JPS6338822B2 - - Google Patents
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- JPS6338822B2 JPS6338822B2 JP54059575A JP5957579A JPS6338822B2 JP S6338822 B2 JPS6338822 B2 JP S6338822B2 JP 54059575 A JP54059575 A JP 54059575A JP 5957579 A JP5957579 A JP 5957579A JP S6338822 B2 JPS6338822 B2 JP S6338822B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/02—Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
- H01J29/10—Screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored
- H01J29/18—Luminescent screens
- H01J29/28—Luminescent screens with protective, conductive or reflective layers
Landscapes
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は螢光表示管に関し、とくにその陽極の
構成材料に関する。
構成材料に関する。
螢光表示管とは電子を照射するフイラメント
と、表面に螢光体が塗布された複数個のセグメン
トとから成り、前記セグメントのうち任意のもの
を選択しこれに電子を受けるようにすれば、前記
セグメント表面の螢光体が発光してたとえば０〜
９までの数字を表示するものである。
と、表面に螢光体が塗布された複数個のセグメン
トとから成り、前記セグメントのうち任意のもの
を選択しこれに電子を受けるようにすれば、前記
セグメント表面の螢光体が発光してたとえば０〜
９までの数字を表示するものである。
このような螢光表示管は従来次のような方法で
製造されていた。すなわち、セラミツク或いはガ
ラスのような絶縁基板表面にまず印刷技術により
導電材からなる配線層を形成しこれを乾燥した
後、焼成する。次に前記配線層を含んで絶縁基板
表面にガラス質からなる絶縁層を形成する。この
絶縁層はやはり印刷技術により形成されるもの
で、これを形成した後は焼成が行なわれる。そし
てこの絶縁層上に「日」字形状の複数個のセグメ
ント（黒鉛の上面に螢光体が形成された二層構
造）を印刷技術により形成し焼成する。
製造されていた。すなわち、セラミツク或いはガ
ラスのような絶縁基板表面にまず印刷技術により
導電材からなる配線層を形成しこれを乾燥した
後、焼成する。次に前記配線層を含んで絶縁基板
表面にガラス質からなる絶縁層を形成する。この
絶縁層はやはり印刷技術により形成されるもの
で、これを形成した後は焼成が行なわれる。そし
てこの絶縁層上に「日」字形状の複数個のセグメ
ント（黒鉛の上面に螢光体が形成された二層構
造）を印刷技術により形成し焼成する。
なお各セグメントの黒鉛は絶縁層表面にあらか
じめ形成されたスル−ホールにより配線層と接続
されているもので、この配線層の端部は電極とし
て絶縁層から露出されている。その後はセグメン
ト上方に制御電極及びフイラメント電極を張設
し、絶縁基板上面に、内面透明導電性被膜の被着
されたカバーガラスを封じ、管内を排気して枯化
工程を経て製作されていた。
じめ形成されたスル−ホールにより配線層と接続
されているもので、この配線層の端部は電極とし
て絶縁層から露出されている。その後はセグメン
ト上方に制御電極及びフイラメント電極を張設
し、絶縁基板上面に、内面透明導電性被膜の被着
されたカバーガラスを封じ、管内を排気して枯化
工程を経て製作されていた。
特に、このような螢光表示管の陽極セグメント
を構成する黒鉛電極は、従来人造黒鉛粉末を主成
分とし、水ガラスを接着剤とした水溶性の黒鉛ペ
ースト或いは人造黒鉛粉末に低融点ガラスを混合
し、有機バインダーにより練り合せた油性の黒鉛
ペースト等を用いていた。しかしながら、このよ
うな黒鉛材料には次のような欠点がある。すなわ
ち、(イ)人造黒鉛はガス放出量が多く、CO2、CO、
H2、CH4、H2O等のガスが温度上昇と共に増大
すると、また電子照射により、そのエネルギーが
熱エネルギーに変換され、結局有害ガスを放出
し、螢光体或いはフイラメント電極との化学的な
反応或いは吸着現象等をまねき、螢光表示管の輝
度特性または寿命特性に悪影響を及ぼす。(ロ)ま
た、黒鉛の空気中に於ける酸化開始温度は400℃
であり、螢光表示管の製造工程における熱処理に
より酸化現象を起し、黒鉛電極の消失等製造上の
不都合がある。(ハ)更に、部品の脱ガスをしようと
しても高温処理が不可能である。(ニ)また、人造黒
鉛の気孔率は10〜30％であり極めて大きく、多孔
