JPS62290043A - ドツトストリクス型蛍光表示パネル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 １　発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 本発明は、蛍光物質の発光によって、ドツトマトリクス
表示を行う蛍光表示パネルの構造に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、例えば、グラフィック表示が可能な全ドツト表示
方式の蛍光表示パネルは、第２図に示すように絶縁基板
１の上にＡ！薄膜を、スパッタ法等によシ厚さ約１μ被
着させ、フォトリソグラフィ法等によシ、表示パターン
電極を兼ねる陽極給電線２を形成し、その上に、蛍光体
からなる表示パターン３を電気泳動法によシ付着形成す
るが、その場合、絶縁被膜４に形成された表示パターン
の位置形状５にならって蛍光体からなる表示パターンは
形成される。尚絶縁被膜４は、低融点ガラスを有機バイ
ンダー中に分散させてペースト状にし、ステンレススク
リーンを用いて、プリントした後５６０〜６００℃の温
度で焼結したもので通常厚み３０〜４０μで形成される
。

次に、陽極基板上の表示パターン３と対応する位置に、
陽極基板と、４００μ程度の距離をおいて制御用のグリ
ッド６を複数個配設し、且つグリッド６に適当な距離を
おいて、フィラメント７を配役、更に内面に透明導電膜
を施し、排気管９を付着したカバーガラス８を陽極基板
と封着させて前記の排気管９よシポンプを用いて空気を
排出した後、バーナーで封止し、真空気密容器を形成す
る構造のものが提供されている。

しかし、これらに使用されるグリッドは、普通ストライ
プ状にメッシ晶加工を施したものであシ、その電極幅は
、表示パターンのピッチに左右され、ピッチが大きい場
合、例えば１鰭／ピッチ程度の場合は、そのグリッドの
加工、基板への取付けは比較的容易であるが、Ｑ、５ｍ
／ピッチ以下になると、前記の加工、取付が、非常に困
難となり、さらに０．３膜ｍ／ピッチ程度になるとグリ
ッドの形成方法もさることながら、隣接グリッド間での
クロストークが無視出来なくなる。即ち従来方式の表示
パネルにおいては、０．３Ｍ／ピッチが１つの限界とな
っておシ、大容量の表示パネルを設計する上での重大な
ネックとなっていた。又、Ｑ、５膜ｍ／ピッチ程度の表
示パネルにおいても制御用グリッドの加工、取付けに多
大の工数と、熟練した加工技術を要することから、量産
が容易に出来ず、且つ高価格になることは否めなかった
。

しかし、最近、市場においては、電子部品、とシわけＬ
ＳＩの高性能・低価格、大量供給の波にのシ、ＯＡ、Ｆ
’Ａ機器の開発、実用化が活発化し、それに伴ない当然
、大容量表示が可能な表示パネルを大量に且つ、低価格
で、供給されることへのニーズが増大した。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明の目的は、ファインピッチドツトマトリクス蛍光
表示パネル（以下蛍光表示パネルと略す）を設計する上
で最大のネックであった従来方式の、グリッド構造を改
良し電子流を通す孔を有する絶縁基板上にグリッドを一
体形成した方式を用いることによシ量産可能とし、安価
で高機能の蛍光表示パネルを市場に供給可能とすること
Ｋある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の蛍光表示パネルは、電子流を通す孔を有する絶
縁基板上に電子流を制御するグリッドを一体形成し且つ
、外部に導出されたリード端子は、外部のリードと機械
的に接続されておシ更に、カソード、グリッド、アノー
ドはスタック状に重ね合わせた構造を特徴としている。

以下に具体的な実施例を用いて、更に詳しく説明する。

〔実施例〕

第１図は、本発明による蛍光表示パネルの基本構造図で
ある従来の蛍光表示パネルとは、主にグリッドの構造が
異るので、その点を中心に以下説明する。

真空気密容器の一部を構成する絶縁基板１、表示パター
ン電極２、表示パターン３、絶縁被膜４、絶縁被膜に形
成された表示パターン５は前記従来技術の項で述べた同
様の方法により作製した。

