홀더 고정용 관통 구멍에 저융점 유리 페이스트를 삽입하고 양극판(혹은 음극판) 상에 정렬시켜 양극판(혹은 음극판)을 320℃∼350℃의 기본(base) 온도로 가열함과 동시에 레이저를 사용하여 저융점 유리 페이스트를 용융 소성시켜 일체형 스페이서 조립체를 양극판 상에 고정시키고 나서 이 양극판과 음극판 사이의 가장자리를 저융점 유리가 사전에 열용융된측면 유리 막대(side glass bar)를 끼워서 밀봉하고 배기공정을 수행하여 전계 방출 소자를 완성한다.
이와 같이, 본 발명에 따른 일체형 스페이서 조립체를 갖는 전계 방출 소자는 다음과 같은 장점을 갖는다.
1. 스페이서 홀더에 스페이서를 조립하는 방법에서 스페이서 홀더 상에 형성된 스페이서 고정 홈에 저융점 유리 페이스트를 극미량 삽입하고 레이저로 수초 내의 짧은 시간에 쉽게 용융 고정시킴으로서 매우 간단하게 스페이서 홀더에 스페이서를 조립할 수 있다. 따라서, 별도의 스페이서 고정용 접착제의 열소성을 위한 추가적인 열처리 공정 없이 종래의 4시간 걸리던 접착제의 열소성 공정을 1간 이내로 단축하여 수행할 수 있는 효과가 있다.
2. FED 패널의 음극판과 양극판 조립시 스페이서와 스페이서 홀더로 구성된 일체형 스페이서 조립체를 함께 조립하고 봉착공정을 수행하므로 스페이서 탑재(spacer mounting) 공정의 자동화가 용이하다.
3. 스페이서 고정을 위한 별도의 접착제를 사용하지 않으므로서 접착제에 의한 out gassing이 없으므로 FED panel 내부의 진공도 유지가 가능하여 panel의 수명을 충분히 확보할 수 있다.

Claims (19)