質で空気中の水分或いは螢光表示管に有害なガス
種を吸着し易く、製造工程上部品の保管等の取扱
いが難しく、作業性が悪いこと、また、螢光表示
管の動作中に徐々に吸着物質を放出し、管内ガス
濃度を高め、螢光表示管の寿命特性を悪化し、低
歩留となる諸欠点があつた。
を構成する黒鉛電極は、従来人造黒鉛粉末を主成
分とし、水ガラスを接着剤とした水溶性の黒鉛ペ
ースト或いは人造黒鉛粉末に低融点ガラスを混合
し、有機バインダーにより練り合せた油性の黒鉛
ペースト等を用いていた。しかしながら、このよ
うな黒鉛材料には次のような欠点がある。すなわ
ち、(イ)人造黒鉛はガス放出量が多く、CO2、CO、
H2、CH4、H2O等のガスが温度上昇と共に増大
すると、また電子照射により、そのエネルギーが
熱エネルギーに変換され、結局有害ガスを放出
し、螢光体或いはフイラメント電極との化学的な
反応或いは吸着現象等をまねき、螢光表示管の輝
度特性または寿命特性に悪影響を及ぼす。(ロ)ま
た、黒鉛の空気中に於ける酸化開始温度は400℃
であり、螢光表示管の製造工程における熱処理に
より酸化現象を起し、黒鉛電極の消失等製造上の
不都合がある。(ハ)更に、部品の脱ガスをしようと
しても高温処理が不可能である。(ニ)また、人造黒
鉛の気孔率は10〜30％であり極めて大きく、多孔
質で空気中の水分或いは螢光表示管に有害なガス
種を吸着し易く、製造工程上部品の保管等の取扱
いが難しく、作業性が悪いこと、また、螢光表示
管の動作中に徐々に吸着物質を放出し、管内ガス
濃度を高め、螢光表示管の寿命特性を悪化し、低
歩留となる諸欠点があつた。
上述の使用条件に対処する為に別の方法が提案
されている。すなわち、金とかクロム、アルミニ
ウム等の金属薄膜を利用する方法である。一般
に、金属は、螢光表示管の製造工程上、空気中に
おける加熱処理工程があり、容易に酸化現象を起
し、表面に酸化物を形成し、絶縁物となり、電極
の役目を果さなくなる欠点がある。更に、金属薄
膜は活性であり、螢光体を表面に積層した場合、
螢光表示管の動作中に於て、拡散現象が起り、螢
光体を劣化せしめ、輝度、寿命特性に悪影響を及
ぼす不都合があつた。一方、不活性な金属薄膜も
あるが殆んど金、白金、パラジウムなど貴金属類
に属するものであり、螢光表示管のような量産品
の材料としては製造原価を押し上げる要因とな
り、価格面で不都合な材料であつた。
されている。すなわち、金とかクロム、アルミニ
ウム等の金属薄膜を利用する方法である。一般
に、金属は、螢光表示管の製造工程上、空気中に
おける加熱処理工程があり、容易に酸化現象を起
し、表面に酸化物を形成し、絶縁物となり、電極
の役目を果さなくなる欠点がある。更に、金属薄
膜は活性であり、螢光体を表面に積層した場合、
螢光表示管の動作中に於て、拡散現象が起り、螢
光体を劣化せしめ、輝度、寿命特性に悪影響を及
ぼす不都合があつた。一方、不活性な金属薄膜も
あるが殆んど金、白金、パラジウムなど貴金属類
に属するものであり、螢光表示管のような量産品
の材料としては製造原価を押し上げる要因とな
り、価格面で不都合な材料であつた。
本発明の目的は上述の諸欠点を改良した新規な
る螢光表示管を提供することにある。また、新規
なる陽極セグメント材料を提供することにある。
る螢光表示管を提供することにある。また、新規
なる陽極セグメント材料を提供することにある。
本発明によれば、絶縁基板上に配線層を形成
し、絶縁膜を介して前記配線層と接続された錫と
インジウムとの合金の酸化物を主成分とする導電
体材料から成る陽極セグメント電極上に螢光体層
を積層してなる表示部を形成し、該表示部の上方
に制御電極及びフイラメント電極を配置し、内面
に透明導電性被膜を被着したカバーガラスと一体
に封着し、管内を排気してなる螢光表示管が得ら
れる。
し、絶縁膜を介して前記配線層と接続された錫と
インジウムとの合金の酸化物を主成分とする導電
体材料から成る陽極セグメント電極上に螢光体層
を積層してなる表示部を形成し、該表示部の上方
に制御電極及びフイラメント電極を配置し、内面
に透明導電性被膜を被着したカバーガラスと一体
に封着し、管内を排気してなる螢光表示管が得ら
れる。
本発明のねらいとするところは従来の人造黒鉛
粉末を主成分とする黒鉛ペーストを錫とインジウ
ムとの合金の酸化物を主成分とする導電体により
置き換え、従来と殆んど同じ工程を経て、優れた
螢光表示管を得たのである。
粉末を主成分とする黒鉛ペーストを錫とインジウ
ムとの合金の酸化物を主成分とする導電体により
置き換え、従来と殆んど同じ工程を経て、優れた
螢光表示管を得たのである。
本発明に於ては錫とインジウムを真空蒸着また
はスパツタリング法によつて形成したものであ
る。
はスパツタリング法によつて形成したものであ
る。
例えばIn／Sn合金ターゲツトをArガス＋O2ガ
ス雰囲気のもとでDCリアクテイブスパツタリン
グ法により、スパツタした場合、得られたIn2−
xSnxO3＋ｓ導電体の特性は(i)電気抵抗が極めて
小さく、比抵抗値で10-4Ω・cmであり、(ii)多結晶