次に、本発明による絶縁基板と一体型のＸアドレス用グ
リッド６１は厚さ０．１５ｔの薄板ガラスを、外部回路
との接続端子部６２を確保すべく、真空気密容器よＪ１
０＋ｕ大きい寸法にて切断し、純水を用いてスクラバー
洗浄し乾燥した。その後、ステアリン酸アルミを添加し
て耐酸性を強化したネガ型フォトレジスト（例えば東京
応化製ＯＭＲ−８１）をロールコータを用いて塗布し、
表面に７オトレジスト膜を形成した。それから、８０℃
で２０分間プリベーキングを実施した後、濃弗酸を用い
たフォトエツチング法にて０．１５φの電子流を通す孔
６３を０．３ｎピツチにてマトリクス状に加工した。さ
らにフォトレジストをキシレンを主剤とする剥離液にて
除去した後、再度純水を用いて、スクラバー洗浄し乾燥
した。その後蛍光表示パネル装着時フィラメントに対向
する表面にスパッタリング法によ、９１．Ｔ、０膜を、
厚さ０．８膜被着させた後塩化第２鉄を主成分とするエ
ツチング液を用いるフォトエツチング法にて、電子流を
通す０．１５φの孔６３を１列に有する位置に電極幅０
．２５　ｆｉ電極間隔０．０５ｆｉのストライプ状電極
を形成した。尚以上の作業によシ外部回路接続用のリー
ド端子６２も同時に形成しさらに、本基板の反対面に、
Ｘアドレス用電極を形成する方法と、同様の方法にて、
直交するＸアドレス用電極を形成した。

６一 以上の方法によシ製造した、ガラス板と一体型のグリッ
ドを第１図の如くアノード、グリッド、カソード順にス
タック状に重ね合せた後従来方法にて、真空封止した後
熱圧着型のフライングリード１０にて、外部回路と接続
した。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明による蛍光表示パネルは下
記の特長を有する。

（１）グリッドを絶縁基板上にフォトリングラフィ法に
よシ一体形成したことによ）、自動化による生産が可能
となシ、蛍光表示パネル内への装着工数および耐振性が
大幅に改善された。

（Ｉｔ）　　グリッドは、絶縁基板上に一体形成し且つ
フォトリングラフィ法の採用によシロ。３ピッチ以下に
することも可能となシ、大容量、大面積パネルの設計が
可能となった。

（曲　グリッドが絶縁基板上に一体形成されていること
によシ外部に導出されたリード端子は、外部回路との接
続が容易となった。

Ｏψ　ストライプ状のグリッド間に、絶縁体が介在して
おり隣接グリッドによる電解のけシ込みがなくなシ隣接
電極間のクロストークが改善された。

（Ｖ）　　グリッド電極を、Ｘアドレス用、Ｙアドレス
用として一体形成したことによシ、表示ドツト単位での
電子流の制御が可能となり、モノクロＣＲＴ蛍光面と同
様に、蛍光膜をストライプ状に形成する必要がなくなっ
た。

【図面の簡単な説明】

第１図は、不発明による蛍光表示パネルの分解斜視図、
第２図は、従来方式蛍光表示パネルの分解斜視図である
。 １・−・・・・絶縁基板、２・・・・・・表示パターン
電極（アノード）、３・・・・・・表示パターン、４・
・・・・・絶縁被膜、５・・・・・・絶縁被膜に形成さ
れた表示パターン、６・・・・・・グリッド電極、６１
・・・・・・不発明による絶縁基板と一体型のストライ
プ状グリッド、６１Ｘ・・・・・・Ｘアドレス用グリッ
ド、６１Ｙ・・・・・・Ｙ゛アドレス用ダグリッド６２
・・・・・・外部回路との接続用端子部、６３・・・・
・・電子流を通す孔、７・・・・・・フィラメント（カ
ンード）、８・・・−・・カバーガラス、９・・・・・
・排気管、１０Ｘ・・・・・・外部回路との接続用ケー
ブル（フライングリード）。 １０Ｘ　フカ；クソート ３辛πの°クーン 卵恍咲 （辷修バクベ〉 下略１−不シ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 気密容器内で、カソードより発生する電子流をグリッド
   と、蛍光体を形成したアノードに印加する電圧で制御表
   示するドットマトリクス型蛍光表示パネルにおいて、前
   記グリッドが陽極への電子流を通す孔を有する絶縁基板
   の１主面上に、前記孔を含む位置にＸアドレス用を、又
   、他主面上の前記孔を含む位置にＹアドレス用を直交す
   るように形成した電極を有する構造であることを特徴と
   するドットマトリクス型蛍光表示パネル。