JPS62290050A - 蛍光表示管及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 本発明は、コンピュータ端末、ＯＡ機器端末、平面テレ
ビ等のグラフィック表示装置として使用される蛍光表示
管に関し、特に微細な陽極パターンを有するグラフィッ
ク用蛍光表示管において。

グリッドを陽極基板上に配設した平面グリッドタイプの
蛍光表示管及びその製造方法に関するものである。

〔従術技術及びその問題点〕

従来の蛍光表示管をグリッドの構造で分類すると、第５
図に示すようなメツシュグリッドタイプと、第６図の示
すようなワイヤーグリッドタイプと、第７図、第８図に
示すような平面グリッドタイプがある。

メツシュグリッドタイプの蛍光表示管の構造は、基板１
と、基板１上に配設された配線導体２と、配線導体２を
覆う絶縁層７とこの絶縁層７に形成されたスルーホール
を介して配線導体２と接続している陽極導体３と、陽極
導体３上に蛍光体層３８〜３ｇがスクリーン印刷法によ
って積層配設されそいる。前記陽極導体３と蛍光体層３
ａ〜３ｇで陽極４を形成している。この陽極４に対面す
る上方にメツシュ状のグリッド５が陽極４より正確な間
隔をもって配設される。

さらにグリッド５の上方で、前記陽極４に対面してフィ
ラメント状陰極６が張架配設されている。

次にこのメツシュグリッドタイプの蛍光表示管の動作を
説明する。

フィラメント状陰極６に通電加熱し、電子を放出させる
。この電子をメツシュグリッド５に正電圧を印加するこ
とにより引き付け、加速し、陽極４へ電子の流れを通す
。

メツシュグリッド５を通過した電子は、陽極４にパルス
状の正電圧を時分割的に順次グリッド電圧と同期させて
印加させるので、正電圧の印加されている陽極４上の蛍
光体層３８〜３ｇに射突して発光させるのである。また
蛍光体層３８〜３ｇを発光させない場合にはメツシュグ
リッドに負のカットオフバイアス電圧を印加することに
より電子の流れをカットしていた。

しかして、このメツシュグリッドタイプの蛍光表示管は
、メツシュグリッド５を陽極４から正確な間隔をもって
配設しなければならないという問題点と、メツシュグリ
ッド５は、グリッド枠体５ａにメツシュ５ｂを溶接して
一体とした構造であるので、陽極４がある程度以下のピ
ッチ間隔で並列されている場合には配設することが困難
であるという問題点があった。

そこで陽極４のピッチ間隔が小さいグラフィック用の蛍
光表示管は、第６図に示すようなワイヤーグリッドタイ
プのグリッド構造で対処していた。

このタイプの蛍光表示管は、基板１と基板上に配設され
た透光性導電薄膜による帯状の配線導線−４＝ 兼陽極導体３と、陽極導体３上に電着法でベタに被着さ
れた蛍光体層３ａとにより陽極４が形成される。この陽
極４に対面した上方に、前記陽極導体３と直交する方向
にワイヤーグリッド５が一定ピッチ間隔（１ｍｎ以下）
で並設されている。さらにワイヤーグリッド５の上方に
フィラメント状陰極６が張設されている。

：ワイヤーグリッドタイプの蛍光表示管は、以上のよう
な構造であるので、フィラメント状陰極６から放出され
た電子は、隣接するワイヤーグリッド５の２本ずつ時分
割的に正のグリッド電圧が印加された部分を通過して陽
極の蛍光体層に射突し。

前記グリッド電圧に同期させて陽極にパルス状の正電圧
を印加させた陽極部分が発光表示するのである。

発光させないワイヤーグリッドには、負のカットオフバ
イアス電圧が印加され、電子の流れをカットしている。

しかして、このワイヤーグリッドタイプの蛍光表示管は
、発光ドツトが隣接する２本のワイヤーグリッドの制御
領域で決まる。したがって、ワイヤーグリッドが振動す
ると陽極の発光ドツトも振動し、チラッキを生じさせる
という問題点があった。また、ワイヤーグリッドのピッ
チ間隔が小さくなるとワイヤーグリッドが表示の妨げに
なり、グリッド及びフィラメント状陰極を通して表示を
観察する従来タイプでは使用できなくなり、陽極での発
光を陽極導体と陽極基板１を通して観察する前面発光形
でないと使用できなかった。そのために蛍光体層の発光
は、蛍光体層及び陽極導体及び基板に吸収される為に輝
度は低下するという問題点を有していた。