  1. 소정 거리 이상의 일정한 간격으로 서로 대향되게 배치된 양극판 및 음극판;
    상기 음극판에 형성된 스트라이프상의 음극들;
    상기 음극들과 상기 음극들에 의해 노출된 상기 음극판 상에 일정한 간격으로 형성된 홀들을 갖도록 적층된 절연층;
    상기 절연층의 홀들에 의해 노출된 음극 상에 형성된 마이크로팁들;
    상기 절연층 상에 상기 음극들과 교차하는 방향의 스트라이프 상으로 상기 홀들에 대응하는 개구부를 갖도록 형성된 게이트들;
    상기 양극판 상에 상기 음극과 나란한 방향의 스트라이프 상으로 형성된 양극들;
    상기 양극들 상에 도포된 형광체층; 및
    상기 양극판과 음극판 사이의 사방 가장자리를 밀봉하는 측면 막대;를 구비하고, 상기 양극판 및 음극판의 간격에 따라 상기 마이크로팁들에서 전자를 방출할 수 있도록 하는 강전계를 인가하여 구동하는 전계 방출 표시소자에 있어서,
    상기 양극판과 음극판 사이의 간격을 유지하기 위한 소정값 이상의 종횡비를 갖는 고 종횡비 스페이서들; 및 상기 스페이서들이 끼워져 고정되는 홈들 및 상기 양극판에 고정되는 스페이서 홀더;가 일체형으로 조립된 것이되,
    상기 고 종횡비 스페이서들은 가로 및 세로 방향으로 수직하게 교차하는 스페이서들을 포함하고, 상기 스페이서 홀더에 글래스 페이스트가 주입되는 관통구멍이 형성된 일체형 스페이서 조립체;가 구비되고,
    상기 일체형 스페이서 조립체는 상기 스페이서 홀더가 상기 양극판과 음극판 사이의 상기 측면 막대 내측에서 상기 마이크로팁들이 배치된 활용 영역 외측 사이의 상기 양극판 상에 상기 관통 구멍들에 채워진 유리 페이스트에 의해 상기 양극판에 고정된 것을 특징으로 하되,
    상기 음극판 및 양극판의 간격은 적어도 1mm이고, 상기 고 종횡비 스페이서들의 종횡비는 높이:폭이 적어도 10:1인 것을 특징으로 하는 일체형 스페이서 조립체를 갖는 전계 방출 표시장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 양극판, 음극판 및 측면 프레임은 각각 유리로 형성되고, 상기 유리 프레임의 상하부에 도포된 프릿 분말에 의해 상기 음극판 및 양극판의 가장자리가 용융접합되어 밀봉되는 것을 특징으로 하는 일체형 스페이서 조립체를 갖는 전계 방출 표시장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 고 종횡비 스페이서들은 상기 양극들이 형성되지 않은 블랙 매트릭스 영역 상에 상기 양극들과 나란한 방향으로 배치된 것을 특징으로 하는 일체형 스페이서 조립체를 갖는 전계 방출 표시장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 고 종횡비 스페이서들은 상기 게이트들이 형성되지 않은 절연층 상에 상기 게이트들과 나란한 방향으로 더 배치된 것을 특징으로 하는 일체형 스페이서 조립체를 갖는 전계 방출 표시장치.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 고 종횡비 스페이서들은 일정한 간격으로 상기 고 종횡비 스페이서의 두께 보다 굵은 원통 기둥 모양의 굵은 부분을 갖는 것을 특징으로 하는 일체형 스페이서 조립체를 갖는 전계 방출 표시장치.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 고 종횡비 스페이서들은 일정한 간격으로 높이 방향으로 요철부를 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 일체형 스페이서 조립체를 갖는 전계 방출 표시장치.
  9. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 고 종횡비 스페이서들의 측면에는 전하가 축적되는 것을 방지하기 위한 금속 배선이 더 형성된 것을 특징으로 하는 일체형 스페이서 조립체를 갖는 전계 방출 표시장치.
  10. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 양극판과 음극판 사이의 상기 측면 막대 내측에서 상기 스페이서 홀더외측 사이의 상기 양극판 혹은 음극판 상에 스트라이프 형태의 게터;가 더 형성된 것을 특징으로 하는 일체형 스페이서 조립체를 갖는 전계 방출 표시장치.
  11. 소정 거리 이상의 일정한 간격으로 서로 대향되게 배치된 양극판 및 음극판;
    상기 음극판에 형성된 스트라이프상의 음극들;
    상기 음극들과 상기 음극들에 의해 노출된 상기 음극판 상에 일정한 간격으로 형성된 홀들을 갖도록 적층된 절연층;
    상기 절연층의 홀들에 의해 노출된 음극 상에 형성된 마이크로팁들;
    상기 절연층 상에 상기 음극들과 교차하는 방향의 스트라이프 상으로 상기 홀들에 대응하는 개구부를 갖도록 형성된 게이트들;
    상기 양극판 상에 상기 음극과 나란한 방향의 스트라이프 상으로 형성된 양극들;
    상기 양극들 상에 도포된 형광체층들;
    상기 양극판과 음극판 사이의 사방 가장자리를 밀봉하는 측면 막대; 및
    상기 양극판과 음극판 사이의 간격을 유지하기 위한 소정값 이상의 종횡비를 갖는 고 종횡비 스페이서들; 및 상기 스페이서들이 끼워져 고정되는 홈들 및 상기 기판에 고정하기 위한 관통 구멍들이 형성된 스페이서 홀더;가 일체형으로 조립된 일체형 스페이서 조립체;가 구비된 일체형 스페이서 조립체를 갖는 전계 방출 표시장치의 제작 방법에 있어서,
    상기 음극판 상에 상기 음극들, 절연층, 마이크로팁들 및 게이트들을 형성하는 단계;
    상기 양극판 상에 상기 양극들 및 형광체층들을 형성하는 단계;
    상기 일체형 스페이서 조립체를 형성하는 단계;
    상기 관통구멍에 저융점 글래스 페이스트를 주입하는 단계;
    상기 일체형 스페이서 조립체를 상기 스페이서 홀더가 상기 양극판과 음극판 사이의 상기 측면 막대 내측에서 상기 마이크로팁들이 배치된 활용 영역 외측 사이의 상기 양극판 상에 위치하도록 정렬시키고, 이 양극판을 320℃내지 350℃로 가열함과 동시에 상기 관통구멍에 주입된 저융점 글래스 페이스트를 레이저로 용융 소성하여 상기 일체형 스페이서 조립체를 상기 양극판 상에 고정시키는 단계; 및
    상기 일체형 스페이서 조립체가 고정된 양극판을 상기 음극판과 맞대어 상기 측면 막대를 이용하여 밀봉하는 단계를 포함하되,
    상기 음극판 및 양극판의 간격은 적어도 1mm로 하고, 상기 고 종횡비 스페이서들의 종횡비는 높이:폭이 적어도 10:1이 되도록 하는 것을 특징으로 하는 일체형 스페이서 조립체를 갖는 전계 방출 표시장치의 제작 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 일체형 스페이서 조립체를 형성하는 단계는,
    상기 고 종횡비 스페이서들을 수평방향의 스페이서들과 수직방향의 스페이서들로 나누어 제작하는 단계;
    서로 대향하는 1쌍의 제1막대 상에 수평방향의 스페이서를 고정하기 위한 홈들 및 관통 구멍을 형성하는 단계;
    서로 대향하는 1쌍의 제2막대 상에 수직방향의 스페이서를 고정하기 위한 홈들 및 관통구멍을 형성하는 단계; 및
    상기 제1막대 및 제2막대를 4각형 모양으로 배치하고, 상기 제1막대 및 제2막대들에 형성된 홈들에 상기 수평방향의 스페이서들 및 수직방향의 스페이서들을 끼우고 저융점 글래스 페이스트를 삽입하여 레이저로 용융 소성 하는 단계;를
    포함하는 것을 특징으로 하는 일체형 스페이서 조립체를 갖는 전계 방출 표시장치의 제작 방법.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 일체형 스페이서 조립체는 상기 음극판에 고정시키는 것을 특징으로 하는 일체형 스페이서 조립체를 갖는 전계 방출 표시장치의 제작 방법.
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 제11항 또는 제12항에 있어서,
    상기 고 종횡비 스페이서들은 일정한 간격으로 상기 고 종횡비 스페이서의 두께 보다 굵은 원통 기둥 모양의 굵은 부분을 갖는 것을 특징으로 하는 일체형 스페이서 조립체를 갖는 전계 방출 표시장치의 제작 방법.
  17. 제11항 또는 제12항에 있어서,
    상기 고 종횡비 스페이서들은 일정한 간격으로 높이 방향으로 요철부를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 일체형 스페이서 조립체를 갖는 전계 방출 표시장치의 제작 방법.
  18. 제11항 또는 제12항에 있어서,
    상기 고 종횡비 스페이서들의 측면에는 전하가 축적되는 것을 방지하기 위한 금속 배선을 더 형성하는 것을 특징으로 하는 일체형 스페이서 조립체를 갖는 전계 방출 표시장치의 제작 방법.
  19. 제11항에 있어서,
    상기 양극판과 음극판 사이의 상기 측면 막대 내측에서 상기 스페이서 홀더외측 사이의 상기 양극판 혹은 음극판 상에 스트라이프 형태의 게터를 형성하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 일체형 스페이서 조립체를 갖는 전계 방출 표시장치의 제작 방법.
KR10-2000-0045276A 2000-08-04 2000-08-04 일체형 스페이서 조립체를 갖는 고전압용 전계 방출 표시장치 및 그 제조 방법 KR100378350B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2000-0045276A KR100378350B1 (ko) 2000-08-04 2000-08-04 일체형 스페이서 조립체를 갖는 고전압용 전계 방출 표시장치 및 그 제조 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2000-0045276A KR100378350B1 (ko) 2000-08-04 2000-08-04 일체형 스페이서 조립체를 갖는 고전압용 전계 방출 표시장치 및 그 제조 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20020011759A KR20020011759A (ko) 2002-02-09
KR100378350B1 true KR100378350B1 (ko) 2003-03-29