で緻密な構造から脱ガスは殆んどなく、有害物質
の放出もない。また(iii)黒鉛のような酸化消耗現象
も無く、空気中の水分や他のガス吸着も起さな
い。更に(iv)原料が金属であることからハロゲン化
物等電子管材料として有害物質の含有が無い等優
れたものであつた。
ス雰囲気のもとでDCリアクテイブスパツタリン
グ法により、スパツタした場合、得られたIn2−
xSnxO3＋ｓ導電体の特性は(i)電気抵抗が極めて
小さく、比抵抗値で10-4Ω・cmであり、(ii)多結晶
で緻密な構造から脱ガスは殆んどなく、有害物質
の放出もない。また(iii)黒鉛のような酸化消耗現象
も無く、空気中の水分や他のガス吸着も起さな
い。更に(iv)原料が金属であることからハロゲン化
物等電子管材料として有害物質の含有が無い等優
れたものであつた。
次に本発明の内容を実施例を用いて詳細に説明
する。第１図は螢光表示管の断面図であり、第２
図は陽極基板ガラスの部分断面構造図である。
する。第１図は螢光表示管の断面図であり、第２
図は陽極基板ガラスの部分断面構造図である。
第１図において、１は内面に透明導電性被膜の
被着されたカバーガラスを、２はタングステン線
に三元炭酸塩からなる酸化物陰極を被覆したフイ
ラメントを、３はステンレスメツシユから成る制
御電極を表わし、４は第２図に部分図で示す各種
材料の積層された陽極基板ガラスを示す。
被着されたカバーガラスを、２はタングステン線
に三元炭酸塩からなる酸化物陰極を被覆したフイ
ラメントを、３はステンレスメツシユから成る制
御電極を表わし、４は第２図に部分図で示す各種
材料の積層された陽極基板ガラスを示す。
先ず、第２図に示すように大きさ25×55×１mm
の窓ガラス基板５を準備し、洗浄、乾燥して表面
を清浄にした。
の窓ガラス基板５を準備し、洗浄、乾燥して表面
を清浄にした。
次に銀ペーストをスクリーン印刷機により所定
のパターンに印刷し電気炉中で焼成配線電極６を
得た。
のパターンに印刷し電気炉中で焼成配線電極６を
得た。
尚第１図、第２図に於ては日字タイプのような
セグメント電極は示してないが、実際には所定の
複数個パターンに形成するのが普通である。
セグメント電極は示してないが、実際には所定の
複数個パターンに形成するのが普通である。
更に、配線電極パターン６上に低融点ガラスペ
ーストを同様にスクリーン印刷し、焼成して絶縁
層７を得た。この場合第２図に示すように配線パ
ターンの一部分が露出するように絶縁層７が形成
された。このような２層構造にした絶縁基板ガラ
スは特殊なDC型リアクテイブスパツタリング装
置に導入された。この場合、予め前記絶縁基板ガ
ラスをIn2−xSnxO3＋ｓの導電膜８を所定のパタ
ーンに被着する為に金属製のマスクを施して導電
膜の不必要な部分はマスクして用いた。このDC
型リアクテイブスパツタリング装置は、ターゲツ
トがIn／Snの合金から成り純度は99.99％で組成
比はInが重量で90％、Snが重量で10％のもので
あつた。次に装置内部を排気し、Ar＋O2の混合
ガス（O2濃度10％）を３×10-3Torrまで導入し
２分間スパツタせしめた。その後絶縁基板ガラス
を装置より取出し、マスクを取り除いたところ、
所定のパターンに分解能良く導電膜８が被着され
ていた。作成された被膜を触針式の膜厚計で測定
したところ、膜厚600Åであつた。また、膜は緻
密で硬く、絶縁層７及び配線層６上に強固に接着
されていた。更に電気抵抗を測定したところ、３
×10-4Ω・cmの比抵抗値であつた。
ーストを同様にスクリーン印刷し、焼成して絶縁
層７を得た。この場合第２図に示すように配線パ
ターンの一部分が露出するように絶縁層７が形成
された。このような２層構造にした絶縁基板ガラ
スは特殊なDC型リアクテイブスパツタリング装
置に導入された。この場合、予め前記絶縁基板ガ
ラスをIn2−xSnxO3＋ｓの導電膜８を所定のパタ
ーンに被着する為に金属製のマスクを施して導電
膜の不必要な部分はマスクして用いた。このDC
型リアクテイブスパツタリング装置は、ターゲツ
トがIn／Snの合金から成り純度は99.99％で組成
比はInが重量で90％、Snが重量で10％のもので
あつた。次に装置内部を排気し、Ar＋O2の混合
ガス（O2濃度10％）を３×10-3Torrまで導入し
２分間スパツタせしめた。その後絶縁基板ガラス
を装置より取出し、マスクを取り除いたところ、
所定のパターンに分解能良く導電膜８が被着され
ていた。作成された被膜を触針式の膜厚計で測定
したところ、膜厚600Åであつた。また、膜は緻
密で硬く、絶縁層７及び配線層６上に強固に接着
されていた。更に電気抵抗を測定したところ、３
×10-4Ω・cmの比抵抗値であつた。
このように導電膜８の形成された基板上に、
ZnO：Znから成る青緑色発光螢光体をセグメン
ト状にスクリーン印刷し、焼成して螢光体層９を
積層した。第１図に示すように、このように作成
された陽極基板ガラス４と制御電極３とフイラメ
ント２を治具により組合せ、更にカバーガラス１
を載せて、周囲をフリツトガラスにより気密にシ
ールした。
ZnO：Znから成る青緑色発光螢光体をセグメン
ト状にスクリーン印刷し、焼成して螢光体層９を
積層した。第１図に示すように、このように作成
された陽極基板ガラス４と制御電極３とフイラメ
ント２を治具により組合せ、更にカバーガラス１
を載せて、周囲をフリツトガラスにより気密にシ
ールした。
而る後、従来の排気、枯化工程を経て本発明に
よる螢光表示管を得た。
よる螢光表示管を得た。
このようにして得られた螢光表示管は有害なガ
ス放出もなく、電気抵抗値の低い、動作上安定な
しかも長寿命で信頼性の高いものであつた。
ス放出もなく、電気抵抗値の低い、動作上安定な
しかも長寿命で信頼性の高いものであつた。
また、導電膜を被着する装置及びその方法は、
従来の静電遮蔽用のカバーガラス内面の透明導電
膜を被着する装置と兼用が出来、両者同時にスパ
ツタリングが可能で、大巾な工数削減のメリツト
もある。
従来の静電遮蔽用のカバーガラス内面の透明導電
膜を被着する装置と兼用が出来、両者同時にスパ
ツタリングが可能で、大巾な工数削減のメリツト
もある。
第１図は従来の螢光表示管の概造構造を示す断
面図であり、第２図は本発明の実施例を示す陽極
基板ガラスの部分概略断面図である。１……カバ
ーガラス、２……フイラメント電極、３……制御
電極、４……陽極基板ガラス、５……ガラス基
板、６……配線層、７……絶縁層、８……導電性
電極、９……螢光体層。
面図であり、第２図は本発明の実施例を示す陽極
基板ガラスの部分概略断面図である。１……カバ
ーガラス、２……フイラメント電極、３……制御
電極、４……陽極基板ガラス、５……ガラス基
板、６……配線層、７……絶縁層、８……導電性
電極、９……螢光体層。
Claims (1)
- １ 陽極セグメント上に螢光体層を積層してなる
表示部を備えた螢光表示管に於て、前記陽極セグ
メントが錫とインジウムとの合金の酸化物を主成
分とする導電体材料から成ることを特徴とする螢
光表示管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5957579A JPS55151747A (en) | 1979-05-15 | 1979-05-15 | Fluorescent display tube |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5957579A JPS55151747A (en) | 1979-05-15 | 1979-05-15 | Fluorescent display tube |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55151747A JPS55151747A (en) | 1980-11-26 |
| JPS6338822B2 true JPS6338822B2 (ja) | 1988-08-02 |
Family
ID=13117160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5957579A Granted JPS55151747A (en) | 1979-05-15 | 1979-05-15 | Fluorescent display tube |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS55151747A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS617858U (ja) * | 1984-06-19 | 1986-01-17 | 鹿児島日本電気株式会社 | 螢光表示管 |
| KR100477723B1 (ko) * | 1997-08-22 | 2005-05-16 | 삼성에스디아이 주식회사 | 형광표시관 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54128266A (en) * | 1978-03-20 | 1979-10-04 | Wagner Electric Corp | Fluorescent display element |
-
1979
- 1979-05-15 JP JP5957579A patent/JPS55151747A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54128266A (en) * | 1978-03-20 | 1979-10-04 | Wagner Electric Corp | Fluorescent display element |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55151747A (en) | 1980-11-26 |
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