そこで、本発明者は、今までの問題点を解決するために
、従来よりあるもう一つのグリッド方式である平面グリ
ッドを利用したグラフィック蛍光表示管を検討した。

この平面グリッド方式は、実公昭５４−２１９７３号に
記載され、公知である。この蛍光表示管は、第７図及び
第８図に示すように、基板２１の上面に、配線導体２２
を形成する。配線導体２２は、銀ペーストをスクリーン
印刷法により形成する。

この配線導体２２は、後述するパターン表示部の共通す
る陽極導体２２ａを電気的に接続して外囲器外へ導出す
る端子３４と接続している。配線導体２２上にはガラス
フリットなどからなる絶縁被膜２３が形成される。この
絶縁被膜２３には配線導体２２と対応する陽極導体２６
を接続するスルーホール２４が設けである。絶縁被膜２
３の上面には、複数の数字を表示できるような８の字パ
ターンを構成する陽極導体２６と、この陽極導体２６の
外周部に沿って、この外周部との間にわずかの間隔が形
成されるようにして近接包囲するように平面グリッド２
７とが導電性ペーストによって被着配設される。前記陽
極導体２６の上面には蛍光体層２８が印刷法で被着され
る。このように構成された８の字パターンの１けたをパ
ターン表示部２５と称する。平面グリッド２７は、各げ
たのパターン表示部２５ごとに配設される。

また平面グリッド２７の少なくとも後述する陰極３０に
対面する上面には電子の射突をしゃへいする絶縁しゃへ
い被膜２９が配設される。前記各パターン表示部２５に
対面する上方にはフィラメント状陰極３０が張架配設さ
れる。

従来の平面グリッドを使用した蛍光表示管は、上述した
構成を有するので、あるパターン表示部２５の陽極を発
光させるには、陽極導体には陽極電圧である正のパルス
電圧、例えば＋２０Ｖが印加されている。また、平面グ
リッド２７には、けた信号として前記陽極電圧に同期し
た正のパルス電圧が印加される。したがって、陰極３０
から放出された電子は、陽極及び平面グリッド２７の作
る電界によって吸引加速されて蛍光体層２８に射突し発
光させる。

次に表示けた以外の陽極導体２６にも陽極電圧が印加さ
れてしまうが、発光させないけたの平面グリッド２７に
は負の電圧−２０Ｖを印加させて、陰極３０と陽極との
間の電界をしゃ断するように動作させて、電子の流れを
カットするので、電子は蛍光体層に到達されず発光しな
いのである。

以上説明したように平面グリッド２７を使用した蛍光表
示管は、蛍光体層を上方のメツシュ状グリラドを通さず
直接観察できるタイプであるので輝度が高く、またグリ
ッドが基板に固定されているのでワイヤーグリッドのよ
うに発光ドツトが振動することがなくなることが期待で
きる。

〔発明の目的〕

本発明は、メツシュグリッド及びワイヤーグリッドの問
題点を解決する平面グリッド方式のグラフィック蛍光表
示管及びその製造方法を提供することを目的とするもの
である。

〔発明の構成〕

前述の目的を達成する為に本発明の構成は、真空外囲器
中に、電子を放出する陰極と、電子を加速・制御するグ
リッドと電子の射突により発光する蛍光体層を被着した
複数のドツト状陽極とを有する蛍光表示管において、前
記ドツト状陽極がドツト状薄膜陽極導体上に蛍光体層を
被着して一定方向に並設し、それ等が薄膜配線導体で接
続されているとともに、グリッドが前記ドツト状陽極導
体の周囲の基板上に絶縁物を主成分とする絶縁層と、該
絶縁層の上面に配設された導電物質による導電層を有す
る構成であることを特徴とする。

また前記グリッドの厚さが陽極の厚さの１〜７倍あるこ
とが好ましい。

さらに、前記絶縁層の少なくとも蛍光体層の厚さより上
部に導電物質を混入させて導電性をもたせた抵抗層を形
成させることが好ましい。

また、前記構成の蛍光表示管の製造方法は、ガラス基板
上に形成した薄膜陽極導体の周辺にグリッドを一体に配
設する工程と、薄膜陽極導体上に蛍光体層を被着する工
程と、前記ガラス基板の上方にフィラメント状陰極及び
端子を組立てる工程と、前記ガラス基板上に容器部を封
着し、容器内を真空に排気・封止する工程からなる蛍光
表示管の製造方法において、前記蛍光体層を被着する工
程が、薄膜陽極導体上に容易に相転移し易い充填物質を
液相の状態で充填した後、冷却して固相に変化させグリ
ッドと同一平面に形成し、少なくとも前記充填物質上に
感光剤を混合した蛍光体層を被着させた後、加熱して充
填物質を液相に変化させることにより前記蛍光体層を沈
降させて前記陽極導体上に付着形成し、その後加熱して
充填物質を気相に変化させることにより蒸発させて蛍光
体層上から除去した後、フォラリソグラフィ法の手段に
より所定の蛍光体層を固着させた後、蛍光体層中の感光
剤を焼成除去することにより蛍光体層を被着することを
特徴とする。

また、前記蛍光体層被着工程を複数回繰り返して複数色
の蛍光体層を形成することが好ましい。

〔作　用〕

充填物質は、融点が０℃以上で、かつ沸点が１５０℃以
下であるので、温度により固相、液相、気相となりうる
作用がある。

グリッドで包囲された陽極導体上に充填するときには液
体で注入するので容易にグリッドの上面と同一平面にな
る作用がある。

蛍光体層を被着させるときには、固相にして印刷法で被
着させ、所定量の蛍光体層を形成する作用がある。

また、蛍光体層をグリッドで囲まれた溝状の底部の陽極
導体上に移動させるときには、液相にして蛍光体粒子及
び感光体粒子を沈降させる作用がある。

さらに、充填物質が必要なくなったときには、気相にし
て蒸発させてしまい、蛍光体層中や又は上方に何も残さ
ない作用がある。

〔実施例〕

本発明の蛍光表示管は第１図に示す要部の平面図又は第
２図に示す断面図のように、基板１０１の上面にアルミ
ニウム薄膜による配線導体１０２および陽極導体１０３
をフォトリソグラフィ法の手段で一定のパターンを形成
する。このパターンは、四角又は丸形のドツト状の陽極
導体１０３を並設させたパターンである。

またドツト状の陽極導体１０３の外周かられずか離れて
、前記発光ドツトを囲むようにグリッドが形成されるが
、このグリッドは蛍光体層１０７より高く形成されるの
で立体グリッド１００と称する。

この立体グリッド１００は、第２図に示すように。

基板１０１上のアルミニウム薄膜による配線導体１０２
および陽極基板１０１上に絶縁性を有する低融点ガラス
を主成分とする絶縁層１０４とその上面に前記低融点ガ
ラスにＳｎＯ，等の導電性粉末を加えた帯電防止抵抗層
１０５と、さらにその上面に配設された銀や金等の導電
物質による導電層１０６の３層から構成されている。

前記陽極導体１０３上には、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、
青色（Ｂ）に発光する蛍光体層１０７が配設されて陽極
セグメントを構成している。そして、同一色蛍光体層、
例えば赤色蛍光体層１０７Ｒは第１図に示すように横方
向に同一配線導体１０２Ｒで電気的に接続されている。

しかして、Ｒ，Ｇ、Ｂの３色の陽極セグメントが第１図
のように縦方向に２列にジグザグ状に並設されている。

そして、陽極セグメントが２列目ごとに立体グリッド１
００の幹状部１００ａが縦方向に配設され、各陽極セグ
メントを囲むように横方向に立体グリッドの枝状部１０
０ｂが延在している。

ＲＧＢで１絵素として構成するが、この１絵素は、１本
の立体グリッド１００で上方を囲まれているので、１本
ずつの立体グリッド１００を走査して、この走査に同期
させて横方向の配線導体１０２に表示信号を印加させる
ことにより目的の絵素を発光表示することが可能である
。１０８は絶縁層である。

１０９は、前記陽極導体１０３及び配線導体１０２に接
続している陽極端子である。１１０は、同様に立体グリ
ッド１００に接続しているグリッド用端子である。

第２図は、第１図のＸ−Ｘ線で断面した断面図である。

蛍光体層１０７は立体グリッド１００，１００間の溝１
１１の底部に配設される。

次に本発明の蛍光表示管の製造方法について説明する。

第３図は、本発明の蛍光表示管の陽極基板の製造工程を
説明する断面図である。

第３図Ａは、ガラス基板１０１上にアルミニウム薄膜を
蒸着法やスパッタリング法で被着し、フォトリソグラフ
ィの手段により第２図に示すような陽極導体１０３及び
配線導体１０２のパターンを形成させる。このパターン
の上の基板全体に、低融点フリットガラスを主成分とす
る絶縁ペーストをスクリーン印刷法で塗布した後、１５
０℃で乾燥させ、さらにその上面に再度絶縁ペーストを
印刷法で塗布して絶縁層１０４を０．０３〜０．０５■
の目的の厚さに形成する。次に絶縁層１０４の表面に、
前記絶縁ペーストにＳｎＯ，等の導電性粉末を加え多少
の導電性をもたせ、メグオームオーダの抵抗を有する帯
電防止の為の抵抗層１０５を０．０５〜０．０８ｍｍの
厚さにスクリーン印刷法で同様に複数回印刷・乾燥工程
を繰り返して基板上に形成する。さらに前記抵抗層１０
５の上面に銀等の導電物質等によって導電層１０６をス
クリーン印刷法で全面に被着形成する。その後４５０℃
に加熱した炉中で約１０分間仮焼成を行う。

なお、前記絶縁ペーストは、フリットガラスの屈伏点が
５１０℃位の比較的高い軟化点を有するフリットガラス
と、屈伏点が３５０℃位の低軟化点のフリットガラスを
一定の混合比で混合して仮焼膜の強度調節及び焼成温度
の調節を行った。

絶縁層１０４、帯電防止の為の抵抗層１０５、導電層１
０６からなる立体グリッド積層体１００の上面にドライ
フィルムレジスト（以後ＤＦＲと略す）を配設する。こ
のＤＦＲは、０．０２５〜０．０５０ｍｍの感光性樹脂
１５一 層１１２をカバーフィルムとキャリアフィルムで挟んだ
構造である。前記キャリアフィルムを剥離して前記立体
グリッド積層体１００の上面にラミネータで熱圧着させ
る。そして表面のカバーフィルムを剥離して、パターン
を形成させたマスク１１３を介して紫外線を感光性樹脂
層１１２に照射させる。

感光性樹脂層１１２は、ネガ型感光性樹脂であるので、
立体グリッド１００として残す部分に紫外線が照射され
るようにマスク１１３を形成する。そして、有機溶剤に
よる現像液で現像して、立体グリッド１００として残す
部分の上面の感光性樹脂層１１２を硬化させて残す。

次にエツチングは、０．０２０ｍ位の平均粒径を有する
ガラスピーズを空気圧力０．５〜１．０ｋｇ／ｄで立体
グリッド積層体１００上に吹き付けると、感光性樹脂層
１１２が存在する部分はエツチングされないが、感光性
樹脂層１１２がない部分は、直接立体グリッド積層体１
００に当たり積層体１００を浸触させる。

ただし、アルミニウム薄膜による陽極導体層１０３は残
すように浸触させる。残った部分は立体グリラド１００
を形成する。

次に立体グリッド１００上の感光性樹脂層１１２をメチ
レンクロライド溶剤をスプレーさせたり、前記溶剤中に
浸漬したりして剥離させて陽極基板が形成される。

次に、前記ドライエツチングによって形成された陽極基
板の底面に露出した陽極導体１０３上に蛍光体層を形成
させる方法について説明する。蛍光体層のパターン形成
方法は、スクリーン印刷法、電着法、スラリー法が従来
より行われてきた方法である。本発明の蛍光表示管は立
体グリッド１００゜１００間の溝１１１の底面に配設さ
れた陽極導体１０３上に蛍光体層１０７を形成させなけ
ればならないので、従来一番多く使用されているスクリ
ーン印刷法ではメツシュが立体グリッド１００の上面に
接触してしまい、底面にはメツシュが接触しなく蛍光体
ペーストを溝１１１の底面に被着させることができなか
った。

また電着法では狭い溝１１１の中が同一電界分布になら
ないので均一に付着させることができない。

さらに、スラリー法では、表面張力により立体グリッド
の壁面側が厚く、中央が薄くなり、やはり均一に被着さ
せることができなかった。また蛍光体層が厚くなりすぎ
ることもあった。

そこで本発明は、簡単な操作で、厚く均一に塗布できる
新しい方法を考えた。

第４図Ａに示すように、基板１０１上に形成した立体グ
リッド１００．１００間の溝部１１１の底面にはアルミ
ニウム薄膜による陽極導体１０３が配設されている。こ
の陽極導体１０３上に、充填物質１１４を液相にして溝
１１１に注ぎ、立体グリッド１００と同一高さになるま
で充填する。充填物質１１４は、融点が０℃以上で、か
つ沸点が１５０℃以下の物質である。−例をあげれば、
１，３．５　トリオキサンがある。融点が６１℃であり
、沸点が１１４．５℃であるので６１℃以下では固体で
あり、６１〜１１４．５℃の間が液相となり、１１４．
５℃以上となると気相になる。また、テトラブチルアル
コールが融点が２５℃であり、沸点が８２℃であるので
２５℃以下では固相であり、２５〜８２℃の間が液相と
なり、８２℃以上になると気相となる。さらに１，４ジ
オキサンがあり、この物質の融点がｔｉ、ａ℃、沸点が
１０１．４℃である。

本実施例の場合は、充填物１１４として１，３．５トリ
オキサン、Ｃ，Ｈ，０３を使用した。充填物１１４を約
６５℃に加熱して液相にして立体グリッド１００．１０
０間の溝１１１に注ぎ、立体グリッド１００と同じ高さ
にして、フィルム１１５を載置して表面張力の影響をな
くして冷却する。６１℃以下になると充填物１１４は固
相となる。そこで常温まで冷えたらフィルム１１５を剥
離すると立体グリッド１００上面と同一平面に形成され
る。

次にスクリーン印刷によって赤色発光蛍光体ペースト１
１６を印刷被着させる。蛍光体ペースト１１６は、蛍光
体と感光性樹脂と溶剤及びエチルセルロースやエチレン
グリコール等の粘度調整剤等を混合してペースト化させ
たものである。印刷は、スクリーンのパターンによりＲ
，Ｇ、Ｈの各絵素の上部にのみその発光色の蛍光体層を
被着させてもよいし、全面にベタ塗りで被着させてもよ
い。ベタ塗りの場合は第４図Ｂに示すように立体グリシ
ド１００上も溝１１１の充填物１１４上もすべて蛍光体
ペースト１１６が被着される。

次に蛍光体ペースト１１６が被着された基板１０１を加
熱して、充填物１１４を液相にする。すると液相充填物
上の蛍光体ペースト１１６は、沈降して溝１１１の底部
に沈積し、第４図Ｃに示すようになる。さらに充填物の
沸点１１４．５℃程度に加熱することにより充填物を気
相化させて蒸発させてしまう。すると置溝１１１の底部
に赤色蛍光体ペースト１１６が被着されるが、赤の絵素
の部分にのみ窓の開いたマスク１１７を介して紫外線を
照射して、赤の絵素だけ感光性樹脂を硬化させて基板１
０１上に蛍光体層１０７を固着させる。紫外線の照射さ
れない部分は。

現像工程により洗い落とす。現像液はクロロセン溶剤を
スプレー法で吹き付けたり、浸種法でつけて不用な蛍光
体層１０７を剥離する。

次に固着させた赤色蛍光体１０７Ｒをより接着強度を大
きくする為と蛍光体層１０７より溶剤を蒸発させるため
に、２００℃で乾燥させるポストベーク工程で一色の蛍
光体の被着工程が終了する。

次に緑色発光蛍光体１０７Ｇを被着させるには、第４図
Ａに示すように充填物を液相にして立体グリッド１００
間に注入し、冷却固化させる工程から前述の方法を繰り
返して行う。

したがって、ＲＧＢの３色の蛍光体層を被着させるには
、前述の被着方法を３回繰り返して行えば第２図に示す
ように蛍光体層１０７が被着されることになる。

そして、すべての蛍光体層１０７が被着されたら４４０
℃で１０分位本焼成を行い、蛍光体層１０７中に残って
いる感光剤や粘度調整剤等を焼成蒸発させて陽極基板が
完成する。この陽極基板上の立体グリッドの上方にフィ
ラメント状陰極を張架配設し、外囲器を慣通して外部へ
延在する端子と共に、前面容器部を封着材により陽極基
板上に封着し、密封外囲器を形成し、この外囲器内を真
空に排気した後、封止する工程を経て蛍光表示管が完成
する。

なお、蛍光体層１０７は、立体グリッドかられずかに離
れて配設されているが、これは立体グリッド１００の導
電層１０６や抵抗層１０５と接触することを防止するた
めである。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、グリッドを微細な立体グ
リッドとして陽極セグメントを囲むように基板上に配設
したので、従来のようにグリッドが振動することが全く
なくなり、表示のチラッキが皆無になるという効果を有
する。

また、発光セグメントの上方にメツシュ状のグリッドが
ないので表示の妨げにならず、輝度を低下させないで表
示することが可能であるので高輝度化の表示装置に適用
できるという効果がある。

さらに本発明の立体グリッドは、少なくとも蛍光体層の
厚さにより上部に導電物質を混入させた抵抗層を設けた
ので、電子のチャージするのを防ぐことができ、電子の
チャージによる字欠は等の悪影響をなくす効果がある。

本発明に使用する充填物は、低沸点の有機物であるので
容易に蒸発除去でき、蛍光体に悪影響を与えず、高輝度
、長寿命の特長を有している。

また、本発明の蛍光体の被着方法は、スクリーン印刷法
で被着できるので、一定の厚さの蛍光体層に形成するこ
とが可能であるという効果を有する。

さらに、本発明の蛍光体の被着方法によれば、溝の底部
でも容易に蛍光体層の厚膜が形成できるという効果を有
する。

【図面の簡単な説明】

：第１図は、本発明の蛍光表示管の要部の平面図、第２
図は、第１図のＸ−Ｘ線の断面図、第３図Ａ〜Ｂは、立
体グリッドの製造方法を説明する断面図、第４図は、本
発明の蛍光表示管の製造方法の一部である蛍光体の被着
方法を説明する断面図、第５図は、従来のメツシュグリ
ッドタイプの蛍光表示管の要部の斜視図、第６図は、従
来のワイヤーグリッドタイプの蛍光表示管の要部の斜視
図、第７図は、従来の平面グリッドタイプの蛍光表示管
の一部を破断した平面図、第８図は、同実施例の断面図
である。 １００・・・・・立体グリッド　　１０１・・・・・基
　板１０２・・・・・配線導体　　　　１０３・・・・
・陽極導体１０４・・・・・絶縁層　　　　　１０５・
・・・・抵抗層１０６・・・・・導電層　　　　　１０
７・・・・・蛍光体層特許出願人　　双葉電子工業株式
会社 第　　７ 第　　５　　図 第　　６　　図

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）真空外囲器中に、電子を放出する陰極と、電子を
   加速・制御するグリッドと、電子の射突により発光する
   蛍光体層を被着した複数のドット状陽極とを有する蛍光
   表示管において、前記ドット状陽極がドット状薄膜陽極
   導体上に蛍光体層を被着して一定方向に並設し、それ等
   が薄膜配線導体で接続されているとともに、グリッドが
   前記ドット状陽極導体の周囲の基板上に絶縁物を主成分
   とする絶縁層と該絶縁層の上面に配設された導電物質に
   よる導電層を有する構成であることを特徴とする蛍光表
   示管。
2. （２）前記グリッドの厚さが蛍光体層の１〜７倍である
   特許請求の範囲第１項記載の蛍光表示管。
3. （３）前記絶縁層の少なくとも蛍光体層の厚さより上部
   に導電物質を混入させて導電性をもたせた抵抗層を形成
   させた特許請求の範囲第１項記載の蛍光表示管。
4. （４）ガラス基板上に形成した薄膜陽極導体の周辺にグ
   リッドを一体に配設する工程と、薄膜陽極導体上に蛍光
   体層を被着する工程と、前記ガラス基板の上方にフィラ
   メント状陰極及び端子を組立てる工程と、前記ガラス基
   板上に容器部を封着し、容器内を真空に排気封止する工
   程からなる蛍光表示管の製造方法において、前記蛍光体
   層を被着する工程が、薄膜陽極導体上に容易に相転移し
   易い充填物質を液相の状態で充填した後冷却して固相に
   変化させグリッドと同一平面に形成し、少なくとも前記
   充填物質上に感光剤を混合した蛍光体層を被着させた後
   、加熱して充填物質を液相に変化させることにより、前
   記蛍光体層を沈降させて前記陽極導体上に付着形成し、
   その後加熱して充填物質を気相に変化させることにより
   、蒸発させて蛍光体層上から除去した後、フォトリソグ
   ラフィ法の手段により所定の蛍光体層を固着させた後、
   蛍光体層中の感光剤を焼成除去することにより蛍光体層
   を被着することを特徴とする蛍光表示管の製造方法。
5. （５）前記蛍光体層被着工程を複数回繰り返して複数色
   の蛍光体層を形成する特許請求の範囲第４項記載の蛍光
   表示管の製造方法。