Family

ID=19681754

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2000-0045276A KR100378350B1 (ko) 2000-08-04 2000-08-04 일체형 스페이서 조립체를 갖는 고전압용 전계 방출 표시장치 및 그 제조 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100378350B1 (ko)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100370406B1 (ko) * 2000-12-22 2003-02-05 삼성에스디아이 주식회사 레이저를 이용한 평판표시장치의 진공 패키징 방법
KR101009978B1 (ko) * 2004-01-30 2011-01-21 삼성에스디아이 주식회사 전계 방출 표시장치 및 이의 제조 방법
KR102417714B1 (ko) * 2019-11-18 2022-07-07 한국전자통신연구원 전자 방출 구조체 및 이를 포함하는 엑스선 튜브

Also Published As

Publication number Publication date
KR20020011759A (ko) 2002-02-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7473154B2 (en) Method for manufacturing carbon nanotube field emission display
KR20050051532A (ko) 전계방출 표시장치
CN100521054C (zh) 电子发射装置及其制造方法
US6445125B1 (en) Flat panel display having field emission cathode and manufacturing method thereof
US7173365B2 (en) Field emission display having emitter arrangement structure capable of enhancing electron emission characteristics
CN1722352A (zh) 电子发射装置和防止静电电荷积聚的方法
KR100351068B1 (ko) 전계방출표시장치및그제조방법
US5786660A (en) Flat display screen with a high inter-electrode voltage
JPS5827616B2 (ja) 画像表示装置
KR100378350B1 (ko) 일체형 스페이서 조립체를 갖는 고전압용 전계 방출 표시장치 및 그 제조 방법
KR20010062703A (ko) 전계 방출형 캐소드, 전자 방출 장치, 및 전자 방출장치의 제조 방법
KR20010081496A (ko) 금속 메쉬 그리드를 채용한 전계 방출 소자 및 그 제작방법과 방출 전자의 포커싱 방법
KR100506075B1 (ko) 고 종횡비 스페이서가 채용된 고전압 전계 방출 표시 장치및 그 제조방법
JP3717358B2 (ja) 表示装置
US5785873A (en) Low cost field emission based print head and method of making
KR100319930B1 (ko) 스페이서 구조체 및 이를 채용한 고전압 스크린용 전계 방출표시소자와 그 제조방법
KR100542318B1 (ko) 전계방출표시소자 및 그 제조방법
KR20080023928A (ko) 전자 방출 디스플레이
KR100381432B1 (ko) 기어 형태로 돌출된 스페이서를 갖춘 전계 방출형 표시 소자
KR100338520B1 (ko) 스페이서를 가지는 전계방출 표시소자 및 그 제조방법
KR100322732B1 (ko) 수평전계효과전자방출소자및그제조방법
KR100494158B1 (ko) 칼라 평면 디스플레이 소자
KR100370251B1 (ko) 일정 단위 픽셀마다 지지할 수 있도록 제작된 일체형스페이서를 갖는 전계방출형 디스플레이 장치
KR100434523B1 (ko) 고정세스페이서를채용한전계효과전자방출소자및그제조방법
KR101049821B1 (ko) 전자 방출 소자

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20110228

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee